JPH05121498A - ウエハテスト装置 - Google Patents
ウエハテスト装置Info
- Publication number
- JPH05121498A JPH05121498A JP11938691A JP11938691A JPH05121498A JP H05121498 A JPH05121498 A JP H05121498A JP 11938691 A JP11938691 A JP 11938691A JP 11938691 A JP11938691 A JP 11938691A JP H05121498 A JPH05121498 A JP H05121498A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test
- prober
- test head
- probe card
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ウエハテスト時に、人手を介さずにテストヘ
ッド３を位置決めできるようにする。 【構成】 テストヘッド３上に装着した固定プローブカ
ード１に基準プローブ６を付加し、この基準プローブ６
を検出する投，受光装置７，８を設けて、固定プローブ
カード１の基準Ｙ軸とウエハテストプローバ４上の基準
軸との位置合せを行なう。
ッド３を位置決めできるようにする。 【構成】 テストヘッド３上に装着した固定プローブカ
ード１に基準プローブ６を付加し、この基準プローブ６
を検出する投，受光装置７，８を設けて、固定プローブ
カード１の基準Ｙ軸とウエハテストプローバ４上の基準
軸との位置合せを行なう。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体のウエハテス
ト装置に関し、特にウエハテストを行なう際、テストヘ
ッドをウエハテストプローバに取り付ける時の回転方向
の位置決めに関するものである。
ト装置に関し、特にウエハテストを行なう際、テストヘ
ッドをウエハテストプローバに取り付ける時の回転方向
の位置決めに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来のウエハテスト装置における
回転方向の位置決め機構を示す断面図であり、図におい
て１は固定プローブカード、２はパフォーマンスボー
ド、３はテストヘッド、４はウエハテストプローバであ
る。１ａは、固定プローブカード１に取り付けられたガ
イドピン、３ａはテストヘッド３に取り付けられたガイ
ドピン、２ａ，２ｂは上記ガイドピン１ａ，３ａを挿着
するためにパフォーマンスボード２に形成されたガイド
孔である。なお５は固定プローブカード１に植え付けら
れたウエハテスト用プローブである。
回転方向の位置決め機構を示す断面図であり、図におい
て１は固定プローブカード、２はパフォーマンスボー
ド、３はテストヘッド、４はウエハテストプローバであ
る。１ａは、固定プローブカード１に取り付けられたガ
イドピン、３ａはテストヘッド３に取り付けられたガイ
ドピン、２ａ，２ｂは上記ガイドピン１ａ，３ａを挿着
するためにパフォーマンスボード２に形成されたガイド
孔である。なお５は固定プローブカード１に植え付けら
れたウエハテスト用プローブである。
【０００３】次に作用を説明する。通常、半導体のウエ
ハテストを実施するには、固定プローブカード１を装着
したパフォーマンスボード２をテストヘッド３に取り付
け、さらにそのテストヘッド３をウエハテストプローバ
４に固定する必要がある。従来は、固定プローブカード
１とパフォーマンスボード２の取り付け、パフォーマン
スボード２とテストヘッド３の取り付け、テストヘッド
３のウエハテストプローバ４への取り付けとも、各々ガ
イドピン１ａ，３ａ、ガイド孔２ａ，２ｂを介して装着
していた。
ハテストを実施するには、固定プローブカード１を装着
したパフォーマンスボード２をテストヘッド３に取り付
け、さらにそのテストヘッド３をウエハテストプローバ
４に固定する必要がある。従来は、固定プローブカード
１とパフォーマンスボード２の取り付け、パフォーマン
スボード２とテストヘッド３の取り付け、テストヘッド
３のウエハテストプローバ４への取り付けとも、各々ガ
イドピン１ａ，３ａ、ガイド孔２ａ，２ｂを介して装着
していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のウエハテスト装
置における回転方向の位置決め機構は、以上のように機
械加工の精度内で行なうため、実使用時さらに人手によ
る補正作業が必要であった。つまり、プローブ５が植設
された固定プローブカード１の回動基準位置をウエハテ
ストプローバ４上の基準軸に合わせなければいけないの
で、手作業による微調整が面倒であった。
置における回転方向の位置決め機構は、以上のように機
械加工の精度内で行なうため、実使用時さらに人手によ
る補正作業が必要であった。つまり、プローブ５が植設
された固定プローブカード１の回動基準位置をウエハテ
ストプローバ４上の基準軸に合わせなければいけないの
で、手作業による微調整が面倒であった。
【０００５】この発明は、上記のような問題点を解消す
るためになされたもので、機械加工の軽減を図るととも
に、人手を介さずにテストヘッドの回転方向の位置決め
を可能とするウエハテスト装置を得ることを目的とす
る。
るためになされたもので、機械加工の軽減を図るととも
に、人手を介さずにテストヘッドの回転方向の位置決め
を可能とするウエハテスト装置を得ることを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明によるウエハテ
スト装置は、テストヘッドをウエハテストプローバに取
り付ける際、テストヘッド上に装着した固定プローブカ
ードに基準体（基準プローブ）を付加するとともに、上
記ウエハテストプローバに取り付けられて、かつ上記基
準体を検出する検出装置（投，受光装置）と、上記テス
トヘッドを回動させる駆動装置と、上記検出装置の出力
により上記駆動装置を制御する駆動制御装置とを備え、
上記固定プローブカードの回動基準軸（基準Ｙ軸）とウ
エハテストプローバ上の基準軸との位置合わせを行なう
ようにしたものである。
スト装置は、テストヘッドをウエハテストプローバに取
り付ける際、テストヘッド上に装着した固定プローブカ
ードに基準体（基準プローブ）を付加するとともに、上
記ウエハテストプローバに取り付けられて、かつ上記基
準体を検出する検出装置（投，受光装置）と、上記テス
トヘッドを回動させる駆動装置と、上記検出装置の出力
により上記駆動装置を制御する駆動制御装置とを備え、
上記固定プローブカードの回動基準軸（基準Ｙ軸）とウ
エハテストプローバ上の基準軸との位置合わせを行なう
ようにしたものである。
【０００７】
【作用】この発明においては、検出装置で基準体を検出
することにより、固定プローブカードの回動基準軸とウ
エハテストプローバ上の基準軸とが合致し、テストヘッ
ドの回動開始位置が決定される。
することにより、固定プローブカードの回動基準軸とウ
エハテストプローバ上の基準軸とが合致し、テストヘッ
ドの回動開始位置が決定される。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１〜３に基づい
て説明する。図１において１は固定プローブカード、２
はパフォーマンスボード、３はテストヘッドであり、こ
のテストヘッド３がウエハテストプローバ４に取り付け
られている。このテストヘッド３の下面にはパフォーマ
ンスボード２を介して固定プローブカード１が取付けら
れる。６は、この発明により固定プローブカード１に下
方に突出する如く付加した基準体としてのピン状の基準
プローブ、７はレーザ投光装置、８は受光装置であり、
検出装置を構成する。９はテストヘッド３を駆動させる
ためのサーボ駆動制御装置であり、１０はテストヘッド
駆動装置である。５は固定プローブカードに設けられた
ウエハテスト用プローブである。このプローブ５の下方
にウエハ２０が位置される。２１はウエハを載置するス
テージである。
て説明する。図１において１は固定プローブカード、２
はパフォーマンスボード、３はテストヘッドであり、こ
のテストヘッド３がウエハテストプローバ４に取り付け
られている。このテストヘッド３の下面にはパフォーマ
ンスボード２を介して固定プローブカード１が取付けら
れる。６は、この発明により固定プローブカード１に下
方に突出する如く付加した基準体としてのピン状の基準
プローブ、７はレーザ投光装置、８は受光装置であり、
検出装置を構成する。９はテストヘッド３を駆動させる
ためのサーボ駆動制御装置であり、１０はテストヘッド
駆動装置である。５は固定プローブカードに設けられた
ウエハテスト用プローブである。このプローブ５の下方
にウエハ２０が位置される。２１はウエハを載置するス
テージである。
【０００９】図２，３は本発明に使用する固定プローブ
カード１の構成を示す図であり、図において、１１はウ
エハテスト用プローブ５を植え付ける時の基準位置であ
り、１２は基準Ｘ軸、１３は基準Ｙ軸（回動基準軸）で
ある。なお１４は、プローブ５，基準プローブ６を植え
付けるためのリングである。プローブ５はリング１４の
直角を成す４方向に配設されてその先端側は中央に延長
しており、先端が折曲されて触手５ａとして形成されて
いる。したがって、触手５ａ群は平面的に見ると、図３
に示す如く四角形を成すように配置されることになる。
基準プローブ６はリング１４に２本植設されており、こ
れは、上記固定プローブカード１の基準Ｙ軸１３と平行
に一直線上に位置するように設けられている。
カード１の構成を示す図であり、図において、１１はウ
エハテスト用プローブ５を植え付ける時の基準位置であ
り、１２は基準Ｘ軸、１３は基準Ｙ軸（回動基準軸）で
ある。なお１４は、プローブ５，基準プローブ６を植え
付けるためのリングである。プローブ５はリング１４の
直角を成す４方向に配設されてその先端側は中央に延長
しており、先端が折曲されて触手５ａとして形成されて
いる。したがって、触手５ａ群は平面的に見ると、図３
に示す如く四角形を成すように配置されることになる。
基準プローブ６はリング１４に２本植設されており、こ
れは、上記固定プローブカード１の基準Ｙ軸１３と平行
に一直線上に位置するように設けられている。
【００１０】次に作用を説明する。ウエハテスト用プロ
ーブ５及び基準プローブ６が植設されたリング１４は固
定プローブカード１の孔１ｓに嵌合されて取付けられ
る。この際、基準位置１１を基に、基準プローブ６が
投，受光装置７，８側に位置して、かつ基準Ｙ軸１３と
ほぼ平行となるように取付けられる。レーザ投光装置７
と受光装置８は、ウエハテストプローバ４上に設けら
れ、基準プローブ６が位置する一直線の延長線上に対向
するように配置固定されている。
ーブ５及び基準プローブ６が植設されたリング１４は固
定プローブカード１の孔１ｓに嵌合されて取付けられ
る。この際、基準位置１１を基に、基準プローブ６が
投，受光装置７，８側に位置して、かつ基準Ｙ軸１３と
ほぼ平行となるように取付けられる。レーザ投光装置７
と受光装置８は、ウエハテストプローバ４上に設けら
れ、基準プローブ６が位置する一直線の延長線上に対向
するように配置固定されている。
【００１１】テストヘッド３はサーボ駆動制御装置９お
よびテストヘッド駆動装置１０によって、回動可能であ
り、レーザ投光装置７より発射されたレーザ光の強さが
受光装置８により測定される。この際、リング１４は基
準位置１１を基に取付けられているので、大まかな位置
は合っている。したがって、この位置合わせ時における
テストヘッド３の回動量は微量である。よって、測定値
が極小となる位置が、固定プローブカード１上の基準Ｙ
軸１３とウエハテストプローバ４上の基準軸が合致した
ところであり、測定値の極小の出力がサーボ駆動装置９
に送られてテストヘッド３の回動を止め、その位置にテ
ストヘッド３を固定する。この位置がテストヘッド３の
回動開始位置となる。以上の操作手順を経て、実際のウ
エハテストが可能となる。
よびテストヘッド駆動装置１０によって、回動可能であ
り、レーザ投光装置７より発射されたレーザ光の強さが
受光装置８により測定される。この際、リング１４は基
準位置１１を基に取付けられているので、大まかな位置
は合っている。したがって、この位置合わせ時における
テストヘッド３の回動量は微量である。よって、測定値
が極小となる位置が、固定プローブカード１上の基準Ｙ
軸１３とウエハテストプローバ４上の基準軸が合致した
ところであり、測定値の極小の出力がサーボ駆動装置９
に送られてテストヘッド３の回動を止め、その位置にテ
ストヘッド３を固定する。この位置がテストヘッド３の
回動開始位置となる。以上の操作手順を経て、実際のウ
エハテストが可能となる。
【００１２】尚、上記実施例においてはリング１４を固
定プローブカード１に取付けるための位置を示すために
基準プローブ６を２本付加したが、基準位置１１に位置
させるプローブ５が植設された所に目印などを付けてお
けば、基準プローブは１本でよい。この場合、投，受光
装置７，８は図３において左，右側に配置してもよい。
定プローブカード１に取付けるための位置を示すために
基準プローブ６を２本付加したが、基準位置１１に位置
させるプローブ５が植設された所に目印などを付けてお
けば、基準プローブは１本でよい。この場合、投，受光
装置７，８は図３において左，右側に配置してもよい。
【００１３】
【発明の効果】この発明によれば、テストヘッドをウエ
ハテストプローバに取り付ける際、テストヘッド上に装
着した固定プローブカードに基準体を付加するととも
に、上記ウエハテストプローバに取り付けられて、かつ
上記基準体を検出する検出装置と、上記テストヘッドを
回動させる駆動装置と、上記検出装置の出力により上記
駆動装置を制御する駆動制御装置とを備え、上記固定プ
ローブカードの回動基準軸とウエハテストプローバ上の
基準軸との位置合わせを行なうように構成したので、機
械加工の軽減が図れ、しかもウエハテスト時人手を介さ
ずにテストヘッドの回動開始位置を精度良く位置決めで
きる効果がある。
ハテストプローバに取り付ける際、テストヘッド上に装
着した固定プローブカードに基準体を付加するととも
に、上記ウエハテストプローバに取り付けられて、かつ
上記基準体を検出する検出装置と、上記テストヘッドを
回動させる駆動装置と、上記検出装置の出力により上記
駆動装置を制御する駆動制御装置とを備え、上記固定プ
ローブカードの回動基準軸とウエハテストプローバ上の
基準軸との位置合わせを行なうように構成したので、機
械加工の軽減が図れ、しかもウエハテスト時人手を介さ
ずにテストヘッドの回動開始位置を精度良く位置決めで
きる効果がある。
【図１】この発明のウエハテスト装置の実施例による回
転方向の位置決め機構の構成図である。
転方向の位置決め機構の構成図である。
【図２】同実施例を示す固定プローブカードの断面図で
ある。
ある。
【図３】図２を下から見た底面図である。
【図４】従来のウエハテスト装置を示す回転方向の位置
決め機構の構成図である。
決め機構の構成図である。
１ 固定プローブカード ３ テストヘッド ４ ウエハテストプローバ ５ ウエハテスト用プローブ ６ 基準プローブ（基準体） ７ レーザ投光装置（検出装置） ８ 受光装置（検出装置） ９ サーボ駆動制御装置 １０ テストヘッド駆動装置 １３ 基準Ｙ軸（回動基準軸）
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年９月８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
Claims (1)
- 【請求項１】 テストヘッドをウエハテストプローバに
取り付ける際、テストヘッド上に装着した固定プローブ
カードに基準体を付加するとともに、上記ウエハテスト
プローバに取り付けられて、かつ上記基準体を検出する
検出装置と、上記テストヘッドを回動させる駆動装置
と、上記検出装置の出力により上記駆動装置を制御する
駆動制御装置とを備え、上記固定プローブカードの回動
基準軸とウエハテストプローバ上の基準軸との位置合わ
せを行なうようにしたことを特徴とするウエハテスト装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11938691A JPH05121498A (ja) | 1991-04-23 | 1991-04-23 | ウエハテスト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11938691A JPH05121498A (ja) | 1991-04-23 | 1991-04-23 | ウエハテスト装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05121498A true JPH05121498A (ja) | 1993-05-18 |
Family
ID=14760218
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11938691A Pending JPH05121498A (ja) | 1991-04-23 | 1991-04-23 | ウエハテスト装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05121498A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7057408B2 (en) * | 2003-07-01 | 2006-06-06 | Suss Microtec Test Systems (Gmbh) | Method and prober for contacting a contact area with a contact tip |
| US7560941B2 (en) * | 2001-11-02 | 2009-07-14 | Formfactor, Inc. | Method and system for compensating thermally induced motion of probe cards |
| US7642794B2 (en) | 2001-11-02 | 2010-01-05 | Formfactor, Inc. | Method and system for compensating thermally induced motion of probe cards |
| US8604814B2 (en) | 2010-12-03 | 2013-12-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Tester and test apparatus including the same |
| US9110131B2 (en) | 2010-04-13 | 2015-08-18 | Cascade Microtech, Inc. | Method and device for contacting a row of contact areas with probe tips |
-
1991
- 1991-04-23 JP JP11938691A patent/JPH05121498A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7560941B2 (en) * | 2001-11-02 | 2009-07-14 | Formfactor, Inc. | Method and system for compensating thermally induced motion of probe cards |
| US7642794B2 (en) | 2001-11-02 | 2010-01-05 | Formfactor, Inc. | Method and system for compensating thermally induced motion of probe cards |
| US7057408B2 (en) * | 2003-07-01 | 2006-06-06 | Suss Microtec Test Systems (Gmbh) | Method and prober for contacting a contact area with a contact tip |
| US9110131B2 (en) | 2010-04-13 | 2015-08-18 | Cascade Microtech, Inc. | Method and device for contacting a row of contact areas with probe tips |
| US8604814B2 (en) | 2010-12-03 | 2013-12-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Tester and test apparatus including the same |
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