JP2007183194A - プロービング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 プロービング装置は、複数の電極を有する平板状の被検査体を受ける受け台と、該受け台を支持する検査ステージであって前記受け台に受けた被検査体をこれと平行の面内の互いに交差するX方向及びY方向並びに該両方向に交差するZ方向の少なくとも3方向に移動させる検査ステージと、該検査ステージから前記Z方向に間隔をおいたカード台と、複数のプローブを有するプローブカードであって前記プローブの針先が前記検査ステージの側に向くように前記カード台に支持されたプローブカードと、前記検査ステージに受けられた被検査体と前記プローブカードとの平行度の調整のために前記プローブカードを前記検査ステージに対し変位させる変位機構とを含む。
【選択図】図1
Description
12 被検査体
14 チップ領域(被検査領域)
16 電極
16a 電極の設定位置
20 受け台
22 検査ステージ
24 ステージ台
26 カード台
28a,28b,28c 変位機構
30 プローブカード
32 下カメラ
34 上カメラ
36 支持部材
38 カードホルダ
40 穴
42 段部
44 プローブ
44a 針先
46 プローブ基板
48 配線基板
50 テスターランド
52 制御部
54,56 球継手
58 ボールねじ
60 中空モータ
64 許容範囲
66 位置基準
70 測定器
74 ターゲット
76 記憶装置
78 配線
80,82コンタクトピン
84,86,90 接続基板
88 接続ピン
94,124,126 配線
96,128, ケーブル
120,122 赤外線通信装置
134 調整ねじ
Claims (6)
- 複数の電極を有する平板状の被検査体を受ける検査ステージであって受けた被検査体をこれと平行の面内の互いに交差するX方向及びY方向並びに該両方向に交差するZ方向の少なくとも3方向に移動させる検査ステージと、
該検査ステージから前記Z方向に間隔をおいたカード台と、
複数のプローブを有するプローブカードであって前記プローブの針先が前記検査ステージの側に向くように前記カード台に支持されたプローブカードと、
前記検査ステージに受けられた被検査体と前記プローブカードとの平行度の調整のために前記プローブカードを前記検査ステージに対し変位させる変位機構とを含む、プロービング装置。 - さらに、前記検査ステージを支持するステージ台を含み、
前記変位機構は、前記カード台を前記ステージ台に支持させるべく前記ステージ台及び前記カード台を連結する少なくとも3つの連結機構であって前記検査ステージに受けられた被検査体と前記プローブカードとの平行度の調整のために前記カード台を前記ステージ台に対し共同して変位させる連結機構を含む、請求項1に記載のプロービング装置。 - 前記連結機構の1つは前記Z方向における前記ステージ台と前記カード台との間の間隔を変更不能であり、
残りの連結機構は前記Z方向における前記ステージ台及び前記カード台の間隔を変更可能である、請求項2に記載のプロービング装置。 - 前記連結機構の1つは、一端部において前記ステージ台に変位不能に連結されかつ他端部において前記カード台に前記Z方向に伸びる状態に及び変位可能に連結された固定支柱であり、
残りの連結機構は、一端部において前記ステージ台及び前記カード台のいずれか一方に前記Z方向に伸びる状態に及び変位可能に連結された可動体と、前記可動体を前記Z方向に移動させる駆動機構であって前記ステージ台及び前記カード台の他方に配置された駆動機構とを備える、請求項2に記載のプロービング装置。 - さらに、前記検査ステージに受けられた被検査体の電極を撮影するように前記カード台に配置された上カメラと、前記プローブの針先を撮影するように前記検査ステージに配置された下カメラとを含む、請求項1に記載のプロービング装置。
- 前記変位機構は、前記プローブカードを前記Z方向における位置を調整可能に前記カード台に取り付ける複数のねじ部材を含む、請求項1に記載のプロービング装置。
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