JP5074974B2 - プローブ方法及びプローブ方法を記録したプログラム記録媒体 - Google Patents
プローブ方法及びプローブ方法を記録したプログラム記録媒体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5074974B2 JP5074974B2 JP2008078572A JP2008078572A JP5074974B2 JP 5074974 B2 JP5074974 B2 JP 5074974B2 JP 2008078572 A JP2008078572 A JP 2008078572A JP 2008078572 A JP2008078572 A JP 2008078572A JP 5074974 B2 JP5074974 B2 JP 5074974B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- probes
- mounting table
- probe card
- semiconductor wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims description 179
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 33
- PWPJGUXAGUPAHP-UHFFFAOYSA-N lufenuron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(C(F)(F)F)F)=CC(Cl)=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F PWPJGUXAGUPAHP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 29
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 13
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 5
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 61
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 61
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 4
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
11 載置台
11A ヒータ(温度調節手段)
12 プローブカード
14 制御装置
14A 中央演算処理部(電極の高さを求める手段、プローブと電極との距離を求める手段)
18 上下調整部材(プローブカードの傾きを調整する手段)
18A 上下調整部材制御部(プローブカードの傾きを調整する手段)
19 下カメラ(第1の撮像手段)
21 上カメラ(第2の撮像手段)
W 半導体ウエハ(被検査体)
Claims (2)
- 温度調節手段による加熱または冷却によって湾曲した載置面を有する移動可能な載置台に吸着保持された被検査体と上記載置台の上方に傾斜調整可能に配置されたプローブカードの複数のプローブと電気的に接触させて上記被検査体の電気的特性検査を行うプローブ方法であって、
第1の撮像手段を用いて上記プローブカードの所定の複数のプローブの針先を撮像して上記プローブの針先の位置情報を求める第1の工程と、
第2の撮像手段を用いて上記被検査体の上面の高さの分布及び上記所定の複数のプローブに対応する複数の上記電極の位置情報を求める第2の工程と、
少なくとも3本の上記プローブの針先を含む平面とこれらのプローブと対向する上記被検査体の少なくとも3個の電極を含む平面との平行度を調節するために、上記第2の工程で求められた上記高さの分布に基づいて上記少なくとも3個の電極の高さを求める第3の工程と、
上記所定の複数のプローブの針先の位置情報とこれらのプローブに対向する上記複数の電極の位置情報に基づいて互いに対向する上記複数のプローブと上記複数の電極との距離をそれぞれ求める第4の工程と、
上記複数の距離が等しくなるように上記プローブカードの傾斜を調整する第5の工程と、
二番目以降の検査をする場合には、上記第3の工程から上記第5の工程を繰り返して実行する第6の工程と、を備えている
ことを特徴とするプローブ方法。 - コンピュータを駆動させて、温度調節手段による加熱または冷却によって湾曲した載置面を有する移動可能な載置台に吸着保持された被検査体と上記載置台の上方に傾斜調整可能に配置されたプローブカードの複数のプローブと電気的に接触させて上記被検査体の電気的特性検査を行うプローブ方法を実行させるプログラム記憶媒体であって、
上記コンピュータを駆動させて、
第1の撮像手段を用いて上記プローブカードの所定の複数のプローブの針先を撮像して上記プローブの針先の位置情報を求める第1の工程と、
第2の撮像手段を用いて上記被検査体の上面の高さの分布及び上記所定の複数のプローブに対応する複数の上記電極の位置情報を求める第2の工程と、
少なくとも3本の上記プローブの針先を含む平面とこれらのプローブと対向する上記被検査体の少なくとも3個の電極を含む平面との平行度を調節するために、上記第2の工程で求められた上記高さの分布に基づいて上記少なくとも3個の電極の高さを求める第3の工程と、
上記所定の複数のプローブの針先の位置情報とこれらのプローブに対向する上記複数の電極の位置情報に基づいて互いに対向する上記複数のプローブと上記複数の電極との距離をそれぞれ求める第4の工程と、
上記複数の距離が等しくなるように上記プローブカードの傾斜を調整する第5の工程と、
二番目以降の検査をする場合には、上記第3の工程から上記第5の工程を繰り返して実行する第6の工程と、を実行させる
ことを特徴とするプログラム記憶媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008078572A JP5074974B2 (ja) | 2008-03-25 | 2008-03-25 | プローブ方法及びプローブ方法を記録したプログラム記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008078572A JP5074974B2 (ja) | 2008-03-25 | 2008-03-25 | プローブ方法及びプローブ方法を記録したプログラム記録媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009231765A JP2009231765A (ja) | 2009-10-08 |
JP5074974B2 true JP5074974B2 (ja) | 2012-11-14 |
Family
ID=41246794
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008078572A Active JP5074974B2 (ja) | 2008-03-25 | 2008-03-25 | プローブ方法及びプローブ方法を記録したプログラム記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5074974B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013125001A (ja) * | 2011-12-16 | 2013-06-24 | Mitsubishi Electric Corp | プローブクリーニング装置 |
JP2022184029A (ja) | 2021-05-31 | 2022-12-13 | 東京エレクトロン株式会社 | アライメント方法及び検査装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3193958B2 (ja) * | 1994-12-05 | 2001-07-30 | 東京エレクトロン株式会社 | プロ−ブ装置およびプロ−ブ方法 |
JP4014376B2 (ja) * | 2001-08-31 | 2007-11-28 | 株式会社神戸製鋼所 | 平坦度測定装置 |
JP4357813B2 (ja) * | 2002-08-23 | 2009-11-04 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブ装置及びプローブ方法 |
JP4183077B2 (ja) * | 2003-06-05 | 2008-11-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体の載置機構 |
JP2006222312A (ja) * | 2005-02-10 | 2006-08-24 | Canon Inc | ステージ制御装置及びその方法、ステージ装置並びに露光装置 |
JP4102884B2 (ja) * | 2005-05-13 | 2008-06-18 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブカードの調整機構及びプローブ装置 |
JP2008004675A (ja) * | 2006-06-21 | 2008-01-10 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | プローバのウエハチャック |
-
2008
- 2008-03-25 JP JP2008078572A patent/JP5074974B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009231765A (ja) | 2009-10-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100945328B1 (ko) | 프로브의 침끝위치의 검출 방법, 얼라이먼트 방법,침끝위치 검출 장치 및 프로브 장치 | |
JP5295588B2 (ja) | プローブカードの傾き調整方法、プローブカードの傾き検出方法及びプローブカードの傾き検出方法を記録したプログラム記録媒体 | |
TWI416113B (zh) | The parallelism adjustment method and the inspection program memory medium and the inspection apparatus of the probe card and the mounting table | |
KR101102718B1 (ko) | 프로브의 침적 전사 부재 및 프로브 장치 | |
US5585738A (en) | Probe system having vertical height detection and double focal image pickup coinciding with probe contact in height adjustment | |
US11346861B2 (en) | Contact accuracy assurance method, contact accuracy assurance mechanism, and inspection apparatus | |
US20070159194A1 (en) | Probing apparatus | |
KR20090105854A (ko) | 얼라인먼트 방법, 침끝위치 검출 장치 및 프로브 장치 | |
JP2009130114A (ja) | 検査装置 | |
WO2019107173A1 (ja) | プローブ針の針先位置調整方法および検査装置 | |
JP2018037538A (ja) | プローバ | |
JP6149338B1 (ja) | プローバ及びプローバの操作方法 | |
US20130027070A1 (en) | Method and device for contacting a row of contact areas with probe tips | |
JP5074974B2 (ja) | プローブ方法及びプローブ方法を記録したプログラム記録媒体 | |
JP5530261B2 (ja) | 被検査体の通電試験方法 | |
JP6361975B2 (ja) | プローバ | |
US10481177B2 (en) | Wafer inspection method | |
JP2014238371A (ja) | プローバシステム | |
JP5571224B2 (ja) | 針先位置検出装置及びプローブ装置 | |
CN109950164A (zh) | 探测器 | |
JP2019160937A (ja) | 位置補正方法、検査装置及びプローブカード | |
US11221350B2 (en) | Probe device for improving transfer accuracy of needle traces of probes and needle trace transcription method therefor | |
WO2023106150A1 (ja) | 検査方法、補正量算出方法および検査装置 | |
WO2023053968A1 (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
JP5718978B2 (ja) | ウェーハの検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110204 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120522 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120721 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120814 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120824 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5074974 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150831 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |