JP5689920B2 - ウェハ中心検出 - Google Patents
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Description
本出願は、以下の米国出願について優先権を主張するものである:2006年3月5日出願の米国仮出願第60/779,684号、2006年3月5日出願の米国仮出願第60/779,707号、2006年3月5日出願の米国仮出願第60/779,478号、2006年3月5日出願の米国仮出願第60/779,463号、2006年3月5日出願の米国仮出願第60/779,609号、2006年3月21日出願の米国仮出願第60/784,832号、2006年5月1日出願の米国仮出願第60/746,163号、2006年7月12日出願の米国仮出願第60/807,189号、及び2006年8月24日出願の米国仮出願第60/823,454号。
これは次のように書き換えることが可能である。
ここで、
D≡−2xc,E≡−2yc,F≡xc 2+yc 2−r2
円周からのn個のポイントが与えられた場合、n個の方程式の行列を次のように作成することが可能である。
3つのポイントが存在する場合には、行列Aは正方行列であり、その解は行列Aを反転させて次のように表現することが可能である。
4つ以上のポイントが利用可能な場合には、上述のように疑似逆を用いて問題に対する最小二乗解を提供することが可能である。これは次のように表すことができる。
この解は、円周と全てのポイントとの間の二乗誤差を最小限にするものとなる。ベクトルxについての解から、円形のウェハに関する中心位置及び推定半径をD,E,Fより計算することが可能である。
ここで、状態推定伝搬は、
1.1つの内部と複数の入口とを有する装置内のウェハの中心を検出するための方法であって、該内部がロボットアームを含み、該装置が複数のセンサを含み、該センサの各々が、前記装置の前記内部内の所定の場所におけるウェハの存在を検出するよう構成されており、該方法が、
前記複数の入口のうちの第1の入口を介して前記内部の外側からウェハを取り出し、
該ウェハを前記内部内に引き込み、及び前記複数のセンサのうちの第1のセンサを用いて前記ウェハの存在を検出し、
前記ロボットアームを回転させ、
該ウェハを前記複数の入口のうちの第2の入口を介して前記内部の外側へと延伸させ、及び前記複数のセンサのうちの前記第1のセンサを用いて前記ウェハの不存在を検出し、
前記複数のセンサからのセンサデータ及び前記ロボットアームからの位置データを使用して該ロボットアームに対する前記ウェハの中心の場所を判定する、
という各ステップを含む、1つの内部と複数の入口とを有する装置内のウェハの中心を検出するための方法。
2.前記複数のセンサが光センサを含む、前項1に記載の方法。
3.前記複数のセンサが発光ダイオードを含む、前項2に記載の方法。
4.前記複数のセンサがオートフォーカス式フォトダイオード検出器を含む、前項2に記載の方法。
5.場所を判定する前記ステップが、前記ロボットアームからの位置データにカルマンフィルタを適用するステップを含む、前項1に記載の方法。
6.前記センサデータに基づいて前記カルマンフィルタを更新するステップを更に含む、前項5に記載の方法。
7.前記ウェハがほぼ円形である、前項1に記載の方法。
8.前記ウェハが位置合わせ用ノッチを含む、前項1に記載の方法。
9.前記複数のセンサが、発光ダイオードに対向して配置された少なくとも1つの検出器を含み、該発光ダイオードから該光検出器への光路が前記内部内の所定の位置を含むようになっている、前項1に記載の方法。
10.前記複数のセンサが、発光ダイオードからの光が所定の場所で前記ウェハから反射された際に該光を検出するよう配置された少なくとも1つの検出器を含む、前項1に記載の方法。
11.前記引き込みステップが直線運動での引き込み動作を含む、前項1に記載の方法。
12.前記延伸ステップが直線運動での延伸動作を含む、前項1に記載の方法。
13.前記回転ステップが前記ロボットアームの中心軸を中心とした回転を含む、前項1に記載の方法。
14.1つの内部と複数の入口とを有する装置内でウェハの中心を検出するための方法であって、前記内部がロボットアームを含み、前記装置が複数のセンサを含み、該センサの各々が前記装置の前記内部内の所定の場所におけるウェハの存在を検出するよう構成されており、該方法が、
前記複数の入口のうちの第1の入口を介して前記内部の外側からウェハを取り出し、
該ウェハを前記内部内に引き込み、
前記ロボットアームを回転させ、
前記ウェハを前記複数の入口のうちの第2の入口を介して前記内部の外側へと延伸させ、
前記引き込み、回転、及び延伸ステップ中に少なくとも1つのセンサの所定の場所におけるウェハの存在を検出し、これによりセンサデータを提供し、該センサデータ及び前記ロボットアームからの位置データを使用して該ロボットアームに対する前記ウェハの中心の場所を判定する、
という各ステップを含む、1つの内部と複数の入口とを有する装置内でウェハの中心を検出するための方法。
15.前記複数のセンサが光センサを含む、前項14に記載の方法。
16.前記複数のセンサが発光ダイオードを含む、前項15に記載の方法。
17.前記複数のセンサがオートフォーカス式フォトダイオード検出器を含む、前項15に記載の方法。
18.場所を判定する前記ステップが、前記ロボットアームからの位置データにカルマンフィルタを適用するステップを含む、前項14に記載の方法。
19.前記センサデータに基づいて前記カルマンフィルタを更新するステップを更に含む、前項18に記載の方法。
20.前記ウェハがほぼ円形である、前項14に記載の方法。
21.前記ウェハが位置合わせ用ノッチを含む、前項14に記載の方法。
22.前記複数のセンサが発光ダイオードに対向して配置された少なくとも1つの検出器を含み、該発光ダイオードから該光検出器への光路が前記内部内の所定の位置を含むようになっている、前項14に記載の方法。
23.前記複数のセンサが、発光ダイオードからの光が所定の場所で前記ウェハから反射された際に該光を検出するよう配置された少なくとも1つの検出器を含む、前項14に記載の方法。
24.前記引き込みステップが直線運動での引き込み動作を含む、前項14に記載の方法。
25.前記延伸ステップが直線運動での延伸動作を含む、前項14に記載の方法。
26.前記回転ステップが前記ロボットアームの中心軸を中心とした回転を含む、前項14に記載の方法。
27.ウェハの存在を検出する前記ステップが、前記複数のセンサのうちの1つにおける前記ウェハの不存在から存在への第1の遷移を検出し、及び前記複数のセンサのうちの前記1つにおけるウェハの存在から不存在への第2の遷移を検出する、という各ステップを含み、該第1の遷移から該第2の遷移への前記ウェハの経路は非直線的である、前項14に記載の方法。
28.前記経路が、前記ウェハの回転の結果として生じる少なくとも1つの弧を含む、前項27に記載の方法。
29.ウェハを操作するための装置であって、
複数の入口を介して進入することができる内部と、
該複数の入口の各々に2つずつ配設された複数のセンサとを含み、各センサが、前記内部内の所定の場所におけるウェハの存在を検出することが可能なものであり、該複数のセンサが、該複数のセンサのうちの少なくとも2つが前記内部内全体の何れかのウェハ位置でウェハを検出するように配置されている、
ウェハを操作するための装置。
30.前記複数の入口が4つの入口を含む、前項29に記載の装置。
31.前記複数の入口が7つの入口を含む、前項29に記載の装置。
32.前記複数の入口が8つの入口を含む、前項29に記載の装置。
33.前記複数のセンサが光センサを含む、前項29に記載の装置。
34.前記複数のセンサが少なくとも1つの発光ダイオードを含む、前項33に記載の装置。
35.前記装置が、前記内部内に中心軸を有するロボットアームを含み、該ロボットアームが、ウェハを操作するためのエンドエフェクタを含む、前項29に記載の装置。
36.ウェハを操作するための装置であって、
複数の入口を介して進入することができる内部と、
該複数の入口の各々に2つずつ配設された複数のセンサとを含み、各センサは、前記内部内の所定の場所におけるウェハの存在を検出することが可能なものであり、該複数のセンサの配置は、第1の一対のセンサが前記複数の入口の各々を介して直線的に入ってくるウェハを検出し、及び第2の一対のセンサが前記複数の入口の各々を介して直線的に入ってくるウェハの最大直径の実質的にすぐ外側に位置するようになっており、前記複数の入口の各々が、前記第1の一対のセンサ及び前記第2の一対のセンサの一方を、前記複数の入口のうちの隣接する各入口と共有する、
ウェハを操作するための装置。
37.前記複数の入口が4つの入口を含む、前項36に記載の装置。
38.前記複数の入口が7つの入口を含む、前項36に記載の装置。
39.前記複数の入口が8つの入口を含む、前項36に記載の装置。
40.前記複数のセンサが光センサを含む、前項36に記載の装置。
41.前記複数のセンサが少なくとも1つの発光ダイオードを含む、前項40に記載の装置。
42.前記装置が前記内部内に中心軸を有するロボットアームを更に含み、該ロボットアームがウェハを操作するためのエンドエフェクタを含む、前項36に記載の装置。
43.ウェハを操作するための装置であって、
4つの入口を介して進入することができる内部と、
前記内部内の所定の場所におけるウェハの存在を各々が検出することができる8つのセンサとを含み、該センサが、前記内部の中心を中心とする2つの正方形アレイへと配列され、その大きさが、該正方形アレイのうちの第1の正方形アレイが該正方形アレイのうちの第2の正方形アレイよりも小さくなっており、その向きは、該2つの正方形アレイの対向する頂点における1グループをなす4つのセンサが同一直線上に位置するようになっている、
ウェハを操作するための装置。
44.前記8つのセンサが光センサを含む、前項43に記載の装置。
45.前記8つのセンサが少なくとも1つの発光ダイオードを含む、前項44に記載の装置。
46.前記装置が、前記内部内に中心軸を有するロボットアームを含み、該ロボットアームが、ウェハを操作するためのエンドエフェクタを含む、前項43に記載の装置。
47.ウェハを操作するためのロボットアームであって、該ロボットアームの1つ又は2つ以上の構成要素の位置を識別するエンコーダデータを提供する1つ又は2つ以上のエンコーダを含む、ロボットアームと、
前記エンコーダデータに対して拡張カルマンフィルタを適用して前記ウェハの位置を推定するよう構成されたプロセッサと
を含む、装置。
48.前記位置がウェハ中心を含む、前項47に記載の装置。
49.前記位置がウェハ半径を含む、前項47に記載の装置。
50.前記位置が前記ロボットアームのエンドエフェクタに関連して判定される、前項47に記載の装置。
51.前記位置が、前記ロボットアームの中心軸に関連して判定される、前項47に記載の装置。
52.前記プロセッサが、新たなエンコーダデータが受信される度に前記位置を再計算する、前項47に記載の装置。
53.前記新たなエンコーダデータが約2kHzで受信される、前項52に記載の装置。
54.前記プロセッサが、ロボット式ウェハハンドラ内の1つ又は2つ以上の所定の場所におけるウェハの存在を検出する1つ又は2つ以上のセンサからの遷移データを使用してカルマンフィルタの1つ又は2つ以上の方程式を更新するよう構成されている、前項47に記載の装置。
55.ウェハ操作装置の内部内に複数のセンサを配置し、該複数のセンサの各々が、前記内部内の所定の場所におけるウェハの存在と不存在との間の遷移を検出することが可能なものであり、
ロボットアームを用いてウェハを操作し、該ロボットアームが、該ロボットアームの1つ又は2つ以上の構成要素の位置を識別するエンコーダデータを提供する1つ又は2つ以上のエンコーダを含み、
前記エンコーダデータを拡張カルマンフィルタに適用してウェハの推定位置を提供する、
という各ステップを含む方法。
56.前記複数のセンサのうちの1つにおける遷移を検出してウェハの実際の位置を提供し、
その実際の位置と前記推定位置との誤差を求め、
該誤差に基づき拡張カルマンフィルタのための1つ又は2つ以上の変数を更新する、
という各ステップを更に含む、前項55に記載の方法。
57.前記エンコーダデータを適用する前記ステップが0.5ms毎にウェハ位置を計算するステップを含む、前項56に記載の方法。
58.ウェハの前記推定位置が該ウェハの中心を含む、前項55に記載の方法。
59.ウェハの前記推定位置が該ウェハの半径を含む、前項55に記載の方法。
60.少なくとも1つのウェハを通過させるための形状及び大きさに形成された複数の入口を有する内部チャンバと、
前記内部内のウェハを走査するよう配置されたコンタクトイメージセンサと、
ウェハを操作するためのエンドエフェクタを含む前記内部内のロボットであって、前記コンタクトイメージセンサの測定体積内にウェハを移動させ、これにより該ウェハの少なくとも一部のイメージを取得するよう構成されたロボットと、
該イメージを処理して前記ウェハの中心を判定するよう構成されたプロセッサと
を含む装置。
61.前記ロボットが前記コンタクトイメージセンサの測定体積を通って前記ウェハを直線的に移動させる、前項60に記載の装置。
62.前記コンタクトイメージセンサの向きが前記ウェハの経路と垂直である、前項61に記載の装置。
63.該コンタクトイメージセンサの向きがウェハの経路に対して45°の角度をなす、前項61に記載の装置。
64.前記ロボットが、前記コンタクトイメージセンサの測定体積を通る曲線的な経路でウェハを移動させる、前項60に記載の装置。
65.前記ロボットが、前記コンタクトイメージセンサの測定体積を通る非連続的な経路でウェハを移動させる、前項60に記載の装置。
66.前記ロボットが、前記コンタクトイメージセンサの測定体積内でウェハを回転させる、前項60に記載の装置。
67.前記ロボットが、前記コンタクトイメージセンサの測定体積内へとウェハを上昇させるよう構成される、前項66に記載の装置。
68.前記ロボットが、ウェハを回転させるよう構成されたエンドエフェクタ上に回転チャックを含む、前項66に記載の装置。
69.該回転チャックが180°〜360°回転する、前項68に記載の装置。
70.前記エンドエフェクタから前記コンタクトイメージセンサの測定体積内へとウェハを上昇させるよう構成された回転チャックを更に含む、前項66に記載の装置。
71.前記コンタクトイメージセンサの長さが少なくとも300mmである、前項60に記載の装置。
72.前記コンタクトイメージセンサがウェハの直径を超える長さを有する、前項60に記載の装置。
73.前記コンタクトイメージセンサが前記内部への前記複数の入口のうちの1つに配置される、前項60に記載の装置。
74.複数のコンタクトイメージセンサを更に含み、該複数のコンタクトイメージセンサの各々が前記内部への前記複数の入口に1つずつ配置される、前項73に記載の装置。
75.前記コンタクトイメージセンサが前記内部の中心と交差するよう配置される、前項60に記載の装置。
76.前記装置が第2のコンタクトイメージセンサを含み、前記コンタクトイメージセンサ及び該第2のコンタクトイメージセンサが同一直線上に配置される、前項60に記載の装置。
77.前記コンタクトイメージセンサ及び前記第2のコンタクトイメージセンサが前記内部への前記複数の入口のうちの1つに配置される、前項76に記載の装置。
78.前記内部への前記複数の入口の各々に配置された複数対の同一直線上のコンタクトイメージセンサを更に含む、前項77に記載の装置。
79.第2の一対の同一直線上のコンタクトイメージセンサを更に含み、該第2の一対の同一直線上のコンタクトイメージセンサが前記内部の中心と交差するように配置される、前項76に記載の装置。
80.前記複数の入口が4つの入口を含む、前項60に記載の装置。
81.前記複数の入口が8つの入口を含む、前項60に記載の装置。
82.前記プロセッサがウェハ上の位置合わせ用ノッチを識別するよう更に構成される、前項60に記載の装置。
83.前記プロセッサがウェハの半径を判定するよう更に構成される、前項60に記載の装置。
84.ロボット式ウェハハンドラの内部からイメージデータを捕捉するようコンタクトイメージセンサを位置決めし、
前記コンタクトイメージセンサによりウェハの少なくとも一部を通過してイメージを取得し、
該イメージに基づいて前記ウェハの中心を判定する、
という各ステップを含む方法。
85.前記コンタクトイメージセンサによる前記ウェハの少なくとも一部の通過が、前記コンタクトイメージセンサの測定体積を通る前記ウェハの直線的な通過を含む、前項84に記載の方法。
86.ロボットチャンバ内のロボットアームであって、ウェハを操作するよう構成されたエンドエフェクタを含むロボットアームと、
前記ロボットチャンバの内部内の電荷結合素子の直線アレイであって、前記ロボットチャンバ内の1つ又は2つ以上の所定の場所における測定体積からイメージデータを取得するよう位置決めされる電荷結合素子の直線アレイと
を含む装置。
87.前記直線アレイを照明する外部照明源を更に含む、前項86に記載の装置。
88.前記直線アレイに誘導的に電力を供給する無線電力結合を更に含む、前項86に記載の装置。
89.前記直線アレイとデータを無線交換するためのワイヤレストランシーバを更に含む、前項86に記載の装置。
90.前記ワイヤレストランシーバが前記ロボットチャンバの外部に配置される、前項89に記載の装置。
91.前記データが前記イメージデータを含む、前項89に記載の装置。
92.前記直線アレイが1×n電荷結合素子アレイである、前項86に記載の装置。
93.前記直線アレイが電荷結合素子の二次元アレイを含む、前項86に記載の装置。
94.前記内部内の異なる場所でイメージデータをそれぞれ捕捉する複数の直線アレイを更に含む、前項86に記載の装置。
95.前記ロボットアームが、前記直線アレイの測定体積内でウェハを回転させるよう構成された前記エンドエフェクタ上のチャックを含む、前項86に記載の装置。
96.前記ロボットアームが前記直線アレイの測定体積内へウェハを上昇させるよう構成される、前項95に記載の装置。
97.前記チャックが180°〜360°回転する、前項95に記載の装置。
98.前記エンドエフェクタから前記直線アレイの測定体積内へとウェハを上昇させるよう構成された回転チャックを更に含む、前項86に記載の装置。
99.前記イメージデータを使用してウェハの中心を判定するよう構成されたプロセッサを更に含む、前項86に記載の装置。
100.前記イメージデータを使用してウェハの半径を判定するよう構成されたプロセッサを更に含む、前項86に記載の装置。
101.前記イメージデータを使用してウェハ上の位置合わせ用ノッチを識別するよう構成されたプロセッサを更に含む、前項86に記載の装置。
102.ロボットチャンバ内のロボットアームであって、ウェハを操作するよう構成されたエンドエフェクタを含むロボットアームと、
前記エンドエフェクタ上に載置されたウェハから縁部データを捕捉するよう位置決めされた該エンドエフェクタ上の電荷結合素子の直線アレイと
を含む装置。
103.前記直線アレイを照明する外部照明源を更に含む、前項102に記載の装置。
104.前記直線アレイに誘導的に電力を供給する無線電力結合を更に含む、前項102に記載の装置。
105.前記直線アレイとデータを無線交換するためのワイヤレストランシーバを更に含む、前項102に記載の装置。
106.前記ワイヤレストランシーバが前記ロボットチャンバの外部に配置される、前項105に記載の装置。
107.前記直線アレイが1×n電荷結合素子アレイである、前項102に記載の装置。
108.前記直線アレイが電荷結合素子の二次元アレイを含む、前項102に記載の装置。
109.前記ロボットアームが、前記直線アレイの測定体積内でウェハを回転させるよう構成された前記エンドエフェクタ上のチャックを含む、前項102に記載の装置。
110.前記エンドエフェクタからウェハを上昇させ及び前記直線アレイの測定体積内で該ウェハを回転させるよう構成された回転チャックを更に含む、前項102に記載の装置。
111.前記縁部データを使用してウェハの中心を判定するよう構成されたプロセッサを更に含む、前項102に記載の装置。
112.前記縁部データを使用してウェハの半径を判定するよう構成されたプロセッサを更に含む、前項102に記載の装置。
113.前記エンドエフェクタの表面上の複数の場所から縁部データを捕捉するよう配置された複数の直線アレイを更に含む、前項102に記載の装置。
Claims (23)
- ウェハを操作するためのロボットアームであって、該ロボットアームの1つ又は2つ以上の構成要素の位置を識別するエンコーダデータを提供する1つ又は2つ以上のエンコーダを含む、ロボットアームと、
前記エンコーダデータに拡張カルマンフィルタを適用して前記ウェハの位置を推定するよう構成されたプロセッサとを含み、
該プロセッサが、新たなエンコーダデータを受信した際に前記位置を再計算し、及び前記ウェハの縁部を検出するセンサの遷移時に前記拡張カルマンフィルタを更新する、
装置。 - 前記位置が、前記ウェハの中心又は前記ウェハの半径を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記位置が、前記ロボットアームのエンドエフェクタ又は該ロボットアームの中心軸に関連して判定される、請求項1に記載の装置。
- ウェハ操作装置の内部内に複数のセンサを配設し、該複数のセンサの各々が、該内部内の所定の場所におけるウェハの存在と不存在との間の遷移を検出することが可能なものであり、
ロボットアームを用いてウェハを操作し、該ロボットアームが、該ロボットアームの1つ又は2つ以上の構成要素の位置を識別するエンコーダデータを提供する1つ又は2つ以上のエンコーダを含み、
該エンコーダデータを拡張カルマンフィルタに適用して前記ウェハの推定位置を提供し、
新たなエンコーダデータを受信した際に前記位置を再計算し、及び前記ウェハの縁部を検出するセンサの遷移時に前記拡張カルマンフィルタを更新する、
という各ステップを含む方法。 - 前記ウェハの前記推定位置が、前記ロボットアームのエンドエフェクタ又は該ロボットアームの中心軸に関連して判定される、請求項4に記載の方法。
- 前記複数のセンサが4つのセンサを含む、請求項4に記載の方法。
- ロボットチャンバ内のロボットアームであって、ウェハを操作するよう構成されたエンドエフェクタを含む、ロボットアームと、
前記ロボットチャンバの内部内の電荷結合素子の直線アレイであって、該ロボットチャンバ内の1つ又は2つ以上の所定の場所における測定体積からイメージデータを取得するよう配置された、電荷結合素子の直線アレイとを含み、
該電荷結合素子の直線アレイが、前記ロボットアームに結合され、及び、前記エンドエフェクタ上に載置されている前記ウェハの該電荷結合素子の直線アレイにより捕捉された縁部データと、前記測定体積内で前記ロボットアームにより移送された前記ウェハの移送経路とが、前記測定体積内における該ウェハの所定の位置を画定するように、該電荷結合素子の直線アレイが構成されている、
装置。 - 前記データが前記イメージデータを含む、請求項7に記載の装置。
- 前記直線アレイが1×n電荷結合素子アレイである、請求項7に記載の装置。
- 前記直線アレイが電荷結合素子の二次元アレイを含む、請求項7に記載の装置。
- 前記内部内の異なる場所でイメージデータをそれぞれ捕捉する複数の直線アレイを更に含む、請求項7に記載の装置。
- 前記イメージデータを使用して前記ウェハの半径を判定するよう構成されたプロセッサを更に含む、請求項7に記載の装置。
- 前記イメージデータを使用して前記ウェハ上の位置合わせ用ノッチを識別するよう構成されたプロセッサを更に含む、請求項7に記載の装置。
- 少なくとも1つのウェハを通過させるための形状及び大きさに形成された複数の入口を有する内部チャンバと、
前記内部チャンバの内部内のウェハを走査するよう配置されたコンタクトイメージセンサであって、該ウェハの直径を超える長さを有する、コンタクトイメージセンサと、
前記ウェハを操作するためのエンドエフェクタを含む前記内部内のロボットであって、前記コンタクトイメージセンサの測定体積内で該ウェハを移動させて該ウェハの少なくとも一部のイメージを取得するよう構成された、ロボットと、
該イメージを処理して該ウェハの中心を判定するよう構成されたプロセッサと
を含む装置。 - 前記ロボットが、前記コンタクトイメージセンサの前記測定体積を通って前記ウェハを直線的に移動させるよう構成されている、請求項14に記載の装置。
- 前記コンタクトイメージセンサの向きが前記ウェハの経路と垂直であり、又は該コンタクトイメージセンサの向きが前記ウェハの経路に対して45°の角度をなす、請求項15に記載の装置。
- 前記ロボットが、前記コンタクトイメージセンサの前記測定体積を通る曲線的な経路で前記ウェハを移動させるよう構成されている、請求項14に記載の装置。
- 前記ロボットが、前記コンタクトイメージセンサの前記測定体積を通る非連続的な経路で前記ウェハを移動させるよう構成されている、請求項14に記載の装置。
- 前記コンタクトイメージセンサが、前記ウェハの中心を計算するためのデータを提供する、請求項14に記載の装置。
- 第2のコンタクトイメージセンサを更に含み、前記コンタクトイメージセンサ及び該第2のコンタクトイメージセンサが同一直線上に配置される、請求項14に記載の装置。
- 前記コンタクトイメージセンサ及び前記第2のコンタクトイメージセンサが前記内部への前記複数の入口のうちの1つに配置される、請求項20に記載の装置。
- 前記内部への前記複数の入口の各々に配置された複数対の同一直線上のコンタクトイメージセンサを更に含む、請求項21に記載の装置。
- 第2の一対の同一直線上のコンタクトイメージセンサを更に含み、該第2の一対の同一直線上のコンタクトイメージセンサが前記内部の中心と交差するよう配置される、請求項20に記載の装置。
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