JP5672734B2 - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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図1に示す半導体装置1は、基板2上に複数の半導体層が積層された構造を有している。ここでは、基板2上に、バッファ層3を介して、電子ドリフト層4、電子ブロック層5、電子走行層6、電子供給層7及び表面保護層8が、この順に積層された場合を例示している。
図2は半導体装置の一例の要部断面模式図である。
図2に示す半導体装置1aは、基板として、n型基板2aが用いられている。n型基板2aには、例えば、n型シリコン(Si)基板、n型シリコンカーバイド(SiC)基板、n型窒化ガリウム(GaN)基板を用いることができる。n型基板2aには、例えば、比較的高濃度のn型不純物がドーピングされる。
電子供給層となるAlGaN層7aの厚さは、例えば、30nmとすることができる。AlGaN層7aのAl組成は、例えば、0.2(20%)とすることができる。尚、AlGaN層7aをn型とする場合には、例えば、n型不純物であるSiを、1×1017/cm3〜1×1020/cm3程度ドーピングすればよい。
また、n型基板2aの裏面(ソース電極13a等が配設されている側と反対側の面)には、例えばGaN基板の場合、TiとAlの積層構造から形成されるドレイン電極15aが形成されている。ドレイン電極15aは面積が大きくとれるため、オーミック接触がとれる金属の制限は緩い。
図3(A),(B)には、半導体装置1aに含まれる複数のGaN系縦型トランジスタを、互いに直交する2方向に配列したレイアウトを例示している。尚、図3(A),(B)には、図2に示したようなソース配線14aを除いた、複数のGaN系縦型トランジスタを含む半導体装置1aを平面視で模式的に図示している。上記の図2は、図3(A),(B)のM−M線の位置に相当する断面を模式的に図示したものになる。ここでは、ソース電極13aとゲート電極11aの配置関係を中心に、半導体装置1aのレイアウトを説明する。
図4及び図5は半導体装置のバンド図の一例である。
尚、図4及び図5には、電子供給層としてn型のAlGaN層7aを用いた半導体装置1aのバンド図の一例を示している。また、図4及び図5に示す半導体装置1aのn型基板2aは、n型Si基板としている。n型基板2a、n型AlGaN層3a、n型GaN層4a及びn型AlGaN層5aのドーパント濃度は、n型基板2aで最も高く(n++)、次いでn型AlGaN層3aで高く(n+)、n型GaN層4a及びn型AlGaN層5aをより低く(n-)している。
まず、図4(B)に示した、ドレイン電圧Vd及びゲート電圧Vgがいずれも0Vである場合について述べる。この場合、アンドープGaN層6aには、AlGaN層7aとのヘテロ接合に起因して2DEG16aが生成されるものの、アンドープGaN層6aからn型GaN層4aへの電子移動がn型AlGaN層5aでブロックされる。そのため、ソース電極13aからドレイン電極15aへの電子の流れは抑えられる。
尚、ここではGaN、AlGaNを用いた半導体装置1aを例にして動作を説明したが、InGaN、InAlGaNを用いた場合にも、その半導体装置は、ここで述べたのと同様の動作をさせることができる。
図6は半導体装置の別例の要部断面模式図である。
図6に示す半導体装置100は、n型SiC基板等のn型基板101上に、窒化アルミニウム(AlN)層102を介して、n型GaN層103、p型GaN層104、n型GaN層105が形成された構造を有している。半導体装置100では、AlN層102がバッファ層として、n型GaN層103が電子ドリフト層として、p型GaN層104が電子ブロック層として、n型GaN層105が電子走行層として、それぞれ機能する。半導体装置100は更に、p型GaN層104を貫通するゲート電極106、n型GaN層105に接続されたソース電極107、及びn型基板101の裏面に形成されたドレイン電極108を有している。ゲート電極106の周囲は、絶縁膜109,110で覆われている。また、各ソース電極107は、ソース配線111により接続されている。
図8に示すように、シミュレーションする半導体装置30としては、簡単のため、n型GaN層31(電子ドリフト層)上に、アンドープAlGaN層32(電子ブロック層)、及びn型GaN層33(電子走行層)を積層した構造のものを用いている。アンドープAlGaN層32のAl組成は、0.4(40%)としている。半導体装置30では、n型GaN層33及びアンドープAlGaN層32を貫通してn型GaN層31に達するように、絶縁膜34及びゲート電極35を配置し、また、n型GaN層33上にソース電極36、n型GaN層31下にドレイン電極37を配置している。尚、絶縁膜34は、ここでは、厚さ100nmのSiN膜としている。
図2に示したような構成を有する半導体装置1aの形成では、まず、n型基板2a上に、n型AlGaN層3a、n型GaN層4a、n型AlGaN層5a、アンドープGaN層6a、AlGaN層7a及びn型GaN層8aを、順に形成する。
その後は、必要に応じてn型基板2aの裏面を研磨することにより、n型基板2aを所定の厚さにする。そして、n型基板2aの表面側に、ソース電極13aに接続されるソース配線14aを形成し、n型基板2aの裏面に、ドレイン電極15aを形成する。これにより、図2及び図3に例示したような構成を有する半導体装置1aを得ることができる。
また、上記の半導体装置1aでは、縦型構造を採用し、耐圧確保のためにソース電極13aとドレイン電極15aの間の距離が大きくなることによって増加し得るオン抵抗を、AlGaN/GaNへテロ接合構造を採用することで低く抑えることが可能になっている。即ち、AlGaN/GaNへテロ接合構造によって発生する高濃度のキャリアを利用し、半導体装置1aのオン抵抗低減を図っている。これにより、高耐圧、低損失、低オン抵抗の半導体装置1aが実現可能となる。
(付記1) 基板と、
前記基板の上方に形成された第1半導体層と、
前記第1半導体層上に形成された第2半導体層と、
前記第2半導体層内に形成された第1電極と、
前記第2半導体層上に形成され、第3半導体層と前記第3半導体層上の第4半導体層とを含み、前記第3半導体層内に2次元電子ガスが生成される積層半導体と、
前記積層半導体に接続された第2電極と、
前記基板に接続された第3電極と、
を含むことを特徴とする半導体装置。
(付記6) 前記第2半導体層は、第1開口部を有し、前記第1開口部に、絶縁膜を介して、前記第1電極が形成されることを特徴とする付記1乃至5のいずれかに記載の半導体装置。
前記絶縁膜及び前記第1電極は、前記第1開口部、前記第2開口部及び前記第3開口部に跨って形成されることを特徴とする付記6に記載の半導体装置。
前記第1半導体層上に第2半導体層を形成する工程と、
前記第2半導体層上に、第3半導体層と前記第3半導体層上の第4半導体層とを含み、前記第3半導体層内に2次元電子ガスが生成される積層半導体を形成する工程と、
前記第2半導体層内に第1電極を形成する工程と、
前記積層半導体に接続された第2電極を形成する工程と、
前記基板に接続された第3電極を形成する工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
形成された前記第1開口部に、絶縁膜を介して、前記第1電極を形成することを特徴とする付記8に記載の半導体装置の製造方法。
前記第1開口部、前記第2開口部及び前記第3開口部に跨って、前記絶縁膜及び前記第1電極を形成することを特徴とする付記9に記載の半導体装置の製造方法。
2 基板
2a,101 n型基板
3 バッファ層
3a,5a n型AlGaN層
4 電子ドリフト層
4a,8a,31,33,103,105 n型GaN層
5 電子ブロック層
6 電子走行層
6a アンドープGaN層
7 電子供給層
7a AlGaN層
8 表面保護層
9,9a 開口部
10,10a,12,12a,34,109,110 絶縁膜
11,11a,35,106 ゲート電極
13,13a,36,107 ソース電極
14,14a,111 ソース配線
15,15a,37,108 ドレイン電極
16,16a 2DEG
32 アンドープAlGaN層
102 AlN層
104 p型GaN層
Claims (5)
- 基板と、
前記基板の上方に形成されたn型の第1半導体層と、
前記第1半導体層の上方に形成されたn型又はアンドープの第2半導体層と、
前記第2半導体層内に形成されたゲート電極と、
前記第2半導体層の上方に形成され、アンドープの第3半導体層と前記第3半導体層の上方のn型又はアンドープの第4半導体層とを含み、前記第3半導体層内に2次元電子ガスが生成される積層半導体と、
前記積層半導体内に接続されたソース電極と、
前記基板に接続されたドレイン電極と、
を含み、
前記第1半導体層及び前記第3半導体層は、それぞれ第1電子親和力及び第3電子親和力を有し、前記第2半導体層は、前記第1電子親和力及び前記第3電子親和力よりも小さい第2電子親和力を有し、前記第4半導体層は、前記第3電子親和力よりも小さい第4電子親和力を有し、
前記ソース電極から前記第3半導体層内の2次元電子ガスに沿って前記ゲート電極近傍へ延び、更に前記ゲート電極近傍から前記第2半導体層を介して前記ドレイン電極へ延びる電流経路が形成されることを特徴とする半導体装置。 - 前記第1半導体層及び前記第3半導体層は、構成元素として窒素及びガリウムを含み、前記第2半導体層及び前記第4半導体層は、構成元素として窒素、アルミニウム及びガリウムを含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1半導体層、前記第2半導体層、前記第3半導体層、前記第4半導体層のうちの少なくとも1層は、インジウムを含むことを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 前記第2半導体層は、第1開口部を有し、前記第1開口部に、絶縁膜を介して、前記ゲート電極が形成されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体装置。
- 基板の上方にn型の第1半導体層を形成する工程と、
前記第1半導体層の上方にn型又はアンドープの第2半導体層を形成する工程と、
前記第2半導体層の上方に、アンドープの第3半導体層と前記第3半導体層の上方のn型又はアンドープの第4半導体層とを含み、前記第3半導体層内に2次元電子ガスが生成される積層半導体を形成する工程と、
前記第2半導体層内にゲート電極を形成する工程と、
前記積層半導体内に接続されたソース電極を形成する工程と、
前記基板に接続されたドレイン電極を形成する工程と、
を含み、
前記第1半導体層及び前記第3半導体層は、それぞれ第1電子親和力及び第3電子親和力を有し、前記第2半導体層は、前記第1電子親和力及び前記第3電子親和力よりも小さい第2電子親和力を有し、前記第4半導体層は、前記第3電子親和力よりも小さい第4電子親和力を有し、
前記ソース電極から前記第3半導体層内の2次元電子ガスに沿って前記ゲート電極近傍へ延び、更に前記ゲート電極近傍から前記第2半導体層を介して前記ドレイン電極へ延びる電流経路が形成されることを特徴とする半導体装置の製造方法。
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