JP5663722B2 - 粒子光学部品 - Google Patents
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Description
E1は、第1の設定における物体平面の電界であり、
E2は、第2の設定における物体平面の電界である。
図2は、図1に示す電子顕微鏡システムにおいて用いられ得る対物レンズ装置の一実施の形態の概略図であり、
図3は、図2に示す磁界生成部品の機能を説明するための電極構成を示し、
図4は、図2に示す対物レンズ装置のビーム管の下部の拡大図を示し、
図5は、図2に示す対物レンズ装置の実施の形態によって提供される光軸に沿った複数の物理的特性を示し、
図6a、図6bは、図1に示す電子顕微鏡システムの物体平面における平均入射角の半径方向依存を説明するためのグラフを示し、
図7は、本発明に係る対物レンズ装置のさらなる実施の形態を概略的に示し、
図8は、本発明に係る対物レンズ装置のさらに別の実施の形態を示し、
図9は、ビーム経路スプリッタ装置の例示的な一実施の形態を示し、
図10は、図8に示す実施の形態において用いられる冷却構造を示し、
図11は、図8に示す実施の形態において第2及び第3の磁極片を支持するための取付構造において用いられる調整機構を示し、
図12は、図8に示す実施の形態に組み込まれた加熱システムを示し、
図13は、図8に示す実施の形態の詳細を示す。
Claims (48)
- 粒子光学検査システムであって、
対称軸に関して実質的に回転対称である第1の磁極片及び第2の磁極片であって、前記第1の磁極片の半径方向内端部は、前記第2の磁極片の半径方向内端部から距離を隔てて配置されて第1の間隙を形成し、前記第1及び第2の磁極片は、互いに電気的に絶縁されている、第1の磁極片及び第2の磁極片と、
前記第1の間隙の領域に集束磁界を生成するための第1の励磁コイルと、
前記第1の磁極片の前記半径方向内端部によって形成される穴を通って延びるビーム管と、
前記ビーム管に電圧を供給するための第1の電圧源と
を含む対物レンズ装置を含み、
前記粒子光学検査システムは、少なくとも1つの磁界装置を含むビーム経路スプリッタ装置をさらに含み、
前記ビーム経路スプリッタ装置の前記少なくとも1つの磁界装置の下端は、物体平面から第1の距離を隔てて配置され、前記第1の励磁コイルの上端は、前記物体平面から第2の距離を隔てて配置され、前記第1の距離は、前記第2の距離よりも短く、
前記第1の磁極片の径方向における内側部分は、実質的に円錐状の形状を有し、前記半径方向内端部は、半径方向外端部よりも前記物体平面に近接して配置され、
前記少なくとも1つの磁界装置の前記下端は、前記第1の磁極片の前記内側部分によって形成された前記円錐内に配置されていることを特徴とする粒子光学検査システム。 - 前記少なくとも1つの磁界装置の前記下端が前記第1の磁極片の前記内側部分によって規定される空間内に配置されるように、前記対称軸に向かって延びている、請求項1に記載の粒子光学検査システム。
- 前記第1の磁極片の前記内側部分によって形成された前記円錐は、約20°〜約70°の範囲の円錐開口角を有する、請求項1に記載の粒子光学検査システム。
- 対物レンズ装置であって、
物体平面に被処理物体を取り付けるための物体取付部であって、前記物体に電圧を供給するための電気コネクタを有する物体取付部と、
対称軸に関して実質的に回転対称である第1の磁極片及び第2の磁極片であって、前記第1の磁極片の半径方向内端部は、第2の磁極片の半径方向内端部から距離を隔てて配置されてこれらの間に第1の間隙を形成し、前記第2の磁極片は、前記第1の磁極片よりも前記物体取付部に近接しており、前記第1及び第2の磁極片は、互いに電気的に絶縁されている第1の磁極片及び第2の磁極片と、
前記第1の間隙に集束磁界を生成するための第1の励磁コイルと、
前記第1の磁極片の前記半径方向内端部によって形成される穴を通って延びるビーム管と、
前記ビーム管が接地電位よりも、少なくとも約15kV高くなるように、前記ビーム管に電圧を供給するための第1の電圧源と、
前記電気コネクタが接地されるか、又は、接地電位よりも、少なくとも0.1kV低くなるように、前記電気コネクタに電圧を供給するための第2の電圧源とを含むことを特徴とする対物レンズ装置。 - 前記第1の電圧源は、前記ビーム管が接地電位よりも、少なくとも約30kV高くなるように、前記ビーム管に電圧を供給する請求項4に記載の対物レンズ装置。
- 前記第1の電圧源は、前記ビーム管が接地電位よりも、少なくとも約45kV高くなるように、前記ビーム管に電圧を供給する請求項5に記載の対物レンズ装置。
- 前記第2の電圧源は、前記電気コネクタが接地電位よりも、少なくとも約15kV低くなるように、前記電気コネクタに電圧を供給する請求項4〜6のいずれかに記載の対物レンズ装置。
- 前記第2の電圧源は、前記電気コネクタが接地電位よりも、少なくとも約30kV低くなるように、前記電気コネクタに電圧を供給する請求項7に記載の対物レンズ装置。
- 前記第2の電圧源は、前記電気コネクタが接地電位よりも、少なくとも約45kV低くなるように、前記電気コネクタに電圧を供給する請求項8に記載の対物レンズ装置。
- 前記第2の磁極片の電位が、前記電気コネクタの電位よりも、約0.1kV〜約10kV高くなるように、前記第2の磁極片に電圧を供給するための第3の電圧源をさらに含む、請求項4〜9のいずれかに記載の対物レンズ装置。
- 前記第3の電圧源は、可変電圧源である、請求項10に記載の対物レンズ装置。
- 前記ビーム管は、前記第1の磁極片から電気的に絶縁されている、請求項4〜11のいずれかに記載の対物レンズ装置。
- 前記第1の磁極片は、実質的に接地電位に設定されている、請求項12に記載の対物レンズ装置。
- 前記第2の磁極片に電圧を供給するための第3の電圧源をさらに含み、前記第3の電圧源は、前記電気コネクタ及び前記第2の磁極片に接続されている、請求項4に記載の対物レンズ装置。
- 前記第2の磁極片の前記半径方向内端部から距離を隔てて配置されて第2の間隙を形成する半径方向内端部を有する第3の磁極片であって、前記第1の磁極片は、絶縁層によって前記第2及び第3の磁極片から電気的に絶縁されている、第3の磁極片をさらに含む、請求項10に記載の対物レンズ装置。
- 前記絶縁層は、前記第1の磁極片の外側部分と前記第2の磁極片の外側部分との間に設けられている、請求項15に記載の対物レンズ装置。
- 前記第1の磁極片は、内側部材と外側部材とを含み、前記外側部材は、前記外側部分を含み、前記内側及び外側部材は、絶縁層によって互いに電気的に絶縁されている、請求項16に記載の対物レンズ装置。
- 前記第1の磁極片の前記外側部材は、前記第1の励磁コイルを収容するように構成され、前記第1の磁極片の前記内側部材は、前記対称軸に向かって延びる実質的に円錐状の部分を含む、請求項17に記載の対物レンズ装置。
- 前記第1の磁極片の前記内側部材は、前記ビーム管に隣接して配置され、かつ、前記ビーム管に電気的に接続されている、請求項17又は18に記載の対物レンズ装置。
- 対物レンズ装置であって、
対称軸に関して実質的に回転対称であり、前記対物レンズ装置の物体平面の同じ側に配置された第2の磁極片及び第3の磁極片であって、前記第3の磁極片の半径方向内端部は、前記第2の磁極片の半径方向内端部から距離を隔てて配置されて第2の間隙を形成し、前記第2及び第3の磁極片は、互いに電気的に接続されている、第2の磁極片及び第3の磁極片と、
前記第2の間隙に磁界を生成するための第2の励磁コイルと、
前記第2の励磁コイルに励磁電流を供給するための第2の電源であって、実質的に接地電位にある第2の電源と、
前記第2の磁極片が前記第2の励磁コイルの電位に対して、約15kVを超える差を有する電位になるように、前記第2の磁極片に電圧を供給するための第3の電圧源とを含むことを特徴とする対物レンズ装置。 - 前記第3の電圧源は、前記第2の磁極片が前記第2の励磁コイルの電位に対して、20kVを超える差を有する電位になるように、前記第2の磁極片に電圧を供給する請求項20に記載の対物レンズ装置。
- 前記第3の電圧源は、前記第2の磁極片が前記第2の励磁コイルの電位に対して、25kVを超える差を有する電位になるように、前記第2の磁極片に電圧を供給する請求項21に記載の対物レンズ装置。
- 前記第3の電圧源は、前記第2の磁極片が前記第2の励磁コイルの電位に対して、30kVを超える差を有する電位になるように、前記第2の磁極片に電圧を供給する請求項22に記載の対物レンズ装置。
- 前記対称軸に関して実質的に回転対称であり、前記対物レンズ装置の前記物体平面の前記第2及び第3の磁極片と同じ側に配置された第1の磁極片であって、前記第1の磁極片の半径方向内端部は、前記第2の磁極片の前記半径方向内端部から距離を隔てて配置されて第1の間隙を形成し、
前記第1の磁極片は、前記第2及び第3の磁極片から電気的に絶縁され、
前記第3の電圧源は、前記第2の磁極片が前記第1の磁極片の電位に対して、約15kVを超える差を有する電位になるように、前記第2の磁極片に前記電圧を供給するようにさらに構成された、第1の磁極片と、
前記第1の間隙に磁界を生成するための第1の励磁コイルとをさらに含む、請求項20〜23のいずれかに記載の対物レンズ装置。 - 前記第3の電圧源は、前記第2の磁極片が前記第1の磁極片の電位に対して、20kVを超える差を有する電位になるように、前記第2の磁極片に前記電圧を供給する請求項24に記載の対物レンズ装置。
- 前記第3の電圧源は、前記第2の磁極片が前記第1の磁極片の電位に対して、25kVを超える差を有する電位になるように、前記第2の磁極片に前記電圧を供給する請求項25に記載の対物レンズ装置。
- 前記第3の電圧源は、前記第2の磁極片が前記第1の磁極片の電位に対して、30kVを超える差を有する電位になるように、前記第2の磁極片に前記電圧を供給する請求項26に記載の対物レンズ装置。
- 前記第2の励磁コイルに冷却媒体を供給するための冷却媒体源を有する冷却システムであって、前記冷却媒体源は、実質的に接地電位にある、冷却システムをさらに含む、請求項20〜27のいずれかに記載の対物レンズ装置。
- 対物レンズ装置であって、
対称軸に関して実質的に回転対称であり、前記対物レンズ装置の物体平面の同じ側に配置された第2の磁極片及び第3の磁極片であって、前記第3の磁極片の半径方向内端部は、前記第2の磁極片の半径方向内端部から距離を隔てて配置されて第2の間隙を形成し、前記第2及び第3の磁極片は、互いに電気的に接続されている、第2の磁極片及び第3の磁極片と、
前記第2の間隙に磁界を生成するための第2の励磁コイルであって、絶縁ワイヤの複数の巻線を含み、前記第2及び第3の磁極片のうちの少なくとも1つに対して前記第2の励磁コイルを支持するために少なくとも1つのさらなる絶縁層が設けられている、第2の励磁コイルと、
前記第2の磁極片が前記第2の励磁コイルの電位に対して、約15kVを超える差を有する電位になるように、前記第2の磁極片に電圧を供給するための第3の電圧源とを含むことを特徴とする対物レンズ装置。 - 前記第3の電圧源は、前記第2の磁極片が前記補償コイルの電位に対して、20kVを超える差を有する電位になるように、前記第2の磁極片に電圧を供給する請求項29に記載の対物レンズ装置。
- 前記第3の電圧源は、前記第2の磁極片が前記補償コイルの電位に対して、25kVを超える差を有する電位になるように、前記第2の磁極片に電圧を供給する請求項30に記載の対物レンズ装置。
- 前記第3の電圧源は、前記第2の磁極片が前記補償コイルの電位に対して、30kVを超える差を有する電位になるように、前記第2の磁極片に電圧を供給する請求項31に記載の対物レンズ装置。
- 前記第3の電圧源は、前記第2の磁極片が前記補償コイルの電位に対して、45kVを超える差を有する電位になるように、前記第2の磁極片に電圧を供給する請求項32に記載の対物レンズ装置。
- 前記対称軸に関して実質的に回転対称であり、前記対物レンズ装置の前記物体平面の前記第2及び第3の磁極片と同じ側に配置された第1の磁極片であって、前記第1の磁極片の半径方向内端部は、前記第2の磁極片の前記半径方向内端部から距離を隔てて配置されて第1の間隙を形成し、
前記第1の磁極片は、前記第2及び第3の磁極片から電気的に絶縁され、
前記第3の電圧源は、前記第2の磁極片が前記第1の磁極片の電位に対して、約15kVを超える差を有する電位になるように、前記第2の磁極片に前記電圧を供給するようにさらに構成された、第1の磁極片と、
前記第1の間隙に磁界を生成するための第1の励磁コイルとをさらに含む、請求項29に記載の対物レンズ装置。 - 前記第3の電圧源は、前記第2の磁極片が前記第1の磁極片の電位に対して、20kVを超える差を有する電位になるように、前記第2の磁極片に電圧を供給する請求項34に記載の対物レンズ装置。
- 前記第3の電圧源は、前記第2の磁極片が前記第1の磁極片の電位に対して、25kVを超える差を有する電位になるように、前記第2の磁極片に電圧を供給する請求項35に記載の対物レンズ装置。
- 前記第3の電圧源は、前記第2の磁極片が前記第1の磁極片の電位に対して、30kVを超える差を有する電位になるように、前記第2の磁極片に電圧を供給する請求項36に記載の対物レンズ装置。
- 前記第2の励磁コイルに冷却媒体を供給するための冷却媒体源を有する冷却システムをさらに含む、請求項29〜37のいずれかに記載の対物レンズ装置。
- 対物レンズ装置であって、
物体平面に被処理物体を取り付けるための物体取付部であって、前記物体に電圧を供給するための電気コネクタを有する物体取付部と、
対称軸に関して実質的に回転対称である第3の磁極片であって、前記対称軸に対して横方向に延びる第3の磁極片と、
前記第3の磁極片が前記電気コネクタの電位に対して、約0.1kV〜10kVの差を有する電位になるように、前記第3の磁極片に電圧を供給するための第3の電圧源と、
前記第3の磁極片から電気的に絶縁され、前記第3の磁極片と前記物体取付部との間に配置された遮蔽電極とを含み、
前記第3の磁極片は、前記物体取付部に対向する表面を有し、前記表面が前記物体平面と実質的に平行に延びている半径方向内側環状部を前記物体平面から第1の距離を隔てて有するとともに、前記表面が前記物体平面と実質的に平行に延びる半径方向外側環状部を前記物体平面から第2の距離を隔てて有し、前記第2の距離は、前記第1の距離よりも大きく、
前記遮蔽電極は、内部開口を有し、前記第3の磁極片の前記内側環状部の半径方向外端部は、半径方向において前記遮蔽電極の前記内部開口内に配置されていることを特徴とする対物レンズ装置。 - 前記遮蔽電極は、前記物体取付部の前記電気コネクタに電気的に接続されている、請求項39に記載の対物レンズ装置。
- 前記遮蔽電極は、実質的に環状の形状を有し、前記対称軸は、前記環状の形状によって形成される内部開口を通過する、請求項39又は40に記載の対物レンズ装置。
- 前記半径方向外側環状部は、前記物体平面に対して30°未満の角度で配置されている、請求項39に記載の対物レンズ装置。
- 前記半径方向内側環状部は、前記物体平面に対して20°未満の角度で配置されている、請求項39または42に記載の対物レンズ装置。
- 第2の磁極片をさらに含み、
前記第3の磁極片の半径方向内端部及び前記第2の磁極片の半径方向内端部は、これらの間に間隙を形成し、前記第2の磁極片は、前記第3の磁極片に面する表面を有する内側斜行部分を有し、前記第3の磁極片は、前記第2の磁極片に面する表面を有する斜行部分(angular portion)を有し、前記第3及び第2の磁極片の互いに面する表面は、40°未満の角度をそれらの間に形成している、請求項39、42または43に記載の対物レンズ装置。 - 前記第3及び第2の磁極片の互いに面する表面は、35°未満の角度をそれらの間に形成している、請求項44に記載の対物レンズ装置。
- 前記間隙は、実質的に半径方向の間隙である、請求項44または45に記載の対物レンズ装置。
- 前記第2の磁極片は、半径方向内側部分を有し、前記第3の磁極片に面する前記表面は、前記第3の磁極片の前記内側環状部の前記第2の磁極片に面する前記表面に対して、約3°〜約35°の角度をなして配置されている、請求項44〜46のいずれかに記載の対物レンズ装置。
- 対物レンズ装置であって、
物体平面に被処理物体を取り付けるための物体取付部と、
対称軸に関して実質的に回転対称である第1の磁極片及び第2の磁極片であって、前記第1の磁極片の半径方向内端部は、前記第2の磁極片の半径方向内端部から距離を隔てて配置されて第1の間隙を形成し、前記第2の磁極片は、前記第1の磁極片よりも前記物体取付部に近接している、第1の磁極片及び第2の磁極片と、
前記第1の間隙に集束磁界を生成するための第1の励磁コイルと、
前記第1の磁極片の前記半径方向内端部によって形成される穴を通って延びるビーム管であって、前記穴は、前記穴の直径が最小直径である第1の平面から前記第1の磁極片の前面部が配置された第2の平面まで延び、前記前面部は、前記第1の磁極片の前記物体平面に最も近接して配置された部分であり、前記前面部における前記穴の直径は、前面直径であり、前記前面直径と前記最小直径との差は、約10mmよりも大きく、前記第1及び第2の平面間の距離は、約5mmよりも大きい、ビーム管と、
前記ビーム管が前記第2の磁極片の電位と異なる電位になるように、前記ビーム管に電圧を供給するための第1の電圧源とを含むことを特徴とする対物レンズ装置。
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