JP5657220B2 - プローブピン用ソケット及びプローブユニット - Google Patents
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Description
両端に位置するプランジャー(例えば、図1のプランジャー131,135)と、
前記各プランジャーに各一端が接続されている互いに異なる強度の弾性体(例えば、図1のスプリング132,134)と、を備える。
120 ソケット
121 第1基板
122 第2基板
123 導電部
124 ラウンド
131 プランジャー
132 スプリング
133 バレル
134 スプリング
135 プランジャー
200 パッケージ基板
300 対向基板
図1は、本発明の実施形態1のプローブユニットに用いられるプローブピン130の模式的な構成図である。
図5は、本発明の実施形態2のプローブユニットに用いられるプローブピン130の模式的な構成図である。図5に示すプローブピン130は、図1に示したものの変形例である。なお、図5において、図1に示した部分と同様の部分には、同一符号を付してある。
図6は、本発明の実施形態3のプローブユニットに用いられるプローブピン130とプローブピン130が収容されたソケット120とを有するプローブユニット100の模式的な構成を示す断面図である。
Claims (4)
- 一端に位置していて検査対象に接触される先端部と、当該先端部から延びる柱部の下部に位置する鍔部と、当該鍔部から延びている脚部とを有する相対的に大きな第1のプランジャーと、
他端に位置していて対向基板上のパッドに接触される先端部を有する相対的に小さな第2のプランジャーと、
前記第1のプランジャーの袴部で一端が受けられていて他端がソケットを構成するパーツで受けられていて前記脚部に収まる態様で通される相対的に強度のある第1の弾性体と、
前記第2のプランジャーで一端が受けられていて他端が前記第1のプランジャーの脚部の先端で受けられていて前記第1のプランジャーのうち脚部のみが収容される部位内に通される相対的に強度のない第2の弾性体と、
を備えるプローブピンの第2のプランジャーを受ける段差と前記第1の弾性体の一端を受ける段差とが形成されているホールと、
前記ホールの内壁のうち少なくとも前記プローブピンの2点間に跨って接する態様で位置する導電性体と、
を備え、
前記第1の弾性体又は前記第1のプランジャーの交換と、前記第2の弾性体又は前記第2のプランジャーの交換とを別々に行えるように構成された複数のパーツを有するICソケット。 - 請求項1記載のICソケットと、
前記プローブピンと、
を備える、プローブシステム。 - 前記プローブピンは、前記各プランジャーと前記各弾性体とが導電性材料からなる、請求項2記載のプローブシステム。
- 前記第1のプランジャーの先端は突起形状であり、
前記第2の弾性体に接続されるプランジャーの先端は平面形状である、
請求項2記載のプローブシステム。
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