JP6230934B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
これにより、仮に作業者がウェーハWのサイズに対応した保持テーブルの交換を忘れたり、交換した保持テーブルのサイズ入力を誤ったりしたとしても、保持テーブル12でウェーハWが十分に保持されないという問題も発生しないし、クランプ手段20でフレームFを保持テーブル12の保持面120aよりも下方に引き下げない状態で切削ブレード32によってフレームFを切削してしまう等の不具合の発生を低減できる。
4:載置台 5:仮置き領域
6:第一の搬送手段 6a:搬入出部 6b:搬送部 7:第二の搬送手段
8:撮像手段 9:洗浄領域
10:カセットサイズ検出手段
100a:第一カセット検出センサ 100b:第二カセット検出センサ
11a,11b:カセット位置決め部材
12,12A,12B:保持テーブル 120:保持部 120a:保持面
121:金属枠体 121a:上面 13:テーブルベース 14:モータ
15:カバー 16:X方向送り手段 160:ボールネジ 161:モータ
162:ガイドレール 163:移動基台
17:Y方向送り手段 170:ボールネジ 171:モータ
172:ガイドレール 173:立設基台
18:Z方向送り手段 180 ボールネジ 181:モータ
182:ガイドレール 183:支持部 19:テーブル載置部
20:クランプ手段 200:ガイド部 201:フレーム載置部
201a,201b:貫通孔 202:固定部 203:回転駆動部
204:フレーム押さえ部
30:切削手段 31:切削ブレード 32:スピンドル 33:スピンドルハウジング
40:サイズ検出手段 400a:第一光センサ 400b:第二光センサ
50:表示モニター 51:スピーカー 52:警告表示灯 53:警告発信手段
60:制御手段
Claims (1)
- 被加工物を保持する保持テーブルと、
該保持テーブルで保持された被加工物を切削する切削ブレードを有した切削手段と、
該保持テーブルのサイズを検出するサイズ検出手段と、
被加工物を複数収容可能なカセットが載置される載置台と、
該載置台に載置されたカセットのサイズを検出するカセットサイズ検出手段と、
該載置台に載置されたカセットから被加工物を該保持テーブルへと搬送する搬送手段と、
該サイズ検出手段によって検出された該保持テーブルのサイズと該カセットサイズ検出手段によって検出されたカセットのサイズとが対応していない場合に警告を発する警告発信手段と、を備えた切削装置。
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Family Applications (1)
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