JP5629545B2 - プローブカード及び検査装置 - Google Patents
プローブカード及び検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5629545B2 JP5629545B2 JP2010232441A JP2010232441A JP5629545B2 JP 5629545 B2 JP5629545 B2 JP 5629545B2 JP 2010232441 A JP2010232441 A JP 2010232441A JP 2010232441 A JP2010232441 A JP 2010232441A JP 5629545 B2 JP5629545 B2 JP 5629545B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe card
- pogo pin
- pogo
- support
- sheet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
まず、本発明の第1実施形態について説明する。本実施形態に係る検査装置としては、本実施形態のプローブカードを備えた検査装置すべてを用いることができる。以下では、プローブカード以外の構成が、特許文献1のプローバと同様であるとし、特許文献1のプローバと同一部材には同一符号を付してその説明を省略し、プローブカードを中心に説明する。
検査が終了したウェハ11は、例えば搬送装置によって取り外され、新しいウェハ11が搭載されて、上記検査が繰り返される。
[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態では、プローブカード以外の検査装置の構成が、第1実施形態の検査装置と同様であるため、同一部材には同一符号を付してその説明を省略し、プローブカードを中心に説明する。
[第3実施形態]
次に、本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態は、第2実施形態における中間絶縁シート69及び上段絶縁シート71の改良に関するものである。このため、第2実施形態と同一部材には同一符号を付してその説明を省略し、中間絶縁シートを中心に説明する。図12は本実施形態に係るプローブカードの絶縁シートを示す平面図、図13は図12の絶縁シートの要部を示す拡大図である。
[変形例]
なお、前記第1実施形態では、絶縁シートを2枚(中間絶縁シート49及び上段絶縁シート51)にしたが、ポゴピン12の寸法等の諸条件に合わせて、絶縁シートを1枚又は3枚以上にしてもよい。これは、第2実施形態及び第3実施形態においても同様である。この場合も、前記各実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
Claims (11)
- 被検査体の各電極に電気的に接触される複数のポゴピンを備えたプローブカードにおいて、
試験装置に接続される配線が配設された配線基板と、前記各ポゴピンを支持する支持基板を備え、
当該支持基板が、前記各ポゴピンの下部を位置決めして支持する堅牢な支持部材と、前記各ポゴピンの中間部を支持する柔軟性のあるシート状支持部材とを備え、前記各ポゴピンの上部を支持する支持部材を備えない
ことを特徴とするプローブカード。 - 請求項1に記載のプローブカードにおいて、
前記支持部材が、前記ポゴピンの下部が通る下部支持穴を備え、前記各ポゴピンの下部を位置決めして摺動可能に保持し、
前記シート状支持部材が、前記ポゴピンの中間部が通る支持穴を備え、隣接するポゴピン間でのショートを防止すると共に各ポゴピンを柔軟に支持して各ポゴピンの垂直性を保持することを特徴とするプローブカード。 - 請求項2のプローブカードにおいて、
前記各ポゴピンは、前記支持基板に前記支持部材の前記下部支持穴と前記シート状支持部材の前記支持穴を貫通して支持され、前記各ポゴピンの上端部は前記配線基板の電極パッドに接触していることを特徴とするプローブカード。 - 請求項1乃至3にいずれか1項に記載のプローブカードにおいて、
前記シート状支持部材の内部や表面に、当該シート状支持部材の伸縮に伴う撓みを抑える補強膜を施したことを特徴とするプローブカード。 - 請求項4に記載のプローブカードにおいて、
前記補強膜が、前記シート状支持部材の表面や複数層構造の中間層に施されたメッキ等の薄膜で構成され、当該薄膜がパターンを施して又はベタ面状に設けられたことを特徴とするプローブカード。 - 請求項5に記載のプローブカードにおいて、
前記補強膜のパターンが、前記ポゴピンの中間部が通る前記シート状支持部材に設けられた支持穴の周縁を囲繞して施されたことを特徴とするプローブカード。 - 請求項1乃至6のいずれか1項に記載のプローブカードにおいて、
前記シート状支持部材が、2枚設けられて、前記ポゴピンの中間位置を2カ所で支持することを特徴とするプローブカード。 - 請求項1乃至7のいずれか1項に記載のプローブカードにおいて、
前記ポゴピンは、圧縮バネを包み込む筒状のバレルである上端針部と、前記バレルの中に入り込み前記圧縮バネに当接するプランジャーである下端針部とを備え、
前記支持部材は、前記ポゴピンの前記下端針部を支持し且つ摺動を許し、前記シート状支持部材は、前記ポゴピンの前記上端針部を単に支持することを特徴とするプローブカード。 - 請求項1乃至8のいずれか1項に記載のプローブカードにおいて、
前記各ポゴピンの中間部を保持する前記シート状支持部材を、当該中間部の位置で支持するスペーサーを有し、当該スペーサーが着脱自在に、かつ、前記シート状支持部材の設置枚数に応じた数だけ取り付けられることを特徴とするプローブカード。 - 請求項9に記載のプローブカードにおいて、
前記スペーサーの厚さが、前記シート状支持部材の設置枚数及び前記プローブの寸法に合わせて調整されることを特徴とするプローブカード。 - プローブカードを備えた検査装置において、
前記プローブカードとして、請求項1乃至10のいずれか1項に記載のプローブカードを用いたことを特徴とする検査装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010232441A JP5629545B2 (ja) | 2009-12-18 | 2010-10-15 | プローブカード及び検査装置 |
TW99142361A TWI416122B (zh) | 2009-12-18 | 2010-12-06 | 探針卡及檢查裝置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009287564 | 2009-12-18 | ||
JP2009287564 | 2009-12-18 | ||
JP2010232441A JP5629545B2 (ja) | 2009-12-18 | 2010-10-15 | プローブカード及び検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011145279A JP2011145279A (ja) | 2011-07-28 |
JP5629545B2 true JP5629545B2 (ja) | 2014-11-19 |
Family
ID=44460245
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010232441A Active JP5629545B2 (ja) | 2009-12-18 | 2010-10-15 | プローブカード及び検査装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5629545B2 (ja) |
TW (1) | TWI416122B (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103245807B (zh) * | 2012-02-06 | 2015-11-25 | 景美科技股份有限公司 | 探针单元结构及其制作方法 |
JP6031238B2 (ja) * | 2012-03-09 | 2016-11-24 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハ検査用インターフェース及びウエハ検査装置 |
JP6182974B2 (ja) * | 2013-05-20 | 2017-08-23 | 日本電産リード株式会社 | 基板検査方法 |
JP6245876B2 (ja) * | 2013-07-26 | 2017-12-13 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブカード |
TW201537181A (zh) * | 2014-03-25 | 2015-10-01 | Mpi Corp | 垂直式探針裝置及使用於該垂直式探針裝置之支撐柱 |
KR102116661B1 (ko) * | 2014-06-02 | 2020-06-01 | (주)케미텍 | 테스트 장치의 커넥터 시스템 |
JP6411169B2 (ja) | 2014-10-22 | 2018-10-24 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接触子及び電気的接続装置 |
TWI570416B (zh) * | 2015-12-01 | 2017-02-11 | The probe base of the vertical probe device | |
IT201600079679A1 (it) * | 2016-07-28 | 2018-01-28 | Technoprobe Spa | Scheda di misura di dispositivi elettronici |
JP6872943B2 (ja) * | 2017-03-24 | 2021-05-19 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接続装置 |
JP7075725B2 (ja) * | 2017-05-30 | 2022-05-26 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接続装置 |
JP2018116066A (ja) * | 2018-04-11 | 2018-07-26 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接触子及び電気的接続装置 |
JP7371885B2 (ja) * | 2019-07-08 | 2023-10-31 | ヤマハファインテック株式会社 | 電気検査装置及び保持ユニット |
JP2021188947A (ja) * | 2020-05-27 | 2021-12-13 | 株式会社日本マイクロニクス | 光学的接続子保持構造及び接続装置 |
CN114137384A (zh) * | 2020-09-04 | 2022-03-04 | 思达科技股份有限公司 | 测试装置 |
CN117434318B (zh) * | 2023-12-20 | 2024-03-05 | 安盈半导体技术(常州)有限公司 | 一种组合式探针卡 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0650991A (ja) * | 1992-07-31 | 1994-02-25 | Toho Denshi Kk | プローブ装置 |
US7071715B2 (en) * | 2004-01-16 | 2006-07-04 | Formfactor, Inc. | Probe card configuration for low mechanical flexural strength electrical routing substrates |
JP2006153723A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Japan Electronic Materials Corp | 垂直型コイルスプリングプローブとこれを用いたプローブユニット |
JP2007304008A (ja) * | 2006-05-12 | 2007-11-22 | Nidec-Read Corp | 基板検査用接触子、基板検査用治具及び基板検査装置 |
JP2008070146A (ja) * | 2006-09-12 | 2008-03-27 | Yokowo Co Ltd | 検査用ソケット |
JP2009139298A (ja) * | 2007-12-10 | 2009-06-25 | Tokyo Electron Ltd | プローブカード |
JP2009162483A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Micronics Japan Co Ltd | 電気的接続装置 |
-
2010
- 2010-10-15 JP JP2010232441A patent/JP5629545B2/ja active Active
- 2010-12-06 TW TW99142361A patent/TWI416122B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011145279A (ja) | 2011-07-28 |
TWI416122B (zh) | 2013-11-21 |
TW201137357A (en) | 2011-11-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5629545B2 (ja) | プローブカード及び検査装置 | |
TWI383154B (zh) | 探針卡 | |
TWI394953B (zh) | 探針卡 | |
TWI396846B (zh) | 探針卡 | |
JP2004205487A (ja) | プローブカードの固定機構 | |
JP2010060316A (ja) | 異方性導電部材および異方導電性を有する測定用基板 | |
JP2008082912A (ja) | 電気的接続装置 | |
EP2859361B1 (en) | Probe card for an apparatus for testing electronic devices | |
TWI412751B (zh) | Inspection contact structure | |
JPWO2006064546A1 (ja) | コンタクトピン、それを用いたプローブカード及び電子部品試験装置 | |
JP2007027218A (ja) | ウェハプローバ用ウェハ保持体およびそれを搭載したウェハプローバ | |
KR100967339B1 (ko) | 웨이퍼 테스트용 프로브 카드 | |
JPWO2005083773A1 (ja) | プローブカード及びその製造方法 | |
JP5816749B2 (ja) | プローブカード固定装置、プローブ検査装置 | |
JP4789912B2 (ja) | 電気的被検体を接触させるための接点装置とそれに必要な方法 | |
JP4498829B2 (ja) | カードホルダ | |
JP2007121223A (ja) | 電気的接続装置 | |
JP5124877B2 (ja) | 電気的接続装置 | |
JP2012103125A (ja) | プローブカード | |
JP2007235171A (ja) | ウェハプローバ用ウェハ保持体およびそれを搭載したウェハプローバ | |
JP5210550B2 (ja) | 電気的接続装置 | |
KR100903290B1 (ko) | 듀얼 서포트 프레임을 갖는 프로브 카드 | |
JP2010175552A (ja) | プローブカード及びその製造方法 | |
JP5084477B2 (ja) | プローブカード | |
TW202107097A (zh) | 用於電子裝置的探針頭及相應的探針卡 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130606 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131224 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140204 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20140204 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140930 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141006 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5629545 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |