IT201600079679A1 - Scheda di misura di dispositivi elettronici - Google Patents

Description

DESCRIZIONE

Campo di applicazione

La presente invenzione fa riferimento ad una scheda di misura per un’apparecchiatura di test di dispositivi elettronici.

L'invenzione riguarda in particolare, ma non esclusivamente, una scheda di misura comprendente una testa di misura a sonde verticali per il testing di dispositivi elettronici, in particolare integrati su wafer e la descrizione che segue è fatta con riferimento a questo campo di applicazione con il solo scopo di semplificarne l’esposizione.

Arte nota

Come è ben noto, una scheda di misura è essenzialmente un dispositivo atto a mettere in collegamento elettrico una pluralità di pad di contatto di una microstruttura, in particolare un dispositivo elettronico integrato su wafer, con corrispondenti canali di una apparecchiatura di test che ne esegue la verifica di funzionalità, in particolare elettrica, o genericamente il test.

Il test effettuato su dispositivi integrati serve in particolare a rilevare ed isolare dispositivi difettosi già in fase di produzione. Normalmente, le schede di misura vengono quindi utilizzate per il test elettrico dei dispositivi integrati su wafer prima del taglio e del montaggio degli stessi all'interno di un package di contenimento di chip.

Una scheda di misura comprende in particolare una testa di misura a sua volta includente una pluralità di elementi di contatto mobili o sonde di contatto [contact probe] trattenute da almeno una coppia di piastre o guide sostanzialmente piastriformi e parallele tra loro. Tali guide sono dotate di appositi fori e poste ad una certa distanza fra loro in modo da lasciare una zona libera o zona d'aria per il movimento e l’eventuale deformazione delle sonde di contatto. La coppia di guide comprende in particolare una guida superiore, indicata usualmente con il temine inglese “upper die”, ed una guida inferiore, indicata usualmente con il temine inglese “lower die”, gli aggettivi “superiore” ed “inferiore” essendo utilizzati nel settore con riferimento ad una testa di misura durante il suo funzionamento e corrispondendo alle illustrazioni della figure, la testa essendo posizionata tra l’apparecchiatura di test (superiormente) ed un wafer comprendente i dispositivi da testare (inferiormente).

Le guide sono entrambe provviste di fori guida entro cui scorrono assialmente le sonde di contatto, normalmente formate da fili di leghe speciali con buone proprietà elettriche e meccaniche.

La testa di misura è inoltre completata da un involucro o case disposto tra le guide superiore ed inferiore, normalmente realizzato in ceramica ed atto a contenere le sonde.

Il buon collegamento fra le sonde di contatto e rispettivi pad di contatto del dispositivo da testare è assicurato dalla pressione della testa di misura sul dispositivo stesso, ovvero sul wafer che lo comprende, le sonde di contatto, mobili entro i fori guida realizzati nelle guide superiore ed inferiore, subendo in occasione di tale contatto premente una flessione, airintemo della zona d'aria tra le due guide ed uno scorrimento all’interno di tali fori guida.

Teste di misura di questo tipo sono comunemente denominate a sonde verticali ed indicate con il termine anglosassone "verticali probe head".

Le teste di misura a sonde verticali presentano in sostanza una zona d'aria in cui avviene una flessione delle sonde di contatto, ed è quindi indicata anche come zona di flessione; ulteriormente, la flessione delle sonde di contatto può essere aiutata tramite una opportuna configurazione delle sonde stesse e/o un opportuno posizionamento delle guide.

In alcuni casi, le sonde di contatto sono vincolate alla testa di misura in corrispondenza della guida superiore in maniera fissa, ad esempio mediante bonding: si parla di teste di misura a sonde bloccate.

Più frequentemente però si utilizzano teste di misura con sonde non vincolate in maniera fissa, ma tenute interfacciate ad una scheda di trasformazione spaziale della scheda di misura, comunemente indicata come "space transformer" : si parla di teste di misura a sonde non bloccate.

Una scheda di misura comprendente una testa di misura a sonde verticali non bloccate è schematicamente mostrata in figura 1, dove per semplicità di illustrazione è stata rappresentata una sola sonda di contatto della pluralità di sonde normalmente comprese in una tale testa di misura.

In particolare, la scheda di misura 10 comprende la testa di misura 1 disposta tra uno space transformer 8 ed un dispositivo da testare 7 e a sua volta includente almeno una guida superiore 3 ed una guida inferiore 4, realizzate mediante supporti piastriformi sostanzialmente piani e paralleli tra loro ed aventi rispettivi fori guida superiori 3A e fori guida inferiori 4A entro i quali scorrono rispettive sonde di contatto 2.

La testa di misura 1 comprende altresì un case 5, che funge anche da irrigiditore o stiffner e che contiene le sonde di contatto 2 ed è disposto tra le guide superiore ed inferiore, 3 e 4. Il case 5 si estende in particolare in corrispondenza di una zona d’aria o di flessione 6 tra tali guide.

Ogni sonda di contatto 2 presenta un corpo 2C sostanzialmente astiforme ed almeno un’estremità o punta di contatto 2A. Con i termini estremità o punta si indica qui e nel seguito ima porzione d’estremità, non necessariamente appuntita. In particolare la punta di contatto 2 A va in battuta su un pad di contatto 7A del dispositivo da testare 7, effettuando il contatto meccanico ed elettrico fra detto dispositivo ed una apparecchiatura di test (non rappresentata) di cui la scheda di misura 10 forma un elemento terminale.

Nell’esempio illustrato in figura 1, la sonda di contatto 2 presenta un'ulteriore estremità di contatto, usualmente indicata come testa di contatto 2B, verso una pluralità di pad di contatto 8 A dello space transformer 8. Il buon contatto elettrico tra sonde e space transformer viene assicurato in maniera analoga al contatto con il dispositivo da testare mediante la pressione delle porzioni terminali, in particolare di punta e testa, delle sonde di contatto sui rispettivi pad di contatto.

Le guide superiore 3 ed inferiore 4 sono opportunamente distanziate dalla zona d'aria o flessione 6 che consente la deformazione delle sonde di contatto 2, i fori guida superiori 3A ed inferiori 4A essendo dimensionati in modo da permettere lo scorrimento di una rispettiva sonda al loro interno. Una ulteriore zona detta di floating è definita tra la guida superiore 3 e lo space transformer 8; tale zona di floating 9 viene stabilita in modo da garantire un movimento delle teste di contatto 2B in occasione del contatto premente della testa di misura 1 - e quindi delle sonde di contatto 2 - sul dispositivo da testare 7, in particolare delle punte di contatto 2A sui pad di contatto 7A, assicurando comunque il contatto delle teste di contatto 2B con i pad di contatto 8A dello space transformer 8.

Nel caso di una testa di misura realizzata nella tecnologia detta "a piastre shiftate", le sonde di contatto 2, indicate anche come “buckling beams”, sono realizzate diritte, con sezione trasversale costante per tutta la loro lunghezza, preferibilmente rettangolare. E’ noto realizzare questo tipo di teste di misura sovrapponendo le guide in modo da mettere in corrispondenza i rispettivi fori guida, infilare le sonde di contatto in tali fori guida, distanziare le guide per formare la zona di flessione e poi disassare o shiftare tali guide, provocando una deformazione del corpo delle sonde, in una posizione sostanzialmente centrale, come illustrato in Figura 1. Si parla in tal caso di teste di misura a piastre shiftate.

E’ opportuno ricordare che il corretto funzionamento di una testa di misura e quindi della scheda di misura che la comprende è legato fondamentalmente a due parametri: lo spostamento verticale, o overtravel, delle sonde di contatto e lo spostamento orizzontale, o scrub, delle rispettive estremità di contatto, in particolare le punte di contatto 2A, il cui scrub permette di “pulire” superficialmente i pad di contatto 7A del dispositivo da testare 7, migliorando il contatto effettuato dalla testa di misura 1 per tutta la sua vita utile.

E’ altresì importante assicurare che la zona di floating 9 delle teste di contatto 2B delle sonde di contatto 2 sia dimensionata in modo da garantire il corretto contatto anche di tali teste sui pad di contatto 8A dello space transformer 8.

Tutte queste caratteristiche sono da valutare e calibrare in fase di realizzazione di una testa di misura, il buon collegamento elettrico tra sonde, dispositivo da testare e space transformer dovendo sempre essere garantito.

Le estremità di contatto delle sonde di contatto, in particolare le punte di contatto con i pad dei dispositivi da testare, sono soggette durante buso ad accumulo di materiale, genericamente indicato come sporcizia, che ne diminuisce le prestazioni e rischia dì compromettere il corretto contatto delle sonde con il dispositivo da testare, quando lo scrub di tali punte non è comunque in grado di assicurare il contatto elettrico con i pad.

E’ quindi noto effettuare operazioni di pulitura, in particolare delle punte di contatto, mediante panni abrasivi.

Ovviamente tali operazioni di pulitura comportano il consumo di una parte della porzione d’estremità delle sonde, in particolare della punta di contatto, e sono quindi limitate in numero proprio dalla lunghezza di tale punta, che si accorcia ad ogni pulizia. In particolare, ogni successiva abrasione della porzione di estremità, in particolare della punta di contatto, deve essere limitata alla porzione di sonda rastremata che sporge dalla guida inferiore verso il dispositivo da testare, che realizza la punta di contatto appunto.

Il numero di operazioni di pulitura della testa di misura ne determina di fatto la vita utile e di conseguenza la vita utile della scheda di misura che la contiene.

E’ noto dalla domanda di brevetto internazionale (PCT) pubblicata il 16.10.2014 con No. WO 2014/ 167410 a nome della presente Richiedente utilizzare un elemento distanziatore o spacer, interposto in modo rimuovibile tra l’elemento di contenimento ed una delle guide superiore ed inferiore, così da regolare la lunghezza delle porzioni di estremità delle sonde di contatto, in particolare, in corrispondenza delle punte di contatto.

Pur vantaggiosa sotto vari aspetti, tale testa di misura presenta un inconveniente legato al fatto che la variazione di lunghezza delle porzioni di estremità effettuata mediante rimozione dello spacer o di un suo strato immancabilmente modifica anche la zona d’aria o di flessione delle sonde di contatto, modificandone quindi la dinamica di contatto ed introducendo problemi in termini di forza esercitata dalle sonde sui pad di contatto ed anche di scrub realizzabile su di essi, oltre a modificare la deformazione subita dalle sonde in tale zona d’aria, con rischio di deformazioni permanenti o incastri di tali sonde nei rispettivi fori guida.

Il problema tecnico che sta alla base della presente invenzione è quello di escogitare una scheda di misura di dispositivi elettronici integrati su wafer, avente caratteristiche strutturali e funzionali tali da consentire un numero adeguato di operazioni di pulitura delle sonde di contatto contenute nella relativa testa di misura senza perdita funzionale, superando le limitazioni e gli inconvenienti che tuttora affliggono le teste realizzate secondo l'arte nota, in particolare garantendo la costanza della forza esercitata ed i meccanismi di scrub essenziali per un corretto contatto tra sonde e pad di contatto durante tutta la vita della scheda, anche in presenza di successive operazioni di pulitura.

Sommario deU'invenzione

L'idea di soluzione che sta alla base della presente invenzione è quella di realizzare una scheda di misura comprendente almeno un elemento distanziatore o spacer, disposto alTintemo della scheda, facilmente rimovibile ed eventualmente pelabile, la cui rimozione, anche parziale, non modifica l’estensione della zona di flessione delle sonde, e quindi la forza esercitata dalle stesse.

Sulla base di tale idea di soluzione il problema tecnico è risolto da una scheda di misura di un’apparecchiatura di test di dispositivi elettronici comprendente almeno una testa di misura disposta tra un dispositivo da testare ed uno strato di trasformazione spaziale o space transformer, la testa di misura comprendendo una pluralità di sonde di contatto inserite in fori guida realizzati in almeno una guida superiore ed in una guida inferiore, nonché almeno un elemento distanziatore interposto tra lo strato di trasformazione spaziale e la guida superiore.

Più in particolare, la testa di misura è dotata di una pluralità di sonde di contatto inserite in fori guida realizzati in almeno una guida superiore ed in una guida inferiore, tra tali guide superiore e inferiore essendo definita una zona di flessione per le sonde di contatto. Inoltre, ciascuna delle sonde di contatto ha almeno una prima porzione terminale che sporge di una prima lunghezza dalla guida inferiore e termina con una punta di contatto atta ad andare in battuta su un rispettivo pad di contatto di un dispositivo da testare, nonché una seconda porzione terminale che sporge di una seconda lunghezza dalla guida superiore e termina con una testa di contatto atta ad andare in battuta su un pad di contatto dello space transformer.

Opportunamente, la scheda di misura secondo la presente invenzione può comprendere ulteriormente almeno uno spacer interposto tra lo space transformer e la guida superiore della testa di misura, tale spacer essendo rimuovibile per regolare la prima lunghezza della prima porzione terminale delle sonde di contatto mediante variazione della seconda lunghezza della seconda porzione terminale delle sonde di contatto, la rimozione dello spacer consentendo un avvicinamento della testa di misura, in particolare della guida superiore, e dello space transformer appunto.

Più in particolare, l’invenzione comprende le seguenti caratteristiche supplementari e facoltative, prese singolarmente o all 'occorrenza in combinazione.

Secondo un aspetto dell’invenzione, lo spacer può avere una altezza inferiore o uguale alla seconda lunghezza della seconda porzione terminale delle sonde di contatto.

Tale spacer può inoltre avere almeno una porzione sporgente rispetto alla testa di misura e in particolare alla guida superiore.

Ulteriormente, lo spacer può comprendere una pluralità di strati sovrapposti e singolarmente rimovibili.

Tali strati possono essere solidarizzati tra loro, ad esempio mediante uno strato di materiale adesivo.

Ulteriormente, lo spacer può essere associato alla guida superiore, ad esempio mediante uno strato di materiale adesivo.

Secondo un altro aspetto dell’invenzione, gli strati dello spacer possono avere rispettive porzioni sporgenti dalla testa di misura e in particolare dalla guida superiore.

In particolare, tali porzioni sporgenti di tali strati possono avere lunghezze diverse da strato a strato.

Inoltre, gli strati possono avere una numerazione apposta sulle rispettive porzioni sporgenti in corrispondenza di una loro faccia, tale numerazione potendo comprendere un numero scritto oppure inciso oppure realizzato in rilievo o con altra tecnica sulle porzioni sporgenti oppure uno o più segni distintivi, formati da tacche o rilievi, di qualsivoglia forma e realizzati con qualsivoglia opportuna tecnica, in numero corrispondente alla numerazione desiderata.

Secondo un altro aspetto dell’invenzione, la scheda di misura può comprendere ulteriormente mezzi di trattenimento atti a solidarizzare lo space transformer e la testa di misura, nonché lo spacer, dotato di opportune sedi di alloggiamento per i mezzi di trattenimento.

In particolare, le sedi di alloggiamento per i mezzi di trattenimento possono essere fori e/o alloggiamenti aperti aventi dimensioni adatte ad alloggiare tali mezzi di trattenimento.

Ulteriormente, tali sedi di alloggiamento possono essere posizionate in corrispondenza di una porzione perimetrale della guida superiore e/o in una porzione centrale della guida superiore, contigua e concentrica alla porzione perimetrale.

Secondo un altro aspetto dell’invenzione, lo spacer può avere una forma allungata, sostanzialmente rettangolare.

Più in particolare, lo spacer può avere una forma scelta tra una paletta formata da un corpo allungato e da una testa ed una linguetta.

In alternativa, lo spacer può comprendere una cornice o frame estesa sostanzialmente come la guida superiore.

Opportunamente, tale cornice o frame che forma lo spacer può avere dimensioni tali da sporgere rispetto alla testa di misura ed in particolare alla guida, superiore oppure comprendere almeno una porzione allungata atta a sporgere rispetto alla testa di misura ed in particolare alla guida superiore.

Secondo un altro aspetto dell’invenzione, lo spacer può comprendere almeno una coppia di semicomici o semiframe estese sostanzialmente lungo lati opposti e paralleli della guida superiore, tali semicornici o semiframe che formano lo spacer potendo avere dimensioni tali da sporgere rispetto alla testa di misura ed in particolare rispetto alla guida superiore oppure comprendere almeno una porzione allungata atta a sporgere rispetto alla testa di misura ed in particolare rispetto alla guida superiore.

Secondo un altro aspetto dell’invenzione, lo spacer può essere realizzato in materiale plastico, trasparente o semitrasparente, oppure in materiale ceramico, oppure in materiale metallico oppure in materiale organico o in silicio, preferibilmente in Kapton®.

Inoltre, la scheda di misura può comprendere una pluralità di spacer disposti sulla guida superiore in posizioni, mamero e forma tali da non interferire con un corretto funzionamento delle sonde di contatto e quindi della testa di misura in essa compresa.

La presente invenzione fa altresì riferimento ad un metodo di ripristino di ima scheda di misura comprendente almeno una testa di misura dotata di una pluralità di sonde di contatto inserite in fori guida realizzati in almeno una guida superiore ed in una guida inferiore, nonché almeno uno space transformer dotato di una pluralità di pad di contatto, ciascuna delle sonde di contatto avendo almeno una prima porzione terminale che sporge di una prima lunghezza dalla guida inferiore e termina con una punta di contatto atta ad andare in battuta su un rispettivo pad di contatto di un dispositivo da testare, nonché una seconda porzione terminale che sporge di una seconda lunghezza dalla guida superiore e termina con una testa di contatto atta ad andare in battuta su uno dei pad di contatto dello space transformer, tale scheda di misura comprendendo ulteriormente almeno uno spacer interposto tra lo space transformer e la guida superiore della testa di misura, eventualmente dotato di una pluralità di strati sovrapposti e singolarmente rimuovibili, il metodo essendo caratterizzato dal fatto di comprendere le fasi di:

de-solidarizzare lo space transformer dalla testa di misura, in particolare dalla guida superiore;

rimuovere lo spacer o uno degli strati che lo compongono; avvicinare la guida superiore e lo space transformer; e - solidarizzare nuovamente la testa di misura e lo space transformer,

così da regolare la prima lunghezza della prima porzione terminale delle sonde di contatto mediante variazione della seconda lunghezza della seconda porzione terminale delle sonde di contatto e ripristinare un corretto funzionamento della testa di misura e quindi della scheda di misura che la comprende.

In particolare, la fase di rimozione può comprendere uno sfilaggio dello spacer o di uno degli strati che lo compongono.

Le caratteristiche ed i vantaggi della scheda di misura secondo l'invenzione risulteranno dalla descrizione, fatta qui di seguito, di un suo esempio di realizzazione dato a titolo indicativo e non limitativo con riferimento ai disegni allegati.

Breve descrizione dei disegni

In tali disegni:

la Figura 1: mostra schematicamente una scheda di misura di dispositivi elettronici, in particolare integrati su wafer, realizzata secondo la tecnica nota;

la Figura 2: mostra schematicamente in una vista in sezione una scheda di misura, realizzata secondo una forma di realizzazione deirinvenzione;

le Figure 3A-3D: mostrano schematicamente rispettive viste in sezione di varianti della scheda di misura realizzata secondo l’invenzione;

la Figura 4: mostra schematicamente una vista dall’alto della scheda di misura secondo l’invenzione;

le Figure 5A-5E mostrano schematicamente in rispettive viste dall’alto varianti di realizzazione di un particolare della scheda di misura realizzata secondo l’invenzione; e

le Figure 6A-6D mostrano schematicamente in rispettive viste dall’alto ulteriori varianti di realizzazione di un particolare della scheda di misura realizzata secondo l’invenzione,

Descrizione dettagliata

Con riferimento a tali figure, ed in particolare alla Figura 2, con 20 è complessivamente indicata una scheda di misura realizzata secondo l’invenzione.

E<1>opportuno notare che le figure rappresentano viste schematiche e non sono disegnate in scala, ma sono invece disegnate in modo da enfatizzare le caratteristiche importanti dell’invenzione.

Si sottolinea inoltre che accorgimenti mostrati con riferimento ad una particolare forma di realizzazione possono essere ovviamente utilizzati in combinazione con altre forme di realizzazione. Inoltre, gli stessi riferimenti numerali sono utilizzati nelle diverse figure per indicare elementi strutturalmente e funzionalmente corrispondenti.

La scheda di misura 20 comprende una testa di misura 21, a sua volta includente una pluralità di sonde di contatto 22. La testa di misura 21 comprende altresì almeno una guida superiore 23 ed una guida inferiore 24, aventi rispettivi fori guida 23 A e 24A entro i quali scorrono le sonde di contatto 22, ed è dotata di un elemento di contenimento o case 25 esteso tra tali guide. Tra la guida superiore 23 e la guida inferiore 24 è definita una zona d’aria o zona di flessione 26 dove le sonde di contatto 22 possono ulteriormente deformarsi in occasione del contatto premente delle sonde sul dispositivo da testare 27.

La testa di misura 21 illustrata è infatti del tipo "a piastre shiftate" e le guide superiore 23 e inferiore 24 sono opportunamente shiftate, le sonde di contatto 22 alloggiate nei rispettivi fori guida di tali guide essendo quindi predeformate e subendo, in occasione del contatto tra testa di misura 2 1 e dispositivo da testare 27 una ulteriore flessione e deformazione.

In particolare, la testa di misura 2 1 illustrata in Figura 2 è del tipo a sonde verticali non vincolate e le sonde di contatto 22 presentano ciascuna rispettive porzioni terminali 21A e 21B atte a realizzare un contatto meccanico ed elettrico con rispettivi pad di contatto; in particolare una prima porzione terminale 2 1A termina con una punta di contatto 22A atta ad andare in battuta su un pad di contatto 27A del dispositivo da testare 27, mentre una seconda porzione terminale 21B termina con una testa di contatto 22B atta ad andare in battuta su un pad di contatto 28A di uno strato di trasformazione spaziale o space transformer 28. In tal modo, le sonde di contatto 22 effettuano il contatto meccanico ed elettrico fra il dispositivo da testare 27 ed una apparecchiatura di test (non rappresentata) di cui la scheda di misura 20 forma un elemento terminale. Con il termine “porzione terminale” si intende, qui e nel seguito, una parte delle sonde di contatto 22 che sporge rispetto alle guide 23, 24 e quindi al case 25, in particolare in direzione del dispositivo da testare 27 o dello space transformer 28, rispettivamente. Inoltre, come in precedenza sottolineato, con il termine punta si indica una porzione d’estremità, non necessariamente appuntita.

La prima porzione terminale 21A delle sonde di contatto 22 in corrispondenza della punta di contatto 22A si estende in ima prima zona 29A tra la guida inferiore 24 ed il dispositivo da testare 27; in particolare, la prima porzione terminale 21A sporge di una opportuna prima lunghezza LA rispetto alla guida inferiore 24, con riferimento ad un piano ideale determinato dal dispositivo da testare 27 in contatto premente con la testa di misura 21, corrispondente alla lunghezza della prima zona 29A quando la testa di misura 2 1 è in contatto premente sul dispositivo da testare 27. Tale prima zona 29A consente un movimento delle punte di contatto 22A delle sonde di contatto 22 sui pad di contatto 27A del dispositivo da testare 27 durante il funzionamento della testa di misura 2 1 e della scheda di misura 20 che la comprende e viene quindi indicata come zona di scrub 29A.

Si sottolinea che la prima porzione terminale 21A riduce la sua lunghezza LA man mano la testa di misura 21 viene utilizzata in virtù dei passaggi su panno abrasivo delle sue punte, come spiegato in relazione alla tecnica nota. Sostanzialmente, la prima porzione terminale 21A si consuma durante ogni operazione di pulizia della relativa punta di contatto 22A.

Analogamente, la seconda porzione terminale 21B delle sonde di contatto 22 in corrispondenza della testa di contatto 22B si estende in una seconda zona 29B tra la guida superiore 23 e lo space transformer 28; in particolare, la seconda porzione terminale 21B sporge di una opportuna seconda lunghezza LB rispetto alla guida superiore 23, con riferimento ad un piano ideale determinato dallo space transformer 28, tale seconda lunghezza LB corrispondendo alla lunghezza della seconda zona 29B quando la testa di misura 21 è in contatto premente con lo space transformer 28, in modo analogo al dispositivo da testare 27. Tale seconda zona 29B consente un movimento delle teste di contatto 22B delle sonde di contatto 22 durante il funzionamento della testa di misura 21 e della scheda di misura 20 che la comprende e viene quindi indicata come zona di floating 29B.

Come già indicato, durante le operazioni di testing effettuate dalla scheda di misura 20, ovvero quando la testa di misura 21 è in contatto premente sul dispositivo da testare 27 e sullo space transformer 28, le sonde di contatto 22 si flettono in corrispondenza della zona di flessione 26, che si estende tra la guida superiore 23 e la guida inferiore 24 ed ha una ulteriore lunghezza L, corrispondente all'altezza del case 25. Le guide superiore 23 e inferiore 24 possono altresì comprendere una pluralità di guide, piastriformi e parallele tra loro, opportunamente separate da locali zone d’aria.

Vantaggiosamente secondo l’invenzione, nella forma di realizzazione illustrata schematicamente in Figura 2, la scheda di misura 20 comprende inoltre almeno un elemento distanziatore o spacer 30, disposto tra la guida superiore 23 e lo space transformer 28 in corrispondenza della zona di floating 29B ed avente una altezza H sostanzialmente corrispondente alla seconda lunghezza LB della zona di floating 29B, in particolare inferiore o uguale a tale seconda lunghezza LB (H < LB). Più in particolare, la scheda di misura 20 comprende almeno una coppia di spacer 30 disposti da parti opposte della testa di misura 21, come illustrato in Figura 2.

Più in generale, la scheda di misura 20 comprende una pluralità di spacer 30 disposti tra la testa di misura 21 e lo space transformer 28.

Tali spacer 30 possono essere realizzati ad esempio in materiale plastico, eventualmente trasparente o semitrasparente, in materiale ceramico, in materiale metallico, in materiale organico o in silicio, preferibilmente in Kapton®.

Inoltre, gli spacer 30 possono essere realizzati in modo da avere porzioni sporgenti 300 rispetto alla testa di misura 21, e quindi alla guida superiore 23, così da facilitare l’afferraggio e la rimozione degli spacer stessi, una volta rimossa la testa di misura 21 dalla scheda di misura 20 e quindi svincolata dallo space transformer 28, come sarà chiarito in seguito.

Opportunamente, gli spacer 30 comprendono uno o più strati sovrapposti o allineati tra loro e singolarmente rimovibili o pelabili; gli strati che compongono gli spacer 30 possono semplicemente essere appoggiati gli uni sugli altri o eventualmente solidarizzati tra loro mediante opportuni mezzi, ad esempio un materiale adesivo, quale una colla, in particolare con ridotta tenuta, così da consentire in maniera agevole la separazione degli strati l’uno dall’altro. La scheda di misura 20 di Figura 2 comprende spacer 30 composti da tre strati, indicati come 30a, 30b e 30c, a solo titolo di esempio non limitativo, gli spacer 30 potendo comprendere un numero qualsivoglia di strati* eventualmente anche uno solo. Preferibilmente, gli strati 30a-30c hanno spessore uguale, la somma degli spessori di tutti gli strati 30a.30c determinando l’altezza H dello spacer 30.

Ovviamente, è possibile considerare strati aventi spessore diverso l’uno rispetto all’altro, la somma degli spessori di tutti gli strati comunque determinando l’altezza H dello spacer 30. Opzionalmente, film di materiale adesivo, in particolare a bassa tenuta, sono interposti tra tali strati.

Vantaggiosamente secondo la presente invenzione, la scheda di misura 20 dotata di spacer 30 come sopra descritto consente di regolare la lunghezza LA delle prime porzioni terminali 21A delle sonde di contatto 22, superando così il problema del consumo delle punte di contatto 22A nel corso della vita della scheda di misura 20.

E’ infatti possibile procedere alla rimozione di uno solo o di più strati degli spacer 30 per una desiderata regolazione della lunghezza LA delle prime porzioni terminali 21A delle sonde di contatto 22. In particolare, è possibile rimuovere la testa di misura 21 dalla scheda di misura 20 e quindi svincolarla dallo space, transformer 28 per esporre gli spacer 30, eliminare uno o più degli strati che compongono tali spacer 30 e successivamente rimontare la testa di misura 21 sullo space transformer 28, riassemblando così la scheda di misura 20: la rimozione di uno o più degli strati degli spacer 30 riduce l’altezza H degli spacer 30 stessi e quindi la seconda lunghezza LB della zona di floating 29B, spingendo le sonde di contatto 22 verso il dispositivo da testare 27 quando lo space transformer 28 è riposizionato sulla testa di misura 21, ovvero ripristinando la prima lunghezza LA della prima porzione terminale 21A di tali sonde, lunghezza che si era accorciata per il consumo delle sonde di contatto 22 in corrispondenza delle rispettive punte di contatto 22A.

Opportunamente, gli strati 30a-30c degli spacer 30 possono essere realizzati in modo da avere porzioni sporgenti 300 dalla testa di misura 21. Nella variante di realizzazione illustrata in Figura 3A, tali porzioni sporgenti 300 hanno lunghezze diverse da uno strato ad un altro di uno stesso spacer 30, così da facilitare la rimozione dello stesso numero di strati per i diversi spacer 30 utilizzati. Opportunamente, tali porzioni sporgenti 300 hanno lunghezze uguali per strati corrispondenti dei diversi spacer 30, ad esempio la porzione sporgente dello strato più vicino allo space transformer 28 di tutti gli spacer 30 ha una stessa lunghezza, tale lunghezza essendo comunque maggiore di quella dei successivi strati, via via più vicini alla guida superiore 23. In particolare, tali porzioni sporgenti 300 hanno lunghezza via via decrescente dallo strato più vicino allo space transformer 28 a quello più vicino alla guida superiore 23.

E<7>altresì possibile prevedere una numerazione per tali strati 30a-30c, ad esempio con numerazione via via crescente a partire da quello più vicino allo space transformer 28, tale numerazione essendo in particolare applicata alla porzione sporgente 300 dello spacer 30, ad esempio in corrispondenza di una sua faccia Fc rivolta verso lo space transformer 28. In tal modo, guardando la testa di misura 21 dal lato dello space transformer 28, una volta rimossa la testa di misura 21 dalla scheda di misura 20, è immediatamente possibile verificare che tutti gli spacer 30 comprendono il numero desiderato di strati semplicemente leggendo tale numerazione su tutte le porzioni sporgenti 300 degli strati di tali spacer 30 più vicini allo space transformer 28. Tale numerazione può essere nella forma di un numero scritto o inciso o realizzato in rilievo o con altra tecnica su tali porzioni sporgenti 300. In alternativa, la numerazione può comprendere una pluralità di segni distintivi, quali tacche o rilievi, di qualsivoglia forma e realizzati con qualsivoglia opportuna tecnica, in numero corrispondente alla numerazione desiderata; in tal caso, ad esempio, uno strato identificato come primo strato, quale lo strato 30a di Figura 3 A comprende una sola tacca o rilievo, come un pallino inciso o in rilievo; analogamente, il secondo strato 30b potrà avere due pallini incisi o in rilievo ed il terzo strato 30c, tre pallini incisi o in rilievo.

E’ ovviamente possibile considerare spacer 30 con porzioni sporgenti di lunghezze via via crescenti dallo strato più vicino allo space transformer 28 a quello più vicino alla guida superiore 23, come illustrato schematicamente in Figura 3B.

E' altresì possibile applicare la numerazione agli strati 30a-30c degli spacer 30 in corrispondenza di una faccia opposta Fc’ rispetto alla faccia Fc, in particolare rivolta verso la testa di misura 21.

In una forma alternativa di realizzazione, gli spacer 30 sono realizzati con una forma sostanzialmente colonnare, con uno o più strati di uguale lunghezza completamente contenuti nel ingombro della testa di misura 21, come schematicamente illustrato nella Figura 3C.

Vantaggiosamente, tali spacer 30 possono comprendere opportuni mezzi, ad esempio almeno uno strato adesivo in grado di associarli alla guida superiore 23, per semplice pressione oppure essere semplicemente appoggiati a tale guida superiore 23. Nel caso in cui lo spacer 30 comprenda ima pluralità di strati 30a-30c, come illustrato ad esempio in Figura 3C, è altresì possibile prevedere opportuni mezzi, in particolare una pluralità di strati adesivi, atti a solidarizzare tali strati 30a-30c tra loro. Tali strati 30a-30c possono essere realizzati ad esempio in Kapton®.

Tali spacer 30 colonnari possono essere opportunamente dimensionati in modo da essere disposti in posizioni diverse della guida superiore 23, non necessariamente in corrispondenza di una sua porzione di bordo, come schematicamente illustrato in Figura 3D. Numero e posizione di tali spacer 30 nonché la forma degli stessi sarà scelta in base al design della testa di misura 21 in modo comunque da non interferire con il corretto funzionamento delle sonde di contatto 22.

Sebbene non illustrato nelle figure, è ovviamente possibile realizzare le teste di contatto 22B delle sonde di contatto 22 in modo da avere almeno una porzione con diametro maggiore del diametro dei fori guida superiori 23A realizzati nella guida superiore 23, così da impedire la fuoriuscita delle sonde anche in assenza di un dispositivo da testare 27 su cui tali sonde vanno in battuta, con diametro intendendo una dimensione trasversale massima di una sezione di tale porzione ortogonale ad un asse di sviluppo longitudinale della sonda di contatto, come ad esempio mostrato in relazione alla tecnica nota.

La scheda di misura 20 comprende altresì rispettivi mezzi di trattenimento 32, atti a solidarizzare i diversi componenti di tale scheda, in particolare lo space transformer 28 e la testa di misura 21, più in particolare la sua guida superiore 23, nonché gli spacer 30, dotati a tal scopo di opportune sedi di alloggiamento per i mezzi di trattenimento 32.

Come illustrato in Figura 4, dove la scheda di misura 20 è mostrata dal lato dello space transformer 28, con lo stesso in trasparenza, i mezzi di trattenimento 32 sono disposti sostanzialmente lungo una porzione perimetrale 40P della guida superiore 23 di forma essenzialmente anulare. Nell’esempio illustrato, la scheda di misura 20 comprende spacer realizzati sostanzialmente a paletta in corrispondenza di vertici della guida superiore 23 di forma sostanzialmente rettangolare. Sono altresì presenti ulteriori mezzi di trattenimento 32’ posizionati in una porzione centrale 40C della guida superiore 23, contigua e concentrica alla porzione perimetrale 40P e corrispondente in pratica all’area occupata dalle sonde di contatto 22. I mezzi di trattenimento 32, 32’ possono essere ad esempio realizzati mediante viti, in particolare a testa piatta, alloggiate in rispettivi fori filettati.

E’ ovviamente possibile prevedere diverse configurazioni per gli spacer 30, che possono essere disposti in numero diverso, in maniera simmetrica o meno ed in diverse posizioni rispetto a quelle illustrate in Figura 4.

E’ altresì possibile utilizzare un ulteriore film adesivo per associare lo spacer 30 alla guida superiore 23, evitando così che lo spacer stesso sia attraversato dai mezzi di trattenimento 32, 32’. Tale modalità di solidarizzazione tra spacer 30 e guida superiore 23 grazie ad un film adesivo è particolarmente conveniente nel caso di spacer 30 colonnari, come quelli illustrati nelle Figure 3C e 3D, in particolare quando posizionati all’interno della porzione centrale 40C della guida superiore 23, come quelli illustrati in Figura 3D, i mezzi di trattenimento 32’ posizionati in tale porzione centrale 40C essendo in numero limitato per non interferire con il normale funzionamento delle sonde di contatto 22 comprese nella testa di misura 2 1.

In una forma di realizzazione particolarmente semplificata, gli spacer 30 sono solamente appoggiati alla guida superiore 23, la loro tenuta in posizione essendo garantita dal contatto premente con lo space transformer 28, una volta che la testa di misura 21 è posizionata nella scheda di misura 20. Anche nel caso in cui gli spacer 30 siano formati da una pluralità di strati 30a-30c, è possibile semplicemente sovrapporli gli uni agli altri sulla guida superiore 23, gli strati 30a-30c sovrapposti essendo poi mantenuti in posizione grazie alla pressione esercitata dalla guida superiore 23 e dallo space transformer 28.

Uno spacer 30 può avere convenientemente la forma di una paletta, come illustrato schematicamente in Figura 5A.

In tal caso, lo spacer 30 comprende un corpo allungato 33 ed una testa 34, ad esempio circolare, eventualmente recante un foro 35 avente dimensioni adatte ad essere attraversato dai mezzi di trattenimento 32, 32’. Una tale forma degli spacer 30 risulta particolarmente vantaggiosa, garantendo un facile afferraggio degli spacer in corrispondenza del corpo allungato 33 al momento della rimozione degli stessi. Tale corpo allungato 33 risulta infatti sporgere rispetto alla testa di misura 21, in particolare alla guida superiore 23. Inoltre, le maggiori dimensioni della testa 34 rispetto al corpo allungato 33 garantiscono una buona ripartizione del carico pressorio in occasione del serraggio del corrispondente mezzo di trattenimento 32, 32’.

E’ altresì possibile realizzare gli spacer 30 come linguette 36 sostanzialmente rettangolari, eventualmente dotate di fori 35 per consentire il passaggio dei mezzi di trattenimento 32, 32<?>, come schematicamente illustrato in Figura 5B.

Le forme di realizzazione a palette o linguette definiscono spacer 30 di forma allungata sostanzialmente rettangolare, ed in particolare aventi una dimensione molto maggiore dell’altra. Tali spacer 30 hanno una estensione superficiale inferiore rispetto alle guide, in particolare alla guida superiore 23, in particolare molto inferiore rispetto ad una intera scheda (board) o strato della testa di misura 2 1.

Gli spacer 30 realizzati mediante palette o linguette sono molto semplici costruttivamente e consentono di prevedere una distribuzione degli stessi nelle posizioni desiderate rispetto alla testa di misura 21 ed allo space transformer 28, in virtù della loro dimensione trasversale contenuta, nonché un corretto afferramento degli stessi in virtù della dimensione longitudinale allungata che sporge rispetto alla testa di misura 21 .

In alternativa, gli spacer 30 possono essere realizzati mediante cornici o frame, aventi dimensioni ad esempio corrispondenti alle dimensioni della porzione perimetrale 40P della guida superiore 23 . Tali frame possono essere opportunamente dotate di ima pluralità di fori 35 per il passaggio dei mezzi di trattenimento 32 nelle posizioni previste, come schematicamente illustrato in Figura 5C. Opportunamente tali frame che realizzano gli spacer 30 possono essere dimensionate in modo da sporgere rispetto alla guida superiore 23, così da essere facilmente afferrabili; inoltre, è in tal modo possibile prevedere una numerazione da apporre sugli spacer 30, in particolare su ognuno degli strati che li compongono, come spiegato in precedenza.

Più in particolare, la frame che realizza lo spacer 30 comprende rispettive porzioni laterali 311, 3 Ir che sporgono rispetto alla testa di misura 21 e in particolare alla guida superiore 23, come indicato in Figura 5C.

Tali spacer 30 realizzati mediante frame risultano strutturalmente più solidi rispetto alle palette o linguette, in virtù della loro maggiore estensione rispetto alla superficie complessiva della testa di misura 2 1 .

E’ altresì possibile realizzare gli spacer 30 nella forma di coppie di semicomici o semiframe 301 e 30r, estese sostanzialmente lungo lati opposti e paralleli della testa di misura 21 e in particolare della guida superiore 23. Anche le semiframe possono essere dotate di fori 35 per il passaggio dei mezzi di trattenimento 32 nelle posizioni previste, come schematicamente illustrato in Figura 5D. Anche in tal caso, le semiframe che realizzano gli spacer 30 possono essere dimensionate in modo da sporgere rispetto alla testa di misura 21, in particolare alla guida superiore 23, così da facilitarne afferraggio e da consentire l’apposizione di una numerazione. Come in precedenza, tali semiframe 301, 30r possono quindi comprendere rispettive porzioni laterali 311, 3 Ir che sporgono rispetto alla testa di misura 21 e in particolare alla guida superiore 23, come indicato in Figura 5D.

Gli spacer 30 realizzati nella forma di semiframe 301, 30r introducono un grado di libertà e consentono di gestire separatamente un lato della testa di misura 21 rispetto ad un altro, ad esempio in termini di strati da eliminare, così da realizzare un tilting della testa di misura 21 rispetto allo space transformer 28, se necessario a causa di mismatch nelle relative planarità. Inoltre, l’utilizzo di semiframe consente agli spacer 30 di adattarsi a teste di misura 21 di dimensioni differenti, semplicemente avvicinando o allontanando le semiframe 301, 30r.

Infine, è possibile realizzare gli spacer 30 nella forma di coppie di semicornici o semiframe 301 e 30r, estese lungo lati opposti e paralleli della testa di misura 21 ed in particolare della guida superiore 23 ed aventi dimensioni tali da estendersi all’interno della sua porzione centrale 40C. Tali semiframe possono essere dotate di fori 35 per il passaggio dei mezzi di trattenimento 32 nelle posizioni previste nella porzione perimetrale 40P della guida superiore 23 e di ulteriori fori 35’ per il passaggio degli ulteriori mezzi di trattenimento 32’ nelle posizioni previste nella porzione centrale 40C della guida superiore 23, come schematicamente illustrato in Figura 5E.

Come in precedenza, le semiframe 301, 30r che realizzano gli spacer 30 possono essere dimensionate in modo da sporgere rispetto alla testa di misura 21 e in particolare alla guida superiore 23, così da facilitarne l’afferraggio e da consentire l’apposizione di una numerazione. Anche in tal caso, le semiframe 301, 30r possono comprendere rispettive porzioni laterali 311, 3 Ir che sporgono rispetto alla testa di misura 21 e in particolare alla guida superiore 23, come indicato in Figura 5E.

Si sottolinea che l’utilizzo di semiframe 301, 30r che si estendono anche all’interno della porzione centrale 40C della guida superiore 23 aumenta il numero dei punti di trattenimento delle semiframe stesse, grazie airaccoppiamento degli ulteriori fori 35’ e degli ulteriori mezzi di trattenimento 32’.

In tal caso, le semiframe 301, 30r possono altresì comprendere opportuni incavi 37, in modo da limitare il materiale di tali semiframe alle zone circostanti i fori 35 e gli ulteriori fori 35’, come indicato in Figura 5E. In tal modo, gli spacer 30 realizzati mediante tali semiframe risultano alleggeriti, pur continuando a garantire una tenuta migliorata.

Si sottolinea che è possibile prevedere analoghi incavi nel caso delle semiframe illustrate in Figura 5E nonché nel caso di frame intere, come quelle illustrate in Figura 5C, che possono altresì avere dimensioni maggiori, in particolare estendentesi anche in corrispondenza della porzione centrale 40C della guida superiore 23, così da comprendere anche ulteriori fori per gli ulteriori mezzi di trattenimento 32’.

E’ altresì possibile realizzare le frame o semiframe che compongono gli spacer 30 con dimensioni tali da risultare a filo con la testa di misura 21 e in particolare con la guida superiore 23, dotandole poi di almeno una porzione allungata atta a sporgere dalla testa di misura 2 1 e in particolare dalla guida superiore 23 a guisa di linguetta per facilitare l’afferraggio dello spacer 30 e consentire l’apposizione di ima numerazione. Un numero qualsivoglia di linguette di afferraggio può essere previsto, in base alle dimensioni complessive delle frame o semiframe nonché in base alle applicazioni della scheda di misura 20, posizionate in modo da non intralciare il normale funzionamento della scheda di misura 20 che comprende gli spacer 30.

Utilizzando spacer 30 dotati di fori 35, 35' per Tallo ggiamento dei mezzi di trattenimento 32, 32’, del tipo illustrato nelle Figure 5A-5E, è possibile regolare la lunghezza LA delle prime porzioni terminali 21A delle sonde di contatto 22 sbloccando tali mezzi di trattenimento 32 ed eventualmente gli ulteriori mezzi di trattenimento 32’, in particolare mediante rimozione delle relative viti, seguita da una fase di rimozione degli spacer 30 o di almeno uno dei loro strati 30a-30c, con parziale disassemblamento della scheda di misura 20.

Si sottolinea inoltre che le porzioni di materiale attorno ai fori 35 possono essere sormontate parzialmente dai mezzi di trattenimento 32, 32’, a guisa di una rondella, i mezzi di trattenimento 32, 32’ comprendendo ad esempio viti a testa piatta, così da realizzare il corretto trattenimento degli spacer 30 grazie ai mezzi di trattenimento 32, 32’ appunto.

La rimozione degli spacer 30 o di almeno uno dei loro strati 30a-30c consente di effettuare un avvicinamento dello space transformer 28 alla testa di misura 21, in particolare alla guida superiore 23, con conseguente spostamento delle sonde di contatto 22 verso il dispositivo da testare 27, atto a compensare un accorciamento delle relative prime porzioni terminali 21A comprendenti le punte di contatto 22A e da ripristinare in modo semplice e rapido il corretto funzionamento della scheda di misura 20. In particolare, la rimozione degli spacer 30 o di almeno uno dei loro strati 30a-30c diminuisce la lunghezza LB della zona di floating 29B delle teste di contatto 22B e consente alle sonde di contatto 22 di sporgere maggiormente in direzione del dispositivo da testare 27.

In sostanza, la scheda di misura 20 secondo l’invenzione consente di implementare un metodo di regolazione della lunghezza delle prime porzioni terminali 21A comprendenti le punte di contatto 22A delle sonde di contatto 22 comprese in una testa di misura 21 inserita in tale scheda, così da ripristinare il corretto funzionamento di tale testa di misura 21 e quindi della scheda di misura 20 che la comprende.

Vantaggiosamente secondo l’invenzione, il metodo comprende una fase di sbloccaggio dei mezzi di trattenimento 32 ed eventualmente 32’, ad esempio mediante allentamento o rimozione di rispettive viti, seguita da una fase di rimozione degli spacer 30 o di almeno un loro strato 30a-30c.

A questo punto, il metodo comprende una fase di avvicinamento della guida superiore 23 e dello space transformer 28 con riduzione della lunghezza LB della zona di floating 29B delle teste di contatto 22B e conseguente spostamento delle sonde di contatto 22 verso il dispositivo da testare 27 quando la testa di misura 21 è in battuta sullo space transformer 28; in particolare, in tal modo le sonde di contatto 22 sporgono dalla guida inferiore 24, ripristinando la lunghezza delle prime porzioni terminali 21A comprendenti le punte di contatto 22A. Tale fase di avvicinamento di guida superiore 23 e space transformer 28 è in particolare effettuata in modo che la la lunghezza delle prime porzioni terminali 21A comprendenti le punte di contatto 22A sia riportata ad un valore corrispondente ad un funzionamento corretto della testa di misura 2 1 .

Si sottolinea che, effettuata la regolazione della lunghezza delle prime porzioni terminali 21A comprendenti le punte di contatto 22A grazie alla rimozione degli spacer 30 o di uno degli strati 30a-30c che li compongono, si dovrà prevedere un ripristino dei mezzi di trattenimento 32 ed eventualmente degli ulteriori mezzi di trattenimento 32’, ad esempio mediante riavvitamento delle corrispondenti viti, per solidarizzare nuovamente gli elementi della testa di misura 21 e della scheda di misura 20 che la comprende,

E’ ovviamente possibile effettuare ulteriori rimozioni di uno strato degli spacer 30 e avvicinamento dello space transformer 28 alla testa di misura 21, ed in particolare alla sua guida superiore 23, anche in un momento successivo della vita della scheda di misura 20, in particolare quando le prime porzioni terminali 21A comprendenti le punte di contatto 22A delle sonde di contatto 22 si sono ulteriormente accorciate, ad esempio per l’uso e le operazioni di pulizia, in particolare quando presentano una lunghezza inferiore ad una lunghezza corrispondente ad un funzionamento corretto della testa di misura 21.

Inoltre, è possibile effettuare tali rimozioni anche più volte, nel caso di spacer 30 dotati di una pluralità di strati, effettuando in tal modo successive regolazioni della lunghezza delle prime porzioni terminali 21A comprendenti le punte di contatto 22A delle sonde di contatto 22.

La vita utile della testa di misura 2 1 e della scheda di misura 20 che la comprende risulta così opportunamente allungata rispetto alle soluzioni note per le quali l’accorciamento delle prime porzioni terminali 21A comprendenti le punte di contatto 22A delle sonde di contatto 22 comporta la fine dell 'utilizzo della testa di misura 21 e della scheda di misura 20 che la comprende, a meno di complicate sostituzioni della testa di misura stessa.

Infine, è possibile effettuare la rimozione di uno strato degli spacer 30 e l’avvicinamento dello space transformer 28 alla testa di misura 21, ed in particolare della sua guida superiore 23, anche in maniera asimmetrica, in modo da regolare diversamente la lunghezza delle prime porzioni terminali 21A delle sonde di contatto 22 in caso di un disallineamento delle rispettive punte di contatto 22A dovuto alle tolleranze del processo di realizzazione delle sonde stesse; risulta così anche possibile aggiustare un eventuale tilting dei piani definiti dalla guida superiore 23 e dallo space transformer 28, rispettivamente.

In una variante di realizzazione vantaggiosa dell’invenzione, è possibile realizzare gli spacer 30 in modo da comprendere alloggiamenti aperti 38 per i mezzi di trattenimento 32, come nelle forme di realizzazione illustrate nelle Figure 6A-6D. Tali alloggiamenti aperti 38 consentono in particolare di sfilare gli spacer 30 o uno degli strati 30a-30c in essi compresi senza una totale rimozione dei mezzi di trattenimento 32, in particolare delle relative viti, un semplice allentamento di tali mezzi essendo sufficiente ed in particolare consentendo la rimozione degli spacer 30 stessi o di uno degli strati che li compongono mediante semplice sfilaggio e senza nessun disassemblaggio, nemmeno parziale, della testa di misura 21 e della scheda di misura 20 che la comprende.

In tal caso, il metodo secondo l’invenzione comprende una fase di rimozione realizzata mediante sfilaggio degli spacer 30 o di almeno un loro strato 30 a- 3 Oc.

Un successivo ulteriore serraggio di tali mezzi di trattenimento 32 ed eventualmente ulteriori mezzi di trattenimento 32’ garantisce il desiderato avvicinamento dello space transformer 28 alla testa di misura 21 ed in particolare alla guida superiore 23 e quindi il ripristino della lunghezza opportuna per le prime porzioni terminali 21A comprendenti le punte di contatto 22A, assicurando così il corretto funzionamento della testa di misura 21 stessa, nonché della scheda di misura 20 che la comprende.

Più in particolare, è possibile realizzare gli spacer 30 con forme analoghe a quelle illustrate in precedenza, che presentano quindi gli stessi vantaggi. Ad esempio, lo spacer può avere una forma allungata come una paletta, formata da un corpo allungato 33 e da una testa 34, oppure una linguetta 36 sostanzialmente rettangolare ed essere dotato di alloggiamenti aperti 38, come illustrato schematicamente nelle Figure 6A e 6B, rispettivamente. Gli alloggiamenti aperti 38 hanno dimensioni adatte ad alloggiare i mezzi di trattenimento 32 oppure gli ulteriori mezzi di trattenimento 32’.

Si sottolinea che gli alloggiamenti aperti 38 definiscono negli spacer 30 almeno una porzione di materiale 39, 39’ che potrà essere sormontata parzialmente dai mezzi di trattenimento 32, 32’, a guisa di una forcella, i mezzi di trattenimento 32, 32’ comprendendo ad esempio viti a testa piatta, così da realizzare il corretto trattenimento degli spacer 30 grazie ai mezzi di trattenimento 32, 32’ appunto.

E’ immediato comprendere che risulta comunque possibile eliminare un tale spacer 30 o uno degli strati 30a-30c che lo compongono con un semplice allentamento dei mezzi di trattenimento 32, 32’ e spostando tale spacer o un suo strato nel senso dello sviluppo longitudinale degli stessi ed in allontanamento dalla testa di misura 21, come indicato dalla freccia F nelle Figure 6 A e 6B, tali mezzi di trattenimento 32, 32’ passando in corrispondenza di una apertura degli alloggiamenti aperti 38.

In particolare, la forma allungata delle palette o linguette consente di garantire uno sfilaggio agevole degli spacer 30 o di uno degli strati 30a-30c che li compongono, anche senza dover applicare forze di elevato valore.

In alternativa, gli spacer 30 possono essere realizzati mediante coppie di semicornici o semiframe, 301 e 30r, opportunamente dotate di alloggiamenti aperti 38 in corrispondenza dei mezzi di trattenimento 32 posizionati ad esempio in corrispondenza della porzione perimetrale 40P della guida superiore 23 ed eventualmente di ulteriori alloggiamenti aperti 38’ in corrispondenza degli ulteriori mezzi di trattenimento 32’ posizionati ad esempio in corrispondenza della porzione centrale 40C della guida superiore 23, come illustrato schematicamente in Figura 6C e in Figura 6D, rispettivamente.

Opportunamente tali semiframe 30r e 301 che realizzano gli spacer 30 possono essere dimensionate in modo da sporgere rispetto alla testa di misura 21 e in particolare alla guida superiore 23, così da essere facilmente afferrabili e da consentire l’apposizione di una numerazione, in particolare su ognuno degli strati che le compongono, come spiegato in precedenza. In tal caso, le semiframe 301, 30r possono comprendere rispettive porzioni laterali 311, 3 Ir che sporgono rispetto alla testa di misura 21 e in particolare alla guida superiore 23, come indicato nelle Figure 6C e 6D.

E’ immediato comprendere che risulta anche in tal caso possibile eliminare uno spacer 30 o uno degli strati 30a-30c che lo compongono con un semplice allentamento dei mezzi di trattenimento 32, 32’ e spostando le semiframe 301 e 30r o uno dei loro strati in allontanamento dalla testa di misura 21, come indicato dalle frecce FI ed F2 nelle Figure 6C e 6D, i mezzi di trattenimento 32 e 32’ potendo anche in tal caso passare dalle aperture degli alloggiamenti aperti 38, 38’.

Dal momento che gli spacer 30 realizzati mediante semiframe risultano strutturalmente più solidi rispetto alle palette o linguette, in virtù della loro maggiore estensione, comunque inferiore a quella della guida superiore 23, è possibile in tal caso applicare forze di valore superiore a quelle utilizzate ad esempio nel caso degli spacer 30 realizzati mediante palette o linguette.

Come in precedenza, è possibile realizzare le semiframe che compongono gli spacer 30 con dimensioni tali da risultare a filo con la testa di misura 21, in particolare con la guida superiore 23, dotandole poi di almeno una porzione allungata atta a sporgere dalla testa di misura 21 e in particolare dalla guida superiore 23 a guisa di linguetta per facilitare l’afferraggio dello spacer 30 e consentire l’apposizione di una numerazione.

Utilizzando spacer 30 dotati di alloggiamenti aperti 38, 38’ per l’alloggiamento dei mezzi di trattenimento 32, 32’, del tipo illustrato nelle Figure 6A-6D, è possibile regolare la lunghezza LA delle prime porzioni terminali 21A delle sonde di contatto 22 semplicemente allentando i mezzi di trattenimento 32 ed eventualmente degli ulteriori mezzi di trattenimento 32’, in particolare mediante parziale deawitamento delle relative viti, seguita da uno sfilaggio degli spacer 30 o di almeno uno dei loro strati 30a-30c, mantenendo l’integrità strutturale della testa di misura 21 .

Nel caso di spacer 30 realizzati mediante semiframe, strutturalmente più solidi e in grado di sopportare forze di maggiore entità rispetto alle palette o linguette, è possibile prevedere uno sfilaggio degli spacer 30 eventualmente anche senza un precedente marcato allentamento dei mezzi di trattenimento 32, 32’.

Come già spiegato, la rimozione degli spacer 30 o di almeno uno dei loro strati 30a-30c consente di effettuare un avvicinamento dello space transformer 28 alla testa di misura 21 ed in particolare alla guida superiore 23 con conseguente riduzione della lunghezza della zona di floating 29B e della seconda porzione terminale 21B comprendente le teste di contatto 22B delle sonde di contatto 22 e quindi consentire uno spostamento delle sonde di contatto 22 verso il dispositivo da testare 27, così da compensare un accorciamento delle relative prime porzioni terminali 21A comprendenti le punte di contatto 22 A delle sonde di contatto 22 e ripristinare in modo semplice e rapido il corretto funzionamento della testa di misura 21 e della scheda di misura 20 che la comprende.

Si dovrà quindi prevedere un serraggio dei mezzi di trattenimento 32 ed eventualmente degli ulteriori mezzi di trattenimento 32’, in particolare mediante riavvitamento delle corrispondenti viti, per solidarizzare nuovamente in modo completo gli elementi della testa di misura 21 e della scheda di misura 20. In ogni caso, si sottolinea che l’utilizzo di alloggiamenti aperti 38 consente di evitare un disassemblamento anche parziale della testa di misura 21 per rimuovere gli spacer 30 o uno dei loro strati.

E’ ovviamente possibile effettuare ulteriori rimozioni di uno strato degli spacer 30, anche in un momento successivo della vita della scheda di misura 20, nonché effettuare tali rimozioni anche più volte, nel caso di spacer 30 dotati di una pluralità di strati, con conseguenti successive regolazioni della lunghezza LA delle prime porzioni terminali 21A delle sonde di contatto 22 ed infine effettuare la rimozione di uno strato degli spacer 30 anche in maniera asimmetrica.

Infine, secondo una ulteriore variante di realizzazione, in particolare nel caso di spacer 30 colonnari del tipo illustrato ad esempio nelle figure 3C e 3D, è possibile realizzare gli spacer 30 mediante uno o più strati 30a-30c di forma qualsivoglia, eventualmente solidarizzati tra loro ed alla guida superiore 23 mediante rispettivi film adesivi.

In particolare, tali spacer 30 hanno una forma adatta a posizionarsi sulla guida superiore 23, sia nella sua porzione perimetrale 40P sia nella sua porzione centrale 40C, in modo comunque da non interferire con il corretto funzionamento delle sonde di contatto 22. Tali spacer 30 colonnari sono realizzati senza nessun foro o qualsivoglia alloggiamento dei mezzi di trattenimento 32, 32’ e sono disposti sulla guida superiore 23 in modo da non essere attraversati da tali mezzi di trattenimento 32, 32’.

Si sottolinea che in tal caso, la rimozione degli spacer 30 colonnari o di uno degli strati che li compongono avviene per semplice pelatura, non richiedendo la rimozione di eventuali mezzi di trattenimento della testa di misura 2 1. Come già indicato, non è inoltre necessario prevedere porzioni sporgenti degli spacer 30 colonnari rispetto alla guida superiore 23 e quindi alla testa di misura 21.

Il meccanismo di regolazione della lunghezza delle prime porzioni terminali 21A comprendenti le punte di contatto 22A delle sonde di contatto 22 risulta in tal modo ulteriormente semplificato, necessitando solo della rimozione della testa di misura 21 dalla scheda di misura 20 e quindi dalla sua associazione con lo space transformer 28 per esporre la guida superiore 23 e quindi consentire la rimozione per pelatura degli spacer 30 colonnari o di uno dei loro strati.

Si sottolinea che tutte le forme di realizzazione illustrate della scheda di misura secondo la presente invenzione consentono una regolazione della lunghezza della porzione terminale delle sonde di contatto comprendente le punte di contatto e quindi soggetta a consumo senza modificare la lunghezza della zona di flessione delle sonde e quindi la dinamica di movimento delle stesse, in particolare in termini di scrub e soprattutto di forza esercitata sui pad.

In conclusione, la scheda di misura con spacer secondo rinvenzione risulta avere una maggiore durata, dal momento che è possibile prevedere un numero elevato di operazioni di pulizia della relativa punta con una successiva regolazione della lunghezza delle porzioni terminali delle sonde di contatto che sporgono rispetto alla guida inferiore in modo che sia uguale o superiore ad una lunghezza corrispondente ad un funzionamento corretto della testa di misura.

La presenza degli spacer consente di ripristinare in modo semplice e rapido il corretto funzionamento della scheda di misura dopo un periodo di funzionamento che ha portato ad un accorciamento delle porzioni terminali delle sonde di contatto della testa di misura in essa compresa, senza modificare la dinamica di movimento di tali sonde e soprattutto la forza da esse esercitata, in virtù del fatto che viene mantenuta costante la lunghezza della zona di flessione delle sonde.

Opportunamente, gli spacer sono realizzati in modo da estendersi su aree limitate, anche fortemente limitate come nel caso delle forme di realizzazione colonnari, a palette o linguette, rispetto all’estensione delle guide della testa di misura; spacer siffatti sono posizionabili a piacimento, sia per numero sia per posizione e presentano problemi di planarità inferiori rispetto ad altri elementi che compongono la scheda di misura e sono formati da board intere, come le guide della testa di misura o lo space transformer, appunto.

Inoltre, è possibile effettuare ulteriori regolazioni della lunghezza delle porzioni terminali delle sonde di contatto in diversi momenti della vita della scheda di misura, in particolare ogni qual volta tali porzioni terminali, ovvero le prime porzioni terminali comprendenti le punte di contatto delle sonde di contatto, si sono accorciate per l’uso e presentano una lunghezza inferiore ad una lunghezza corrispondente ad un funzionamento corretto della testa di misura compresa in tale scheda di misura, consentendo altresì di modificare la lunghezza delle porzioni terminali in modo diverso per diverse sonde di contatto in caso di un disallineamento delle rispettive punte di contatto dovuto alle tolleranze del processo di realizzazione delle sonde stesse.

Ovviamente alla scheda di misura sopra descritta un tecnico del ramo, allo scopo di soddisfare esigenze contingenti e specifiche, potrà apportare numerose modifiche e varianti, tutte comprese nell'ambito di protezione dell'invenzione quale definito dalle seguenti rivendicazioni.

Claims (13)

1. RIVENDICAZIONI 1. Scheda di misura (20) di un’apparecchiatura di test di dispositivi elettronici comprendente almeno una testa di misura (21) dotata di una pluralità di sonde di contatto (22) inserite in fori guida realizzati in almeno una guida superiore (23) ed in una guida inferiore (24), tra dette guide superiore e inferiore (23, 24) essendo definita una zona di flessione (26) per dette sonde di contatto (22), nonché almeno uno space transformer (28) dotato di una pluralità di pad di contatto (28A), ciascuna di dette sonde di contatto (22) avendo almeno una prima porzione terminale (21 A) che sporge di una prima lunghezza (LA) da detta guida inferiore (24) e termina con una punta di contatto (22A) atta ad andare in battuta su un rispettivo pad di contatto (27A) di un dispositivo da testare (27), nonché una seconda porzione terminale (21B) che sporge di una seconda lunghezza (LB) da detta guida superiore (23) e termina con una testa di contatto (22B) atta ad andare in battuta su uno di detti pad di contatto (28A) di detto space transformer (28), caratterizzata dal fatto di comprendere ulteriormente almeno uno spacer (30) interposto tra detto space transformer (28) e detta guida superiore (23) di detta testa di misura (21), detto spacer (30) essendo rimuovibile per regolare detta prima lunghezza (LA) di detta prima porzione terminale (21 A) di dette sonde di contatto (22) mediante variazione di detta seconda lunghezza (LB) di detta seconda porzione terminale (21B) di dette sonde di contatto (22) con avvicinamento di detta testa di misura (21), in particolare detta guida superiore (23), e di detto space transformer (28).
2. 2. Scheda di misura (20) secondo la rivendicazione 1, caratterizzata dell fatto che detto spacer (30) ha una altezza inferiore o uguale a detta seconda lunghezza (LB) di detta seconda porzione terminale (21B) di dette sonde di contatto (22).
3. 3. Scheda di misura (20) secondo la rivendicazione 1 o 2, caratterizzata dal fatto che detto spacer (30) ha almeno una porzione sporgente (300) rispetto a detta testa di misura (21) e in particolare a detta guida superiore (23).
4. 4. Scheda di misura (20) secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, caratterizzata dal fatto che detto spacer (30) comprende una pluralità di strati (30a, 30b, 30c) sovrapposti e singolarmente rimovibili.
5. 5. Scheda di misura (20) secondo la rivendicazione 4, caratterizzata dal fatto che detti strati (30a, 30b, 30c) sono solidarizzati tra loro.
6. 6. Scheda di misura (20) secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, caratterizzata dal fatto che detto spacer (30) è associato a detta guida superiore (23).
7. 7. Scheda di misura (20) secondo una della rivendicazioni da 4 a 6, caratterizzata dal fatto che detti strati (30a, 30b, 30c) di detto spacer (30) hanno rispettive porzioni sporgenti (300) da detta testa di misura (21) e in particolare da detta guida superiore (23).
8. 8. Scheda di misura (20) secondo la rivendicazione 7, caratterizzata dal fatto che dette porzioni sporgenti (300) di detti strati (30a, 30b, 30c) hanno lunghezze diverse da strato a strato.
9. 9. Scheda di misura (20) secondo la rivendicazione 7 o 8, caratterizzata dal fatto che detti strati (30a, 30b, 30c) hanno una numerazione apposta su dette rispettive porzioni sporgenti (300) in corrispondenza di una loro faccia (Fc, Fc<7>).
10. 10. Scheda di misura (20) secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, caratterizzata dal fatto di comprendere ulteriormente mezzi di trattenimento (32, 32 *) atti a solidarizzare detto space transformer (28) e detta testa di misura (21), nonché detto spacer (30), dotato di opportune sedi di alloggiamento (35, 35’; 38, 38<*>) per detti mezzi di trattenimento (32, 32’).
11. 11. Scheda di misura (20) secondo la rivendicazione 10, caratterizzata dal fatto che dette sedi di alloggiamento (35, 35’; 38, 3S<7>) per detti mezzi di trattenimento (32, 32<*>) sono fori (35, 3S<7>) e/o alloggiamenti aperti (38, 38’) aventi dimensioni adatte ad alloggiare detti mezzi di trattenimento (32, 32’).
12. 12. Scheda di misura (20) secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, caratterizzata dal fatto che detto spacer (30) è realizzato in materiale plastico, trasparente o semitrasparente, oppure in materiale ceramico, oppure in materiale metallico oppure in materiale organico o in silicio, preferibilmente in Kapton®.
13. 13. Metodo di ripristino di una scheda di misura (20) comprendente almeno una testa di misura (21) dotata di una pluralità di sonde di contatto (22) inserite in fori guida realizzati in almeno una guida superiore (23) ed in una guida inferiore (24), nonché almeno uno space transformer (28) dotato di una pluralità di pad di contatto (28A), ciascuna di dette sonde di contatto (22) avendo almeno una prima porzione terminale (21A) che sporge di una prima lunghezza (LA) da detta guida inferiore (24) e termina con una punta di contatto (22A) atta ad andare in battuta su un rispettivo pad di contatto (27A) di un dispositivo da testare (27), nonché una seconda porzione terminale (21B) che sporge di una seconda lunghezza (LB) da detta guida superiore (23) e termina con una testa di contatto (22B) atta ad andare in battuta su uno di detti pad di contatto (28A) di detto space transformer (28), detta scheda di misura (20) comprendendo ulteriormente almeno uno spacer (30) interposto tra detto space transformer (28) e detta guida superiore (23) di detta testa di misura (21), eventualmente dotato di una pluralità di strati (30a-30c) sovrapposti e singolarmente rimuovibili, il metodo essendo caratterizzato dal fatto di comprendere le fasi di: - de -solidarizzare detto space transformer (28) da detta testa di misura (21), in particolare da detta guida superiore (23); rimuovere detto spacer (30) o uno degli strati (30a-30c) che lo compongono; avvicinare detta guida superiore (23) e detto space transformer (28); e solidarizzare nuovamente detta testa di misura (21) e detto space transformer (28), così da regolare detta prima lunghezza (LA) di detta prima porzione terminale (21 A) di dette sonde di contatto (22) mediante variazione di detta seconda lunghezza (LB) di detta seconda porzione terminale (21B) di dette sonde di contatto (22) con avvicinamento di detta testa di misura (21), in particolare detta guida superiore (23), e di detto space transformer (28) e ripristinare un corretto funzionamento di detta testa di misura (21) e quindi di detta scheda di misura (20) che la comprende.