JP5615022B2 - 可動装置 - Google Patents
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Description
はじめに、図1に示す一実施形態でのワークである円板状の半導体ウェーハ(以下、ウェーハ)1を説明する。ウェーハ1は、厚さが例えば100μm程度のシリコンウェーハであり、表面には格子状の分割予定ライン2によって区画された多数の矩形状のデバイス領域3が形成されている。各デバイス領域3の表面には、図示せぬICやLSI等の電子回路が形成されている。ウェーハ1の周面の所定箇所には、半導体の結晶方位を示す直線状の切欠き(オリエンテーション・フラット)4が形成されている。
続いて、図2に示す切削装置10について説明する。この切削装置10は、一対の切削手段(第1切削手段40Aと第2切削手段40B)を互いに対向配置した2軸対向型であり、チャックテーブル32に保持されたワークユニット7のウェーハ1が、各切削手段40A,40Bによりダイシングされる。切削に関する動作は、制御手段80によって自動制御される。
図2の符合11は基台であり、この基台11の上面には、チャックテーブル32をX方向に移動可能に支持するX軸移動手段20が設けられている。X軸移動手段20は、基台11上に固定されたX方向に延びる一対のX軸リニアガイド21と、これらX軸リニアガイド21に摺動可能に組み込まれたX軸可動ベース部22と、X軸リニアガイド21間に回転自在に配設され、X軸可動ベース部22に螺合して連結されたX方向に延びるボールねじ23と、ボールねじ23を回転させるモータからなる駆動部24とから構成されている。このX軸移動手段20によると、駆動部24が作動するとボールねじ23が正逆いずれかの方向に回転し、X軸可動ベース部22がボールねじ23の回転方向に応じた方向(X1方向またはX2方向)にX軸リニアガイド21上を移動するようになされている。
本実施形態では、図4に示すように、Y方向移動量検出手段72のスケール74を拭いて清掃する拭清掃手段100が、第1および第2Y軸移動手段50A,50Bの各Y軸可動ベース部52の読み取り手段75よりも外側に、それぞれ着脱可能に取り付けられている。
次いで、制御手段80で制御される切削装置10の動作を説明する。
はじめに、X軸移動手段20のX軸可動ベース部22が図2でX1方向に移動して保持手段30が搬入出位置に位置付けられ、チャックテーブル32が真空運転される。そして保持手段30上に、オペレータによって、ウェーハ1を上側に配し、かつ粘着テープ6を下側に配したワークユニット7を運搬し、チャックテーブル32に粘着テープ6を介してウェーハ1を同心状に載置する。すると、ウェーハ1は粘着テープ6を介してチャックテーブル32の保持面32aに吸着、保持される。また、クランプ35によってフレーム5を保持し、保持手段30でワークユニット7が保持された状態とする。
切削ブレード43がウェーハ1に切り込んで切断等の切削加工がなされている間は、高速回転している切削ブレード43が、加工点に供給されている切削水に接触することによりミストが発生する。切削水には、切削加工で生じるコンタミと呼ばれる細かい加工屑が混じっているので、ミストは汚染した状態となっている。このミストは上方に舞い上がり、切削加工量が増すにつれてスケール74に付着する場合がある。そうなると、スケール74の位置情報を読み取り手段75が正確に読み取ることができなくなる。
10…切削装置(可動装置)
12b…梁部(本体部)
52…Y軸各可動ベース部(可動部)
74…スケール
75…読み取り手段
100…拭清掃手段
Claims (1)
- 本体部と該本体部に対して可動する可動部と、
該可動部の可動方向に沿って、前記本体部に配設されたスケールと、
前記可動部に配設された前記スケールの値を読み取る読み取り手段と、
を有する可動装置であって、
前記可動部に前記スケールを拭いて清掃する拭清掃手段が配設され、
該拭清掃手段は、前記可動部に取り付けられたホルダ部と、該ホルダ部に、ばねによって前記スケール側に付勢されることで前記スケールに弾性的に当接するように装着された拭き部材と、を備え、
前記可動部が該本体部に対して可動した際に前記拭清掃手段の前記拭き部材が前記スケールを拭いて清掃することを特徴とする可動装置。
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JP2010092369A JP5615022B2 (ja) | 2010-04-13 | 2010-04-13 | 可動装置 |
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JP2010092369A JP5615022B2 (ja) | 2010-04-13 | 2010-04-13 | 可動装置 |
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JP2011222867A JP2011222867A (ja) | 2011-11-04 |
JP5615022B2 true JP5615022B2 (ja) | 2014-10-29 |
Family
ID=45039427
Family Applications (1)
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JP2010092369A Active JP5615022B2 (ja) | 2010-04-13 | 2010-04-13 | 可動装置 |
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