JPH07248337A - コンタクトプローブ - Google Patents
コンタクトプローブInfo
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- JPH07248337A JPH07248337A JP6040881A JP4088194A JPH07248337A JP H07248337 A JPH07248337 A JP H07248337A JP 6040881 A JP6040881 A JP 6040881A JP 4088194 A JP4088194 A JP 4088194A JP H07248337 A JPH07248337 A JP H07248337A
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ファインパターンを有するプリント基板を検
査するためのコンタクトプローブを提供する。 【構成】 このコンタクトプローブＡは、ロックウエル
硬さが４０以上である鋼から成り、線径0.２〜0.５mm，
長さ２０〜１００mmである芯線１と、芯線１の全面を被
覆し、前記鋼よりも導電性が優れている材料から成る導
電性コーティング層２と、先端部Ａ1 および基端部Ａ2
を除いた前記導電性コーティング層２の表面を被覆して
成る絶縁性コーティング層３とを備えている。
査するためのコンタクトプローブを提供する。 【構成】 このコンタクトプローブＡは、ロックウエル
硬さが４０以上である鋼から成り、線径0.２〜0.５mm，
長さ２０〜１００mmである芯線１と、芯線１の全面を被
覆し、前記鋼よりも導電性が優れている材料から成る導
電性コーティング層２と、先端部Ａ1 および基端部Ａ2
を除いた前記導電性コーティング層２の表面を被覆して
成る絶縁性コーティング層３とを備えている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はプリント基板のテスタの
多点コンタクトプローブヘッドに組み込まれるコンタク
トプローブに関し、更に詳しくは、チップが高密度実装
され、線間距離が0.３mm程度のファインパターンを有す
るプリント基板の検査に対しても、信頼性が高い検査結
果を提供することができる長寿命のコンタクトプローブ
に関する。
多点コンタクトプローブヘッドに組み込まれるコンタク
トプローブに関し、更に詳しくは、チップが高密度実装
され、線間距離が0.３mm程度のファインパターンを有す
るプリント基板の検査に対しても、信頼性が高い検査結
果を提供することができる長寿命のコンタクトプローブ
に関する。
【０００２】
【従来の技術】チップが実装されたプリント基板のパタ
ーン断線の有無やチップ実装ミスの有無などを検査する
場合には、複数本のコンタクトプローブが組み込まれて
いる多点コンタクトプローブヘッドを備えたテスタが用
いられる。従来から知られているコンタクトプローブ
は、通常、先端部の端面が尖頭形になっているニードル
と、このニードルの基部を収容するシース管と、このシ
ース管の中に配設され、前記ニードルの基部を押圧する
バネ部材とで構成されている。
ーン断線の有無やチップ実装ミスの有無などを検査する
場合には、複数本のコンタクトプローブが組み込まれて
いる多点コンタクトプローブヘッドを備えたテスタが用
いられる。従来から知られているコンタクトプローブ
は、通常、先端部の端面が尖頭形になっているニードル
と、このニードルの基部を収容するシース管と、このシ
ース管の中に配設され、前記ニードルの基部を押圧する
バネ部材とで構成されている。
【０００３】検査に当たっては、多点コンタクトプロー
ブヘッドに組み込まれているコンタクトプローブのニー
ドル先端を、パッケージ品であるＳＯＰやＱＦＰ，チッ
プのラウンドなどの被検査個所にピン立てし、バネ部材
のスプリング力で前記ニードル先端を所定のピン圧で被
検査個所に押圧し、その状態で、被検査個所とコンタク
トプローブ間の導通の有無が測定される。そして、導通
が認められない場合は、パターン断線などの欠陥が発生
しているということになる。
ブヘッドに組み込まれているコンタクトプローブのニー
ドル先端を、パッケージ品であるＳＯＰやＱＦＰ，チッ
プのラウンドなどの被検査個所にピン立てし、バネ部材
のスプリング力で前記ニードル先端を所定のピン圧で被
検査個所に押圧し、その状態で、被検査個所とコンタク
トプローブ間の導通の有無が測定される。そして、導通
が認められない場合は、パターン断線などの欠陥が発生
しているということになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、最近は、高
密度実装が進み導体回路のファインパターン化が進ん
で、パターンの線間距離が0.３mm程度であるプリント基
板も実用化されている。そして、この線間距離が更に狭
いものも実用化の域に到達しつつある。このようなファ
インパターンを有するプリント基板を検査する場合、ニ
ードルを細径化し、またそれが組み込まれるコンタクト
プローブの外径も細くしなければならなくなる。
密度実装が進み導体回路のファインパターン化が進ん
で、パターンの線間距離が0.３mm程度であるプリント基
板も実用化されている。そして、この線間距離が更に狭
いものも実用化の域に到達しつつある。このようなファ
インパターンを有するプリント基板を検査する場合、ニ
ードルを細径化し、またそれが組み込まれるコンタクト
プローブの外径も細くしなければならなくなる。
【０００５】しかしながら、コンタクトプローブの外径
を細くすると、次のような問題が発生してくる。すなわ
ち、まず、前記した従来構造のコンタクトプローブの場
合には、ニードルを押圧するバネ部材やシース管を必要
とするが、ニードル外径の細径化に伴い、これら他の部
材も細径化しなければならない。そのため、それら部材
の製造には従来にまして高精度加工が要求されることに
なり、またコンタクトプローブへの組立て作業も煩雑に
ならざるを得ないということである。
を細くすると、次のような問題が発生してくる。すなわ
ち、まず、前記した従来構造のコンタクトプローブの場
合には、ニードルを押圧するバネ部材やシース管を必要
とするが、ニードル外径の細径化に伴い、これら他の部
材も細径化しなければならない。そのため、それら部材
の製造には従来にまして高精度加工が要求されることに
なり、またコンタクトプローブへの組立て作業も煩雑に
ならざるを得ないということである。
【０００６】更に、コンタクトプローブを細径化する
と、コンタクトプローブそれ自体の機械的強度が低下
し、またニードル先端の摩耗量も増大するようになり、
実使用可能なショット回数の減少を招くことがある。す
なわち、コンタクトプローブの使用寿命が短くなる。こ
のようなことから、現在のところ、コンタクトプローブ
の外径を極力細くしても、せいぜい1.０mm程度が限度に
なっている。
と、コンタクトプローブそれ自体の機械的強度が低下
し、またニードル先端の摩耗量も増大するようになり、
実使用可能なショット回数の減少を招くことがある。す
なわち、コンタクトプローブの使用寿命が短くなる。こ
のようなことから、現在のところ、コンタクトプローブ
の外径を極力細くしても、せいぜい1.０mm程度が限度に
なっている。
【０００７】しかしながら、線径が1.０mm程度のコンタ
クトプローブを複数本並設して多点コンタクトプローブ
ヘッドにすると、これらコンタクトプローブが互いに接
触してしまうので、例えば線間距離が0.３mmのファイン
パターンを有するプリント基板の多数点を同時に検査す
ることができなくなる。本発明は、コンタクトプローブ
の線径化に伴って発生する上記した問題を解決し、構造
は極めて簡単であるにもかかわらず、線間距離0.３mmの
ファインパターンを有するプリント基板に対してもその
多数点を同時に検査することができる多点コンタクトプ
ローブヘッドに組み込まれるコンタクトプローブの提供
を目的とする。
クトプローブを複数本並設して多点コンタクトプローブ
ヘッドにすると、これらコンタクトプローブが互いに接
触してしまうので、例えば線間距離が0.３mmのファイン
パターンを有するプリント基板の多数点を同時に検査す
ることができなくなる。本発明は、コンタクトプローブ
の線径化に伴って発生する上記した問題を解決し、構造
は極めて簡単であるにもかかわらず、線間距離0.３mmの
ファインパターンを有するプリント基板に対してもその
多数点を同時に検査することができる多点コンタクトプ
ローブヘッドに組み込まれるコンタクトプローブの提供
を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明においては、ロックウエル硬さ（ＨＲ
Ｃ）が４０以上である鋼から成り、線径0.２〜0.５mm，
長さ２０〜１００mmである芯線と、前記芯線の全面を被
覆し、前記鋼よりも導電性が優れている材料から成る導
電性コーティング層と、先端部および基端部を除いた前
記導電性コーティング層の表面を被覆して成る絶縁性コ
ーティング層とを備えていることを特徴とするコンタク
トプローブが提供される。
ために、本発明においては、ロックウエル硬さ（ＨＲ
Ｃ）が４０以上である鋼から成り、線径0.２〜0.５mm，
長さ２０〜１００mmである芯線と、前記芯線の全面を被
覆し、前記鋼よりも導電性が優れている材料から成る導
電性コーティング層と、先端部および基端部を除いた前
記導電性コーティング層の表面を被覆して成る絶縁性コ
ーティング層とを備えていることを特徴とするコンタク
トプローブが提供される。
【０００９】
【作用】本発明のコンタクトプローブにおいては、まず
芯線がＨＲＣ４０以上の鋼で形成されている。したがっ
て、芯線はその線径が0.２〜0.５mmと細径化されている
にもかかわらず、弾性は大きくかつ耐摩耗性も良好であ
り、その先端部の端面を被検査個所に押圧すると小さな
ピン圧でも座屈現象を起こしやすく、また端面の摩耗量
も少なくなるのでショット回数は増加しコンタクトプロ
ーブとしての使用寿命は長くなる。
芯線がＨＲＣ４０以上の鋼で形成されている。したがっ
て、芯線はその線径が0.２〜0.５mmと細径化されている
にもかかわらず、弾性は大きくかつ耐摩耗性も良好であ
り、その先端部の端面を被検査個所に押圧すると小さな
ピン圧でも座屈現象を起こしやすく、また端面の摩耗量
も少なくなるのでショット回数は増加しコンタクトプロ
ーブとしての使用寿命は長くなる。
【００１０】芯線の線径は0.２〜0.５mmに設定されてい
るので、このコンタクトプローブを複数本並設して線間
距離0.３mmのファインパターンを有するプリント基板の
同時多数点検査用の多点コンタクトプローブヘッドを組
み立てても、コンタクトプローブが互いに接触すること
はなく、その先端部の端面を被検査個所の多数点に同時
にピン立てすることができる。
るので、このコンタクトプローブを複数本並設して線間
距離0.３mmのファインパターンを有するプリント基板の
同時多数点検査用の多点コンタクトプローブヘッドを組
み立てても、コンタクトプローブが互いに接触すること
はなく、その先端部の端面を被検査個所の多数点に同時
にピン立てすることができる。
【００１１】また、芯線の長さが短すぎると、被検査個
所への接触時にピン圧が大きくなりすぎて被検査個所を
損傷することがあり、逆に長すぎるとピン圧が小さくな
りすぎて良好な接触状態が得られないので、本発明のコ
ンタクトプローブでは、芯線の長さを２０〜１００mmの
範囲内に設定されるが、そのことによって、コンタクト
プローブの基端部を固定したときに、被検査個所への先
端部のピン圧を適宜な値に調整することができる。
所への接触時にピン圧が大きくなりすぎて被検査個所を
損傷することがあり、逆に長すぎるとピン圧が小さくな
りすぎて良好な接触状態が得られないので、本発明のコ
ンタクトプローブでは、芯線の長さを２０〜１００mmの
範囲内に設定されるが、そのことによって、コンタクト
プローブの基端部を固定したときに、被検査個所への先
端部のピン圧を適宜な値に調整することができる。
【００１２】例えば、本発明のコンタクトプローブを組
み込んだ多点コンタクトプローブヘッドにおいて、コン
タクトプローブの先端でピン圧を得るストロークを１mm
に設定した場合、芯線の長さを２０mmにするとピン圧は
約４００ｇ，芯線の長さを４０mmにするとピン圧は約１
６０ｇ，芯線の長さを５３mmにするとピン圧は約１００
ｇ，芯線の長さを６０mmにするとピン圧は約７５ｇ，芯
線の長さを７０mmにするとピン圧は約５０ｇ，芯線の長
さを１００mmにするとピン圧は約２５ｇ，芯線の長さを
１５０mmにするとピン圧は約１５ｇ，芯線の長さを２０
０mmにするとピン圧は約１０ｇにすることができる。
み込んだ多点コンタクトプローブヘッドにおいて、コン
タクトプローブの先端でピン圧を得るストロークを１mm
に設定した場合、芯線の長さを２０mmにするとピン圧は
約４００ｇ，芯線の長さを４０mmにするとピン圧は約１
６０ｇ，芯線の長さを５３mmにするとピン圧は約１００
ｇ，芯線の長さを６０mmにするとピン圧は約７５ｇ，芯
線の長さを７０mmにするとピン圧は約５０ｇ，芯線の長
さを１００mmにするとピン圧は約２５ｇ，芯線の長さを
１５０mmにするとピン圧は約１５ｇ，芯線の長さを２０
０mmにするとピン圧は約１０ｇにすることができる。
【００１３】このようなことから、良好な接触状態を可
能にし、かつ被検査個所の損傷を防止するために、本発
明においては、芯線の長さは２０〜１００mmに設定され
る。好ましくは、４５〜６０mmである。芯線の全面は、
鋼よりも導電性が良好な材料から成る導電性コーティン
グ層で被覆されているので、先端部の端面を被検査個所
に押圧して通電したときに、電流は外皮効果によって上
記導電性コーティング層を流れ、微小電流であっても導
通の有無を検出することができるようになる。すなわ
ち、欠陥検出の感度が向上する。
能にし、かつ被検査個所の損傷を防止するために、本発
明においては、芯線の長さは２０〜１００mmに設定され
る。好ましくは、４５〜６０mmである。芯線の全面は、
鋼よりも導電性が良好な材料から成る導電性コーティン
グ層で被覆されているので、先端部の端面を被検査個所
に押圧して通電したときに、電流は外皮効果によって上
記導電性コーティング層を流れ、微小電流であっても導
通の有無を検出することができるようになる。すなわ
ち、欠陥検出の感度が向上する。
【００１４】また、このコンタクトプローブの場合は、
先端部と基端部を除いた他の部分は絶縁性コーティング
層で被覆されているので、多点コンタクトプローブヘッ
ドに組み込んだ実使用時にコンタクトプローブが湾曲し
て隣のコンタクトプローブと接触しても、互いに電気的
に短絡することはなくなる。
先端部と基端部を除いた他の部分は絶縁性コーティング
層で被覆されているので、多点コンタクトプローブヘッ
ドに組み込んだ実使用時にコンタクトプローブが湾曲し
て隣のコンタクトプローブと接触しても、互いに電気的
に短絡することはなくなる。
【００１５】
【実施例】以下に、図面に基づいて本発明のコンタクト
プローブを詳細に説明する。図１は、本発明のコンタク
トプローブＡの断面構造を示す断面図である。図１にお
いて、コンタクトプローブＡは、芯線１と、その全面を
被覆する導電性コーティング層２と、先端部Ａ1 および
後端部Ａ2 を除いた他の部分、すなわち中間部を被覆す
る絶縁性コーティング層３とで構成されている。ここ
で、先端部Ａ1の端面は尖頭形状になっていて、この部
分がプリント基板の被検査個所に押圧され、また、基端
部Ａ2 には例えばスリーブが嵌着されてリード取付部が
形成される。
プローブを詳細に説明する。図１は、本発明のコンタク
トプローブＡの断面構造を示す断面図である。図１にお
いて、コンタクトプローブＡは、芯線１と、その全面を
被覆する導電性コーティング層２と、先端部Ａ1 および
後端部Ａ2 を除いた他の部分、すなわち中間部を被覆す
る絶縁性コーティング層３とで構成されている。ここ
で、先端部Ａ1の端面は尖頭形状になっていて、この部
分がプリント基板の被検査個所に押圧され、また、基端
部Ａ2 には例えばスリーブが嵌着されてリード取付部が
形成される。
【００１６】まず、芯線１はＨＲＣが４０以上の鋼の線
材から成る。ＨＲＣが４０より低い鋼で芯線１を構成す
ると、実使用時における先端部Ａ1 の摩耗が大きく使用
寿命が短くなるとともに、線径0.２〜0.５mmに細径化し
たときの機械的強度の低下が大きくなるからである。芯
線１に用いる鋼としては、具体的には、ＳＫＨ５１，高
速度鋼，ばね鋼，ピアノ線材などを好適なものとしてあ
げることができる。
材から成る。ＨＲＣが４０より低い鋼で芯線１を構成す
ると、実使用時における先端部Ａ1 の摩耗が大きく使用
寿命が短くなるとともに、線径0.２〜0.５mmに細径化し
たときの機械的強度の低下が大きくなるからである。芯
線１に用いる鋼としては、具体的には、ＳＫＨ５１，高
速度鋼，ばね鋼，ピアノ線材などを好適なものとしてあ
げることができる。
【００１７】芯線１の線径は0.２〜0.５mmに設定され
る。線径を0.２mmより細くすると、ＨＲＣ４０以上の鋼
であっても、その機械的強度、とくに耐摩耗性が低下し
て実使用時におけるショット回数の減少を招き、また、
0.５mmより大径にすると、線間距離が0.３mmまたはそれ
よりも狭い回路パターンの検査に適合できなくなるから
である。
る。線径を0.２mmより細くすると、ＨＲＣ４０以上の鋼
であっても、その機械的強度、とくに耐摩耗性が低下し
て実使用時におけるショット回数の減少を招き、また、
0.５mmより大径にすると、線間距離が0.３mmまたはそれ
よりも狭い回路パターンの検査に適合できなくなるから
である。
【００１８】更に、芯線１の長さは２０〜１００mmに設
定される。芯線の長さを２０mmよりも短くすると、実使
用時におけるピン圧は線径0.２mmであっても４００ｇ以
上になるため、コンタクトプローブの先端や被検査個所
を損傷させるような事態を招きやすい。また、芯線の長
さを１００mmより長くすると、ピン圧が小さくなりすぎ
て検査時における誤動作を招きやすくなるからである。
定される。芯線の長さを２０mmよりも短くすると、実使
用時におけるピン圧は線径0.２mmであっても４００ｇ以
上になるため、コンタクトプローブの先端や被検査個所
を損傷させるような事態を招きやすい。また、芯線の長
さを１００mmより長くすると、ピン圧が小さくなりすぎ
て検査時における誤動作を招きやすくなるからである。
【００１９】導電性コーティング層２は、芯線１の材料
よりも高導電率の材料で形成される。具体的には、金，
ロジウムまたはそれらの合金で形成することが好適であ
る。この導電性コーティング層２は、例えば電気めっき
によって形成される。その場合、芯線１の全面を洗浄し
たのち、そこに厚み0.１〜0.２μｍ程度のフッ化銅の下
地層を形成し、更にその上に厚み３〜５μｍ程度のニッ
ケルの下地層を形成したのち、厚み0.３〜0.４μｍ程度
の金層を形成すると、その導電性コーティング層２は良
好な導電性を確保するとともに、芯線１との密着性も良
好となり、実使用時にコンタクトプローブが湾曲した場
合でも剥離することがないので好適である。
よりも高導電率の材料で形成される。具体的には、金，
ロジウムまたはそれらの合金で形成することが好適であ
る。この導電性コーティング層２は、例えば電気めっき
によって形成される。その場合、芯線１の全面を洗浄し
たのち、そこに厚み0.１〜0.２μｍ程度のフッ化銅の下
地層を形成し、更にその上に厚み３〜５μｍ程度のニッ
ケルの下地層を形成したのち、厚み0.３〜0.４μｍ程度
の金層を形成すると、その導電性コーティング層２は良
好な導電性を確保するとともに、芯線１との密着性も良
好となり、実使用時にコンタクトプローブが湾曲した場
合でも剥離することがないので好適である。
【００２０】絶縁性コーティング層３は、例えば、テフ
ロンの焼付けコーティングやエナメル塗料を塗布して形
成される。また、電気絶縁性の熱収縮チューブに芯線１
を挿入したのち加熱して形成することもできる。この絶
縁性コーティング層３の厚みは格別限定されるものでは
なく、適度に可撓性が発現する厚みであればよい。な
お、本発明のコタンクトプローブにおいて、先端部Ａ1
の端面は図示したような尖頭形状に限定されるものでは
なく、複数個の鋭角の山を有する形状であってもよい。
例えば、図２で示したように、頂角が１５°程度の鋭角
に加工された山を３個有する三つ山構造であってもよ
い。また図３で示したように曲面構造になっていてもよ
い。
ロンの焼付けコーティングやエナメル塗料を塗布して形
成される。また、電気絶縁性の熱収縮チューブに芯線１
を挿入したのち加熱して形成することもできる。この絶
縁性コーティング層３の厚みは格別限定されるものでは
なく、適度に可撓性が発現する厚みであればよい。な
お、本発明のコタンクトプローブにおいて、先端部Ａ1
の端面は図示したような尖頭形状に限定されるものでは
なく、複数個の鋭角の山を有する形状であってもよい。
例えば、図２で示したように、頂角が１５°程度の鋭角
に加工された山を３個有する三つ山構造であってもよ
い。また図３で示したように曲面構造になっていてもよ
い。
【００２１】鋭角の複数の山を有する端面形状は、この
部分を被検査個所に押圧したときにすべりにくいととも
に、１つの山が被検査個所から外れても残る山で被検査
個所との接触が確保されるので、検査ミスが有効に防止
できる。また、後者の端面形状は、被検査個所が損傷さ
れることを忌避するような場合、例えば液晶実装のガラ
ス基板を検査するときのコンタクトプローブの先端形状
として好適である。
部分を被検査個所に押圧したときにすべりにくいととも
に、１つの山が被検査個所から外れても残る山で被検査
個所との接触が確保されるので、検査ミスが有効に防止
できる。また、後者の端面形状は、被検査個所が損傷さ
れることを忌避するような場合、例えば液晶実装のガラ
ス基板を検査するときのコンタクトプローブの先端形状
として好適である。
【００２２】本発明のコンタクトプローブは、図４で示
したように、その基端部Ａ2 にスリーブ４の一端を外嵌
し、スリーブ４の他端からリード線５を挿入し、基端部
Ａ2とリード線５を半田６で接続したのち、スリーブ４
を基端部Ａ2 とリード線５の外側から加締めることによ
りリード線５との接続がなされる。このとき、基端部Ａ
2 の外表面が金であると、半田６との濡れ性が良好にな
る。
したように、その基端部Ａ2 にスリーブ４の一端を外嵌
し、スリーブ４の他端からリード線５を挿入し、基端部
Ａ2とリード線５を半田６で接続したのち、スリーブ４
を基端部Ａ2 とリード線５の外側から加締めることによ
りリード線５との接続がなされる。このとき、基端部Ａ
2 の外表面が金であると、半田６との濡れ性が良好にな
る。
【００２３】このコンタクトプローブは例えば次のよう
にして製造することができる。まず、所定の鋼から成
り、所望の線径と長さを有する線材を例えばバレル研磨
したのち、先端部の端面加工を行って芯線１とする。こ
のバレル研磨を行うと、線材表面に微小クラックなどが
存在していてもそれらを除去することができ、そのこと
により、実使用時に折損することのない芯線を得ること
ができる。ついで、芯線１の表面の脱脂・洗浄処理を行
ったのち例えば電気めっきで所望する導電性コーティン
グ層２を形成し、更に、先端部Ａ1 ，基端部Ａ2 を除い
た個所に絶縁性コーティング層３を形成する。
にして製造することができる。まず、所定の鋼から成
り、所望の線径と長さを有する線材を例えばバレル研磨
したのち、先端部の端面加工を行って芯線１とする。こ
のバレル研磨を行うと、線材表面に微小クラックなどが
存在していてもそれらを除去することができ、そのこと
により、実使用時に折損することのない芯線を得ること
ができる。ついで、芯線１の表面の脱脂・洗浄処理を行
ったのち例えば電気めっきで所望する導電性コーティン
グ層２を形成し、更に、先端部Ａ1 ，基端部Ａ2 を除い
た個所に絶縁性コーティング層３を形成する。
【００２４】最後に、基端部Ａ2 にスリーブが外嵌さ
れ、リード線が接続されて、本発明のコンタクトプロー
ブが得られる。本発明のコンタクトプローブは、多点コ
ンタクトプローブヘッドに組み込まれて使用される。そ
の状態を図５に示す。図５は、多点コンタクトプローブ
ヘッド７の概略構成を示し、同図は、ヘッド７のコンタ
クトプローブＡを被検査物８に押し当て使用している状
態を示している。
れ、リード線が接続されて、本発明のコンタクトプロー
ブが得られる。本発明のコンタクトプローブは、多点コ
ンタクトプローブヘッドに組み込まれて使用される。そ
の状態を図５に示す。図５は、多点コンタクトプローブ
ヘッド７の概略構成を示し、同図は、ヘッド７のコンタ
クトプローブＡを被検査物８に押し当て使用している状
態を示している。
【００２５】ヘッド７は、基盤７ａと、基盤７ａに対し
て所定の距離だけ離隔して基盤７ａに固定され、被検査
物８に対向して配置されるガイド９と、被検査物８の各
検査点に対応してそれぞれ配置された複数のコンタクト
プローブＡ，Ａ…と、ガイド９に平行して基盤７ａとガ
イド９間にカラー１０を介して配設され、各コンタクト
プローブＡの湾曲する中間部Ａ3 の長さを調整してピン
圧を調整する第２のガイド１１を備えて構成される。
て所定の距離だけ離隔して基盤７ａに固定され、被検査
物８に対向して配置されるガイド９と、被検査物８の各
検査点に対応してそれぞれ配置された複数のコンタクト
プローブＡ，Ａ…と、ガイド９に平行して基盤７ａとガ
イド９間にカラー１０を介して配設され、各コンタクト
プローブＡの湾曲する中間部Ａ3 の長さを調整してピン
圧を調整する第２のガイド１１を備えて構成される。
【００２６】各コンタクトプローブＡは、その先端部Ａ
1 および基端部Ａ2 の除く中間部Ａ 3 は絶縁性コーティ
ング層が形成されている。各コンタクトプローブＡは、
その基端部Ａ2 側が基盤７ａに固定されるとともに、先
端部Ａ1 がガイド９にガイドされてガイド９から被検出
物８側に進退可能に突出している。基盤７ａと第２のガ
イド１１、およびそれらの間に介挿されるカラー１０に
よってピン圧調整部が構成され、ガイド９と第２のガイ
ド１１によって画成される空間によって、使用時に湾曲
することによって発生するコンタクトプローブＡのピン
圧を調整している。すなわち、ガイド９と第２ガイド１
１間に形成された空間が、ヘッド７のピン圧発生部を構
成している。
1 および基端部Ａ2 の除く中間部Ａ 3 は絶縁性コーティ
ング層が形成されている。各コンタクトプローブＡは、
その基端部Ａ2 側が基盤７ａに固定されるとともに、先
端部Ａ1 がガイド９にガイドされてガイド９から被検出
物８側に進退可能に突出している。基盤７ａと第２のガ
イド１１、およびそれらの間に介挿されるカラー１０に
よってピン圧調整部が構成され、ガイド９と第２のガイ
ド１１によって画成される空間によって、使用時に湾曲
することによって発生するコンタクトプローブＡのピン
圧を調整している。すなわち、ガイド９と第２ガイド１
１間に形成された空間が、ヘッド７のピン圧発生部を構
成している。
【００２７】図５に示されるように、ヘッド７に取りつ
けられる全てのコンタクトプローブＡは、基盤７ａから
コンタクトプローブＡの先端部Ａ1 に到るまでの長さが
略同じにしてある。そして、上述のように構成されるヘ
ッド７を実際に使用する際には、図５に示されるよう
に、コンタクトプローブＡの先端部Ａ1 が被検出物（プ
リント基板および部品面）８に当接した状態で、その中
間部Ａ3 が湾曲し、その湾曲によって各コンタクトプロ
ーブＡに反発力が発生し、この反発力によってコンタク
トプローブＡと被検出物８との良好な接触を得ている。
けられる全てのコンタクトプローブＡは、基盤７ａから
コンタクトプローブＡの先端部Ａ1 に到るまでの長さが
略同じにしてある。そして、上述のように構成されるヘ
ッド７を実際に使用する際には、図５に示されるよう
に、コンタクトプローブＡの先端部Ａ1 が被検出物（プ
リント基板および部品面）８に当接した状態で、その中
間部Ａ3 が湾曲し、その湾曲によって各コンタクトプロ
ーブＡに反発力が発生し、この反発力によってコンタク
トプローブＡと被検出物８との良好な接触を得ている。
【００２８】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明の
コンタクトプローブは、芯線が弾性に富みかつ機械的強
度が大きく耐摩耗性が良好な鋼材で構成されているの
で、0.２〜0.５mm程度にまで細径化しても機械的強度は
低下せず、線間距離が0.３mm程度の回路パターンの検査
が可能である。また、プローブ先端の摩耗量は少なくな
るので、ショット数１００万回以上の使用寿命を備えて
いる。更に、芯線の長さを調節することにより、ピン圧
を任意の値に設定することができるので、被検査個所の
損傷などを防止することが可能である。
コンタクトプローブは、芯線が弾性に富みかつ機械的強
度が大きく耐摩耗性が良好な鋼材で構成されているの
で、0.２〜0.５mm程度にまで細径化しても機械的強度は
低下せず、線間距離が0.３mm程度の回路パターンの検査
が可能である。また、プローブ先端の摩耗量は少なくな
るので、ショット数１００万回以上の使用寿命を備えて
いる。更に、芯線の長さを調節することにより、ピン圧
を任意の値に設定することができるので、被検査個所の
損傷などを防止することが可能である。
【００２９】また、芯線の全面は導電性が優れたコーテ
ィング層で被覆されているので、微小な検査電流でも感
応することができ、検査結果の信頼度は高い。更に、絶
縁性コーティング層の働きにより、実使用時に隣のコン
タクトプローブと接触した場合であっても両者間の電気
的短絡は防止される。このように、本発明のコンタクト
プローブは構造が極めて簡単であるにもかかわらず、高
密度実装のプリント基盤の検査にとって好適であり、そ
の工業的価値は大である。
ィング層で被覆されているので、微小な検査電流でも感
応することができ、検査結果の信頼度は高い。更に、絶
縁性コーティング層の働きにより、実使用時に隣のコン
タクトプローブと接触した場合であっても両者間の電気
的短絡は防止される。このように、本発明のコンタクト
プローブは構造が極めて簡単であるにもかかわらず、高
密度実装のプリント基盤の検査にとって好適であり、そ
の工業的価値は大である。
【図１】本発明のコンタクトプローブの１例を示す断面
図である。
図である。
【図２】コンタクトプローブの先端部の端面例を示す側
面図である。
面図である。
【図３】先端部の端面の他の例を示す側面図である。
【図４】コンタクトプローブの基端部にリード線を接続
した状態を示す断面図である。
した状態を示す断面図である。
【図５】多点コンタクトプローブヘッドの概略構成と、
検査時の使用状態を示す全体図である。
検査時の使用状態を示す全体図である。
【符号の説明】 Ａ コンタクトプローブ Ａ1 コンタクトプローブＡの先端部 Ａ2 コンタクトプローブＡの基端部 １ 芯線 ２ 導電性コーティング層 ３ 絶縁性コーティング層 ４ スリーブ ５ リード線 ６ 半田 ７ 多点コンタクトプローブヘッド ７ａ 多点コンタクトプローブヘッドの基盤 ８ 被検査物（プリント基板） ９ ガイド １０ カラー １１ 第２のガイド
Claims (5)
- 【請求項１】 ロックウエル硬さが４０以上である鋼か
ら成り、線径0.２〜0.５mm，長さ２０〜１００mmである
芯線と、前記芯線の全面を被覆し、前記鋼よりも導電性
が優れている材料から成る導電性コーティング層と、先
端部および基端部を除いた前記導電性コーティング層の
表面を被覆して成る絶縁性コーティング層とを備えてい
ることを特徴とするコンタクトプローブ。 - 【請求項２】 前記基端部にはスリーブが嵌着されてい
る請求項１のコンタクトプローブ。 - 【請求項３】 前記導電性コーティング層が、フッ化
銅，ニッケル，金をこの順序で積層しためっき層である
請求項１のコンタクトプローブ。 - 【請求項４】 前記先端部の端面が三つ山形状になって
いる請求項１のコンタクトプローブ。 - 【請求項５】 前記先端部の端面が曲面形状になってい
る請求項１のコンタクトプローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6040881A JPH07248337A (ja) | 1994-03-11 | 1994-03-11 | コンタクトプローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6040881A JPH07248337A (ja) | 1994-03-11 | 1994-03-11 | コンタクトプローブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07248337A true JPH07248337A (ja) | 1995-09-26 |
Family
ID=12592860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6040881A Pending JPH07248337A (ja) | 1994-03-11 | 1994-03-11 | コンタクトプローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07248337A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002090410A (ja) * | 2000-09-13 | 2002-03-27 | Nidec-Read Corp | 基板検査用検査治具および該検査治具を備えた基板検査装置 |
| US6812723B2 (en) | 2000-10-24 | 2004-11-02 | Nec Electronics Corporation | Probe pin for a probe card |
| JP2006017455A (ja) * | 2004-05-31 | 2006-01-19 | Totoku Electric Co Ltd | プローブ針及びその製造方法 |
| JP2007240235A (ja) * | 2006-03-07 | 2007-09-20 | Micronics Japan Co Ltd | 通電試験用プローブおよびプローブ組立体 |
| JP2010156648A (ja) * | 2009-01-05 | 2010-07-15 | Totoku Electric Co Ltd | プローブユニット構造 |
| CN102830159A (zh) * | 2011-06-16 | 2012-12-19 | 江苏力星通用钢球股份有限公司 | 2mw风力发电钢球涡流探伤仪用探针 |
| CN106662602A (zh) * | 2014-07-14 | 2017-05-10 | 泰克诺探头公司 | 用于测试头的接触探针和相应的制造方法 |
| JP6233947B1 (ja) * | 2017-02-15 | 2017-11-22 | Ｗｉｔ株式会社 | 基板検査用プローブ、基板検査装置、及びそれらを用いた基板検査方法 |
-
1994
- 1994-03-11 JP JP6040881A patent/JPH07248337A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002090410A (ja) * | 2000-09-13 | 2002-03-27 | Nidec-Read Corp | 基板検査用検査治具および該検査治具を備えた基板検査装置 |
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| CN106662602A (zh) * | 2014-07-14 | 2017-05-10 | 泰克诺探头公司 | 用于测试头的接触探针和相应的制造方法 |
| JP6233947B1 (ja) * | 2017-02-15 | 2017-11-22 | Ｗｉｔ株式会社 | 基板検査用プローブ、基板検査装置、及びそれらを用いた基板検査方法 |
| WO2018150478A1 (ja) * | 2017-02-15 | 2018-08-23 | Ｗｉｔ株式会社 | 基板検査用プローブ、基板検査装置、及びそれらを用いた基板検査方法 |
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