JP7296716B2 - 異方性導電シート - Google Patents
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Description
本発明に係る異方性導電シート10は、図1~図4に示すように、弾性を有する絶縁層1と、絶縁層1の厚さ方向Yに貫通する複数の導電線2とを有するものであり、その導電線2は、絶縁層1の厚さTと同じ又は略同じ長さからなるカーボン線2aと、そのカーボン線2aの外周に設けられた金属めっき層2bとで構成されていることに特徴がある。
絶縁層1は、図1~図4に示すように、異方性導電シート10を構成する弾性のあるシート状物である。この絶縁層1には、導電線2が厚さ方向Yに貫通して所定のピッチPで多数設けられている。絶縁層1の材質は、絶縁性を有し且つゴムのように弾性のある材料であれば特に限定されない。ゴムのように弾性のある材料とは、繰り返し使用しても特性が変わらず、押したら押した分だけ元に戻る特性を持つ材料のことであり、圧縮弾性率が5N/mm2以下、好ましくは2N/mm2以下であれば、そうした特性を示すことができる。圧縮弾性率の下限はシート状物として機能する範囲であり、強いて言えば0.5N/mm2とすることができる。具体的な材料としては、シリコーン樹脂、フッ素樹脂、ウレタン樹脂等を挙げることができる。
導電線2は、図2~図4及び図6に示すように、芯材となるカーボン線2aと、カーボン線2aの外周に設けられた金属めっき層2bとで構成されている。図2~図4において、D1は、カーボン線2aの直径であり、D2は、金属めっき層2bがカーボン線2a上に設けられた導電線2の直径である。なお、D3は、絶縁皮膜3が導電線2の外周に設けられている場合の直径である。こうした導電線2は、絶縁層1の厚さ方向Yに貫通している。また、図4に示すように、先端部4が設けられて、絶縁層1の面(先端部4以外の表面のこと。)から突出していてもよい。
絶縁皮膜3は、図3、図4及び図6(B)に示すように、導電線2上に必要に設けられる任意の構成である。絶縁皮膜3が設けられる場合は、導電線2の周囲に最外層として設けられることになる。この絶縁皮膜3は、隣接する導電線間の電気的な接触を妨げる絶縁性を有するように機能することができ、その種類は特に限定されず、導電線2上に直接設けられていてもよいし、導電線2上に他の層(図示しないが例えば他の樹脂層等)を介して設けられていてもよい。絶縁皮膜3としては特に限定されないが、例えばポリウレタン樹脂、ナイロン樹脂、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステルイミド樹脂、ポリアミド樹脂及びポリアミドイミド樹脂から選ばれるいずれか1種又は2種以上であることが好ましい。
突出した先端部4は、必須の構成ではなく、図4に示すように、異方性導電シート10を構成する絶縁層1の面(先端部4以外の表面のこと。)から突出する形態として必要に応じて設けられる。この突出した先端部4を設ける場合は、絶縁層1の面から少しだけ突出させ、その先端部4を被検査物20の電極部21等に接触させることができる。両面から突出した先端部4は、上記した導電線2の両端部にめっき層4aを設けて形成される。突出した高さH1,H2は、好ましくは1~3μmの範囲内とすることができる。なお、突出した先端部4が設けられていなくてもよく、その場合には、測定時に大きな荷重が異方性導電シート10に加わると、弾性を有する絶縁層1が凹むので、導電線2が被検査物20の電極部21等に接触する。
こうして形成された異方性導電シート10は、通常は、図1に示すような縦寸法A、横寸法B、絶縁層厚さTで表される矩形形状のシートであるが、その形状は円形、楕円形、多角形等であってもよい。異方性導電シート10の厚さは、シート状物である絶縁層1の厚さTと、突出する先端部4の厚さH1,H2とを加えた厚さであり、0.1~2mmの範囲内であり、好ましくは0.1~1mmの範囲内である。異方性導電シート10の厚さが0.1mm未満では、図7に示すような態様で行われる測定時に、0.02mmのストローク量を確保することができないことがあり、その厚さが2mmを超えると、導電線2を構成するカーボン線2aが長くなりすぎ、良導電性の金属めっき層2bを設けた場合であっても、抵抗値を抑えることができないことがある。上記したストロークとは、被検査物20の高さばらつき(半田バンプのばらつき等)を吸収するための長さであり、そのストローク量を確保したシート厚さ(例えば0.1mm)とすることにより、安定した接触抵抗を確保して正確な測定を行うことができる。
東レ株式会社製のトレカ糸(T700SC-12000-50C、線径0.007mm)をカーボン線2aとして用い、このカーボン線2aに電気めっきで厚さ0.0015mmの銅めっき層2bを設けて、導体径0.01mmの導電線2とした。さらにその銅めっき層2b上に、ウレタン樹脂からなる厚さ0.0025mmの絶縁皮膜3を焼き付け塗布し、直径0.015mmの絶縁皮膜付き導電線2を作製した。
東レ株式会社製のトレカ糸(T700SC-12000-50C、線径0.007mm)をカーボン線2aとして用い、このカーボン線2aに電気めっきでニッケルめっき層と金めっき層とをその順で形成した厚さ0.0031mmの金属めっき層2bを設けて、導体径0.0132mmの導電線2とした。さらにその金属めっき層2b上に、ウレタン樹脂からなる厚さ0.001mmの絶縁皮膜3を焼き付け塗布し、直径0.015mmの絶縁皮膜付き導電線2を作製した。
東レ株式会社製のトレカ糸(T700SC-12000-50C、線径0.007mm)をカーボン線2aとして用い、このカーボン線2aに電気めっきでニッケルめっき層と金めっき層とをその順で形成した厚0.0003mmの金属めっき層2bを設けて、導体径0.0076mmの導電線2とした。さらにその金属めっき層2b上に、ウレタン樹脂からなる厚さ0.0025mmの絶縁皮膜3を焼き付け塗布し、直径0.0126mmの絶縁皮膜付き導電線2を作製した。
実施例3において、CNT(線径0.007mm)をカーボン線2aとして用いた。それ以外は実施例3と同じにして、実施例4の異方性導電シート10(図3参照)を製造した。
東レ株式会社製のトレカ糸(M46JB-12000、線径0.005mm)をカーボン線2aとして用い、このカーボン線2aに電気めっきで厚さ0.0005mmのニッケルめっき層2bを設けて、導体径0.006mmの導電線2(絶縁皮膜なし)を作製した。
実施例5において、ニッケルめっき層の厚さを0.001mmに変更した。それ以外は実施例5と同じにして、実施例6の異方性導電シート10(図2参照)を製造した。なお、導電線2の直径は0.007mmである。
実施例5において、ニッケルめっき層の厚さを0.0025mmに変更した。それ以外は実施例5と同じにして、実施例7の異方性導電シート10(図2参照)を製造した。なお、導電線2の直径は0.010mmである。
実施例3において、金属めっき層2bを設けなかった。それ以外は実施例2と同じにして、比較例1の導電シートを製造した。なお、絶縁皮膜付きのカーボン線2aの直径は0.012mmである。
実施例5において、金属めっき層2bを設けなかった。それ以外は実施例5と同じにして、比較例2の導電シートを製造した。なお、導電線2の直径は0.005mmである。
実施例2において、金属めっき層2b及び絶縁皮膜3を設けなかった。それ以外は実施例2と同じにして、比較例3の導電シートを製造した。なお、導電線2の直径は0.007mmである。
表1は、実施例1~7及び比較例1~3で得られたシートの結果である。抵抗値は、各シートの両面方向に測定電極を接触させ、日置電機株式会社製の3541抵抗計で測定し、導電線2の数で割って得た値である。体積抵抗率及び導電率は、導電線1本あたりの抵抗値を、上記抵抗計で測定し、導電線の寸法から換算した。
2 導電線
2a カーボン線
2b 金属めっき層
3 絶縁皮膜
4 突出した先端部
4a めっき層
10 異方性導電シート
20 被検査物
21 電極部又は端子
A 縦寸法
B 横寸法
T 絶縁層の厚さ
T1 金属めっき層の厚さ
P 導電線間のピッチ
D1 カーボン線の直径
D2 導電線の直径
D3 絶縁皮膜が設けられた後の直径
H1,H2 両端部のめっき層の厚さ
W1 導電線間のギャップ(隙間)
W2 絶縁皮膜を含めた導電線間のギャップ(隙間)
Y 絶縁層の厚さ方向
G 電極間のギャップ(隙間)
Claims (5)
- 弾性を有する絶縁層と、前記絶縁層の厚さ方向に貫通する複数の導電線とを有し、被検査物の電極との接触荷重を確保して正確な検査を繰り返し行うことができる異方性導電シートであって、前記導電線は、前記絶縁層の厚さと同じ又は略同じ長さからなるカーボン線と、該カーボン線の外周に設けられた金属めっき層とで構成されており、前記カーボン線の直径をD1とし、前記金属めっき層の厚さをT1としたとき、0.04D1≦T1≦0.50D1、の関係式を満たし、前記導電線の両端部にはニッケルめっき層及び金めっき層の一方又は両方が設けられており、該両端部に設けられためっき層の厚さは前記カーボン線の直径より小さく且つ1~3μmの範囲内である、ことを特徴とする異方性導電シート。
- 前記金属めっき層は、銅、ニッケル、及び金から選ばれるいずれか1種又は2種以上で構成されるめっき層である、請求項1に記載の異方性導電シート。
- 前記カーボン線は、直径が0.001~0.05mmの範囲内である、請求項1又は2に記載の異方性導電シート。
- 前記絶縁層は、厚さ0.1~2mmの範囲内のシート状物である、請求項1~3のいずれか1項に記載の異方性導電シート。
- 前記関係式が、0.20D1≦T1≦0.50D1である、請求項1~4のいずれか1項に記載の異方性導電シート。
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