JP5590100B2 - 半導体装置製造用積層シート - Google Patents
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Description
38μm厚さの剥離シート上の厚さ25μmの接着シート(日立化成工業株式会社製、HS−LD100)を、金型、または切削機器を用い、表1のプリカット形式の欄に示す所定形状に接着シートをプリカットしたものを準備し、次に、厚さ110μmのダイシング用基材シート(古河電気工業株式会社製、UC−334EP)を表1に示すようなプリカットされた接着シートに張り合わせた後、ダイシングシートを直径240mmの円形にプリカットし、積層シートを作製した。
2 接着シート
3 ダイシング用基材シート
4 切込
5 中心
6 中心から凸部までの距離
7 中心から凹部までの距離
8 隣り合う2つの楔間の距離
9 楔形
Claims (4)
- 長尺の剥離シート上に、所定の形状にプリカットされた接着シートと、少なくとも延伸性と粘着性を有する単層または多層のダイシング用基材シートとが積層され、前記プリカット形状が楔形の凹凸を複数有する半導体装置製造用積層シート。
- 前記プリカット形状が、外周端部に切込を有する請求項1記載の半導体装置製造用積層シート。
- 前記プリカット形状が、前記楔形の凹部に切込を有する請求項1又は2に記載の半導体装置製造用積層シート。
- 前記ダイシング用基材シートが、ウェハリングの形状にプリカットされている請求項1〜3のいずれかに記載の半導体装置製造用積層シート。
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