JP5585238B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
前記真空搬送室の上方側に、当該真空搬送室側から外側に向くように水平に伸びると共に、水平方向に移動するように設けられた第1のガイド部材と、
この第1のガイド部材にガイドされて移動する移動体と、
この移動体を、前記処理室の上方と前記第1のガイド部材との間で移動させるためにガイドし、前記第1のガイド部材が対応する位置に静止したときに前記第1のガイド部材の延長線上に水平に位置するように設けられた第2のガイド部材と、
前記移動体に設けられ、当該移動体が第2のガイド部材上に位置しているときに前記容器本体に対して蓋体を着脱するために蓋体を保持して昇降させると共に、蓋体を保持した状態で当該移動体が第1のガイド部材に移動できるように構成された蓋体保持機構と、を備えたことを特徴とする。
不使用時には移動テーブル側に収納され、使用時には移動テーブル側から処理室側に伸び出すように構成してもよい。
13 搬送室
3 エッチング処理装置
30 処理室
31 容器本体
32 蓋体
4 蓋体反転機構
5 被保持部
50 係止部分
52 第2のガイドレール
54 第1のガイドレール
6 回転テーブル
71 移動体
8 蓋体保持機構
80 保持部
80a 水平部分
Claims (9)
- 予備真空室と、各々容器本体の上に蓋体を設けて構成され、基板に対して処理を行うための複数の処理室とを、内部に基板搬送機構が設けられた真空搬送室の周囲に接続した基板処理装置において、
前記真空搬送室の上方側に、当該真空搬送室側から外側に向くように水平に伸びると共に、水平方向に移動するように設けられた第1のガイド部材と、
この第1のガイド部材にガイドされて移動する移動体と、
この移動体を、前記処理室の上方と前記第1のガイド部材との間で移動させるためにガイドし、前記第1のガイド部材が対応する位置に静止したときに前記第1のガイド部材の延長線上に水平に位置するように設けられた第2のガイド部材と、
前記移動体に設けられ、当該移動体が第2のガイド部材上に位置しているときに前記容器本体に対して蓋体を着脱するために蓋体を保持して昇降させると共に、蓋体を保持した状態で当該移動体が第1のガイド部材に移動できるように構成された蓋体保持機構と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記真空搬送室の上方側に設けられ、水平方向に移動する移動テーブルを備え、
前記第1のガイド部材は、この移動テーブルに設けられることを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。 - 前記移動テーブルは、真空搬送室の中心部を中心として鉛直軸の周りに回転する回転テーブルとして構成されていることを特徴とする請求項2記載の基板処理装置。
- 前記蓋体には、第2のガイド部材の伸びる方向に沿って横方向に伸び、下方に空間が形成された係止部分を含む被保持部が設けられ、前記蓋体保持機構には、進退移動しながら前記係止部分の下方側の空間に進入し、その後上昇して前記係止部分を下方側から押し上げることにより蓋体を持ち上げる保持部が設けられていることを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。
- 前記第2のガイド部材は、処理室毎に設けられていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載の基板処理装置。
- 前記第2のガイド部材は、不使用時には移動テーブル側に収納され、使用時には移動テーブル側から処理室側に伸び出すように構成されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載の基板処理装置。
- 前記真空搬送室は平面形状が多角形に形成され、
前記真空搬送室の側面のうち、その外方側にメンテナンス領域を確保するための一つの側面を除く他の側面に、夫々前記予備真空室と処理室とが接続されていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 前記メンテナンス領域には、前記蓋体保持機構から受け渡された蓋体を保持して反転させる蓋体反転機構が設けられていることを特徴とする請求項7記載の基板処理装置。
- 前記真空搬送室は六つの側面を有し、該側面に一つの前記予備真空室と四つの処理室が接続されることを特徴とする請求項7記載の基板処理装置。
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