JP5569685B2 - スポンジロール - Google Patents
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Description
〔第1実施形態〕
図1は本発明の第1実施形態に係るスポンジロール1の正面図であり、図2は図1のスポンジロール1の分解図である。
スポンジロール1は軸体10と複数のスポンジ体20と複数のスペーサ30とストッパ40とから構成されている。なお、図2では、説明の便宜上、スポンジ体20とスペーサ30とをそれぞれ2つだけ表示している。
先ず、スポンジ体20とスペーサ30とを軸体10に交互に装着する。このとき、軸体10の各凸条部11を、スポンジ体20とスペーサ30の凹部22,32に係合させる。
しかも、隙間に隣接するスポンジ体20が軸体10に対して斜めにセットされているため、ガラス基板などの被洗浄物の表面にブラシマークの発生を防止できる。
第2実施形態に係るスポンジロールは、第1実施形態のスポンジロール1に対して、スポンジ体が外周に凸片を備えていない点で異なる。
前述の第1実施形態と同じ要素などには同じ符号を付してその説明を省略する。
図7は第2実施形態に係るスポンジ体20Aの正面図である。スポンジ体20Aは輪郭が円形に形成されており、その外径R4はスペーサ30の外径R1よりも大きく設定されている。
前記説明で、装着手段としてスペーサを例示したが、このスペーサに代えて、図8に示すように軸体の表面に所定の間隔を開けて複数のキー溝80を形成してもよい。各キー溝80にスポンジ体が装着される。或いは、軸体の表面を所定の間隔で凸状の膨出部を形成し、該膨出部間に形成される凹部にスポンジ体を装着してもよい。
軸体は、中実な棒材を利用してもよい。
スポンジ体の形状は、図示例に限定されるものではない。
凸片の数や形状は図示例に限定されるものではない。
10 軸体
11 軸体の凸条部
20,20A スポンジ体
21 スポンジ体の中心孔
22 スポンジ体の凹部
23 スポンジ体の凸片
30 スペーサ
31 スペーサの中心孔
32 スペーサの凹部
40 ストッパ
41 ストッパの中心孔
42 ストッパの凹部
80 キー溝
Claims (5)
- 軸体と、該軸体に装着される薄板状に形成された複数のスポンジ体と、を備えたスポンジロールにおいて、
上記スポンジ体同士の間に隙間を形成すると共に、上記スポンジ体を上記軸体に斜めに装着する装着手段を備え、
上記装着手段はスペーサで成り、
上記スポンジ体同士の間にスペーサが設けられて上記隙間が形成されており、上記スペーサの厚みが1〜2mmの範囲であり、
精密製品、電子製品又はこれらの部品を洗浄するために使用されることを特徴とする、スポンジロール。 - 前記精密製品、電子製品又はこれらの部品が、ガラス基板、合成樹脂フィルム及び合成樹脂プレートの少なくとも1種の被洗浄物を含むことを特徴とする、請求項1記載のスポンジロール。
- 前記装着手段は薄板状に形成されたスペーサで成り、
前記スポンジ体及び上記スペーサは前記軸体を通す中心孔を有し、
上記スペーサの中心孔は、スペーサ板面に垂直な第1仮想線に対して傾いた線を第2仮想線とした場合に、上記第2仮想線を中心軸として傾いて形成されており、
前記スポンジ体と上記スペーサとは前記軸体に交互に装着されていて、上記スペーサは上記中心孔によって前記軸体に斜めに装着され、前記スポンジ体は上記スペーサに支持されて前記軸体に斜めに装着されていることを特徴とする、請求項1又は2記載のスポンジロール。 - 前記軸体の全長に亙って複数の凸条部が一続きに形成され、前記スポンジ体及びスペーサの中心孔が該軸体の凸条部に係合する複数の凹部を有し、前記スポンジ体とスペーサとが前記軸体に交互に装着された状態で、前記軸体の凸条部と係合する凹部を有するストッパが該軸体の両端に装着されることを特徴とする、請求項3記載のスポンジロール。
- 前記スポンジ体は、外周から突出した複数の凸片を備えていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項記載のスポンジロール。
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US5870792A (en) * | 1997-03-31 | 1999-02-16 | Speedfam Corporation | Apparatus for cleaning wafers and discs |
JP2006075718A (ja) * | 2004-09-09 | 2006-03-23 | Aion Kk | 弾性ローラ |
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