JP5565452B2 - 両方向ゲートバルブ及びこれを備えた基板処理システム - Google Patents
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Description
20 バルブチャンバー
21 バルブチャンバーカバー
22 バルブチャンバーハウジング
23 第一出入口
24 第二出入口
30 シリンダーモジュール
31 シリンダーモジュール本体
32 第一駆動手段
33,34 第二駆動手段
35,36 第三駆動手段
32a、33a、34a、35a、36a:シャフト32b、33b、34b、35b、36b シリンダー
37 ベローズ
40 プッシュプルモジュール
41 プッシュプルモジュール本体
42,47 ローラ
43,44 第一作動体
43a、46a プッシュロッド
43b、46b 回転軸
43c、46c 移動軸
45,46 第二作動体
50 移動モジュール
51 移動モジュールボディー
52 第一シリングプレート
53 第一Oリング
54 第二シリングプレート
55 第二Oリング
56,57 弾性部材
58,59 線形軸
60 第一チャンバー
61 出入口
62 第二チャンバー
63 出入口
70 基板処理システム
71 EFEM
72 キャリア
73 第一トランスファーチャンバー
74 ロードロックチャンバー
75 第二トランスファーチャンバー
76〜80 プロセスチャンバー
90〜96 ゲートバルブ
SL 待機位置
AL 作動位置
Claims (12)
- 第一チャンバーに連結される第一出入口と第二チャンバーに連結される第二出入口および開閉可能なチャンバーカバーを有するバルブチャンバー;前記第一出入口を密封するための第一シリングプレートと前記第二出入口を密封するための第二シリングプレートおよび前記第一および第二シリングプレートが装着される移動モジュール本体を有する移動モジュール;前記移動モジュール本体が線形移動可能に結びつくプッシュプルモジュール本体と前記第一シリングプレートが前記第一出入口を密封させるように前記移動モジュールを前記第一出入口方向に移動させる第一作動体と前記第二シリングプレートが前記第二出入口を密封させるように前記移動モジュールを前記第二出入口方向に移動させる第二作動体を有するプッシュプルモジュール;前記第一作動体を動作させるための第一駆動手段;前記第二作動体を動作させるための第二駆動手段;および前記プッシュプルモジュールを作動位置と待機位置の間で移動させるための第三駆動手段を含み、前記第三駆動手段によって前記プッシュプルモジュールが作動位置に移動すれば前記第一駆動手段によって前記第一作動体が動作したり第二駆動手段によって前記第二作動体が動作して前記第一出入口または、第二出入口のいずれか一つを選択的に密封させることを特徴とする両方向ゲートバルブ。
- 前記第一作動体は、前記プッシュプルモジュール本体に回動自在に結びつく回転軸と前記第一駆動手段に連結される移動軸を有するプッシュロッドを含み、前記第一駆動手段が前記移動軸を移動させれば前記プッシュロッドは前記回転軸を中心として回転しながら前記移動モジュールを押して前記第一出入口方向に移動させて前記第一シリングプレートが前記第一出入口を密封するようにし、前記第二作動体は前記プッシュプルモジュール本体に回動自在に結びつく回転軸と前記第二駆動手段に連結される移動軸を有するプッシュロッドを含み、前記第二駆動手段が前記移動軸を移動させれば前記プッシュロッドは前記回転軸を中心として回転しながら前記移動モジュールを押して前記第二出入口方向に移動させて前記第二シリングプレートが前記第二出入口を密封するようにすることを特徴とする請求項1記載の両方向ゲートバルブ。
- 前記第一駆動手段は、前記第一作動体に連結される第一シャフトと前記第一シャフトを駆動させる第一シリンダーを有し、前記第二駆動手段は前記第二作動体に連結される第二シャフトと前記第二シャフトを駆動させる第二シリンダーを有し、そして前記第三駆動手段は前記プッシュプルモジュールに連結される第三シャフトと前記第三シャフトを駆動させる第三シリンダーを有することを特徴とする請求項1記載の両方向ゲートバルブ。
- 前記第一ないし第三シリンダーは、油圧駆動方式のシリンダー、空圧駆動方式のシリンダー、ソレノイド駆動方式のシリンダーのいずれか一つであることを特徴とする請求項3記載の両方向ゲートバルブ。
- 前記第一ないし第三駆動手段を前記バルブチャンバー内で密封するためのベローズを含むことを特徴とする請求項1記載の両方向ゲートバルブ。
- 前記プッシュプルモジュールは、前記移動モジュール本体が前記第一作動体または、第二作動体によって作動した後前記移動モジュール本体を再び本来の位置で復元させるための弾性部材を含むことを特徴とする請求項1記載の両方向ゲートバルブ。
- 前記プッシュプルモジュールと前記移動モジュールの間に構成される一つ以上のローラを含むことを特徴とする請求項1記載の両方向ゲートバルブ。
- 第一チャンバー;第二チャンバー;前記第一チャンバーに連結される第一出入口と前記第二チャンバーに連結される第二出入口および開閉可能なチャンバーカバーを有するバルブチャンバー;前記第一出入口を密封するための第一シリングプレートと前記第二出入口を密封するための第二シリングプレートおよび前記第一および第二シリングプレートが装着される移動モジュール本体を有する移動モジュール;前記移動モジュール本体が線形移動可能に結びつくプッシュプルモジュール本体と前記第一シリングプレートが前記第一出入口を密封させるように前記移動モジュールを前記第一出入口方向に移動させる第一作動体と前記第二シリングプレートが前記第二出入口を密封させるように前記移動モジュールを前記第二出入口方向に移動させる第二作動体を有するプッシュプルモジュール;前記第一作動体を動作させるための第一駆動手段;前記第二作動体を動作させるための第二駆動手段;および前記プッシュプルモジュールを作動位置と待機位置の間に移動させるための第三駆動手段を含み、前記第三駆動手段によって前記プッシュプルモジュールが作動位置に移動すれば前記第一駆動手段によって前記第一作動体が動作したり第二駆動手段によって前記第二作動体が動作して前記第一出入口または、第二出入口のいずれか一つを選択的に密封させることを特徴とする基板処理システム。
- 前記第一チャンバーは、被処理基板を返送する返送装置が備わったトランスファーチャンバーで、前記第二チャンバーは被処理基板を真空処理するためのプロセスチャンバーであることを特徴とする請求項8記載の基板処理システム。
- 前記トランスファーチャンバーは、大気圧チャンバーまたは、真空チャンバーのいずれか一つであることを特徴とする請求項9記載の基板処理システム。
- 前記第一および第二チャンバーは、被処理基板を真空処理するためのプロセスチャンバーであることを特徴とする請求項8記載の基板処理システム。
- 前記第一チャンバーは、被処理基板を返送する返送装置が備わったトランスファーチャンバーで、前記第二チャンバーは被処理基板を交換するためのロードロックチャンバーであることを特徴とする請求項8記載の基板処理システム。
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