JP3912604B2 - ゲート弁 - Google Patents
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Description
図7に示されるように、弁棒に設けた弁板を横方向に傾動させる構成が採用されていた。
すなわち、弁箱1の各開口2、3の一方のみを1枚の弁板90の一面で開閉弁し、弁棒4の傾動と上下動は複雑なカムを用いて行っていた。
また、弁板の片面のみを用いて開口の開閉弁を行うため、Oリングの耐久性を保持することが難しく、信頼性を確立することが容易ではなく、メンテナンスのコストも高くなっていた。
すなわち、弁棒に対して一対のテーパ状の弁板面を有する弁板を第1軸支部を介して回動自在に支持し、弁棒をシリンダからなる昇降用シリンダ及び横方向アクチュエータ及び一対のロックシリンダのみで昇降及び傾動させているため、極めて簡単な構成によって、弁箱の一対の開口の何れでも一対の弁板面を用いて摺動なしで自在に開閉弁することができ、高い信頼性を得ることができる。
図1及び図2は本発明によるゲート弁の第1実施例を示すもので、(A)から(D)迄は可逆的に開閉弁動作を示している。
前記横方向アクチュエータ31は、下部開放型の枠体33に設けられた横方向棒34を案内として左右何れかの方向に移動できるように、周知のエアー式等のシリンダ型又は電磁駆動型等で構成されている。
従って、前記各ストッパ35、36が図1の(A)のように、横方向アクチュエータ31と枠体33との間に位置する場合は、横方向アクチュエータ31は横方向に移動することができず、弁棒4は傾動することのない中立の直立状態となるように構成されている。
前記軸支体40と固定板42との間には、昇降用シリンダ43が設けられている。
前述の状態下で、図2の(C)の状態のように、第2ロックシリンダ38の第2ストッパ36を引き込んだ後に、横方向アクチュエータ31を図上で右方向に移動させると、一方のロックが解除され、弁棒4は図2の(D)の状態のように右側へ回動されて第1弁板5が第1開口2に接合して、第1開口2が閉弁される。従って、各弁板面5、6は、図1及び図2の矢印で示されるように、前述とは逆方向の動作も可である。
尚、図6は前述の各実施例における弁板90の動作を従来例の図7の構成と比較して示している。従って、弁板90の各弁板面5、6に設けられているOリング90aが交互に用いられている状態を示している。
1a 底板
2、3 第1、第2開口
4 弁棒
5、6 第1、第2弁板面
7 第1軸支部
30 長孔
31 横方向アクチュエータ
32 ピン
33 枠体
34 横方向棒
35、36 第1、第2ストッパ
37、38 第1、第2ロックシリンダ
40 軸支体
41 第2軸支部
42 固定板
43 昇降用シリンダ
44 筒状ベローズ
90 弁板
90a Oリング
Claims (1)
- 一対の第1、第2開口(2,3)を有する弁箱(1)内で上昇及び下降自在な一対のテーパ状の第1、第2弁板面(5,6)を有する弁板(90)を第1軸支部(7)を介して回動自在に設け前記弁箱(1)の底板(1a)を作動自在に貫通する弁棒(4)と、前記底板(1a)と前記弁棒(4)の下部に設けた固定板(42)との間に設けられ前記弁棒(4)を覆うための筒状ベローズ(44)と、前記筒状ベローズ(44)の上部の外周面に固定された固定部(40a)と、前記弁棒(4)を前記固定部(40a)に設けた第2軸支部(41)を介して回動自在に支持するための枠状の軸支体(40)と、前記軸支体(40)と前記固定板(42)との間に設けられ前記弁棒(4)を昇降させる昇降用シリンダ(43)と、前記固定板(42)の下方に設けられた下部開放型の枠体(33)内に設けられた横方向棒(34)と、前記弁棒(4)の下部に形成された長孔(30)に係合するピン(32)と、前記ピン(32)を有し前記横方向棒(34)に設けられると共に前記弁棒(4)の長手方向と直交する横方向に往復移動自在な横方向アクチュエータ(31)と、前記横方向アクチュエータ(31)の両側に設けられた一対の第1、第2ストッパ(35,36)と、前記第1、第2ストッパ(35,36)に接続された第1、第2ロックシリンダ(37,38)とを備え、
前記昇降用シリンダ(43)により前記弁棒(4)を上昇させた状態で、前記各ロックシリンダ(37,38)のうちの一方を作動させて一方の前記第2ストッパ(36)と横方向アクチュエータ(31)との係合を解除し、前記横方向アクチュエータ(31)を横方向に移動させることにより、前記弁棒(4)を前記第2軸支部(41)を介して傾動させ、前記各弁板面(5,6)の何れか一方を前記開口(2,3)に接合して閉弁とするように構成したことを特徴とするゲート弁。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190136699A (ko) * | 2018-05-31 | 2019-12-10 | 주식회사 에이씨엔 | 공간 절약형 게이트 밸브 시스템 |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6913243B1 (en) * | 2000-03-30 | 2005-07-05 | Lam Research Corporation | Unitary slot valve actuator with dual valves |
US7370009B1 (en) * | 2000-10-05 | 2008-05-06 | I2 Technologies Us, Inc. | Extreme capacity management in an electronic marketplace environment |
JP4437743B2 (ja) * | 2004-12-21 | 2010-03-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空処理装置用開閉機構及び真空処理装置 |
JP5080169B2 (ja) * | 2006-09-20 | 2012-11-21 | バット ホールディング アーゲー | 真空バルブ |
KR101017603B1 (ko) * | 2008-04-23 | 2011-02-28 | 프리시스 주식회사 | 양방향 게이트 밸브 |
DE102008049353A1 (de) | 2008-09-29 | 2010-04-08 | Vat Holding Ag | Vakuumventil |
DE102008061315B4 (de) | 2008-12-11 | 2012-11-15 | Vat Holding Ag | Aufhängung einer Ventilplatte an einer Ventilstange |
US20110006235A1 (en) * | 2009-07-08 | 2011-01-13 | Confluence Solar, Inc. | Retractable and expandable valve gate |
US20110006236A1 (en) * | 2009-07-08 | 2011-01-13 | Confluence Solar, Incorporated | Retractable and expandable water cooled valve gate useful for sealing a hot processing chamber |
US8434511B2 (en) * | 2009-07-08 | 2013-05-07 | Gt Advanced Cz Llc | Retractable and expandable water cooled valve gate useful for sealing a hot processing chamber |
TWI541465B (zh) * | 2009-10-27 | 2016-07-11 | Vat控股股份有限公司 | 用於真空閥之封閉單元 |
KR101293590B1 (ko) * | 2011-12-16 | 2013-08-13 | 주식회사 뉴파워 프라즈마 | 양방향 게이트 밸브 및 이를 구비한 기판 처리 시스템 |
KR101375280B1 (ko) * | 2012-04-06 | 2014-03-17 | 프리시스 주식회사 | 게이트 밸브 |
KR101376045B1 (ko) * | 2012-04-06 | 2014-03-18 | 프리시스 주식회사 | 게이트 밸브 |
JP5963091B2 (ja) * | 2013-07-10 | 2016-08-03 | Smc株式会社 | 無摺動型ゲートバルブ |
TWI656293B (zh) * | 2014-04-25 | 2019-04-11 | 瑞士商Vat控股股份有限公司 | 閥 |
KR102504619B1 (ko) * | 2015-03-09 | 2023-02-27 | 배트 홀딩 아게 | 진공밸브 |
CN104776237A (zh) * | 2015-03-23 | 2015-07-15 | 苏州福润机械有限公司 | 一种升降式流量可调阀门 |
KR101738598B1 (ko) * | 2015-07-31 | 2017-05-22 | 프리시스 주식회사 | 양방향 게이트밸브 |
TWI740981B (zh) * | 2016-08-22 | 2021-10-01 | 瑞士商Vat控股股份有限公司 | 真空閥 |
CN112337209B (zh) * | 2017-09-12 | 2022-05-17 | 苏州协昌环保科技股份有限公司 | 除尘***的清灰装置及其控制方法 |
KR102131282B1 (ko) * | 2018-06-11 | 2020-07-07 | 주식회사 에이씨엔 | 도어 밀착 캠 타입의 게이트 밸브 시스템 및 반도체 기판 처리 장비 |
DE102019001115A1 (de) * | 2019-02-15 | 2020-08-20 | Vat Holding Ag | Torventil mit Kulissenführung |
CN112119247B (zh) * | 2019-05-07 | 2021-04-30 | 入江工研株式会社 | 闸阀 |
US11749540B2 (en) * | 2020-08-21 | 2023-09-05 | Applied Materials, Inc. | Dual actuating tilting slit valve |
KR102540779B1 (ko) * | 2021-09-08 | 2023-06-05 | 이병순 | 가드 게이트밸브 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07158767A (ja) * | 1993-12-09 | 1995-06-20 | Kokusai Electric Co Ltd | ゲートバルブ |
JP2766190B2 (ja) * | 1994-07-28 | 1998-06-18 | 入江工研株式会社 | 無しゅう動真空ゲートバルブ |
JP2990062B2 (ja) * | 1996-05-22 | 1999-12-13 | 入江工研株式会社 | 無しゅう動真空ゲートバルブ |
JP3349962B2 (ja) * | 1997-09-24 | 2002-11-25 | 株式会社キッツエスシーティー | ゲートバルブ |
US6095741A (en) * | 1999-03-29 | 2000-08-01 | Lam Research Corporation | Dual sided slot valve and method for implementing the same |
DE60012428T2 (de) * | 1999-06-14 | 2005-07-28 | Smc K.K. | Schieber |
JP2001041330A (ja) * | 1999-07-28 | 2001-02-13 | Ckd Corp | ゲートバルブ |
JP2002106729A (ja) * | 2000-09-28 | 2002-04-10 | Ckd Corp | ゲート弁 |
JP3664998B2 (ja) * | 2001-06-22 | 2005-06-29 | 株式会社アルバック | 真空処理装置 |
JP2005076836A (ja) * | 2003-09-03 | 2005-03-24 | V Tex:Kk | ゲートバルブ並びに真空処理容器および真空処理容器のゲート開閉方法 |
-
2003
- 2003-11-04 JP JP2003374157A patent/JP3912604B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-03-10 US US10/796,211 patent/US6966538B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-03-29 KR KR1020040021259A patent/KR100579067B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190136699A (ko) * | 2018-05-31 | 2019-12-10 | 주식회사 에이씨엔 | 공간 절약형 게이트 밸브 시스템 |
KR102133007B1 (ko) * | 2018-05-31 | 2020-07-10 | 주식회사 에이씨엔 | 공간 절약형 게이트 밸브 시스템 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100579067B1 (ko) | 2006-05-12 |
JP2005140151A (ja) | 2005-06-02 |
US20050092953A1 (en) | 2005-05-05 |
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KR20050042721A (ko) | 2005-05-10 |
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