JP4238255B2 - 真空用ゲートバルブおよび該真空用ゲートバルブの開閉方法 - Google Patents
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Description
図6(a)はゲートバルブ開状態を示し、図6(b)はゲートバルブ開状態を示し、図6(c)は弁シール状態を示し、図6(d)は図6(c)の弁シール状態を拡大して示している。
従来の片面シールで同圧〜逆圧まで保持する機構ではなく、圧力条件の良い方向(同
圧・正圧)へシールさせることでバルブへの負荷を軽減させることができる。
弁の開閉動作とシール動作が独立していることにより、従来のように操作部で弁体部
を保持する必要がなくなったため小型化することができる。
シールリング、例えばOリングを交換するには、弁箱から上フタを取り外し開閉用シ
リンダのシリンダロッドと連結されているボルト2本を取り外すことにより、弁体ア
ッセンブリだけを取り出すことが可能である。従来のように、バルブ操作部毎外す必
要がなくなる。
シール動作用に転動体を使用することにより、発塵箇所を極限まで押えることができ
る。
弁体アッセンブリの開閉動作、シール動作共にエアクッション付シリンダを用いるこ
とにより実現できる。
れを低減
弁体アッセンブリの開閉動作とシール動作が独立しており、シール動作は全く垂直に
押し付けられる構造とすることができる。
ができる。(過剰なシールリング潰し力を与えないため)
従来の片面シールで正圧〜逆圧まで保持する構造とは異なり、2方向(選択式)で弁
シールを行うため逆圧に耐えるという過剰な負荷を考慮しなくて良い。すなわち同圧
でのみシール力を保持すれば良いためシール材であるOリングなどに過剰な負荷を与
えずに済む。
3と少々相反するが、実際の装置取り付け状態での運転ではプロセス中のガス導入の
ため少々の微逆圧が生じることがままある。本実施例のゲートバルブ100は、それ
を考慮し片面で同圧〜微逆圧までのシールを可能としている。
Claims (7)
- 対向配置の弁箱開口を有する弁箱と、該弁箱の弁箱開口の内面にそれぞれ対向配置される座面を、シールリングを介してシールする弁体アッセンブリと、該弁体アッセンブリを垂直方向に保持するゲートコアと、前記弁体アッセンブリを垂直方向にスライドさせる第1の駆動装置と、を備えたゲートバルブにおいて、
前記弁体アッセンブリの水平方向に操作力を発生させる、前記弁箱に固定された2つの第2の駆動装置を有し、前記第2の駆動装置と前記弁体アッセンブリの間に前記第2の駆動装置によって生成した水平方向の操作力を座面方向の操作力に変換する操作方向変換部を備え、前記第1の駆動装置によって、前記弁体アッセンブリを垂直方向に移動させて該弁体アッセンブリを前記弁箱の対向する座面いずれにも非接触状態である中立位置に保持し、
前記第2の駆動装置によって、水平方向の操作力を生成し、
前記操作方向変換部によって、前記水平方向の操作力を対向する座面のいずれかの座面方向の操作力に変換して中立位置にある前記弁体アッセンブリをいずれかの座面方向に移動させて、前記弁箱開口の一方を前記シールリングを介して前記弁体アッセンブリでシールすること
を特徴とするゲートバルブ。 - 対向配置の弁箱開口を有する弁箱と、該弁箱の弁箱開口の内面にそれぞれ対向配置される座面を、シールリングを介してシールする弁体アッセンブリと、該弁体アッセンブリを垂直方向に保持するゲートコアと、前記弁体アッセンブリを垂直方向にスライドさせる第1の駆動装置と、を備えたゲートバルブにおいて、
前記弁体アッセンブリの水平方向に操作力を発生させる、前記弁箱に固定された2つの第2の駆動装置を有し、
前記第2の駆動装置は、水平方向に延在するシリンダロッドと、該シリンダロッドの先端部に取り付けた2つの対向する転動体を備え、
対向する2つの前記転動体は、間隙Lを置いて配置され、
前記弁体アッセンブリは、間隙L方向で間隙Lよりも大きな係合幅を有して、座面方向に転動する転動体のいずれかと係合する係合部を有し、
前記転動体の一方が前記係合体に係合したときに他方の転動体は前記係合体に係合しないことによって、前記弁体アッセンブリを係合しない転動体側に移動させて前記弁箱開口の一方を前記シールリングを介して前記弁体アッセンブリでシールすること
を特徴とするゲートバルブ。 - 請求項2において、前記転動体は、前記弁箱の内面に沿って転動することを特徴とするゲートバルブ。
- 請求項2において、前記弁体アッセンブリは、2枚の弁板と、これらの弁板間に、開閉方向に設けたピンと、これらの弁板の間に配設され、かつ前記第1駆動装置のシリンダロッドに接続されたゲートコアを前記ピンに対して摺動可能に備えることを特徴とするゲートバルブ。
- 請求項2において、前記第2駆動装置は、前記弁体アッセンブリの水平方向に並置して対向して設けられ、対向する転動体は同期して作動し得ることを特徴とするゲートバルブ。
- 対向配置の弁箱開口を有する弁箱と、該弁箱の弁箱開口の内面にそれぞれ対向配置される座面を、シールリングを介してシールする弁体アッセンブリと、該弁体アッセンブリを垂直方向に保持するゲートコアと、前記弁体アッセンブリを垂直方向にスライドさせる第1の駆動装置と、前記弁体アッセンブリの水平方向にあって、前記弁箱に固定された2つの第2の駆動装置と、該第2の駆動装置によって生成した水平方向の操作力を座面方向の操作力に変換する変換部と、を備えたゲートバルブのゲート開閉方法において、
前記第1の駆動装置によって、前記弁体アッセンブリを垂直方向に移動させて該弁体アッセンブリを前記弁箱の弁箱開口に対していずれにも非接触状態である中立位置に保持するステップと、
前記第2の駆動装置によって、水平方向の操作力を生成するステップと、
前記操作方向変換部によって、水平方向の操作力を対向する座面のいずれかの座面方向の操作力に変換して中立位置にある前記弁体アッセンブリをいずれかの座面方向に移動させて、前記弁箱開口の一方を前記シールリングを介して前記弁体アッセンブリでシールし、中立位置にあった前記弁体アッセンブリを当該弁箱の開口に対向する他方の弁箱開口から更に開放すること
を特徴とするゲートバルブの開閉方法。 - 請求項6において、前記ゲートバルブが真空搬送室と真空処理室との間に設けられているときに、前記真空処理室の真空を開放あるいは真空を弱める場合には、弁体アッセンブリが備えた前記真空搬送室側の弁板で一方の弁箱開口にシールし、該弁体アッセンブリが備えた他方の弁板の一方を他方の弁箱開口から更に開放することを特徴とするゲートバルブの開閉方法。
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