JP5546924B2 - レーザ加工方法及びレーザ加工装置 - Google Patents
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Description
5 レーザ光
10,50 アパーチャ
10a1〜9、10b1〜16、10c、10c1〜6 窓
ガルバノミラー23,24
25 Fθレンズ
28 ワーク
62 マスク
L ライン溝
P パッド溝
Claims (8)
- レーザ光の第1の走査によりライン溝を加工し、レーザ光の第2の走査によりパッド溝を加工して前記ライン溝と前記パッド溝とを接続するレーザ加工方法において、
前記パッド溝の加工領域を、第1の加工領域と、この第1の領域に接する第2の加工領域とに分割し、
前記第1の走査により前記第1の加工領域を、前記第2の走査により前記第2の加工領域をそれぞれ加工し、
前記第1の走査により加工された前記ライン溝と前記第2の走査により加工された前記領域とが前記パッド溝内において互いに接するようにしたこと
を特徴とするレーザ加工方法。 - レーザ光の第1の走査によりライン溝を加工し、レーザ光の第2の走査により円形のパッド溝を加工して前記ライン溝と前記パッド溝とを接続するレーザ加工方法において、
前記第1の走査により、当該幅が前記パッド溝の弦に一致するまで、前記ライン溝を加工し、
前記第2の走査により、前記第1の走査により加工された領域を除いた前記パッド溝内の領域を加工し、
前記第1の走査により加工された前記ライン溝と前記第2の走査により加工された前記領域とが前記パッド溝内において互いに接するようにしたこと
を特徴とするレーザ加工方法。 - レーザ光の第1の走査によりライン溝を加工し、レーザ光の第2の走査により円形のパッド溝を加工して前記ライン溝と前記パッド溝とを接続するレーザ加工方法において、
前記第2の走査により、前記パッド溝内の領域を加工し、
先端部を前記パッド溝の曲率に等しい凹型とした前記第1の走査により、当該先端部が前記パッド溝の外周に接するまで前記ライン溝を加工し、
前記第1の走査により加工された前記ライン溝と前記第2の走査により加工された前記領域とが前記パッド溝の外周において互いに接するようにしたこと
を特徴とするレーザ加工方法。 - アパーチャに設けた窓によりレーザ光の外形を整形し、前記レーザ光を集光レンズにより集光させてワークに照射するレーザ加工装置において、
パッド溝とライン溝の隣接領域が互いに接するように、前記パッド溝を形成するレーザ光の外形を整形する前記窓の外縁形状と、前記ライン溝を形成するレーザ光の外形を整形する前記窓の前記パッド溝側の先端形状とを一致させたこと
を特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項4記載のレーザ加工装置であって、
前記隣接領域のパッド溝側が凹型でライン溝側が凸型に形成され、前記ライン溝の外幅が前記パッド溝の弦と一致していること
を特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項4記載のレーザ加工装置であって、
前記隣接領域のパッド溝側が直線状でライン溝側が直線状に形成され、前記ライン溝の外幅が前記パッド溝の弦と一致していること
を特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項4記載のレーザ加工装置であって、
前記隣接領域のパッド溝側が円弧の外周部でライン溝側が前記円弧の外周に接する形状に形成され、前記ライン溝の外幅が前記パッド溝の弦と一致する形状に前記窓の形状が設定されていること
を特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項4ないし7のいずれか1項に記載のレーザ加工装置において、
前記窓の外縁形状が、円形の窓と、前記窓の外縁に設けられ、前記窓の直径方向に進出後退自在な複数の突出部とによって設定されること
を特徴とするレーザ加工装置。
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