JP5531296B2 - 不揮発性半導体記憶装置 - Google Patents
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Description
本実施例では、図9に示すようなMIM構造を有するバイポーラ動作向け非オーミック素子構造を考える。図中のMIM構造の右側に電子障壁Bを有するバンド構造と電流Iの方向を示している。
・ドット絶縁膜:母材(SiO2、Al2O3)×ドット(Si,Ge,Al)など
これらの絶縁膜に要求される特性として、破壊耐圧が高いことが挙げられる。これは、可変抵抗素子のセット時に高電圧印加が要求されるためであり、絶縁材料に応じて膜厚を変化させて耐圧向上させる必要がある。
ここで、エッチング加工可能で絶縁破壊しないための実膜厚T(nm)と非オーミック素子に印加される電圧V(V)の関係は(1)式より以下の式に変形される。
W(nm)は非オーミック素子の横幅であり、エッチング加工可能なアスペクト比を10以下としている。この式は、不純物絶縁膜及びドット絶縁膜における母材のトータル実膜厚Tの範囲を限定するものである。また、このときの不純物及びドットの平均位置を母材の中央から±0.2×T以内にすることでバイポーラ動作に適した構造となる。
ε1(V1/T1)=ε2(V2/T2)=ε3(V3/T3)= …(4)
(2)(3)(4)式より、第1層目が絶縁破壊しないための実膜厚T1 は、以下の式で表される。
V1 = V/{(ε1/T1)(T2/ε2+T3/ε3)+1} …(6)
10W > T1+T2+T3 …(7)
第2、3層目の場合は(6)式の分母の添え字の1,2,3の関係が入れ替わるだけで、(5)(6)式の関係をそのまま適用可能である。これは、本実施例に記載した3層の積層絶縁膜における実膜厚範囲を限定するものである。
本実施例では、主に絶縁材料として酸化物,窒化物の適用例について述べたが、前記3種類の絶縁膜構造の条件を満たす材料において本発明は適用可能であり、シリケート膜、アルミネート膜、酸窒化膜、混合膜及び各種多層膜においてもその有効性が維持される。また、これらの材料の成膜手法に依らず、スパッタ、ALCVD(Atomic Layer CVD)、蒸着及びプラズマCVD等で形成した膜であっても同様の効果を得ることができる。
本実施例で用いたD2O放電による選択酸化は、放電により生成されたDラジカルによる還元反応と、ODラジカル及びOラジカルによる酸化反応と、のバランスが材料によって異なる点をうまく使っている手法である。このラジカル雰囲気下での酸化還元のバランスの大小関係は、各構成材料における酸化物生成の自由エネルギーΔGの大小関係と一致しているため、メタル配線・電極材料のΔGが非オーミック素子の絶縁膜のΔG以上の値を持つ温度範囲でD原子とO原子の両者を含むラジカル雰囲気にセル構造を曝露することがポイントであり、上記放電条件に限ることなく適宜変化させることが可能である。
本発明の第2の実施例について、ユニポーラ動作向け非オーミック素子構造を考える。
不純物絶縁膜:母材(SiO2,SiN,Al2O3,High-k/SiO2)×不純物(Ge,N,Al)など
ドット絶縁膜:母材(SiO2,Al2O3)×ドット(Si,Ge,Al)など
これらの絶縁膜に要求される特性として、第1の実施例で述べたように破壊耐圧が高いことが挙げられる。そこで第1の実施例と同様に、前記絶縁膜の実膜厚範囲について議論する。前記不純物絶縁膜及びドット絶縁膜の全実膜厚Tの範囲は第1の実施例に記載した範囲と同じであり、(2)式で表される。またこの時の不純物及びドットの平均位置を母材の中央から±0.2×Tより外に配置することでユニポーラ動作に適した構造となる。
V1 = V/{(ε1/T1)(T2/ε2)+1} …(12)
10W > T1+T2 …(13)
W(nm)は非オーミック素子の横幅であり、エッチング加工可能なアスペクト比を10以下としている。第2層目の場合は(12)式の分母の添え字の1,2の関係が入れ替わるだけで、この(11)(12)式の関係をそのまま適用可能である。これらは、本実施例に記載した2層の積層絶縁膜における実膜厚範囲を限定するものであり、高信頼な非オーミック素子構造を実現できる。
なお、本発明は上述した各実施例に限定されるものではない。実施例では、基板側から順に非オーミック素子,可変抵抗素子の順に積層したが、これらの積層順序は逆にしても良い。また、非オーミック素子としてのMIM構造のメタルとしてSiを用いることも可能である。
Claims (10)
- 表面部の一部にメモリ制御回路部が設けられた基板と、
前記基板上に設けられた層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜上に設けられ、互いに平行配置された複数本の配線を含む第1の配線層と、
前記層間絶縁膜の上方に前記第1の配線層とは離間して設けられ、前記第1の配線層とは交差する方向に互いに平行配置された複数本の配線を含む第2の配線層と、
前記第1及び第2の配線層の各交差部にそれぞれ設けられ、絶縁膜及びこの絶縁膜を挟む金属膜を有する非オーミック素子層と、抵抗値の異なる状態を情報として記憶する可変抵抗素子層とが積層された構造を含むメモリセル部と、
を具備し、
前記非オーミック素子層の絶縁膜は、電子障壁と誘電率が異なるn層(但しnは2以上の自然数)の絶縁層を備え、前記非オーミック素子層と前記可変抵抗素子層とが積層される方向に垂直な方向における前記非オーミック素子層の前記絶縁膜の横幅をWとしたとき、前記絶縁層のうちi番目(1≦i≦n)の絶縁層の膜厚Tiの範囲及び前記絶縁膜の横幅Wの範囲は、前記非オーミック素子層に印加される電圧をV、前記i番目の絶縁層に印加される電圧をVi、前記i番目の絶縁層の誘電率をεiとするとき、下記の式
- 前記n層は第1層、第2層、第3層の3層を備え、前記非オーミック素子層の絶縁膜の厚み方向の中央部に、該絶縁膜の主材料を含む第1及び第3層よりも電位障壁が小さく誘電率が大きい絶縁材料を含む第2層が挿入されていることを特徴とする請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記n層は第1層、第2層の2層を備え、前記非オーミック素子層の絶縁膜の厚み方向の片側に、該絶縁膜の主材料を含む第1層よりも電位障壁が小さく誘電率が大きい絶縁材料膜を含む第2層が配置されていることを特徴とする請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 表面部の一部にメモリ制御回路部が設けられた基板と、
前記基板上に設けられた層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜上に設けられ、互いに平行配置された複数本の配線を含む第1の配線層と、
前記層間絶縁膜の上方に前記第1の配線層とは離間して設けられ、前記第1の配線層とは交差する方向に互いに平行配置された複数本の配線を含む第2の配線層と、
前記第1及び第2の配線層の各交差部にそれぞれ設けられ、絶縁膜及びこの絶縁膜を挟む金属膜を有する非オーミック素子層と、抵抗値の異なる状態を情報として記憶する可変抵抗素子層とが積層された構造を含むメモリセル部と、
を具備し、
前記非オーミック素子層の絶縁膜中に欠陥準位を形成する不純物原子が添加されている層を含み、前記非オーミック素子層の絶縁膜はn層(但しnは2以上の自然数)の絶縁層を備え、前記非オーミック素子層と前記可変抵抗素子層とが積層される方向に垂直な方向における前記非オーミック素子層の前記絶縁膜の横幅をWとしたとき、前記絶縁層のうちi番目(1≦i≦n)の絶縁層の膜厚Tiの範囲及び前記絶縁膜の横幅Wの範囲は、前記非オーミック素子層に印加される電圧をV、前記i番目の絶縁層に印加される電圧をVi、前記i番目の絶縁層の誘電率をεiとするとき、下記の式
- 前記n層は3層を備え、前記不純物原子は、前記非オーミック素子層の絶縁膜における厚み方向の中央部の層に添加されていることを特徴とする請求項4記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記n層は2層を備え、前記不純物原子は、前記非オーミック素子層の絶縁膜における厚み方向の片側の層に添加されていることを特徴とする請求項4記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 表面部の一部にメモリ制御回路部が設けられた基板と、
前記基板上に設けられた層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜上に設けられ、互いに平行配置された複数本の配線を含む第1の配線層と、
前記層間絶縁膜の上方に前記第1の配線層とは離間して設けられ、前記第1の配線層とは交差する方向に互いに平行配置された複数本の配線を含む第2の配線層と、
前記第1及び第2の配線層の各交差部にそれぞれ設けられ、絶縁膜及びこの絶縁膜を挟む金属膜を有する非オーミック素子層と、抵抗値の異なる状態を情報として記憶する可変抵抗素子層とが積層された構造を含むメモリセル部と、
を具備し、
前記非オーミック素子層の絶縁膜中に半導体若しくはメタルのドットを含み、前記非オーミック素子層の絶縁膜はn層(但しnは2以上の自然数)の絶縁層を備え、前記非オーミック素子層と前記可変抵抗素子層とが積層される方向に垂直な方向における前記非オーミック素子層の前記絶縁膜の横幅をWとしたとき、前記絶縁層のうちi番目(1≦i≦n)の絶縁層の膜厚Tiの範囲及び前記絶縁膜の横幅Wの範囲は、前記非オーミック素子層に印加される電圧をV、前記i番目の絶縁層に印加される電圧をVi、前記i番目の絶縁層の誘電率をεiとするとき、下記の式
- 前記n層は3層を備え、前記半導体若しくはメタルのドットは、前記非オーミック素子層の絶縁膜の厚み方向における中央部の層に設けられていることを特徴とする請求項7記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記n層は2層を備え、前記半導体若しくはメタルのドットは、前記非オーミック素子層の絶縁膜の厚み方向における片側の層に設けられていることを特徴とする請求項7記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 第1の配線層と、
前記第1の配線層上に、絶縁膜及びこの絶縁膜を挟む金属膜を有する非オーミック素子層と抵抗値の異なる状態を情報として記憶する可変抵抗素子層とが積層された構造を有するメモリセル部と、
前記メモリセル部上に設けられた第2の配線層と、
を具備し、
前記非オーミック素子層の絶縁膜は、電子障壁と誘電率の異なる複数層を含むか、該絶縁膜中に欠陥準位を形成する不純物原子を含むか、又は半導体若しくはメタルのドットを含み、前記非オーミック素子層の絶縁膜はn層(但しnは2以上の自然数)の絶縁層を備え、前記非オーミック素子層と前記可変抵抗素子層とが積層される方向に垂直な方向における前記非オーミック素子層の前記絶縁膜の横幅をWとしたとき、前記絶縁層のうちi番目(1≦i≦n)の絶縁層の膜厚Tiの範囲及び前記絶縁膜の横幅Wの範囲は、前記非オーミック素子層に印加される電圧をV、前記i番目の絶縁層に印加される電圧をVi、前記i番目の絶縁層の誘電率をεiとするとき、下記の式
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