JP5521016B2 - 弾性波デバイス - Google Patents
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Description
12 弾性波素子
14 配線
16、16a 空洞部
20 貫通電極
22 ハンダボール
24 電極パッド
26 第1封止部
28 第2封止部
30 第3封止部
31 第1樹脂膜
32 第4封止部
33 第2樹脂膜
35 第3樹脂膜
36 開口部
38 押し付けロール
40 保護フィルム
42 開口部
Claims (8)
- 基板上に設けられた弾性波素子と、
前記弾性波素子上に空洞部を有するように前記基板上に設けられた感光性樹脂からなる第1封止部と、
前記第1封止部上に設けられた感光性樹脂からなる第2封止部と、
前記第2封止部上に設けられた外部接続部と、
前記第1封止部及び前記第2封止部を貫通して、前記第1封止部及び前記第2封止部に直接接し、前記弾性波素子と前記外部接続部とを電気的に接続させる柱状電極と、を具備し、
前記第1封止部は、前記基板側の幅が前記基板に反対側の幅よりも広くなるような段差を有するように、前記弾性波素子の機能部分を囲うように前記基板上に設けられた第3封止部と、前記機能部分上に空洞部を形成するように前記第3封止部上に設けられた第4封止部と、を有すると共に、前記第3封止部の幅が前記第4封止部の幅よりも広い部分と前記第3封止部の幅と前記第4封止部の幅とが同じ部分とを有し、
前記第2封止部は、前記第1封止部の前記段差の部分を含んで前記第1封止部の前記基板側と対向する面全面に直接接していることを特徴とする弾性波デバイス。 - 前記段差の形状は階段形状またはラウンド形状であることを特徴とする請求項1記載の弾性波デバイス。
- 前記第3封止部の表面と前記第4封止部の側面との前記第4封止部側のなす角度は鋭角であることを特徴とする請求項1または2記載の弾性波デバイス。
- 前記第3封止部の表面と前記第4封止部の側面との前記第4封止部側のなす角度は鈍角であることを特徴とする請求項1または2記載の弾性波デバイス。
- 前記基板の表面と前記第3封止部の側面との前記第3封止部側のなす角度は鋭角であることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記第3封止部は前記第4封止部との接触面が平面状であることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記第3封止部は前記第4封止部との接触面に凹凸を有することを特徴とする請求項1から5のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記第2封止部の端面は、前記基板上で且つ前記基板の端面よりも内側に位置していることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
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