JP5512954B2 - 数値制御機械の位置制御装置 - Google Patents

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Description

本発明は、数値制御機械に適用される位置制御装置に関する。
従来から、工作機械等の産業機械では、送り軸駆動系にボールネジを使用することが主流となっている。すなわち、サーボモータの軸上に結合されたボールネジを回転させ、これにより、ボールネジナットに固定された負荷を直線的に駆動する機構を採用している。しかし、このような機構の場合、負荷重量の増大等によりボールネジ部において撓みが発生する。
図4は、従来の位置制御装置の一例を示したブロック図である。上位装置(図示しない)において発生された位置指令値yは、モータ回転指令値θに換算される。位置制御装置は、このモータ回転指令値θを入力指令とする。
従来の位置制御装置では、モータ応答の高速化を図るため、フィードフォワード構成をとっている。また、ボールネジの撓みは、このフィードフォワード制御系において補償を行う。ボールネジの撓み量θdfは、負荷重量をMh、ボールネジ駆動系の剛性をKs、位置指令値をθとした場合、次の式1で求められる。
θdf=(Mh/Ks)×(dθ/dt)・・・式1
そして、この演算は、ブロックCa(=(Mh/Ks)×s)にて行われる。制御上の位置指令値θcは、θと撓み量θdfを加算器51で加算して作成される。また、撓み量θdfは時間微分されて撓み速度Vdfとなり、位置指令値θの時間微分値と加算器53で加算されて、速度フィードフォワード量Vffとなる。さらにフィードフォワード量Vffは、時間微分され加速度フィードフォワード量Affとなる。Cbは、トルクフィードフォワード量τffを求める換算ブロックである。なお、トルクフィードフォワード量τffは、加速度Affを発生させるモータトルクに相当する。
従来の位置制御装置のフィードバック構成は次のようになっている。まず、対象プラント50としては、トルク指令値τmを操作量とし、サーボモータからボールネジを介して負荷を駆動する系(図示しない)を想定している。また、サーボモータに内包される位置検出器(図示しない)はモータ回転角度θm及び角速度vmを検出する。さらに、負荷側の位置yは別途、設置したリニアスケール(図示しない)で検出される。負荷位置yは、ボールネジのリードPを用いて、(2π/P)倍されてモータ回転軸換算された負荷位置θiとなる。位置帰還θfは、減算器52で制御上の位置指令値θcから減算され、その出力である位置偏差は位置偏差増幅器Gpで増幅される。その出力は、加算器54で速度フィードフォワード量Vffと加算されて、速度指令値Vcとなる。減算器55では、速度指令値Vcからモータ回転角速度vmが減算され、その出力である速度偏差は、速度偏差増幅器Gvで、通常、比例積分増幅される。その出力は、加算器56でトルクフィードフォワード量τffと加算されて、トルク指令値つまりは、モータの発生トルクτmとなる。
位置帰還θfとθm,θdf,θiの関係は、図4より、次の式2で表される。
θf=θm+G(S)[θi−(θm−θdf)]・・・式2
ここで、G(S)は、0≦|G(S)|≦1で、低周波入力に対して大きく、高周波入力に対して小さい、遅れ系の伝達特性を持つ。よって、定常的には、θf=θi+θdfとなって、フィードバック制御により、θc=θfとできることから、θ=θiが達成できる。つまり、位置指令値θ通りに負荷位置yを制御できる。尚、この様な位置制御装置は、特許文献1に開示されている。
特許第3351990号明細書
以上説明したように、従来の位置制御装置では、モータ位置θmをボールネジ部に生じる撓み量θdfだけ進めることによって、位置指令値θと負荷位置θiとが一致するように制御を行うことができる。しかしながら、駆動系を支持固定する構造体の剛性が低い場合や、リニアスケールを用いて検出を行っている負荷位置よりも先の部分に剛性の低い要素を含む場合には、その部位において生じる機械系の撓み成分を補うことができない。また、このように機構剛性が低い部分を有する機械において、高加減速化駆動が要求される場合には、加速度の増加に合わせて機械系の撓み量が増加するという問題がある。
さらに詳しく機械系の撓みについて説明する。図2aは、数値制御機械の一つである工作機械の一例として門型マシニングセンタの概略機構を示したモデルである。地面に固定設置されたベッド11に対し、X方向に移動可能となるようテーブル12が配置される。さらに、加工対象物であるワーク18はテーブル12の上に積載・固定される。一方、コラム13はベッド11と同様に地面にリジットに固定設置され、クロスレール14をW方向に移動させることが可能な構造となっている。さらに、サドル15はクロスレール14上をY方向に移動可能であり、ラム16をZ方向に上下させる機構を有している。そして、ラム16の先端には主軸頭を備え、取り付けられた工具17を高速回転させることによって、ワーク18に対し切削を行う。
ここでは、Y方向の動作に着目する。Y軸の駆動系として、クロスレール14上に設置されたサーボモータ(図示しない)からボールネジ(図示しない)を介してサドル15を駆動する系を想定する。また、クロスレール14上にはリニアスケール(図示しない)が取り付けられておりサドル15の位置を検出することが可能な機構となっている。このとき、ボールネジ部で発生した撓み成分については従来の位置制御装置により補償を行うことができ、位置指令値θとサドル15の位置θiとが一致するように制御を行うことができる。しかし、クロスレール14を支えるコラム13の剛性が低い場合や、コラム13と地面との結合度が低い場合には、図2bに示すように、例えば、サドル15が−Y方向に加速した場合、クロスレール14、及びコラム13はその反力を受け、+Y方向に変位する。この場合、位置指令値θとリニアスケールによるサドル15の検出位置θiとが一致していても、空間上におけるサドル15の絶対的な位置はコラム13の変位量分だけ、所望の位置とずれてしまう。
同様に、ラム16の剛性が低い場合、サドル15が−Y方向に加速すると、ラム16の先端にある主軸頭は慣性力を受け、結果として+Y方向に変位する。したがって、空間上における工具17の先端の軌跡は所望の動きからずれたものとなってしまう。そのため、工具17は加工対象物であるワーク18に対し、相対的に変位を生じてしまい、適切な位置で切削を行うことができない。
さらに、クロスレール14がコラム13上の何処に位置(W軸の座標)するか、あるいはサドル15に対しラム16の突き出し量(Z軸の座標)がどれだけあるかによって、それぞれ荷重の作用する点が変わる。これにより、コラム13、あるいはラム16の機構剛性が変化し、結果としてサドル15が加速することによって生じる撓み量自体が変化してしまう。
本発明が解決しようとする課題は、駆動系を支持固定する構造物などの剛性に起因して、機械系に撓みが生じ、工具先端の軌跡が加工ワークに対し相対的な変位を生じること、そしてその変位量が機械の姿勢によって変化することである。そして、本発明の目的は、機械の姿勢変化に適応し、発生した機械系の撓みを常時補償することで、工具先端の軌跡を所望通りの動きとする位置制御装置を提供することである。
以上のような目的を達成するために、本発明に係る位置制御装置は、数値制御機械の可動部をモータで駆動し、前記数値制御機械上に設けられたワークおよび工具の相対的位置関係を可変させる場合に、上位装置から入力される前記モータの位置指令値に従って前記可動部の位置を制御する位置制御装置であって、前記ワークおよび工具に介在する構造体の姿勢を示す情報と、駆動される可動部の駆動加速度を示す情報と、に基づいて前記駆動される可動部を支持する構造体において反力により生じる撓み、および、前記駆動される可動部から工具までの間の構造体において慣性力により生じる撓みに起因する前記ワークおよび工具間の相対的変位量を機械撓み量推定値として算出する機械撓み量推定器と、前記機械撓み量推定値に基づいて、少なくとも、前記撓みに起因する位置ずれを補償するための機械撓み位置補償値を算出する機械撓み補償量演算器と、前記位置指令値に前記機械撓み位置補償値を加算して新たな制御上の位置指令値を生成する指令値演算部と、を備え、前記介在する構造体の姿勢を示す情報は、前記数値制御機械に設けられた複数の可動部それぞれの各軸方向の機械座標値であり、前記駆動される可動部の駆動加速度を示す情報は、前記モータの位置指令値であり、前記機械撓み量推定器は、前記数値制御機械に設けられた複数の可動部の各軸方向の機械座標値を引数とし、前記駆動される可動部を支持する構造体において反力により生じる撓み、および、前記駆動される可動部から工具までの間の構造体において慣性力により生じる撓みを合成した機械撓み量の加速度比例係数を表す関数であって、予め解析または実機測定を行った際の工具とワークの間に生じる相対的な変位量に基づいて導出された関数を記憶する記憶手段と、前記数値制御機械に設けられた複数の可動部の各軸方向の機械座標値と前記記憶手段に記憶された関数とに基づいて、前記介在する構造体の現在の姿勢に応じた前記機械撓み量の加速度比例係数を算出する加速度比例係数演算器と、前記モータの位置指令値を二階微分して指令加速度を算出する二次微分器と、前記機械撓み量の加速度比例係数と指令加速度とを乗算して前記機械撓み量推定値を算出する乗算器と、を備えることを特徴とする。
他の好適な態様では、前記ワークおよび工具のうち少なくとも一つが、前記可動部上に設置されており、前記機械撓み量推定器は、前記駆動される可動部の可動方向に発生する撓み量を前記機械撓み推定値として算出する。
他の好適な態様では、さらに、前記モータの位置指令値と位置検出値との差分値を位置偏差増幅器で増幅して速度指令値を算出する演算部と、前記速度指令値と前記位置検出値の時間微分値との差分値を速度偏差増幅器で増幅してトルク指令値を算出する演算部と、を備え、前記機械撓み補償量演算器は、前記機械撓み位置補償値に加え、さらに、機械撓み速度補償値および機械撓みトルク補償値の少なくとも一方を算出し、前記指令値演算部は、さらに、前記機械撓み速度補償値が算出された場合には前記速度指令値に前記機械撓み速度補償値を加算して新たな制御上の速度指令値を算出し、前記機械撓みトルク補償値が算出された場合には前記トルク指令値に前記機械撓みトルク補償値を加算して新たな制御上のトルク指令値を算出する。
他の好適な態様では、前記機械撓み補償量演算器は、入力された前記機械撓み量推定値に対し比例補償器を介して算出された機械撓み位置補償値と、微分器と比例補償器を介して算出された機械撓み速度補償値と、2つの微分器と加速度−トルク換算係数と比例補償器を介して算出された機械撓みトルク補償値と、を算出し、前記比例補償器の設定値を変えることにより、位置、速度、トルクに対する補償量を調節する。
上述の場合において、前記指令値演算部は、前記機械撓み速度補償値を、速度帰還値となる前記位置検出値の時間微分値から減算することで新たな制御上の速度指令値を算出してもよい。また、前記指令値演算部は、前記機械撓み位置補償値を、位置帰還値となる前記位置検出値から減算することで新たな制御上の位置指令値を算出してもよい。
本発明の位置制御装置によれば、駆動系を支持固定する構造物などの剛性に起因して、機械系に撓みが生じても、機械(対象物間に介在する構造体)の姿勢変化に適応し、発生した機械系の撓みを常時補償するため、工具先端の軌跡を所望通りに動かすことができるという効果がある。
以下、図面を参照しつつ本発明の実施例について説明する。
図2bは、数値制御機械の一つである門型マシニングセンタに関し、クロスレール14を支えるコラム13の剛性が低い、あるいはコラム13と地面との結合度が低い場合、かつ、ラム16の剛性が低い場合を想定した時の概略機構を示したモデルである。今、サドル15が−Y方向に加速すると、クロスレール14、及びコラム13はその反力を受け、さらに、ラム16の先端にある主軸頭は慣性力を受け、それぞれ+Y方向に変位するため、空間上における工具17の先端の軌跡は所望の動きからずれてしまう。ここで、サドル15が加速する際にコラム13にかかるY方向の荷重をFc、地面との結合度を含めたコラム13のY方向の剛性をKcとすると、コラム13が生じる撓み量εcは、次の式3で表される。
εc=Fc/Kc・・・式3
同様に、サドル15が加速する際にラム16にかかるY方向の荷重をFr、ラム16のY方向の剛性をKrとすると、ラム16が生じる撓み量εrは、次の式4で表される。
εr=Fr/Kr・・・式4
したがって、工具17の先端では、次の式5で示す変位が生じることになる。
ε=εc+εr・・・式5
ここで、Fc,Frは、可動部であるサドル15の加速度αに比例することから、工具17の先端の変位量εは、加速度比例係数Gc,Gr,Gを用いて式6のように表現できる。
ε=Fc/Kc+Fr/Kr=(Gc+Gr)×α=G×α・・・式6
ここで、式6は、加速度αと加速度比例係数Gと、加工ワークと工具先端(すなわち二つの制御対象物)の間に介在する構造体の総撓み量と、の関係を与える式である。この式6は、加速度αとして駆動軸の指令加速度を用いることによって、加工ワークと工具先端との間に生じる機械撓み量の推定値を得ることができることを意味している。
一方、コラム13の機構剛性Kcやラム16の機構剛性Krは、クロスレール14がコラム13上の何処に位置するか、あるいはサドル15に対しラム16の突き出し量がどれだけあるかによって、その値が変化する。つまり、W軸の座標やZ軸の座標に応じて機械系の剛性が変化すると考えることができる。即ち、式6におけるGはW軸の位置やZ軸の位置に依存した変数G(z,w)として捉える必要がある。
図1aは、本発明の実施形態に係る位置制御装置のブロック図の一例である。また、図1b、図1cは、図1aにおける機械撓み量推定器60、機械撓み補償量演算器61の詳細を示すブロック図である。なお、本ブロック図において、図4(従来例)と同一の部分においては、同一の名称及び番号を付けて説明を省略する。
本実施形態では、従来の位置制御装置と異なり、機械撓み量εを推定する機械撓み量推定器60と、当該機械撓み量推定器60で推定された機械撓み量ε(推定値)に基づいて三種類の機械撓み補償量θmdf,Vmdf,τmdfを算出する機械撓み補償量演算器61と、を設けている。
機械撓み量推定器60は、上位装置からの各軸の位置指令値x,y,z,wを入力とする。ここで、各軸の位置指令値x,y,z,wは、加工ワークと工具先端(すなわち二つの制御対象物)の間に介在する構造体の姿勢、すなわち、機械姿勢を示す情報とも言える。機械撓み量推定器60は、この入力された各軸の位置指令値x,y,z,wと、予め設計された関数G(x,y,z,w)と、に基づいて、機械姿勢に応じた機械撓み量の加速度比例係数を内部演算する。そして、算出された加速度比例係数と位置指令値θの二階微分値である指令加速度とが乗算され、機械撓み量推定値εが算出される。即ち、機械撓み量推定器60は、式7の演算を実行する。
ε=G(x,y,z,w)×(dθ/dt)・・・式7
次に、機械撓み補償量演算器61は、機械撓み量推定器60から出力された機械撓み量推定値εを入力とし、微分器と比例補償器Cmp,Cmv,Cmtを用いて、機械撓み位置補償値θmdf、機械撓み速度補償値Vmdf、機械撓みトルク補償値τmdfを算出する。この算出は、次の式8〜10に従って行われる。
θmdf=Cmp×ε・・・式8
Vmdf=Cmv×(dε/dt)・・・式9
τmdf=Cmt×(dε/dt)・・・式10
図1aに示した本実施形態の位置制御装置は、機械撓み補償量演算器61から出力された機械撓み位置補償値θmdf、機械撓み速度補償値Vmdf、機械撓みトルク補償値τmdfに関し、図4の位置制御装置に対して、フィードフォワード的に補償を加えることによって、工具17の先端の軌跡が所望の動きとなるように補正を加える。すなわち、θmdfは、図4の従来の位置制御装置内の加算器51出力に、加算器62で加算されて、本実施形態における制御上の位置指令値θcになる。また、Vmdfは、図4の従来の位置制御装置内の加算器54出力に、加算器63で加算されて速度指令値Vcになる。さらに、τmdfは、図4の従来の位置制御装置内の加算器56出力に、加算器64で加算されてトルク指令値τmになる。
なお、関数G(x,y,z,w)の構成は、機械構造によって異なるが、その設計に際しては、例えば、各軸の座標、及び加速度を引数としてFEM解析あるいは実機測定等を行い、工具17の先端部と加工ワーク18の間に生じる相対的な変位量を求め、これを関数化することで導出できる。例えば、図2bにおいて、同一加速度における工具17の先端部の変位量が、W軸の位置やZ軸の位置によって変移する時、仮に、コラム13の撓みの影響についてはW軸位置を引数とする二次関数に近似でき、ラム16の撓みの影響についてはZ軸位置と比例関係を持つと近似できる、と仮定する。この場合、定数a,b,c,dを用いて関数G(x,y,z,w)は、式11のように表現すればよい。
G(x,y,z,w)=a×(w+b×w+c×z+d・・・式11
また、図2bのように複数の撓み成分が合成して工具17の先端の軌跡を変位させるのではなく、ある特定部位で生じる撓みが、工具17の先端の軌跡を変位させる要因として支配的となる場合は、物理的にその部位における機構剛性と負荷荷重を計算することにより、関数G(x,y,z,w)を定めることができる。
また、機械撓み量推定器内の加速度比例係数を算出する演算器は関数G(x,y,z,w)で構成する必要は無く、例えば各軸の座標から予め設定されたデータテーブルを参照し、比例係数Gを決定する構造とすることも可能である。さらに、図1a、図1bにおいては機械撓み量推定器の入力を各軸の位置指令値x,y,z,wとしているが、位置検出値の読取値x,y,z,wに代替することも可能である。さらに、これらの位置指令値や位置検出値は、必ずしも上位装置から与えられる必要は無く、他の軸を制御する位置制御装置から転送することでも代用できる。
図3は、本発明の位置制御装置を用いた時の効果を示す図である。上位装置から受けとった位置指令値θに基づき、速度指令値Vc、トルク指令値τmが算出される。ここで、フィードフォワード制御系が適切に機能し、制御上の追従遅れが殆ど無い状況下では、制御上の位置指令値θcと位置帰還値θfの差がほぼ0となる。即ち、機械構造物に対しては、τmに従った荷重が加わり、この時生じる機械系の撓み量、及び工具17の先端の変位εはτmに比例したものとなる。ここで、トルク指令値τm(加速度フィードフォワード量Aff)に比例した機械撓み位置補償値θmdfを位置指令値θに加算することを考える。なお、ここでは簡単のためθmdf=εとする。前述のようにθc−θf=0であるから、θc=θ+θmdfとした場合には、θ+θmdf−θf=0となる。即ち、θ−θf=−θmdfであり、位置帰還値θfは、位置指令値θに対し、θmdfだけ進んだ状態で制御される。しかし、機械系の撓みの影響で工具17の先端部は、位置帰還値θfに対し、ε(=θmdf)だけ遅れて動いている。したがって、工具17の先端部では、制御的な「進み分」と機械系の撓みによる「遅れ分」が相殺され、位置指令値θと工具17の先端位置とが一致して動作するようになる。これにより、工具17の先端部を所望の軌跡どおりに駆動させることが可能となる。
ここで、前述のような効果を得るために、機械撓み補償量演算器61の比例補償器Cmpは、機械撓み量推定値εと機械撓み位置補償値θmdfとが等しくなるように、Cmp=1とすることが望ましい。しかし、機械撓み量の推定値には推定誤差を含むことが考えられ、補償量を適正値とするためにCmp=1.2のように、比例補償器の値を増やして機械撓み位置補償値θmdfを大きくすることが考えられる。逆に、機械撓み補償が過補償に作用することを防ぐため、Cmp=0.8のように、比例補償器の値を小さくして機械撓み位置補償値θmdfの値を制限することも、必用に応じて行う必要がある。さらに、位置フィードバック制御系の応答性が十分に高い場合には、比例補償器Cmv,Cmtの値をCmv=0,Cmt=0としても、前述の効果を得ることができるが、十分な応答帯域を確保できない場合には、Cmv,Cmtの値をCmpの値に習って設定する必要がある。ただし、機械撓みトルク補償値τmdfは、その構成上、位置指令値θの四階微分値に比例し、位置指令値θによってはインパルス状の波形となり駆動系に対し衝撃を与える恐れがある。これを避けるために、比例補償器Cmp,Cmv,Cmtは、Cmp>Cmv>Cmt≧0の関係を有するように設定することが望ましい。
また、図1においては、機械撓み位置補償値θmdfを位置指令値に加算することで補償を実現しているが、位置検出値から算出される位置帰還値θfからθmdfを減算しても同様の効果を得ることができる。同様に、機械撓み速度補償値Vmdfを速度指令値に加算せず、速度帰還値VmからVmdfを減算してもよい。
さらに、機械撓み量推定器60は、上位装置からの各軸の座標を入力とし、加速度比例係数を内部で演算し、機械撓み量推定値εを出力としているが、加速度比例係数を算出する演算器を上位装置に持たせ、上位装置から直接、加速度比例係数を受けとり、機械撓み量推定値εを算出する構成をとることも可能である。
また、機械の駆動系に関し、対象プラント50として、駆動部にサーボモータからボールネジを介して駆動する機構を想定しているが、本発明において扱う機械系の撓みはボールネジなど駆動系そのものに含まれる成分ではなく、コラム13やラム16のような機械構造物において生じる撓みであるため、駆動部にリニアモータによる直接駆動機構を備える機械であっても、同様の補償方法により工具17の先端の軌跡を所望の軌跡と一致させることができる。
なお、本実施例においては、図2bに基づきY軸方向の動きについてのみ説明を行ってきたが、本発明における機械系の撓みを補償する技術は、他の軸方向の動きに対しても適用可能であり、同様の効果を得ることができる。例えば、ラム16をZ方向に加減速する場合、その荷重を支えるクロスレール14は、Z方向に撓みによる変位を生じる。また、その撓み量の大きさは、サドル15がコラム13の近くに位置する場合は小さく、クロスレール14の中央に位置する場合は大きくなる。即ち、Z軸の加速度に基づき撓み補償量を算出し、さらに、その補償量をY軸の位置によって可変とすることで、Z軸方向に発生した機械系の撓みを機械の姿勢変化に適応しながら常時補償することができる。
本発明の実施形態に係る位置制御装置の一例を示すブロック図である。 本発明の実施形態に係る位置制御装置における機械撓み量推定器の内部構成を示すブロック図である。 本発明の実施形態に係る位置制御装置における機械撓み補償量演算器の内部構成を示すブロック図である。 本発明が解決しようとする課題を説明するための数値制御機械の概略機構モデルである。 本発明が解決しようとする課題を説明するための数値制御機械の概略機構モデルである。 本実施形態による効果を示す図である。 従来の位置制御装置の一例を示すブロック図である。
符号の説明
11 門型マシニングセンタのベッド、12 テーブル、13 コラム、14 クロスレール、15 サドル、16 ラム、17 工具、18 加工ワーク、50 対象プラント、51,53,54,56,58,62,63,64 加算器、52,55,57,59 減算器、60 機械撓み量推定器、61 機械撓み補償量演算器、71 乗算器。

Claims (6)

  1. 数値制御機械の可動部をモータで駆動し、前記数値制御機械上に設けられたワークおよび工具の相対的位置関係を可変させる場合に、上位装置から入力される前記モータの位置指令値に従って前記可動部の位置を制御する位置制御装置であって、
    前記ワークおよび工具に介在する構造体の姿勢を示す情報と、駆動される可動部の駆動加速度を示す情報と、に基づいて前記駆動される可動部を支持する構造体において反力により生じる撓み、および、前記駆動される可動部から工具までの間の構造体において慣性力により生じる撓みに起因する前記ワークおよび工具間の相対的変位量を機械撓み量推定値として算出する機械撓み量推定器と、
    前記機械撓み量推定値に基づいて、少なくとも、前記撓みに起因する位置ずれを補償するための機械撓み位置補償値を算出する機械撓み補償量演算器と、
    前記位置指令値に前記機械撓み位置補償値を加算して新たな制御上の位置指令値を生成する指令値演算部と、
    を備え、
    前記介在する構造体の姿勢を示す情報は、前記数値制御機械に設けられた複数の可動部それぞれの各軸方向の機械座標値であり、
    前記駆動される可動部の駆動加速度を示す情報は、前記モータの位置指令値であり、
    前記機械撓み量推定器は、
    前記数値制御機械に設けられた複数の可動部の各軸方向の機械座標値を引数とし、前記駆動される可動部を支持する構造体において反力により生じる撓み、および、前記駆動される可動部から工具までの間の構造体において慣性力により生じる撓みを合成した機械撓み量の加速度比例係数を表す関数であって、予め解析または実機測定を行った際の工具とワークの間に生じる相対的な変位量に基づいて導出された関数を記憶する記憶手段と、
    前記数値制御機械に設けられた複数の可動部の各軸方向の機械座標値と前記記憶手段に記憶された関数とに基づいて、前記介在する構造体の現在の姿勢に応じた前記機械撓み量の加速度比例係数を算出する加速度比例係数演算器と、
    前記モータの位置指令値を二階微分して指令加速度を算出する二次微分器と、
    前記機械撓み量の加速度比例係数と指令加速度とを乗算して前記機械撓み量推定値を算出する乗算器と、
    を備えることを特徴とする位置制御装置。
  2. 請求項1に記載の位置制御装置であって、
    前記ワークおよび工具のうち少なくとも一つが、前記可動部上に設置されており、
    前記機械撓み量推定器は、前記駆動される可動部の可動方向に発生する撓み量を前記機械撓み推定値として算出する、
    ことを特徴とする位置制御装置。
  3. 請求項1または2に記載の位置制御装置であって、さらに、
    前記モータの位置指令値と位置検出値との差分値を位置偏差増幅器で増幅して速度指令値を算出する演算部と、
    前記速度指令値と前記位置検出値の時間微分値との差分値を速度偏差増幅器で増幅してトルク指令値を算出する演算部と、
    を備え、
    前記機械撓み補償量演算器は、前記機械撓み位置補償値に加え、さらに、機械撓み速度補償値および機械撓みトルク補償値の少なくとも一方を算出し、
    前記指令値演算部は、さらに、前記機械撓み速度補償値が算出された場合には前記速度指令値に前記機械撓み速度補償値を加算して新たな制御上の速度指令値を算出し、前記機械撓みトルク補償値が算出された場合には前記トルク指令値に前記機械撓みトルク補償値を加算して新たな制御上のトルク指令値を算出する、
    ことを特徴とする位置制御装置。
  4. 請求項1から3のいずれか1項に記載の位置制御装置であって、
    前記機械撓み補償量演算器は、入力された前記機械撓み量推定値に対し比例補償器を介して算出された機械撓み位置補償値と、微分器と比例補償器を介して算出された機械撓み速度補償値と、2つの微分器と加速度−トルク換算係数と比例補償器を介して算出された機械撓みトルク補償値と、を算出し、前記比例補償器の設定値を変えることにより、位置、速度、トルクに対する補償量を調節することを特徴とする位置制御装置。
  5. 請求項3に記載の位置制御装置であって、
    前記指令値演算部は、前記機械撓み速度補償値を、速度帰還値となる前記位置検出値の時間微分値から減算することで新たな制御上の速度指令値を算出することを特徴とする位置制御装置。
  6. 請求項1から5のいずれか1項に記載の位置制御装置であって、
    前記指令値演算部は、前記機械撓み位置補償値を、位置帰還値となる前記位置検出値から減算することで新たな制御上の位置指令値を算出することを特徴とする位置制御装置。
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