JP5506203B2 - 表示パネル基板搬送装置及び表示パネルモジュール組立装置 - Google Patents

Description

本発明は、表示パネル基板搬送装置及び表示パネルモジュール組立装置に関する。例えば、液晶やプラズマなどのＦＰＤ（＝Flat Panel Display）の表示パネル（表示セル基板）の周辺に駆動ＩＣの搭載やＣＯＦ（Chip on Film），ＦＰＣ（Flexible Printed Circuits）などのいわゆるＴＡＢ（＝Tape Automated Bonding）接続および周辺基板（ＰＣＢ＝printed circuit board）を実装する表示パネルモジュール組立装置に関するものである。または、表示パネルモジュール組立装置における表示パネルをより安定して受け渡し搬送させる表示パネル基板搬送装置に関するものである。

表示パネルモジュール組立装置は、プラズマなどのＦＰＤの表示パネル基板に、複数の処理作業工程を順次行うことで、該表示パネル基板の周辺に、駆動ＩＣ，ＴＡＢおよびＰＣＢなどを実装する装置である。

表示パネルモジュール組立装置は、各処理作業を、パネルを搬送させながら行わせるため、それらの間を表示パネル基板搬送装置により表示パネル基板を搬送することで、組立処理を行うものである。

基板を搬送する方法としては、特許文献１および特許文献２に、作業前の基板が置かれている載置台から作業ステージまで、基板を下方から持ち上げ搬入・搬出する機構を用いた搬送方式が開示されている。

特開２００８−１３４４３９号公報 特開平８−２６４７５号公報

上記、特許文献１および特許文献２記載の搬送機構を用いた表示パネル搬送装置は、吸着力を利用して表示パネルを保持し、目的位置まで吸着を切り替えながら搬送する装置である。

上記従来技術では、各処理作業時間の短縮化によって搬送を高速にすると、表示パネルを渡す固定部と受ける部分の吸引の切り替えを高速で行う必要が生じて来る際に、高速搬送と受け渡しの確実性を向上する必要があるとの課題がある。また、表示パネル基板の吸着搬送において、受け渡し時の吸着エラー発生の恐れがある。

本発明の一つの目的は、表示パネル基板の搬送における高速搬送と受け渡しの確実性を向上することにある。

本発明の他の目的は、表示パネル基板の吸着搬送において、受け渡し時の吸着エラーの発生を回避させる表示パネル搬送装置または表示パネルモジュール組立装置を提供することにある。

本発明の一つの特徴は、表示パネル基板搬送装置において、表示パネル基板の搬送時の加減速に対して表示パネル基板の外れや位置ずれが生じない第１の吸引力を表示パネル基板へ作用する第１の吸引状態と、表示パネル基板の保持力の無い第２の吸引力を表示パネル基板へ作用する第２の吸引状態と、前記第１の吸引力と前記第２の吸引力との間の大きさの第３の吸引力を表示パネル基板へ作用する第３の吸引状態との、少なくとも３段階以上の吸引状態を発生する吸着系を有することにある。

本発明の他の特徴は、さらに、前記吸着系を複数有し、そのうち少なくとも二つの吸着系を圧力損失連結することにある。

本発明の一つの特徴によれば、表示パネルの受け渡し時に、パネルにストレスをかけず、かつパネル外れを防止でき、高速搬送時においても安定した受け渡し動作が可能になる。

本発明の他の特徴によれば、少なくとも１箇所に吸着エラーが発生し、圧力低下が生じても、他の吸引系には急激な圧力低下が生じることがないため、急激にパネルが外れることが無い。また、近隣のパッドに吸引力が残っているので、吸引エラー箇所のパッドも再吸着させる効果も期待できる。その結果、表示パネルの受け渡しを安定して行うことができるため、信頼性の高い表示パネルモジュール組立装置を提供できる。

本発明の上記目的，特徴，効果及び上記以外の目的，特徴，効果については、以下の記載でさらに説明する。

本発明実施例のモジュール組立装置の構成。 本発明実施例の表示パネル基板目的位置までの搬送フローチャート。 本発明実施例の大型基板および小型基板の受け渡し搬送の平面図。 本発明実施例の受け渡し搬送のためのパネル固定部とパネル可動部の平面図。 本発明実施例の受け渡し搬送のためのパネル固定部とパネル可動部の断面図。 本発明実施例の受け渡し時のパネル可動部の上下動作図。 本発明実施例の理想的なパネル受け渡しの吸着力切り替えと動作タイミングを示す図。 本発明実施例の受け渡し動作に対しパネルを渡す側の吸引力解除が遅い場合を示す図。 本発明実施例の受け渡し動作に対しパネルを渡す側の吸引力解除が早い場合を示す図。 本発明実施例の吸引を弱めるタイミングに対しパネルを渡す動作が早い場合を示す図。 本発明実施例の吸引を弱めるタイミングに対しパネルを渡す動作が遅い場合を示す図。 本発明実施例のパネルを渡す側の吸引力解除が遅い場合を示す図。 本発明実施例のパネルを渡す側の吸引力が弱の場合を示す図。 本発明実施例のパネルを渡す側の吸引力が弱で、かつマージンがある場合を示す図。 本発明実施例のパネルを渡す側の動作が早い場合を示す図。 本発明実施例のパネルを渡す側の動作が遅い場合を示す図。 本発明実施例の開放弁によって渡す側の吸引力が弱レベルになった場合を示す図。 本発明比較例の吸引ポンプのバルブの開閉によって吸引を切り替える方式を示す図。 本発明実施例の開放弁によって弱段階の吸引力を発生させる吸引系を示す図。 本発明実施例の吸着パッドをひとつリークさせたときの吸引力低下を示す図。 本発明実施例の吸着系を分割し圧力損失を発生させて連結した方式を示す図。

以下、本発明の実施形態を図１から図１９を用いて説明する。

本発明を適用した表示パネルモジュール組立装置構成の一実施例を説明する。

図１は、本発明の一実施例としての組立装置の構成を示している。なお、図１は特にパネルを搬送する機構に関連した部分を特に表しており、電気回路系，制御系ハード／ソフト、また表示パネル基板１の外周付近に組み付けられる製品回路基板の供給部や組み付け部などに関する詳細部分については図示していない。

搬送に大きく関連する機構としては搬送系と吸気系から成り立つ。吸引系には吸引ポンプ４２があり、吸引ポンプ４２からは基板搬送部材２へのエア配管４２ａ、また、基板保持部材３へのエア配管４２ｂがそれぞれ接続されている。さらに、前記配管にはエアの開閉を行う開閉バルブ４３がそれぞれ設けられている。そして、開閉バルブ４３の開閉は吸引切り替えコントローラによって制御され、コントローラからバルブまでは信号線が接続されている。

一方、パネルを保持／搬送する部分である搬送系メカは、表示パネル基板１を保持して送る基板搬送部材２と、基板搬送部材２によって移動した表示パネル基板１を固定保持する基板保持部材３からなり、それぞれの部材には表示パネル基板を吸着するための基板搬送部材表面の吸着孔７，基板保持部材表面の吸着孔８が設けられている。また、前記搬送系メカは基板搬送部コントローラによって搬送動作が制御されている。なお、基板搬送部材２への配管４２ａでは、基板搬送部材の移動距離に対して配管長さが不足し、結果配管の外れや配管へのストレスが発生しないように、図は一例であるが、伸縮式配管４２ｃが設けられており、基板搬送部材が移動しても配管には全く影響を与えない機構になっている。

また、基板搬送部材の搬送動作を制御する基板搬送部コントローラは、吸引バルブの開閉を制御するコントローラと吸引切り替えコントローラと信号線で接続されており、搬送動作と吸引力の切り替えタイミングをあわせている。

図１−１は表示パネル基板１を現在位置であるパネル搬送前１−１ａから、搬送動作一回分だけ下流に送る時の動作状態を示したフローチャートである。

最初、表示パネル基板１は現在位置となる「１−１ａ」に位置する。次に基板搬送部材が下方より上昇を開始する「１−１ｂ」となり、基板搬送部材が表示パネル基板の位置まで到達したところで基板保持部材の吸着を解除し、同時に基板搬送部材の吸引を開始する「１−１ｃ」となる。そして、基板搬送部が表示パネル基板を吸着したまま基板保持部よりさらに上昇し（「１−１ｄ」）、基板搬送部材が目的方向に水平搬送して（「１−１ｅ」）、表示パネル基板が水平搬送され目標搬送位置まで送られる（「１−１ｆ」）。目的位置にて基板搬送部材２は表示パネルを吸着したまま下降を開始し（「１−１ｇ」）、表示パネル基板が基板保持部材の位置まで到達した時、基板搬送部材の吸引を解除し、同時に基板保持部材３の吸引を開始する（「１−１ｈ」）。さらに、基板搬送部材は基板保持部材よりも下降し（「１−１ｉ」）、表示パネル基板は目的搬送位置にて基板保持部材によって吸着固定され一回の搬送サイクルを終える（「１−１ｊ」）。以降、順次前記のサイクルを繰り返すことで、目的の距離に達するまで表示パネル基板の繰り返し搬送が行われる。

さらに図１−２で、実施例としての表示パネル基板搬送について詳しく説明する。

図１−２の表示パネルモジュール組立装置は、表示パネル基板１を、図１−２中左から右に向かって順次搬送しながら、基板の周辺部に各種処理作業を行って、ＩＣやＴＡＢなどの実装組立作業を行う装置である。図１−２上段ａは、大型基板搬送および処理作業時の状態を示す。表示パネル基板１ａの位置から、順次表示パネル基板１ｂの位置，表示パネル基板１ｃの位置へ移動する。表示パネル基板１ａの位置では処理ユニット１６ａと処理ユニット１６ｂとにより処理作業を受ける。表示パネル基板１ｂの位置では処理ユニット１６ｃと処理ユニット１６ｄとにより処理作業を受ける。また、処理ユニット１６ａ，処理ユニット１６ｂ，処理ユニット１６ｃ，処理ユニット１６ｄ等の処理ユニット１６は、スライドステージのガイドレール６上を移動可能にする移動装置を有する。図１−２下段ｂ）は小型基板搬送および処理作業時の状態を示す。表示パネル基板１ｄの位置から、順次表示パネル基板１ｅの位置，表示パネル基板１ｆの位置，表示パネル基板１ｇの位置，表示パネル基板１ｈの位置，表示パネル基板１ｉの位置へ移動する。表示パネル基板１ｄの位置では処理ユニット１６ａにより処理作業を受ける。表示パネル基板１ｅの位置では処理ユニット１６ｂにより処理作業を受ける。表示パネル基板１ｆの位置では処理ユニット１６ｃにより処理作業を受ける。表示パネル基板１ｇの位置では処理ユニット１６ｄにより処理作業を受ける。また、処理ユニット１６ａ，処理ユニット１６ｂ，処理ユニット１６ｃ，処理ユニット１６ｄ等の処理ユニット１６は、スライドステージのガイドレール６上を移動可能にする移動装置を有する。処理ユニット１６をスライドステージのガイドレール６上で移動可能にする移動装置はスライドステージに具備しても良い。

図１−２では、まず、基板長辺側（ソース側）の処理作業装置群である処理ユニット１６ａから処理ユニット１６ｄまでによって基板長辺側（ソース側）の処理を行う様子を示している。その後、図示はしないが基板を回転装置で回転させ、次に、基板短辺側（ゲート側）の処理作業を行う。

また、これら実装を行うユニットに基板１を搬送させる搬送機構は図１−２中に示すように、基板搬送部材２と基板保持部材３で示している。基板搬送方向に細長い基板保持部材３が、基板搬送方向に直行する並びで複数並置される構造を有している。そして基板搬送部材２を前記基板保持部材の間に複数並置した構造となっている。

また、並置された基板搬送部材は一体に構成されており、基板保持部材３に保持された表示パネル基板１を、次の処理作業装置位置まで上昇させたのち水平移動して搬送する機構になっている。

図２は、その基板搬送部分の詳細な構成を示す平面図とそのＡ−Ａ断面図である。図３はその部分の断面にて搬送時における搬送部分の上昇下降の様子を示す。さらに、図２に示す通り、保持部材および搬送部材の表面に吸引穴を一定のピッチで配置しており、負圧により表示パネル基板を基板保持部材や基板搬送部材に吸着できるように構成している。

また、図２において、小型基板の配置領域９，大型基板の配置領域１０は、その下方に配置されている基板搬送部材２や基板保持部材３を図示するために、一部破断するとともに、外形は点線で示している。基板搬送部材２や基板保持部材３の基板側において、基板搬送部材表面の吸引孔７，基板保持部材表面の吸引孔８が設けられる。各処理作業装置での基板への処理動作が完了した後、基板搬送部材２を上昇させることで、基板保持部材３上に配置された表示パネル基板を微小量持ち上げ、その後、基板保持部材３の間隙方向に沿ってスライドすることで、次の作業処理装置まで表示パネル基板を搬送する機構になっている。基板搬送部材をスライドさせるスライド装置としては、図示はしないがリニアモータやボールねじなどによる一般的なスライドステージ機構を適用することができる。また、図２下段のＡ−Ａ断面図に示すように、吸着孔の下の吸引チャンバ１１，開閉バルブ１２，吸引ポンプなどから供給される負圧系１３が設けられている。

基板搬送部材２は、基板保持部材３の間隙に複数本の基板搬送部材が配置されており、それらが一体となって、該基板保持部材３に対して該基板搬送部材２を相対的に上昇および下降する。

図３における基板の搬送方向は、紙面に垂直な方向である。次の搬送処理位置まで、基板を搬送した基板搬送部材２は、基板搬送部材２を昇降可能にする基板搬送部材昇降装置５にて、降下させる。基板搬送部材昇降装置５は、スライドステージのガイドレール６上でスライドステージのスライダ１５上に構成されることで、表示パネル基板１を、次の処理作業装置４の基板保持部材３上に基板を受け渡すように、移動可能となる。図３左側が各処理作業時の位置関係を示し、図３右側が基板搬送時の位置関係を示す。表示パネル基板１を、基板保持部材３上に受け渡した基板搬送部材２は、降下したまま、元の処理作業装置位置まで、戻り動作を行う。この動作を、隣接する処理作業装置４間で同期して行うことで、表示パネル基板１は、順次下流の処理作業装置４の位置に連続搬送を行うことが可能となる。

そして、基板搬送部材２において、水平方向に規定量スライド搬送の前後に、基板搬送部材２の垂直方向への上昇・下降動作時、基板保持部材３と表示パネル基板１の分離や再保持を行う必要がある。搬送においてその吸着の切り替えタイミングと搬送動作のタイミングについて、以降説明を行う。

図４のａ）は、基板搬送部材２から基板保持部材３への表示パネル基板１の受け渡し、図４のｂ）は、基板保持部材から基板搬送部材２への表示パネル基板１の受け渡しを示している。表示パネル基板１の受け渡しの際、基板搬送部材表面の吸引孔７又は基板保持部材表面の吸引孔８において渡す側の吸引力が残っていると、図４のように表示パネル基板１にストレスがかかるため、その結果、表示パネル基板１の割れや吸着痕が残るなどの課題が生じる。

図５は、図１から図４までの吸着搬送機構を使った表示パネル基板搬送において、表示パネル基板の受け渡しを行う際、最も理想的な固定部と搬送部の吸着力変化および受け渡し動作のタイミングを示している。なお、図５では、表示パネル基板の位置は、まず、固定部にあり、次に可動部が上昇して受け取り、その後、可動部が適当な距離を搬送方向に水平搬送させたのち、可動部が下降して搬送先の新たな固定部に下ろし、一回の受け渡しを終えるところまでの動作を示している。

次に、固定部および可動部の吸引力の強，弱，０の切り替えと可動部動作の上昇位置，パネル受け渡し位置，下降位置のタイミングについて、さらに具体的に説明する。先に説明した通り、図では最初、表示パネルは固定部に吸着保持されている。次に表示パネルを可動部に受け渡すために、固定部で表示パネルを保持している吸着力を弱める。同時に固定部から受け取るために可動部の吸引力は上昇させる。固定部と可動部の吸引力が双方１８弱になったときのタイミングにあわせ、可動部を、固定部と同じ高さになるように下降位置から上昇させパネル受け渡し位置まで上昇させる、つまり、１８のタイミングでは表示パネルは固定部と可動部の両方で吸着保持している。さらに、可動部が上昇を続けることで固定部から表示パネルが引き離され、その段階では可動部の吸引力が強レベルまで上昇するため、水平搬送を行っても表示パネルは位置ずれを起こさない。一方、固定部の吸引力は低下し、つまり吸着の必要が無い所には無駄な吸引エアを使わないことができる。

そして、可動部によって目的位置まで水平搬送されたのち、目的位置の固定部に表示パネルを吸着固定させるために可動部を下降させるが、今度は先の説明とは逆に、パネルを保持している可動部の吸着力を弱め、同時に可動部から表示パネルを受け取るために固定部の吸引力は上昇させる。そして、可動部と固定部の吸引力が双方１９弱になったときのタイミングにあわせて、可動部を、固定部と同じ高さになるパネル受け渡し位置まで下降させる。すなわち１９のタイミングでは表示パネルを可動部と固定部の両方が表示パネルを吸着保持している。さらに、可動部は下降を続けることで固定部に表示パネルが残り、可動部から表示パネルは引き離される。そしてその段階では固定部の吸引力は強レベルまで上昇しており、表示パネルをしっかりと吸着固定する。そして搬送を終えた可動部の吸引力を低下させ、吸着の必要が無い所には無駄な吸引エアを使わないようにすることができる。このようにして、一回の表示パネル搬送を行う。この動作を連続することで、上流から下流に向かって表示パネルの連続搬送を行う。

本実施例では、固定部と可動部の吸引圧力が丁度弱になるタイミングで、固定部から可動部、あるいは可動部から固定部にパネルが受け渡されるため、吸着力が残っている効果でパネルの位置ズレをおこさず、かつ、吸引が弱い効果により、受け渡し時に吸着パッドからパネルが引き剥がされる時にパネルが割れるなどの課題も生じないという効果が期待できる。後に説明する図１５の方式がベストであるが、タイミングさえ合わせることが可能であるならばセカンドベストの方式である。

次に、パネルを渡す側の吸引圧力を弱めるタイミングが遅い時の例を説明する。

図６は、図１から図４までの吸着搬送機構を使った表示パネル基板搬送において、表示パネル基板の受け渡しを行う際、表示パネルを保持している部分の吸着力を弱める時間を遅らせた時の受け渡し動作のタイミングを示している。なお、図６では、表示パネル基板の位置は、まず、固定部にあり、次に可動部が上昇して受け取り、その後、可動部が適当な距離を搬送方向に水平搬送させたのち、可動部が下降して搬送先の新たな固定部に下ろし、一回の受け渡しを終えるところまでの動作を示している。

固定部および可動部の吸引力の強，弱，０の切り替えと可動部動作の上昇位置，パネル受け渡し位置，下降位置のタイミングについて、さらに具体的に説明する。先に説明した通り、図では最初、表示パネルは固定部に吸着保持されている。表示パネルを固定部から受け取るために可動部の吸引力を上昇させ、また、下降位置から上昇させる。しかし、このときには表示パネルを保持している固定部の吸引力は未だ強のままであり、そのときの固定部と可動部の吸引力の関係は２０となる。そして、そのタイミングにあわせ、可動部を、固定部と同じ高さになるように下降位置から上昇させパネル受け渡し位置まで上昇させ、２０のタイミングでは表示パネルは固定部と可動部の両方で吸着保持する。さらにその後、表示パネルを受け取った可動部の吸引力は強レベルまで上昇し、前記したように水平搬送される。

そして、可動部によって目的位置まで水平搬送されたのち、目的位置の固定部に表示パネルを吸着固定させるために可動部を下降させる。今度は先の説明とは逆に、パネルを保持している可動部の吸着力が強い状態のまま可動部が下降し、固定部と同じ高さとなるパネル受け渡し位置になるまで下降させる。すなわち２１のタイミングでは表示パネルを可動部と固定部の両方が吸着保持している。

本実施例では、固定部の吸引圧力が未だ強いタイミングで、固定部から可動部にパネルが受け渡される、また、可動部の吸引圧力が未だ強いタイミングで、可動部から固定部にパネルが受け渡される。双方の場合とも、渡す側に吸着力が強く残っている効果により、万一振動などの外乱が生じても図５の実施例と比較して、よりパネルの位置ズレをおこさない効果が期待できる。吸着の残圧によってパネルの割れや湾曲を生じさせないような別途機構を組み合わせることが可能であるならばベストの方式である。

次に、パネルを渡す側の吸引圧力を弱めるタイミングが早い時の例を説明する。

図７は、図１から図４までの吸着搬送機構を使った表示パネル基板搬送において、表示パネル基板の受け渡しを行う際、表示パネルを保持している部分の吸着力を弱める時間を早めた時の受け渡し動作のタイミングを示している。なお、図７では、表示パネル基板の位置は、まず、固定部にあり、次に可動部が上昇して受け取り、その後、可動部が適当な距離を搬送方向に水平搬送させたのち、可動部が下降して搬送先の新たな固定部に下ろし、一回の受け渡しを終えるところまでの動作を示している。

固定部および可動部の吸引力の強，弱，０の切り替えと可動部動作の上昇位置，パネル受け渡し位置，下降位置のタイミングについて、さらに具体的に説明する。先に説明した通り、図では最初、表示パネルは固定部に吸着保持されている。表示パネルを固定部から受け取るために可動部の吸引力を上昇させ、また、下降位置から上昇させる。しかし、このときには表示パネルを保持している固定部の吸引力はすでに弱であり、そのときの固定部と可動部の吸引力の関係は２２となる。そして、そのタイミングにあわせ、可動部を、固定部と同じ高さになるように下降位置から上昇させパネル受け渡し位置まで上昇させ、２２のタイミングでは表示パネルは固定部と可動部の両方で吸着保持する。さらにその後、表示パネルを受け取った固定部の吸引力は強レベルまで上昇し、前記したように水平搬送される。

そして、可動部によって目的位置まで水平搬送されたのち、目的位置の固定部に表示パネルを吸着固定させるために可動部を下降させる。今度は先の説明とは逆に、パネルを保持している固定部の吸着力がすでに弱い状態のまま可動部が下降し、固定部と同じ高さとなるパネル受け渡し位置になるまで下降させる。すなわち２３のタイミングでは表示パネルを可動部と固定部の両方が吸着保持している。

本実施例では、固定部の吸引圧力がすでに弱いタイミングで、固定部から可動部にパネルが受け渡される、また、可動部の吸引圧力がすでに弱いタイミングで、可動部から固定部にパネルが受け渡される。双方の場合とも、渡す側に吸着力が無い効果により、図５の実施例と比較して、よりパネルに割れや湾曲を誘発しない効果が期待できる。受け渡し時にパネルの位置ズレを生じさせないような別途機構を組み合わせることが可能であるならばベストの方式である。

次に、パネルを渡す側の吸引圧力を弱めるタイミングが遅く、かつ、渡される側の吸引圧力を弱めるタイミングが早い例を説明する。

図８は、図１から図４までの吸着搬送機構を使った表示パネル基板搬送において、表示パネル基板の受け渡しを行う際、表示パネルを保持している部分の吸着力を弱める時間を遅らせた時の受け渡し動作のタイミングを示している。なお、図８では、表示パネル基板の位置は、まず、固定部にあり、次に可動部が上昇して受け取り、その後、可動部が適当な距離を搬送方向に水平搬送させたのち、可動部が下降して搬送先の新たな固定部に下ろし、一回の受け渡しを終えるところまでの動作を示している。

固定部および可動部の吸引力の強，弱，０の切り替えと可動部動作の上昇位置，パネル受け渡し位置，下降位置のタイミングについて、さらに具体的に説明する。先に説明した通り、図では最初、表示パネルは固定部に吸着保持されている。表示パネルを固定部から受け取るために可動部を下降位置から上昇させる。しかし、このときには表示パネルを保持している固定部の吸引力は未だ強のままであり、また、可動部の吸引力は未だ弱のままである。そのときの固定部と可動部の吸引力の関係は２４となる。そして、そのタイミングにあわせ、可動部を、固定部と同じ高さになるように下降位置から上昇させパネル受け渡し位置まで上昇させ、２４のタイミングでは表示パネルは固定部だけが吸着保持する。さらにその後、表示パネルを受け取った可動部は吸引力を上昇させ、前記したように水平搬送される。

そして、可動部によって目的位置まで水平搬送されたのち、目的位置の固定部に表示パネルを吸着固定させるために可動部を下降させる。今度は先の説明とは逆に、パネルを保持している可動部の吸着力が強い状態のまま可動部が下降し、固定部と同じ高さとなるパネル受け渡し位置になるまで下降させる。すなわち２５のタイミングでは表示パネルは可動部が吸着保持している。

本実施例では、固定部の吸引圧力が未だ強いタイミングで、固定部から可動部にパネルが受け渡される、また、可動部の吸引圧力が未だ強いタイミングで、可動部から固定部にパネルが受け渡される。双方の場合とも、渡す側に吸着力が強く残っている効果により、万一振動などの外乱が生じても図５の実施例と比較して、よりパネルの位置ズレをおこさない効果が期待できる。吸着の残圧によってパネルの割れや湾曲を生じさせないような別途機構および、渡される側にパネルの位置ズレを防ぐ機構を組み合わせることが可能であるならばベストの方式である。

次に、パネルを渡す側の吸引圧力を弱めるタイミングが早く、かつ、渡される側の吸引圧力を弱めるタイミングが遅い例を説明する。

図９は、図１から図４までの吸着搬送機構を使った表示パネル基板搬送において、表示パネル基板の受け渡しを行う際、表示パネルを保持している部分の吸着力を弱める時間を遅らせた時の受け渡し動作のタイミングを示している。なお、図９では、表示パネル基板の位置は、まず、固定部にあり、次に可動部が上昇して受け取り、その後、可動部が適当な距離を搬送方向に水平搬送させたのち、可動部が下降して搬送先の新たな固定部に下ろし、一回の受け渡しを終えるところまでの動作を示している。

固定部および可動部の吸引力の強，弱，０の切り替えと可動部動作の上昇位置，パネル受け渡し位置，下降位置のタイミングについて、さらに具体的に説明する。先に説明した通り、図では最初、表示パネルは固定部に吸着保持されている。表示パネルを固定部から受け取るために可動部を下降位置から上昇させる。しかし、このときには表示パネルを保持している固定部の吸引力はすでに弱であり、また、可動部の吸引力はすでに強である。そのときの固定部と可動部の吸引力の関係は２６となる。そして、そのタイミングにあわせ、可動部を、固定部と同じ高さになるように下降位置から上昇させパネル受け渡し位置まで上昇させ、２６のタイミングでは表示パネルは可動部だけが吸着保持する。しかし、固定部の吸引がすでに弱い状態であるため、表示パネルは固定部から位置ズレを起こしながら引き離される。その結果、可動部に受け渡された表示パネルは位置ズレが生じる可能性が高くなる。さらにその後、表示パネルを受け取った可動部は吸引力がすでに強いため、そのままを保持し、前記したように水平搬送される。

そして、可動部によって目的位置まで水平搬送されたのち、目的位置の固定部に表示パネルを吸着固定させるために可動部を下降させる。今度は先の説明とは逆に、パネルを保持している可動部の吸着力がすでに弱い状態のまま下降し、固定部と同じ高さとなるパネル受け渡し位置になるまで下降させる。

本実施例では、固定部の吸引圧力がすでに弱いタイミングで、固定部から可動部にパネルが受け渡される、また、可動部の吸引圧力がすでに弱いタイミングで、可動部から固定部にパネルが受け渡される。双方の場合とも、渡す側に吸着力が無い効果により、図５の実施例と比較して、よりパネルに割れや湾曲を誘発しない効果が期待できる。受け渡し時にパネルの位置ズレを生じさせないような別途機構を組み合わせることが可能であるならばベストの方式である。

次に、図５の実施例に対し渡す側の吸引圧力をゼロにしないで受け渡す例を説明する。

図１０は、図１から図４までの吸着搬送機構を使った表示パネル基板搬送において、表示パネル基板の受け渡し２８，２９を行う際、前記、図５に示す最も理想的な固定部と搬送部の吸着力変化および受け渡し動作のタイミングに対し、吸引レベルをゼロにしないことを特徴とした状態を示している。

本実施例では、固定部と可動部の吸引圧力が丁度弱になるタイミングで、固定部から可動部、あるいは可動部から固定部にパネルが受け渡されるため、吸着力が残っている効果でパネルの位置ズレをおこさず、かつ、吸引が弱い効果により、受け渡し時に吸着パッドからパネルが引き剥がされる時にパネルが割れるなどの課題も生じないという効果が期待できる。後に説明する図１５の方式がベストであるが、タイミングを合わせることが可能で、かつ、吸引エアを常にゼロにしないため、吸引圧力を発生させるポンプの容量が大きい、または使用する吸引エアの量が少ない場合であればセカンドベストの方式である。

次に、パネルを渡す側の吸引圧力を弱めるタイミングが早い時の例を説明する。

図１１は、図１から図４までの吸着搬送機構を使った表示パネル基板搬送において、表示パネル基板の受け渡しを行う際、表示パネルを保持している部分の吸着力を弱める時間を早めた時の受け渡し動作のタイミングを示している。なお、図１１では、表示パネル基板の位置は、まず、固定部にあり、次に可動部が上昇して受け取り、その後、可動部が適当な距離を搬送方向に水平搬送させたのち、可動部が下降して搬送先の新たな固定部に下ろし、一回の受け渡しを終えるところまでの動作を示している。

固定部および可動部の吸引力の強，弱，０の切り替えと可動部動作の上昇位置，パネル受け渡し位置，下降位置のタイミングについて、さらに具体的に説明する。先に説明した通り、図では最初、表示パネルは固定部に吸着保持されている。表示パネルを固定部から受け取るために可動部を下降位置から上昇させる。しかし、このときには表示パネルを保持している固定部の吸引力はすでに弱であり、また、可動部の吸引力もすでに弱である。そのときの固定部と可動部の吸引力の関係は３０となる。そして、そのタイミングにあわせ、可動部を、固定部と同じ高さになるように下降位置から上昇させパネル受け渡し位置まで上昇させ、３０のタイミングでは表示パネルは固定部と可動部が吸着保持する。

そして、可動部によって目的位置まで水平搬送されたのち、目的位置の固定部に表示パネルを吸着固定させるために可動部を下降させる。パネルを保持している可動部、ならびにパネルを受け取る固定部がともに吸着力がすでに弱い状態あり、固定部と同じ高さとなるパネル受け渡し位置になるまで可動部を下降させる。すなわち３１のタイミングでは表示パネルは可動部と固定部が吸着保持している。可動部は下降時にすでに保持力を失っているため、固定部に受け渡すときにはスムーズに受け渡しが行われる。

本実施例では、固定部と可動部の吸引圧力が弱のタイミングで、固定部から可動部、あるいは可動部から固定部にパネルが受け渡されるため、吸着力が残っている効果でパネルの位置ズレをおこさず、かつ、吸引が弱い効果により、受け渡し時に吸着パッドからパネルが引き剥がされる時にパネルが割れるなどの課題も生じないという非常に良い効果が期待できる。後に説明する図１５の方式がベストであるが、吸引エアを常にゼロにしないため、吸引圧力を発生させるポンプの容量が大きい、または使用する吸引エアの量が少ない場合であれば、セカンドベストの方式である。

次に、パネルを渡す側の吸引圧力を弱めるタイミングが遅く、かつ吸引圧力は弱モードの例を説明する。

図１２は、図１から図４までの吸着搬送機構を使った表示パネル基板搬送において、表示パネル基板の受け渡しを行う際、表示パネルを保持している部分の吸着力を弱める時間を遅らせた時の受け渡し動作のタイミングを示している。なお、図１２では、表示パネル基板の位置は、まず、固定部にあり、次に可動部が上昇して受け取り、その後、可動部が適当な距離を搬送方向に水平搬送させたのち、可動部が下降して搬送先の新たな固定部に下ろし、一回の受け渡しを終えるところまでの動作を示している。

固定部および可動部の吸引力の強，弱，０の切り替えと可動部動作の上昇位置，パネル受け渡し位置，下降位置のタイミングについて、さらに具体的に説明する。先に説明した通り、図では最初、表示パネルは固定部に吸着保持されている。表示パネルを固定部から受け取るために可動部の吸引力を上昇させ、また、下降位置から上昇させる。しかし、このときには表示パネルを保持している固定部の吸引力は未だ強のままであり、そのときの固定部と可動部の吸引力の関係は３２となる。そして、そのタイミングにあわせ、可動部を、固定部と同じ高さになるように下降位置から上昇させパネル受け渡し位置まで上昇させ、３２のタイミングでは表示パネルは固定部と可動部の両方で吸着保持する。しかし、そのまま可動部が上昇を続けると、固定部の吸引は未だ強い状態であるため、表示パネルは固定部から無理に引き離される。その結果、表示パネルには割れや湾曲が生じる恐れが生じる。さらにその後、表示パネルを受け取った固定部の吸引力は強レベルまで上昇し、前記したように水平搬送される。

そして、可動部によって目的位置まで水平搬送されたのち、目的位置の固定部に表示パネルを吸着固定させるために可動部を下降させる。今度は先の説明とは逆に、パネルを保持している可動部も吸着力が強い状態のまま可動部が下降し、固定部と同じ高さとなるパネル受け渡し位置になるまで下降させる。すなわち３３のタイミングでは表示パネルを可動部と固定部の両方が吸着保持している。

本実施例では、固定部の吸引圧力が未だ強いタイミングで、固定部から可動部にパネルが受け渡される、また、可動部の吸引圧力が未だ強いタイミングで、可動部から固定部にパネルが受け渡される。双方の場合とも、渡す側に吸着力が強く残っている効果により、万一振動などの外乱が生じても図５の実施例と比較して、よりパネルの位置ズレをおこさない効果が期待できる。吸着の残圧によってパネルの割れや湾曲を生じさせないような別途機構を組み合わせること、また、吸引エアを常にゼロにしないため、吸引圧力を発生させるポンプの容量が大きい、または使用する吸引エアの量が少ない場合であればベストの方式である。

次に、パネルを渡す側の吸引圧力を弱めるタイミングが遅く、かつ吸引圧力は弱モードの例を説明する。

図１３は、図１から図４までの吸着搬送機構を使った表示パネル基板搬送において、表示パネル基板の受け渡しを行う際、表示パネルを保持している部分の吸着力を弱める時間を遅らせた時の受け渡し動作のタイミングを示している。なお、図１３では、表示パネル基板の位置は、まず、固定部にあり、次に可動部が上昇して受け取り、その後、可動部が適当な距離を搬送方向に水平搬送させたのち、可動部が下降して搬送先の新たな固定部に下ろし、一回の受け渡しを終えるところまでの動作を示している。

固定部および可動部の吸引力の強，弱，０の切り替えと可動部動作の上昇位置，パネル受け渡し位置，下降位置のタイミングについて、さらに具体的に説明する。先に説明した通り、図では最初、表示パネルは固定部に吸着保持されている。表示パネルを固定部から受け取るために可動部の吸引力は弱のまま下降位置から上昇させる。しかし、このときには表示パネルを保持している固定部の吸引力は未だ強のままであり、そのときの固定部と可動部の吸引力の関係は３４となる。そして、そのタイミングにあわせ、可動部を、固定部と同じ高さになるように下降位置から上昇させパネル受け渡し位置まで上昇させ、３４のタイミングでは表示パネルは固定部と可動部の両方で吸着保持する。しかし、そのまま可動部が上昇を続けると、固定部の吸引は未だ強い状態であるため、表示パネルは固定部から無理に引き離される。その結果、表示パネルには割れや湾曲が生じる恐れが生じる。さらにその後、表示パネルを受け取った可動部の吸引力は強レベルまで上昇し、前記したように水平搬送される。

そして、可動部によって目的位置まで水平搬送されたのち、目的位置の固定部に表示パネルを吸着固定させるために可動部を下降させる。今度は先の説明とは逆に、パネルを保持している可動部も吸着力が強い状態のまま可動部が下降し、固定部と同じ高さとなるパネル受け渡し位置になるまで下降させる。すなわち３５のタイミングでは表示パネルを可動部と固定部の両方が吸着保持している。

本実施例では、前記同様、固定部の吸引圧力が未だ強いタイミングで、固定部から可動部にパネルが受け渡される、また、可動部の吸引圧力が未だ強いタイミングで、可動部から固定部にパネルが受け渡される。双方の場合とも、渡す側に吸着力が強く残っている効果により、万一振動などの外乱が生じても図５の実施例と比較して、よりパネルの位置ズレをおこさない効果が期待できる。吸着の残圧によってパネルの割れや湾曲を生じさせないような別途機構を組み合わせること、また、吸引エアを常にゼロにしないため、吸引圧力を発生させるポンプの容量が大きい、または使用する吸引エアの量が少ない場合であればベストの方式である。

次に、パネルを渡す側の吸引圧力を弱めるタイミングが早く、かつ吸引圧力は弱モードの例を説明する。

図１４は、図１から図４までの吸着搬送機構を使った表示パネル基板搬送において、表示パネル基板の受け渡しを行う際、表示パネルを保持している部分の吸着力を弱める時間を遅らせた時の受け渡し動作のタイミングを示している。なお、図１４では、表示パネル基板の位置は、まず、固定部にあり、次に可動部が上昇して受け取り、その後、可動部が適当な距離を搬送方向に水平搬送させたのち、可動部が下降して搬送先の新たな固定部に下ろし、一回の受け渡しを終えるところまでの動作を示している。

固定部および可動部の吸引力の強，弱，０の切り替えと可動部動作の上昇位置，パネル受け渡し位置，下降位置のタイミングについて、さらに具体的に説明する。先に説明した通り、図では最初、表示パネルは固定部に吸着保持されている。表示パネルを固定部から受け取るために可動部の吸引力を上昇させ、また、下降位置から上昇させる。しかし、このときには表示パネルを保持している固定部の吸引力はすでに弱であり、そのときの固定部と可動部の吸引力の関係は３６となる。そして、そのタイミングにあわせ、可動部を、固定部と同じ高さになるように下降位置から上昇させパネル受け渡し位置まで上昇させ、３６のタイミングでは表示パネルは固定部と可動部の両方で吸着保持する。そしてそのまま可動部が上昇を続け、表示パネルは固定部から引き離される。さらにその後、表示パネルを受け取った可動部は、前記したように水平搬送される。

そして、可動部によって目的位置まで水平搬送されたのち、目的位置の固定部に表示パネルを吸着固定させるために可動部を下降させる。今度は先の説明とは逆に、パネルを保持している可動部も吸着力がすでに弱で可動部が下降し、固定部と同じ高さとなるパネル受け渡し位置になるまで下降させる。すなわち３７のタイミングでは表示パネルを可動部と固定部の両方が吸着保持している。

本実施例では、固定部と可動部の吸引圧力が弱のタイミングで、固定部から可動部、あるいは可動部から固定部にパネルが受け渡されるため、吸着力が残っている効果でパネルの位置ズレをおこさず、かつ、吸引が弱い効果により、受け渡し時に吸着パッドからパネルが引き剥がされる時にパネルが割れるなどの課題も生じないという非常に良い効果が期待できる。後に説明する図１５の方式がベストであるが、吸引エアを常にゼロにしないため、吸引圧力を発生させるポンプの容量が大きい、または使用する吸引エアの量が少ない場合であれば、セカンドベストの方式である。

次に、これまで説明した実施例のうち最もベストな方式を説明する。

図１５は、これまで説明した図５から図１４までの課題を解決するための吸着機構動作のタイミングを示している。なお、図１５では、表示パネル基板の位置は、まず、固定部にあり、次に可動部が上昇して受け取り、その後、可動部が適当な距離を搬送方向に水平搬送させたのち、可動部が下降して搬送先の新たな固定部に下ろし、一回の受け渡しを終えるところまでの動作を示している。

固定部および可動部の吸引力の強，弱，０の切り替えと可動部動作の上昇位置，パネル受け渡し位置，下降位置のタイミングについて、さらに具体的に説明する。先に説明した通り、図では最初、表示パネルは固定部に吸着保持されている。表示パネルを固定部から受け取るために可動部の吸引力を上昇させ、また、下降位置から上昇させる。同時に、このとき表示パネルを保持している固定部の吸引力は弱であり、そのときの固定部と可動部の吸引力の関係は３８となる。図５に示す方式の受け渡しタイミングを広げるため、本方式では表示パネルを保持している部分の弱レベルに時間幅を設けるところにある。そして、そのタイミングにあわせ、可動部を、固定部と同じ高さになるように下降位置から上昇させパネル受け渡し位置まで上昇させ、３８のタイミングでは表示パネルは固定部と可動部の両方で吸着保持する。そして可動部が上昇を続けると、表示パネルは固定部から引き離されるが、表示パネルには割れや湾曲は生じない。さらにその後、表示パネルを受け取った可動部の吸引力は強レベルまで上昇し、前記したように水平搬送される。

そして、可動部によって目的位置まで水平搬送されたのち、目的位置の固定部に表示パネルを吸着固定させるために可動部を下降させる。今度は先の説明とは逆に、パネルを保持している可動部の吸着力が弱の状態で可動部が下降し、固定部と同じ高さとなるパネル受け渡し位置になるまで下降させる。すなわち３９のタイミングでは表示パネルを可動部と固定部の両方が吸着保持している。さらに、可動部は下降を続け、表示パネルをスムーズに受け渡す。このように、図１５のタイミングでは受け渡しに時に割れや湾曲を発生させるような課題を引き起こす可能性は低く、図１０に示すように、吸引していないときにも、弱レベルの吸引エアを発生させておく必要がないため、吸引エアの消費量をより少なくできるという効果が有る。

図１６は吸気系の比較例で、吸着パッド４０はポンプＰから配管され、吸着パッド４０の吸着力の発生と解除はバルブの開閉によって行っていた。この方式は配管が長いほどバルブの開閉と吸着パッドの吸引力応答性が悪くなることは言うまでも無く、実際、装置に組み込まれるときには、ポンプからバルブを経由し吸着部分に至るまで、短距離で配置することは困難となる。

これまでの装置のように表示パネルを固定部から可動部、あるいは可動部から固定部に受け渡す動作が遅い装置であれば、受け渡す時の時間も長く取れるため図１６の方式で吸引力を強めたり弱めたりさせる方式で追従が遅くても課題が無かった。しかし、搬送ラインが高速化された場合にこの比較方式のままであると、前記図５から図９に述べたように、受け渡しのタイミングと吸引力の強弱タイミングを最適にあわせることが非常に困難になるという課題が発生することになる。

そこで、図１７に、その課題を解決するための方式を示す。先に説明した図１５の弱吸引のタイミング３８，３９を、前記課題であるポンプからの配管長さにも影響を受けず、受け渡し動作のタイミングと最適に合わせることを実現できる具体的な構成である。図１７において、吸着パッド４０はポンプＰから配管され、吸着パッド４０の吸着力の発生と解除はバルブの開閉によって行う。さらに、吸引を弱めるためにはチャンバに設けた開放弁４１を開放する。すると、短時間で吸着パッド４０の吸着力を弱めることができる。この方式であれば、バルブの開閉では吸着パッドの吸引力を変えないため、実際、装置に組み込まれるときには、ポンプからバルブを経由し吸着部分に至るまでの距離が長くても課題は無くなる。そして、次に、開放弁４１の開閉によって吸引圧力を弱めることができることを検証した結果を説明する。

図１８は、開放弁４１の開放で吸引圧力を一気に弱める実験を行った結果のグラフを示す。吸着パッド７０個に表示パネルの面をすべて密着させ、すなわち吸着パッドを全閉した状態においては、ポンプで発生させた吸引圧力はすべて維持され、各吸着パッドは目的の吸引力を発生している。次に１個の吸着パッドを故意に大気開放させると、ポンプで発生させている吸引圧力は一気に半分近くに弱まってしまうことがわかる。さらに続けて複数個（図は７個）を故意に大気開放させても、その弱まった吸引圧力は推移することがわかった。この特性を利用して、吸着パッドの近くに開放弁を持たせて、吸着パッドひとつに相当する開放弁の開放動作だけによって、表示パネル受け渡し動作に最適な弱吸引の状態を簡単に作ることができる。

一方、表示パネルを吸着パッドで吸着固定するとき、パネルに大きな反りや局所的に凹凸が有るなど、また、ゴミ等の異物が付着していると、その部分に接触すべく吸着パッドが表示パネルに正常に密着せず、すると、その不完全に着いた吸引パッド部分は吸引圧力が保てず、結果、吸着圧力は大気圧近くまで低下してしまうという課題があった。

そこで、その課題を解決すべく考案した吸引機構を図１９に示す。図は機構部の模式的な断面図と平面図を示している。なお、図１９の構成は一例であり図中のチャンバの個数などはこの限りではない。

図１９は、ある一箇所の集合吸着部を示しており、吸引圧力を保つチャンバはＡ系Ｂ系Ｃ系と３つ個別に分けられている。さらに、個別のチャンバ同士は細いホースもしくは細い配管によって連結されている。連結した先には吸引ポンプが繋がっており、その吸引ポンプによって各吸着パッドには吸引圧力が発生している。また、各チャンバにはチャンバ内部の圧力を瞬時に変化させる目的の開放弁４１が設けられており、各吸着パッドの吸引圧力の強弱切り替えを開放弁４１の開閉で行うことができる。

この図１９に示す機構は２つの効果がある。第１は、表示パネルを吸着パッドで吸引する時に、一部の吸着パッド部に局所的な凹凸や段差、あるいはゴミを噛むなどして吸着ミスが生じ、その部分の吸引圧力が大気圧に近く低下して、その結果、その吸着パッドが固定されたチャンバ全体の吸引圧力が低下し、チャンバの設けられた吸着パッド全部の吸着力が低下しても、チャンバ同士を連結している配管が細いことで、チャンバ間に大きな圧力損出が生じるため、ひとつのチャンバに圧力変動が起きても、他のチャンバにまで同時に影響低下することを防いでいる。第２に、Ａ系Ｂ系Ｃ系のチャンバに設けられた吸着パッドは隣接して配置されているため、万一、どれかのチャンバにおいて吸引圧力低下が発生しても、近隣パッドでは急激な圧力低下が発生しておらず、近隣部分によってパネルは吸い寄せられているため、再吸着の可能性を高める効果が得られるところである。

以上のように、本発明の表示パネル基板搬送装置を用いることで、基板の搬送時において、必要以上の吸引圧力をかけて表示パネル基板に割れや吸着痕を残すような事故を生じさせる、あるいは吸引力不足による表示パネル基板の外れや位置ずれを生じさせるなどの課題を防ぎ、また、基板を高速に搬送するために受け渡しタイミングを高速化しても、受け渡しに適した吸引圧力の時間を一定時間設けてマージンがとれるため、安定して受け渡すことができる。

さらに、吸着系の分割とそれらの圧損連結の効果によって、吸着ミスによる表示パネル基板の外れの発生を抑えることが可能な表示パネル基板搬送装置およびそれを用いた表示パネルモジュール組立装置を提供できる。

なお、本発明の一つの特徴は、吸引部分の圧力変化にある。また、図示はしないが、櫛刃によって表示パネル基板を受け渡す機構においても、受け渡すタイミングで吸引圧力を最適に下げることで同様な効果が期待できるため、適用させることができる。

以上述べたように、本発明は、例えば、表示パネルモジュール組立装置において、渡す側の吸着力を残したままパネルの受け渡しを行うと、パネルにストレスがかかり割れが生じたりあるいは吸着パッド痕を残すなどの課題、また、逆に弱いと受け渡すときに位置ずれを生じたり、吸着が外れパネル自体の反りによって吸着部分からの浮き上がりが生じたりする課題を解決することを目的としている。そのため、例えば、基板搬送で表示パネルを受け渡すときの吸着力を弱モードに下げることで、パネルにストレスもかからず、また吸引も外れることがない。そして、具体的には、開放弁によって吸引系を開放することで容易に安定した弱吸引モードを作ることができる。さらに、弱段階吸引圧力として開放弁の開放時間で制御できるため、高速化されても制御が容易である。

さらに、吸引系を分割し、さらにそれぞれは圧力損失を発生させて連結し、それら別系の吸着パッドや吸引穴を近接して配置することで、万一、ある系に吸着ミスを起こしても、圧力損失によって他の系の圧力低下を遅らせることができ、結果、パネル外れを回避する効果が期待できる。

なお、表示パネルモジュール組立装置は、プラズマなどのＦＰＤの表示パネル基板に、複数の処理作業工程を順次行うことで、該表示パネル基板の周辺に、駆動ＩＣ，ＴＡＢおよびＰＣＢなどを実装する装置である。

例えば、処理工程の一例としては、（１）基板端部のＴＡＢ貼付け部を清掃する端子クリーニング工程，（２）清掃後の基板端部に異方性導電フィルムを（ＡＣＦ＝Anisotropic Conductive Film）貼付けるＡＣＦ工程，（３）ＡＣＦを貼付けた位置に、基板配線と位置決めしてＴＡＢやＩＣを搭載する搭載工程，（４）搭載したＴＡＢを加熱圧着することで、ＡＣＦフィルムにより固定する圧着工程，（５）搭載したＴＡＢやＩＣの位置や接続状態を検査する検査工程，（６）ＴＡＢの表示パネル基板側と反対側にＰＣＢをＡＣＦなどで貼付け搭載するＰＣＢ工程（複数の工程）などからなる。さらには、処理する基板の辺の数や処理するＴＡＢやＩＣの数などで各処理装置の数や基板を回転する処理ユニットなどが必要となる。

表示パネルモジュール組立装置は、これらの処理作業工程を行う処理作業装置を連続して配置し、その間を基板搬送手段により基板を搬送することで、基板周辺処理を行うものである。

各処理作業装置の構成としては、特開平８−２６４７５号公報記載のように、各処理作業を行う作業テーブルと該作業テーブルに表示パネル基板を搬入・搬出する手段からなる構成としてもよい。この構成では、表示パネル基板が搬入される作業テーブルは、表示パネル基板を保持し、基板の幅，長さおよび水平回転方向に調整可能となっており、作業テーブルで表示パネル基板の処理位置の位置決めを行って各処理作業を実施してもよい。

また、特開２００７−９９４６６号公報記載のように、各処理作業装置に、３軸および水平回転方向に、表示パネル基板を動作可能な、くし型アームを配置する構成としてもよい。この構成のように、各処理作業装置設けられた該くし型アームによって、表示パネル基板を受け渡す動作と表示パネル基板の処理位置の位置決め動作を実施してもよい。

さらに、特開２００３−７６２９０号公報記載のように、一対のベルトコンベア様の搬送手段の間に、表示パネル支持テーブルを配置し、該表示パネル支持テーブルによって、表示パネル基板の処理位置の位置決め動作を行う方法としてもよい。

１ 表示パネル基板
２ 基板搬送部材
３ 基板保持部材
４ 処理作業装置
５ 基板搬送部材昇降装置
６ スライドステージのガイドレール
７ 基板搬送部材表面の吸引孔
８ 基板保持部材表面の吸引孔
９ 小型基板の配置領域
１０ 大型基板の配置領域
１１ 吸着孔の下の吸引チャンバ
１２，４３ 開閉バルブ
１３ 吸引ポンプなどから供給される負圧系
１５ スライドステージのスライダ
１６ 処理ユニット
４０ 吸着パッド
４１ 開放弁
４２ 吸引ポンプ
４２ａ 基板搬送部材へのエア配管
４２ｂ 基板固定部材へのエア配管
４２ｃ 伸縮式配管

Claims (12)

1. 表示パネル基板を搬送する表示パネル基板搬送装置において、
   表示パネル基板を表示パネルの下面の一部を吸着して固定保持する固定部と、
   前記固定部で吸着する部分以外の部分を吸着して、前記固定部に対し上下方向と水平方向に可動な可動部と、を有し、
   前記固定部と前記可動部に対して、表示パネル基板の搬送時の加減速に対して表示パネル基板の外れや位置ずれが生じない第１の吸引力を表示パネル基板へ作用する第１の吸引状態と、表示パネル基板の保持力の無い第２の吸引力を表示パネル基板へ作用する第２の吸引状態と、前記第１の吸引力と前記第２の力との間の大きさの第３の吸引力を表示パネル基板へ作用する第３の吸引状態との、少なくとも３段階以上の吸引状態を発生する吸着系とを有し、
   さらに、前記吸着系に接続されたチャンバ、前記チャンバに設けられた圧力解放弁、及び前記チャンバに接続された前記チャンバよりも細い管を有することを特徴とする表示パネル基板搬送装置。
2. 請求項１において、
   前記吸着系を複数有し、そのうち少なくとも二つの吸着系を圧力損失連結することを特徴とする表示パネル基板搬送装置。
3. 請求項１記載の表示パネル基板搬送装置と、
   前記表示パネル基板を処理する複数の処理装置と、を有することを特徴とする表示パネルモジュール組立装置。
4. 請求項１において、
   表示パネルが固定部に固定保持されているところに、前記固定部と同じ高さまで前記可動部が移動して並び、
   前記固定部と前記可動部の双方が表示パネルに接触するとき、前記固定部の吸着が弱まり、可動部の吸着力も弱まることを特徴とする表示パネル基板搬送装置。
5. 請求項４において、
   前記可動部であって、前記固定部に吸着して固定保持された表示パネルを、前記固定部の下方から、前記可動部が前記固定部と同じ高さまで上昇して並び、前記表示パネルを吸着保持し、
   さらに前記可動部が上昇して前記表示パネルを前記固定部から引き離し、搬送目的方向に水平移動させることを特徴とする表示パネル基板搬送装置。
6. 請求項４において、
   前記可動部であって、搬送開始位置から搬送終了位置までに複数個配置され、搬送の開始位置に吸着保持された表示パネルを、可動部で保持して下流に水平移動し、
   次に下流に配置された可動部により更に下流に水平移動させることを順次繰り返し、搬送終了位置まで表示パネルを移動させることを特徴とする表示パネル基板搬送装置。
7. 請求項４において、
   前記固定部と前記可動部であって表示パネルを吸着する部分は、吸着パッドもしくは吸着穴、または双方が設けられていることを特徴とする表示パネル基板搬送装置。
8. 請求項１において、
   前記第１の吸引力は、１〔Ｎ〕以上であり、
   前記第２の吸引力は、０〔Ｎ〕であることを特徴とする表示パネル基板搬送装置。
9. 請求項８において、
   前記表示パネルを弱く吸着する、吸着パッドもしくは吸着穴ひとつの吸引力が１〔Ｎ〕以下のパネル吸着であって、
   前記圧力開放弁を開放することによる減圧で１〔Ｎ〕以下の吸引力を発生させていることを特徴とする表示パネル基板搬送装置。
10. 請求項９において、
    前記１〔Ｎ〕以下の吸引力は、所定時間で１／２〔Ｎ〕程度の吸引力を発揮することを特徴とする表示パネル基板搬送装置。
11. 請求項７の吸着パッドもしくは吸着穴であって、吸着パッドもしくは吸着穴は隣接する
    付近同士の吸引系統がそれぞれ区分されていることを特徴とする表示パネル基板搬送装置。
12. 請求項４乃至請求項１１いずれか記載の表示パネル基板搬送装置と、
    表示パネル基板を処理する処理装置と、
    前記処理装置の移動装置と、を有することを特徴とする表示パネルモジュール組立装置。

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