JP5492979B2 - 検査装置 - Google Patents
検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5492979B2 JP5492979B2 JP2012506675A JP2012506675A JP5492979B2 JP 5492979 B2 JP5492979 B2 JP 5492979B2 JP 2012506675 A JP2012506675 A JP 2012506675A JP 2012506675 A JP2012506675 A JP 2012506675A JP 5492979 B2 JP5492979 B2 JP 5492979B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection apparatus
- electrode
- defect
- voltage
- inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M10/00—Secondary cells; Manufacture thereof
- H01M10/04—Construction or manufacture in general
- H01M10/0404—Machines for assembling batteries
- H01M10/0409—Machines for assembling batteries for cells with wound electrodes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/22—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M10/00—Secondary cells; Manufacture thereof
- H01M10/05—Accumulators with non-aqueous electrolyte
- H01M10/058—Construction or manufacture
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M4/00—Electrodes
- H01M4/02—Electrodes composed of, or comprising, active material
- H01M4/04—Processes of manufacture in general
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M4/00—Electrodes
- H01M4/02—Electrodes composed of, or comprising, active material
- H01M4/13—Electrodes for accumulators with non-aqueous electrolyte, e.g. for lithium-accumulators; Processes of manufacture thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M10/00—Secondary cells; Manufacture thereof
- H01M10/05—Accumulators with non-aqueous electrolyte
- H01M10/052—Li-accumulators
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/10—Energy storage using batteries
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Description
2 速度制御部
3 電源
4 検査対象(電池シート)
5 電極
6 検出部
7 全体制御部
8 表示部
9 金属異物
10 電流増幅アンプ
11 間隔制御部
12 入力部
13 欠陥目印機能部
14 冷却機構部
50 回転体
51 電極制御部
52 電圧検出部
53 交流電源
54 比較部
60 欠陥検査装置
61 切断装置
Claims (19)
- 検査対象を搬送する搬送部と、
前記検査対象を挟むように配置された第1の電極及び、第2の電極と、
前記第1の電極に接続された電源と、
前記検査対象の搬送速度を制御する搬送速度制御部と、
前記第2の電極に接続され、前記第1の電極と前記第2の電極との間に形成された静電容量の変化により生じた電流を検出する電流検出部と、
前記電流に基づき欠陥を検出する欠陥検出部と、を有し、
前記第2の電極は前記検査対象を搬送する方向とは逆方向に回転移動する回転電極であることを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記電源は直流電源であることを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記第1の電極と、前記第2の電極との間隔を制御する間隔制御部を有することを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記電源の電圧を制御する電圧制御部を有することを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記電流を増幅する増幅部と、
前記増幅された電流を電圧に変換するIV変換部と、を有し、
前記欠陥検出部は、前記変換された電圧に基づき欠陥を検出することを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記第1の電極、及び前記第2の電極は、前記検査対象の面に対して平行な方向に複数配置されていることを特徴とする検査装置。 - 請求項6に記載の検査装置において、
前記第1の電極、及び第2の電極は、格子状に配置されていることを特徴とする検査装置。 - 請求項6に記載の検査装置において、
前記第1の電極、及び前記第2の電極は、前記検査対象の搬送方向に対して直交する方向に配置されていることを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記欠陥の位置に目印を付ける目印付加部を有することを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記第2の電極、及び電流検出部を冷却する冷却部を有することを特徴とする検査装置。 - 請求項10に記載の検査装置において、
前記冷却部はヘリウム、及び窒素の少なくとも1つであることを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記回転電極は、回転体上に一様もしくは一定間隔に複数配置されていることを特徴とする検査装置。 - 請求項12に記載の検査装置において、
前記回転体上に一定間隔に配置されている前記回転電極は、前記回転体上に格子状に複数配置されていることを特徴とする検査装置。 - 請求項13に記載の検査装置において、
前記回転体上に一定間隔に配置されている前記回転電極は、複数配置され、前記検査対象の同一位置を位相を異にして検査するように、前記回転電極の回転開始位置もしくは電極位置の位相を制御することを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記欠陥検出部は検出信号の極性、出力値および検出幅から欠陥の種類および大きさを判定することを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記電源は交流電源であることを特徴とする検査装置。 - 請求項16に記載の検査装置において、
前記電流検出部に電圧検出部を具備していることを特徴とする検査装置。 - 請求項17に記載の検査装置において、
前記交流電源の電圧、周期および電圧検出部の抵抗値を制御することを特徴とする検査装置。 - 請求項18に記載の検査装置において、
前記欠陥検出部は検出信号の位相および出力値から欠陥の種類および大きさを判定することを特徴とする検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012506675A JP5492979B2 (ja) | 2010-03-25 | 2010-12-01 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010069114 | 2010-03-25 | ||
JP2010069114 | 2010-03-25 | ||
PCT/JP2010/007000 WO2011117943A1 (ja) | 2010-03-25 | 2010-12-01 | 検査装置、及び検査方法 |
JP2012506675A JP5492979B2 (ja) | 2010-03-25 | 2010-12-01 | 検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2011117943A1 JPWO2011117943A1 (ja) | 2013-07-04 |
JP5492979B2 true JP5492979B2 (ja) | 2014-05-14 |
Family
ID=44672541
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012506675A Expired - Fee Related JP5492979B2 (ja) | 2010-03-25 | 2010-12-01 | 検査装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20120313650A1 (ja) |
JP (1) | JP5492979B2 (ja) |
KR (1) | KR20120120341A (ja) |
WO (1) | WO2011117943A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5300684B2 (ja) * | 2009-10-27 | 2013-09-25 | 株式会社ジャパンディスプレイウェスト | 静電容量型入力装置、静電容量型入力装置の製造方法、および入力機能付き電気光学装置 |
JP5809455B2 (ja) * | 2011-06-20 | 2015-11-10 | 三菱伸銅株式会社 | フィルムコンデンサ用金属蒸着フィルムの製造方法 |
DE102013209887A1 (de) * | 2013-05-28 | 2014-12-04 | Thyssenkrupp System Engineering Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Handhaben von Elektrodenmaterial, Elektrode und Energiespeicher |
KR102307296B1 (ko) * | 2017-03-24 | 2021-09-30 | 주식회사 엘지화학 | 결함 검사 장치 |
JP2018189481A (ja) * | 2017-05-02 | 2018-11-29 | 株式会社リコー | 含水率測定装置、測定方法および画像形成装置 |
CN107167936B (zh) * | 2017-05-22 | 2020-05-01 | 京东方科技集团股份有限公司 | 基板传送***以及基板检测设备和检测方法 |
CN107283164A (zh) * | 2017-08-04 | 2017-10-24 | 广东利元亨智能装备有限公司 | 一种动力电池组装设备 |
JP2019120582A (ja) * | 2018-01-05 | 2019-07-22 | 株式会社リコー | 特性検知装置、媒体供給装置および画像形成装置 |
DE102018206794A1 (de) | 2018-05-03 | 2019-11-07 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Vermessung von Elektrodenfilmen |
JP7146170B2 (ja) * | 2018-11-02 | 2022-10-04 | Toto株式会社 | 便座装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5157491A (en) * | 1974-11-16 | 1976-05-19 | Nippon Steel Corp | Sokokinzokubanno setsuketsubukenshutsusochi |
JPS63223555A (ja) * | 1987-03-12 | 1988-09-19 | Sakabe Seigyo Giken:Kk | 静電容量形検出器 |
JPH0330448A (ja) * | 1989-06-28 | 1991-02-08 | Matsushita Electron Corp | 異物検査装置 |
JPH09159712A (ja) * | 1995-12-12 | 1997-06-20 | Rohm Co Ltd | 表裏面に電極層を有する薄板状素子チップの電極間ショート検出方法および装置 |
JP2005031041A (ja) * | 2003-07-11 | 2005-02-03 | Sekisui Chem Co Ltd | マイクロリアクター及び分析方法 |
JP2005183142A (ja) * | 2003-12-18 | 2005-07-07 | Mitsubishi Chemicals Corp | リチウム二次電池用電極材料の異物の検出方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SE346179B (ja) * | 1971-01-29 | 1972-06-26 | Aga Ab | |
US4462528A (en) * | 1982-06-18 | 1984-07-31 | Polaroid Corporation | Electrostatic web clamp |
US4600290A (en) * | 1984-03-26 | 1986-07-15 | Ricoh Co., Ltd. | Magnetic brush/stationary electrode development system |
JPH07117530B2 (ja) * | 1988-05-16 | 1995-12-18 | ニッカ電測株式会社 | ピンホール検出方法および装置 |
KR19980702975A (ko) * | 1995-03-15 | 1998-09-05 | 애브리데니슨코포레이션 | 제어된 정전기력을 가진 웹 이송기 및 그 방법 |
US6191593B1 (en) * | 1997-12-17 | 2001-02-20 | Stmicroelectronics, Inc. | Method for the non-invasive sensing of physical matter on the detection surface of a capacitive sensor |
EP0924513B1 (de) * | 1997-12-18 | 2009-11-25 | Uster Technologies AG | Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung von Anteilen fester Stoffe in einem Prüfgut |
DE19906701C1 (de) * | 1999-02-18 | 2000-12-14 | Parsytec Comp Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Detektieren, Kennzeichnen und Wiederauffinden von Fehlern eines Materialbandes |
US6707055B2 (en) * | 2001-09-28 | 2004-03-16 | Polaroid Corporation | Method and apparatus for detecting pinhole defects in a dielectric layer |
US7423250B2 (en) * | 2005-07-14 | 2008-09-09 | Kla-Tencor Technologies Corp. | Systems, circuits and methods for extending the detection range of an inspection system by avoiding circuit saturation |
-
2010
- 2010-12-01 WO PCT/JP2010/007000 patent/WO2011117943A1/ja active Application Filing
- 2010-12-01 KR KR1020127021974A patent/KR20120120341A/ko not_active Application Discontinuation
- 2010-12-01 JP JP2012506675A patent/JP5492979B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-12-01 US US13/580,273 patent/US20120313650A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5157491A (en) * | 1974-11-16 | 1976-05-19 | Nippon Steel Corp | Sokokinzokubanno setsuketsubukenshutsusochi |
JPS63223555A (ja) * | 1987-03-12 | 1988-09-19 | Sakabe Seigyo Giken:Kk | 静電容量形検出器 |
JPH0330448A (ja) * | 1989-06-28 | 1991-02-08 | Matsushita Electron Corp | 異物検査装置 |
JPH09159712A (ja) * | 1995-12-12 | 1997-06-20 | Rohm Co Ltd | 表裏面に電極層を有する薄板状素子チップの電極間ショート検出方法および装置 |
JP2005031041A (ja) * | 2003-07-11 | 2005-02-03 | Sekisui Chem Co Ltd | マイクロリアクター及び分析方法 |
JP2005183142A (ja) * | 2003-12-18 | 2005-07-07 | Mitsubishi Chemicals Corp | リチウム二次電池用電極材料の異物の検出方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2011117943A1 (ja) | 2011-09-29 |
US20120313650A1 (en) | 2012-12-13 |
JPWO2011117943A1 (ja) | 2013-07-04 |
KR20120120341A (ko) | 2012-11-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5492979B2 (ja) | 検査装置 | |
JP6068183B2 (ja) | シリコン薄膜測定方法、シリコン薄膜欠陥検出方法、及びシリコン薄膜欠陥検出装置 | |
US11287478B2 (en) | Method and apparatus for detecting damage of battery separator | |
WO2024108847A1 (zh) | 辊、点检方法及装置、卷材传送方法及装置、设备、介质 | |
JP6475666B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
KR20150086042A (ko) | 이차전지용 극판 검사방법 | |
JPWO2016114257A1 (ja) | 電極積層体における電極板の位置ずれ検出方法およびその装置 | |
CN207636025U (zh) | 一种自动高速玻璃检测台 | |
CN105849961B (zh) | 层压装置 | |
JP2021516432A (ja) | 電池製造装置およびそれを用いた電池製造方法 | |
JP2013036768A (ja) | 電極シートの検査装置 | |
CN113587794A (zh) | 电磁轴承转子位移测量方法、装置以及电磁轴承*** | |
CN102879654A (zh) | 一种特高压直流线路下地面直流电场强度测量方法 | |
JP2012138302A (ja) | 塗工装置、塗工方法、電池の製造方法 | |
KR101842349B1 (ko) | 전지 시트 코팅 장치 | |
CN107329441A (zh) | 一种基于dsp控制的磁悬浮磁轴承检测*** | |
JP2021064486A (ja) | 電極の製造方法および塗工装置および検査装置 | |
KR20170093377A (ko) | 비전 검사부를 포함하고 있는 전극 탭 용접 장치 | |
CN103940860A (zh) | 一种串联谐振电路电容检测非金属材料不连续性的方法 | |
JP2018091646A (ja) | シート状部材検査方法、および、シート状部材搬送装置 | |
TWI662785B (zh) | 太陽能電池的缺陷檢測方法及其系統 | |
CN104319315A (zh) | 在线监控硅片制绒减薄量的装置 | |
KR102221782B1 (ko) | 결함 검사 장치 | |
WO2023216249A1 (zh) | 用于极片的检测方法和检测装置以及叠片*** | |
JP2012083117A (ja) | 検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131126 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140115 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140204 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140303 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5492979 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |