JP6475666B2 - 欠陥検査装置 - Google Patents
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Description
電極シートの欠陥検査は例えば次のような手順で行われる。
a) 撮影領域と目視検査領域を有し、前記シート状部材を該撮影領域から該目視検査領域に搬送する搬送路と、
b) 前記撮影領域の上方に配置された、該撮影領域に位置するシート状部材を撮影する撮影部と、
c) 前記撮影部によって撮影された画像を解析することにより前記シート状部材の欠陥候補を検出し、該欠陥候補の位置を特定する欠陥候補検出部と、
d) 前記欠陥候補検出部によって検出された結果に基づき、欠陥候補の位置データを記憶する欠陥データ記憶部と、
e) 前記目視検査領域に位置するシート状部材に対して、前記欠陥データ記憶部に記憶された欠陥候補の位置データに基づき、前記欠陥候補の位置に対応して欠陥候補の存在を示す欠陥目印画像を投影する投影部と
を備えることを特徴とする。
前記投影部が、前記欠陥目印画像として前記欠陥候補を取り囲む形状の図形画像を投影するようにしても良い。この構成では、欠陥候補を容易に見つけることができ、しかも、欠陥目印画像が邪魔になることもない。
図3(a)は欠陥目印画像として、欠陥候補を取り囲む形状の図形画像P1を投影した例、(b)は欠陥目印画像として欠陥候補の拡大画像P2を欠陥箇所の近傍に投影した例を示す。
また、欠陥目印画像は、欠陥候補の種類や形状に関係なく共通の印としても良い。この場合は、欠陥目印画像を欠陥候補の画像に応じてその都度作成する必要がないため、欠陥候補の画像データを欠陥データ記憶部に記憶しなくても良い。
10…搬送路
20…撮影部
21…カメラ
22…照明装置
23…移動機構
30…投影部
31…プロジェクタ
40…モニタ
50…欠陥候補検出部
60…制御部
61…撮影制御部
62…投影制御部
63…移動制御部
64…搬送制御部
65…画像作成部
66…位置算出部
67…記憶部
100…欠陥検査装置
200…電極シート製造装置
P1、P2…欠陥目印画像
Claims (3)
- 枚葉のシート状部材の表面の欠陥を検査する欠陥検査装置において、
a) 撮影領域と目視検査領域を有し、前記シート状部材を該撮影領域から該目視検査領域に搬送する搬送路と、
b) 前記撮影領域の上方に配置された、該撮影領域に位置するシート状部材を撮影する撮影部と、
c) 前記撮影部によって撮影された画像を解析することにより前記シート状部材の欠陥候補を検出し、該欠陥候補の位置を特定する欠陥候補検出部と、
d) 前記欠陥候補検出部によって検出され、位置が特定された欠陥候補の位置データおよび該欠陥候補を含む画像データを記憶する欠陥データ記憶部と、
e) 前記目視検査領域に位置するシート状部材に対して、前記欠陥データ記憶部に記憶された欠陥候補の位置データに基づき、前記欠陥候補の位置に対応するシート状部材の箇所に欠陥候補の存在を示す欠陥目印画像である前記欠陥候補の拡大画像を投影する投影部と
を備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 前記投影部が、前記欠陥候補の位置から所定の距離だけずれた前記シート状部材の箇所に、前記欠陥候補の拡大画像を投影することを特徴とする請求項1に記載の欠陥検査装置。
- 前記投影部が、前記欠陥候補の上に重なるような前記シート状部材の箇所に、前記欠陥候補の拡大画像を投影することを特徴とする請求項1に記載の欠陥検査装置。
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