JPS63223555A - 静電容量形検出器 - Google Patents
静電容量形検出器Info
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- JPS63223555A JPS63223555A JP5838587A JP5838587A JPS63223555A JP S63223555 A JPS63223555 A JP S63223555A JP 5838587 A JP5838587 A JP 5838587A JP 5838587 A JP5838587 A JP 5838587A JP S63223555 A JPS63223555 A JP S63223555A
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- amplifier
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 30
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 6
- 230000004069 differentiation Effects 0.000 abstract description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 2
- 102100027340 Slit homolog 2 protein Human genes 0.000 description 1
- 101710133576 Slit homolog 2 protein Proteins 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、例えば布材、紙材、フィルム材等よりなる帯
状物の継目等所定部位を検出する静電容量形検出器に関
するものである。
状物の継目等所定部位を検出する静電容量形検出器に関
するものである。
(従来技術)
従来から上記のような帯状物の継目や裂は口部、ラベル
貼付部、後端位置などの各種の所定部位を検出するため
の検出装置として、一対の対向電極間に当該帯状物を通
し、当該帯状物の状態の変化(■存在または不存在■厚
さの変化■組織密度の変化■ラベルの有無など)に応じ
た上記対向電極間の静電容量の変化から上記所定の部位
を特定するようにした静電容量形検出器が存在する。
貼付部、後端位置などの各種の所定部位を検出するため
の検出装置として、一対の対向電極間に当該帯状物を通
し、当該帯状物の状態の変化(■存在または不存在■厚
さの変化■組織密度の変化■ラベルの有無など)に応じ
た上記対向電極間の静電容量の変化から上記所定の部位
を特定するようにした静電容量形検出器が存在する。
(発明が解決しようとする問題点)
ところが、上記従来の静電容量形検出器は、単に上記静
電容量の変化による検出回路のインピーダンス変化から
、それに応じた電圧出力レベルの変動を検出し、該検出
値によって上記帯状物の継目等所定部位を検出するよう
にしているにすぎないので、検出精度の信頼性が低い。
電容量の変化による検出回路のインピーダンス変化から
、それに応じた電圧出力レベルの変動を検出し、該検出
値によって上記帯状物の継目等所定部位を検出するよう
にしているにすぎないので、検出精度の信頼性が低い。
例えば周囲環境の湿度の影響や検出器に付着したゴミな
どによる誘電率の変化、また検出回路増幅部の温度によ
るドリフトなどによって誤検出を行ってしまう問題があ
った。
どによる誘電率の変化、また検出回路増幅部の温度によ
るドリフトなどによって誤検出を行ってしまう問題があ
った。
(問題点を解決するための手段)
本発明は、上記の問題を解決することを目的としてなさ
れたもので、一対の対向電極間に所定の検知対象物を通
し、該検知対象物通過時の上記対向電極間の静電容量の
変化から当該検知対象物の所定の状態変化を検出するよ
うにしてなる静電容量形検出器において、上記対向電極
間の静電容量変化に応じた出力を微分する微分回路と、
該微分回路の微分出力を増幅する増幅器と、該増幅器の
増幅出力の積分値を当該増幅器の入力側に負帰還する負
帰還回路とを設けてなるものである。
れたもので、一対の対向電極間に所定の検知対象物を通
し、該検知対象物通過時の上記対向電極間の静電容量の
変化から当該検知対象物の所定の状態変化を検出するよ
うにしてなる静電容量形検出器において、上記対向電極
間の静電容量変化に応じた出力を微分する微分回路と、
該微分回路の微分出力を増幅する増幅器と、該増幅器の
増幅出力の積分値を当該増幅器の入力側に負帰還する負
帰還回路とを設けてなるものである。
(作 用)
上記の手段によると、検出すべき帯状物の状態の変化に
応じて変化する静電容量の変化分のみを微分回路を通し
て微分信号の形でピックアップし、しかも該微分信号中
に含まれている増幅器のドリフト成分等変化の緩かな低
レベル成分を負帰還回路によって完全にキャンセルする
ようにしている。
応じて変化する静電容量の変化分のみを微分回路を通し
て微分信号の形でピックアップし、しかも該微分信号中
に含まれている増幅器のドリフト成分等変化の緩かな低
レベル成分を負帰還回路によって完全にキャンセルする
ようにしている。
従って、周囲環境の湿度変化や検出器に付着したゴミ等
の影響によって生じる誘電率の変化によりては同等検出
精度が低下することなく、正確に目的とする検知対象物
の状態変化のみの検出を行うことができるようになる。
の影響によって生じる誘電率の変化によりては同等検出
精度が低下することなく、正確に目的とする検知対象物
の状態変化のみの検出を行うことができるようになる。
(実施例)
第1図〜第3図は、帯状物の継目検出装置に適用した本
発明の第1実施例に係る静電容量形検出器を示している
。
発明の第1実施例に係る静電容量形検出器を示している
。
先ず第1図において、符号lは上下一対の対向電極1
a、 1 bよりなるセンサ一部としての静電式の検出
電極であり、該検出電極1は例えば第3図に示すように
全体として断面コ字状に形成された上下電極ホルダー2
0a、20bの間に検知対象物である帯状物3の移送用
のスリット(静電ギャップ)21を形成し、該スリット
21を介して上記各電極ホルダー20a、2Ob部に電
極1a、lbを保持せしめて構成されている。
a、 1 bよりなるセンサ一部としての静電式の検出
電極であり、該検出電極1は例えば第3図に示すように
全体として断面コ字状に形成された上下電極ホルダー2
0a、20bの間に検知対象物である帯状物3の移送用
のスリット(静電ギャップ)21を形成し、該スリット
21を介して上記各電極ホルダー20a、2Ob部に電
極1a、lbを保持せしめて構成されている。
そして、上記一対の対向電極1a、lb間には高周波発
振器2が接続されている。
振器2が接続されている。
この高周波発振器2には交流定電圧電源Eが接続されて
おり、上記一対の対向電極1 a、 l b間に所定周
波数の高周波交流電圧信号(a)を供給している。
おり、上記一対の対向電極1 a、 l b間に所定周
波数の高周波交流電圧信号(a)を供給している。
一方、符号3は、例えば布材(反物)等の帯状物であり
、第2図に示すようにその所定の位置には継ぎ目31が
形成されている。そして、該帯状物3は、上記検出電極
1の上記対向電極1 a、 l b間のスリット2!内
を矢印方向に連続的に移送されるようになっている。
、第2図に示すようにその所定の位置には継ぎ目31が
形成されている。そして、該帯状物3は、上記検出電極
1の上記対向電極1 a、 l b間のスリット2!内
を矢印方向に連続的に移送されるようになっている。
上記−吉例(下方側)の対向電極1bには、検出抵抗R
Lが接続されており、上記一対の対向電極la、lb間
の静電容量値に応じた出力電圧Vo(信号b)が取出さ
れる。この出力電圧Voは、上記対向電極1 a、 I
b間を通る上記帯状物3の厚さ又は密度などに対応し
て変化(つまり誘電率の変化に応じて変化)し、例えば
継ぎ目310部分ではその厚さがその他の部分の2倍に
なるために上記対向電極1a、lb間の静電容量値(キ
ャパシタンス)Cが例えば大きくなってその容量リアク
タンスが低下し検出回路のインピーダンスが小さくなる
。従って検出出力電流(検出抵抗RLに流れる高周波電
流)は上昇するので当該出力電圧Voは高くなる。
Lが接続されており、上記一対の対向電極la、lb間
の静電容量値に応じた出力電圧Vo(信号b)が取出さ
れる。この出力電圧Voは、上記対向電極1 a、 I
b間を通る上記帯状物3の厚さ又は密度などに対応し
て変化(つまり誘電率の変化に応じて変化)し、例えば
継ぎ目310部分ではその厚さがその他の部分の2倍に
なるために上記対向電極1a、lb間の静電容量値(キ
ャパシタンス)Cが例えば大きくなってその容量リアク
タンスが低下し検出回路のインピーダンスが小さくなる
。従って検出出力電流(検出抵抗RLに流れる高周波電
流)は上昇するので当該出力電圧Voは高くなる。
該出力電圧VOは、次にプリアンプ4で所定振幅レベル
の信号に増幅された後、エンビロープ検波回路5で包絡
線検波してその振幅レベルのみを検出し、該レベル検出
信号(c)を微分回路6に入力する。そして、゛該微分
回路6によって上記レベル検出信号(c)の上記レベル
変化に応じた微分パルス(d)を形成する。この微分パ
ルス(d)は、メインアンプ7で所定レベルに増幅され
た後最終的に上記帯状物3の継目判定を行うための判定
回路8に入力される。
の信号に増幅された後、エンビロープ検波回路5で包絡
線検波してその振幅レベルのみを検出し、該レベル検出
信号(c)を微分回路6に入力する。そして、゛該微分
回路6によって上記レベル検出信号(c)の上記レベル
変化に応じた微分パルス(d)を形成する。この微分パ
ルス(d)は、メインアンプ7で所定レベルに増幅され
た後最終的に上記帯状物3の継目判定を行うための判定
回路8に入力される。
一方、上記メインアンプ7の入出力端間には、積分回路
9と負帰還アンプ!0とからなる負帰還回路が設けられ
ており、上記メインアンプ7の出力の積分値を負帰還ア
ンプ10を介して入力側に負帰還することにより、上記
微分回路6の出力波形中に含まれているドリフト成分(
特にメインアンプ7による)等の所定変化レベル以下の
緩やかな変化成分をキャンセルするようになっている。
9と負帰還アンプ!0とからなる負帰還回路が設けられ
ており、上記メインアンプ7の出力の積分値を負帰還ア
ンプ10を介して入力側に負帰還することにより、上記
微分回路6の出力波形中に含まれているドリフト成分(
特にメインアンプ7による)等の所定変化レベル以下の
緩やかな変化成分をキャンセルするようになっている。
従って、最終的に上記判定回路8に入力される上記微分
パルス信号(e)は、検出器に付着したゴミ、定常的な
厚み変化(単なる繊維量の変化)などによる緩やかな容
量変化の影響を除去した高精度な検出信号となる。
パルス信号(e)は、検出器に付着したゴミ、定常的な
厚み変化(単なる繊維量の変化)などによる緩やかな容
量変化の影響を除去した高精度な検出信号となる。
上記判定回路8は、上記微分パルス信号(e)のピーク
レベルAを基準抵抗Rsで設定された所定の基準値Vs
と比較し、そのピークレベルAが上記基準値Vsを越え
ている場合に継ぎ目3■の到来と判定し、所定のインジ
ケータを作動させて報知する。
レベルAを基準抵抗Rsで設定された所定の基準値Vs
と比較し、そのピークレベルAが上記基準値Vsを越え
ている場合に継ぎ目3■の到来と判定し、所定のインジ
ケータを作動させて報知する。
なお、上述の検出電極l自体は、検知すべき帯状物3の
種類や性質によって各種の変形が可能である。
種類や性質によって各種の変形が可能である。
例えば第2の実施例として第4図に示したように、上記
電極ホルダー20a、20b間の帯状物挿通用のスリッ
ト21を開口側の電極設置部21bと奥側の非電極設置
部21aとによって形成し、奥側の非電極設置部21a
によって帯状物3側部の凹凸による誤動作を避けるよう
にしたり、また第3の実施例として第5図に示している
ように電極ホルダー20a、20bを上下に完全に分離
して検出条件の良い帯状物3の中心部で検出を行うよう
にすることなども任意に行えるものであることは言うま
でもない。
電極ホルダー20a、20b間の帯状物挿通用のスリッ
ト21を開口側の電極設置部21bと奥側の非電極設置
部21aとによって形成し、奥側の非電極設置部21a
によって帯状物3側部の凹凸による誤動作を避けるよう
にしたり、また第3の実施例として第5図に示している
ように電極ホルダー20a、20bを上下に完全に分離
して検出条件の良い帯状物3の中心部で検出を行うよう
にすることなども任意に行えるものであることは言うま
でもない。
また、上記継目等検出後の判定手段は、上述のように所
定の基準レベルと比較して判定する判定回路による場合
のみに限られるものではなく、例えば検出波の波形その
ものをパターン化された基本波と比較して任意にパター
ン判定を行う判定手段を採用することもできることは言
うまでもない。
定の基準レベルと比較して判定する判定回路による場合
のみに限られるものではなく、例えば検出波の波形その
ものをパターン化された基本波と比較して任意にパター
ン判定を行う判定手段を採用することもできることは言
うまでもない。
(発明の効果)
本発明は、以上に説明したように、一対の対向電極間に
所定の検知対象物を通し、該検知対象物通過時の上記対
向電極間の静電容量の変化から当該検知対象物の所定の
状態変化を検出するようにしてなる静電容量形検出器に
おいて、上記対向電極間の静電容量変化に応じた出力を
微分する微分回路と、該微分回路の微分出力を増幅する
増幅器と、該増幅器の増幅出力の積分値を当該増幅器の
入力側に負帰還する負帰還回路とを設けたことを特徴と
するものである。
所定の検知対象物を通し、該検知対象物通過時の上記対
向電極間の静電容量の変化から当該検知対象物の所定の
状態変化を検出するようにしてなる静電容量形検出器に
おいて、上記対向電極間の静電容量変化に応じた出力を
微分する微分回路と、該微分回路の微分出力を増幅する
増幅器と、該増幅器の増幅出力の積分値を当該増幅器の
入力側に負帰還する負帰還回路とを設けたことを特徴と
するものである。
すなわち、本発明によると、検出すべき帯状物の状態の
変化に応じて変化する静電容量の変化分のみを微分回路
を通して微分信号の形でピックアップし、しかも該微分
信号中に含まれている増幅器のドリフト成分等変化の緩
かな低レベル成分を負帰還回路によって完全にキャンセ
ルするようにしている。
変化に応じて変化する静電容量の変化分のみを微分回路
を通して微分信号の形でピックアップし、しかも該微分
信号中に含まれている増幅器のドリフト成分等変化の緩
かな低レベル成分を負帰還回路によって完全にキャンセ
ルするようにしている。
従って、周囲環境の湿度変化や検出器に付着するゴミ等
の影響によって生じる誘電率の変化によっては何隻検出
精度が低下することなく、正確に目的とする検知対象物
の状態変化のみの検出を行うことができるようになる。
の影響によって生じる誘電率の変化によっては何隻検出
精度が低下することなく、正確に目的とする検知対象物
の状態変化のみの検出を行うことができるようになる。
第1図は、本発明の第1実施例に係る静電容量形検出器
の電気回路図、第2図は、上記検出器の検出状態の平面
図、第3図は、上記検出器の電極部の側面図、第4図、
第5図は、本発明の第2、第3実施例に係る静電容量形
検出器の電極部の側面図である。 l・・・・・検出電極 la、 lb ・・・対向電極 2・・・・・高周波発振器 3・・・・・帯状物 5・・・・・エンビロープ検波回路 6・・・・・微分回路 7・・・・・メインアンプ 8・・・・・判定回路 9・・・・・積分回路 10・・・・負帰還アンプ 第3図 第4図 第5図
の電気回路図、第2図は、上記検出器の検出状態の平面
図、第3図は、上記検出器の電極部の側面図、第4図、
第5図は、本発明の第2、第3実施例に係る静電容量形
検出器の電極部の側面図である。 l・・・・・検出電極 la、 lb ・・・対向電極 2・・・・・高周波発振器 3・・・・・帯状物 5・・・・・エンビロープ検波回路 6・・・・・微分回路 7・・・・・メインアンプ 8・・・・・判定回路 9・・・・・積分回路 10・・・・負帰還アンプ 第3図 第4図 第5図
Claims (1)
- 1、一対の対向電極間に所定の検知対象物を通し、該検
知対象物通過時の上記対向電極間の静電容量の変化から
当該検知対象物の所定の状態変化を検出するようにして
なる静電容量形検出器において、上記対向電極間の静電
容量変化に応じた出力を微分する微分回路と、該微分回
路の微分出力を増幅する増幅器と、該増幅器の増幅出力
の積分値を当該増幅器の入力側に負帰還する負帰還回路
とを設けたことを特徴とする静電容量形検出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5838587A JPS63223555A (ja) | 1987-03-12 | 1987-03-12 | 静電容量形検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5838587A JPS63223555A (ja) | 1987-03-12 | 1987-03-12 | 静電容量形検出器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63223555A true JPS63223555A (ja) | 1988-09-19 |
Family
ID=13082866
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5838587A Pending JPS63223555A (ja) | 1987-03-12 | 1987-03-12 | 静電容量形検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63223555A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0397584A2 (en) * | 1989-05-12 | 1990-11-14 | TDK Corporation | A humidity meter |
JPH0330448A (ja) * | 1989-06-28 | 1991-02-08 | Matsushita Electron Corp | 異物検査装置 |
WO2011117943A1 (ja) * | 2010-03-25 | 2011-09-29 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 検査装置、及び検査方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5157491A (en) * | 1974-11-16 | 1976-05-19 | Nippon Steel Corp | Sokokinzokubanno setsuketsubukenshutsusochi |
JPS5174686A (en) * | 1974-12-23 | 1976-06-28 | Kobe Steel Ltd | Senzaisetsuzokubuno kenshutsuhoho |
JPS5833157A (ja) * | 1981-08-24 | 1983-02-26 | Kawasaki Steel Corp | 零点補償付濃度測定装置 |
-
1987
- 1987-03-12 JP JP5838587A patent/JPS63223555A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2011117943A1 (ja) * | 2010-03-25 | 2011-09-29 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 検査装置、及び検査方法 |
JP5492979B2 (ja) * | 2010-03-25 | 2014-05-14 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 検査装置 |
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