JP5485066B2 - 三次元測定機 - Google Patents
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Description
従って、シリンダに外力が作用しないから、シリンダに曲げ力が作用するのを防止できる。その結果、シリンダとピストンとの間の摺動抵抗も増加することがないため、スピンドルの上下動や測定精度にも影響を与えることが少ない。もとより、プローブからの配線はスピンドルの外側に沿って配線されていないため、外観を損なうこともない。
このような構成によれば、スピンドルの内部において、保護筒をシリンダの外面を覆うように配置するだけで誘導路を形成することができる。従って、新たに保護筒を追加して設置するだけで構成できるから、簡単に構成できる。
このような構成によれば、スピンドルの内面に配線収納穴または配線収納溝が形成され、この配線収納穴または配線収納溝を誘導路としたので、新たな部材を追加して設置する構成に比べ、部品点数を削減でき、安価に構成できる。
本実施形態の三次元測定機1は、被測定物を載置するテーブル2と、プローブ13を移動させる移動機構を備えて構成されており、この移動機構として、プローブ13をY方向へ移動させるY方向駆動機構3と、プローブ13をX方向へ移動させるX方向駆動機構7と、プローブ13をZ方向へ移動させるZ方向駆動機構11を備えている。
ガイド筒22は、筒孔を垂直方向に向けた状態でXスライダ9に設けられ、内部にエアーベアリング23を介してZ軸スピンドル12を上下方向に昇降可能に挿通、支持している。エアーベアリング23は、エアーパッド24がガイド筒22の筒孔に設けられ、このエアーパッド24からZ軸スピンドル12の摺動面(外面)にエアーが噴気されることによって形成されている。
エアーバランス機構19は、Z軸スピンドル12の内部に上下方向に沿って設けられたシリンダ20と、このシリンダ20内に摺動可能に収納されたピストン29と、このピストン29を支持部材であるガイド筒22やXスライダ9などに支持する支持軸28と、ピストン29で区画されたシリンダ室のうちの支持軸28側の押上力発生室201とを含んで構成されている。押上力発生室201には、この押上力発生室201内にエアーを供給する噴気孔21が設けられている。エアーは、押上力発生室201の内圧によってZ軸スピンドル12の重量に見合う押上力を発生させる程度の圧力でもって供給される。
保護筒41の外面とZ軸スピンドル12の内面との間の隙間には、プローブ13からの配線13AをZ軸スピンドル12の上端に形成された引出口42に案内する誘導路43が形成されている。つまり、プローブ13からの配線13Aを、シリンダ20に接触させることなく、Z軸スピンドル12の内面とシリンダ20の外面との間を通してZ軸スピンドル12の外部へ導く誘導路43がZ軸スピンドル12の内部に形成されている。
なお、プローブ13からの配線13Aは、Z軸スピンドル12の上端に形成された引出口42から、Z軸スピンドル12の外部へ引き出されたのち、ハウジング32内で所定距離蛇行されたのち、Xビーム8内に挿入され、所定の回路に接続される。
しかも、本実施形態では、保護筒41をZ軸スピンドル12内に設置するだけで誘導路43を形成することができるから、つまり、新たに保護筒41を追加して設置するだけで構成できるから、簡単に構成できる。
本発明は、上記の実施形態に限定されるものでなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良などは本発明に含まれる。
例えば、図4に示すように、Z軸スピンドル12の内面に、プローブ13からの配線13Aを収納する配線収納穴または配線収納溝44をシリンダ20の外面と離して形成し、この配線収納穴または配線収納溝44を誘導路43として形成してもよい。このようにすれば、新たな部品を追加しなくてもよいので、安価に構成出来る利点がある。
2…テーブル、
3…Y方向駆動機構(移動機構)、
7…X方向駆動機構(移動機構)、
9…Xスライダ(支持部材)、
11…Z方向駆動機構(移動機構)、
12…Z軸スピンドル、
13…プローブ、
13A…配線、
19…エアーバランス機構、
20…シリンダ、
22…ガイド筒(支持部材)、
28…支持軸、
29…ピストン、
41…保護筒、
42…引出口、
43…誘導路、
44…配線収納溝、
201…押上力発生室。
Claims (3)
- 被測定物を載置するテーブルと、支持部材に上下方向へ昇降可能に支持され先端にプローブを有する筒状のスピンドルと、このスピンドルを上下方向へ昇降させるZ方向駆動機構、前記テーブルと前記スピンドルとを前記上下方向に対して直交しかつ互いに直交する方向へ相対移動させるX方向駆動機構およびY方向駆動機構を有する移動機構と、前記プローブを含むスピンドルの重量に見合う押上力を前記スピンドルに発生させるエアーバランス機構とを備えた三次元測定機において、
前記エアーバランス機構は、前記スピンドルの内部に上下方向に沿って設けられたシリンダと、このシリンダ内に摺動可能に収納されたピストンと、このピストンを前記支持部材に支持する支持軸と、前記ピストンで区画された前記シリンダ内の空間であって供給されるエアーの圧力によって前記プローブを含むスピンドルの重量に見合う押上力を前記スピンドルに発生させる押上力発生室とを備えて構成され、
前記プローブからの配線を、前記シリンダに接触させることなく、前記スピンドルの内面と前記シリンダの外面との間を通して前記スピンドルの外部へ導く誘導路が前記スピンドルの内部に形成されている、ことを特徴とする三次元測定機。 - 請求項1に記載の三次元測定機において、
前記スピンドルの内部には前記シリンダの外面を覆う保護筒が取り付けられ、この保護筒の外面と前記スピンドルの内面との間に前記誘導路が形成されていることを特徴とする三次元測定機。 - 請求項1に記載の三次元測定機において、
前記スピンドルの内面に前記プローブからの配線を収納する配線収納穴または配線収納溝が前記シリンダの外面と離間して形成され、この配線収納穴または配線収納溝が前記誘導路として形成されていることを特徴とする三次元測定機。
Priority Applications (1)
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JP2010173319A JP5485066B2 (ja) | 2010-08-02 | 2010-08-02 | 三次元測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010173319A JP5485066B2 (ja) | 2010-08-02 | 2010-08-02 | 三次元測定機 |
Publications (2)
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JP2012032319A JP2012032319A (ja) | 2012-02-16 |
JP5485066B2 true JP5485066B2 (ja) | 2014-05-07 |
Family
ID=45845889
Family Applications (1)
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Country Status (1)
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