JP2009083069A - 駆動装置、これを用いた加工機械および測定機械 - Google Patents
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Abstract
【課題】高精度な位置決めが可能な駆動装置およびこれを用いた加工機械、測定装機械を提供する。
【解決手段】ガイドレール22と、このガイドレール22に対して移動可能に設けられたスライドプレート23と、ガイドレール22に設けられた永久磁石25Aおよびスライドプレート23に設けられたコイル26Aを有するリニアモータ24と、スライドプレート23の位置を検出する位置検出手段31とを備える。位置検出手段は、スライドプレート23の移動方向に沿って伸びるスケール32と、このスケールに対向配置された検出ヘッド33とを含んで構成され、検出ヘッド33がコイル26Aに直接固定され、スケールがガイドレール22に固定されている。
【選択図】図3
Description
たとえば、図9に示す送り機構において、ワークWがテーブル1の中央に載置された状態に対して、ワークWがテーブル1の左側または右側に載置された状態になると、テーブル1の姿勢が変化するため、検出誤差が生じる場合がある。その結果、テーブル1の位置決め精度が低下し、加工精度の高精度化が望めないという課題がある。
この構成によれば、スケールおよび検出ヘッドの一方が、可動部材の移動方向に対して直交する可動部材の幅方向略中心位置近傍、または、可動子を含む可動部材の重心位置近傍に配置されているから、可動部材が幅方向へ傾いても、スケールと検出ヘッドとの隙間が大きく変化することがないため、高精度を維持できる。
その際、前記コイルは前記可動部材の下面に設けられ、前記検出ヘッドは前記コイルの下面に設けられていることが好ましい。
この構成によれば、リニアモータが永久磁石とコイルとから構成され、コイルが可動部材の下面に設けられ、このコイルの下面に検出ヘッドが固定されているから、つまり、可動部材の姿勢変化に対しても、スケールと検出ヘッドとの対向状態が変動することが少ないから、高精度化を維持できる。
この構成によれば、磁石を有するシャフトと、この外周を包囲するコイルとから構成される、いわゆる、シャフトモータを用いたので、従来のボールねじ送り構造の配置スペース内に配置でき、機構設計を大きく変更する必要もない。しかも、スケールがシャフトの外周面に固定された構成なので、取付も簡単できる。
これらの加工機械および測定機械によれば、上述した駆動装置の効果を全て備えた加工機械および測定機械を提供できる。
ここで、加工機械とは、被加工物の材質を問わず、被加工物を切削、研削、切断などの加工を行う全ての加工機械を含み意味である。また、測定機械とは、被測定物の寸法や形状などを測定する全ての測定機械を含む意味である。
<第1実施形態>
第1実施形態は、本発明を門形加工機械に適用した例である。
第1実施形態の門形加工機械10は、図1に示すように、ベース11と、このベース11の上面に載置されたテーブル12と、このテーブル12を跨いでベース11の上面に構築された門形フレーム13と、テーブル12の幅方向両側において門形フレーム13を前後方向(Y軸方向)へ移動させるY軸駆動装置21Yと、門形フレーム13に左右方向(X軸方向)へ移動可能に設けられたXスライダ16と、このXスライダ16をX軸方向へ移動させるX軸駆動装置21Xと、このXスライダ16に上下方向(Z軸方向)へ昇降可能に設けられたZスライダ17と、このZスライダ17をZ軸方向へ昇降させるZ軸駆動装置21Zと、Zスライダ17に設けられ先端に加工工具19を取り付けるスピンドル18とを備えて構成されている。
なお、門形フレーム13は、両側に配置された支柱14と、この支柱14の上端間に掛け渡された水平ビーム15とから門形に構成されている。
スライドプレート23は、門形フレーム13の支柱14を支持する平板によって構成されている。
リニアモータ24は、ガイドレール22に設けられた固定子25と、スライドプレート23に設けられた可動子26とから構成されている。固定子25は、ガイドレール22の一対の側板22Bの対向する内面に一定ピッチで取り付けられた複数の永久磁石25Aによって構成されている。可動子26は、両側の永久磁石25Aに挟まれた状態でスライドプレート23の下面に取り付けられたコイル26Aによって構成されている。
スケール32および検出ヘッド33の一方が可動子26に直接固定され、他方が一方と対向して固定部材であるガイドレール22に固定されている。ここでは、検出ヘッド33が、可動子26の移動方向に対して直交するスライドプレート23の幅方向略中心位置において、可動子26であるコイル26Aの底面側に直接固定されている。また、スケール32が、コイル26Aに所定の隙間を隔ててかつ対向してガイドレール22の底板22Aの内面中央位置に固定されている。
X軸駆動装置21Xについては、水平ビーム15の上面にガイド溝27がX軸方向に沿って形成され、このガイド溝27の対向する内面(対向内面)に固定子25としての複数の永久磁石25Aが一定ピッチで取り付けられているとともに、Xスライダ16の下面に可動部材としてのスライドプレート23を介して可動子26であるコイル26Aが設けられている点が、Y軸駆動装置21Yとは異なる。
Z軸駆動装置21Zについては、Xスライダ16の正面にガイド溝28がZ軸方向に沿って形成され、このガイド溝27の対向する内面(対向内面)に固定子25としての複数の永久磁石25Aが一定ピッチで取り付けられているとともに、Zスライダ17の背面に可動部材としてのスライドプレート23を介して可動子26であるコイル26Aが設けられている点が、Y軸駆動装置21Yとは異なる。
第2実施形態は、本発明を三次元加工機械に適用した例である。なお、第2実施形態の説明にあたって、前記第1実施形態における構成要素と同一または対応する構成要素については、同一符号を付し、その説明を省略または簡略化する。
この第2実施形態においても、第1実施形態で述べた効果と同様な効果が期待できる。
第3実施形態は、本発明を三次元測定機械に適用した例である。なお、第3実施形態の説明にあたって、前記各実施形態における構成要素と同一または対応する構成要素については、同一符号を付し、その説明を省略または簡略化する。
門型フレーム53を前後方向(Y軸方向)へ移動させるY軸駆動装置21Y、Xスライダ56を左右方向(X軸方向)へ移動させるY軸駆動装置21X、Zスライダ57を上下方向(Z軸方向)へ移動させるZ軸駆動装置21Zは、上述した第1または第2の駆動装置(21Y,21X,21Z)によって構成されている。
本実施形態の三次元測定機械によれば、各軸の駆動機構21Y,21X,21Zに本発明の駆動装置を適用してあるため、第1,第2実施形態で述べた作用・効果と同等の作用・効果を奏することができる。
本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。
例えば、第1〜第3実施形態では、いわゆる、平面型リニアモータを備えた駆動装置を用いた例を示したが、これに限られない。
そのため、リニアモータ24は、可動部材であるスライドプレート23に固定されるコイル26Aが逆U字形状に構成され、コイル26AのU字状内底面に検出ヘッド33が配置され、これに対向して、ガイドレール22の中央に起立壁22Cが設けられ、この起立壁22Cの先端に光学式スケール32が固定されている。
位置検出手段31は、第1実施形態と同様に、光学式スケール32と検出ヘッド33とを含んで構成されている。光学式スケール32と検出ヘッド33のいずれか一方、ここでは、スケール32がシャフト65の外周面下方位置に軸方向に沿って固定され、検出ヘッド33が可動子であるコイル66Aの内側面に直接固定されている。
22…ガイドレール(固定部材)、
23…スライドプレート(可動部材)、
24…リニアモータ、
25…固定子、
25A…永久磁石、
26…可動子、
26A…コイル、
31…位置検出手段、
32…スケール、
33…検出ヘッド、
40…三次元加工機械、
50…三次元測定機械。
Claims (7)
- 固定部材と、前記固定部材に対して移動可能に設けられた可動部材と、前記固定部材に設けられた固定子および前記可動部材に設けられた可動子を有するリニアモータと、前記固定部材に対する前記可動部材の位置を検出する位置検出手段とを備えた駆動装置において、
前記位置検出手段は、前記可動部材の移動方向に沿って伸びるスケールと、前記スケールに対向配置された検出ヘッドとを含んで構成され、
前記スケールおよび検出ヘッドの一方が前記可動子に直接固定され、他方が前記一方と対向して前記固定部材に固定されていることを特徴とする駆動装置。 - 請求項1に記載の駆動装置において、
前記可動子に固定された前記スケールおよび検出ヘッドの一方は、前記可動部材の移動方向に対して直交する前記可動部材の幅方向略中心位置近傍、または、前記可動子を含む前記可動部材の重心位置近傍に配置されていることを特徴とする駆動装置。 - 請求項1または請求項2に記載の駆動装置において、
前記リニアモータは、前記固定部材に前記可動部材の移動方向に沿って配列された固定子を構成する永久磁石と、前記可動部材に前記永久磁石と対向して配置された可動子を構成するコイルとを含んで構成され、
前記検出ヘッドが前記コイルに固定されていることを特徴とする駆動装置。 - 請求項3に記載の駆動装置において、
前記コイルは前記可動部材の下面に設けられ、前記検出ヘッドは前記コイルの下面に設けられていることを特徴とする駆動装置。 - 請求項1または請求項2に記載の駆動装置において、
前記リニアモータは、前記固定部材に前記可動部材の移動方向に沿って配列された固定子を構成する磁石を有するシャフトと、前記可動部材に前記シャフトの外周を包囲して配置され可動子を構成するコイルとを含んで構成され、
前記スケールが前記シャフトの外周面に固定されていることを特徴とする駆動装置。 - 請求項1〜請求項5のいずれかの駆動装置を搭載したことを特徴とする加工機械。
- 請求項1〜請求項5のいずれかの駆動装置を搭載したことを特徴とする測定機械。
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