CN104105941B - 具有被约束的配重的坐标测量机 - Google Patents

具有被约束的配重的坐标测量机 Download PDF

Info

Publication number
CN104105941B
CN104105941B CN201380008449.6A CN201380008449A CN104105941B CN 104105941 B CN104105941 B CN 104105941B CN 201380008449 A CN201380008449 A CN 201380008449A CN 104105941 B CN104105941 B CN 104105941B
Authority
CN
China
Prior art keywords
counterweight
measuring machine
coordinate measuring
guide rail
machine according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201380008449.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN104105941A (zh
Inventor
G·辛格
J·朗格莱斯
J·张
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hexagon Metrology SpA
Original Assignee
Hexagon Metrology SpA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hexagon Metrology SpA filed Critical Hexagon Metrology SpA
Publication of CN104105941A publication Critical patent/CN104105941A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104105941B publication Critical patent/CN104105941B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
    • G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
    • G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
    • G01B21/042—Calibration or calibration artifacts
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
    • G01B5/0014—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to temperature

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

一种坐标测量机具有：测量构件，该测量构件用于测量工件；配重，该配重用于控制所述测量构件的移动；以及带轮线缆***，该带轮线缆***联接所述测量构件与所述配重。所述坐标测量机还具有引导轨道，其中所述配重以可移动的方式固定至所述引导轨道。所述引导轨道相对于所述测量构件将所述配重的移动基本限制至一个维度。

Description

具有被约束的配重的坐标测量机
优先权
本申请要求于2012年3月2日提交的标题为“具有约束配重的坐标测量机”且申请号为61/605,829的美国临时申请的优先权，以及于2012年3月2日提交的标题为“具有带弹簧的支撑梁的坐标测量机”且申请号为61/605,831的美国临时申请的优先权。这些申请全部并入本文作为参考。
技术领域
本发明总体上涉及坐标测量机，并且更具体地涉及更有效地控制坐标测量机中的可移动滑枕。
背景技术
尤其是，坐标测量机(“CMM”，还被称为表面扫描测量机)测量几何形状和表面轮廓，或者核验已知表面的形貌。例如，CMM可以测量螺旋桨的形貌轮廓以确保其表面适当地定尺寸和定形状为用于其特定任务(例如，以预先设定的速度穿过盐水移动24英尺的船)。
为此，常规CMM典型地具有基座，该基座与具有探针的可移动组件直接连接并且支撑该可移动组件，所述探针直接接触被测量的目标并且沿着该被测量的目标的表面移动。基座还支撑被测量的目标。探针典型地能够朝向基座或者远离基座向上或者向下移动(在本领域称为“Z轴运动”)。轴线的纯度对获得精确结果是很重要的。
发明内容
根据本发明的一个实施方式，一种坐标测量机具有：测量构件，该测量构件用于测量工件；马达，该马达用于致动所述测量构件；配重，该配重用于控制所述测量构件的移动；以及带轮线缆***，该带轮线缆***将所述测量构件与所述配重联接。所述坐标测量机还具有引导轨道，其中所述配重以可移动的方式固定至所述引导轨道。所述引导轨道相对于所述马达将所述配重的移动基本限制至一个维度。所述线缆***基本降低从所述配重到所述测量构件的误差。所述引导轨道可以包括滚圈线性致动器，所述滚圈线性致动器布置成抵靠平滑轨或者线性轨，或者可以包括布置成抵靠螺接轨的螺栓。在一实施方式中，所述引导轨道可以包括第一轨和第二轨，其中所述第一轨操作联接至所述滚圈线性致动器，而所述第二轨操作联接至线性引导件。所述配重和所述测量构件可以具有大致类似的质量。
所述坐标测量机还可以具有用于支撑待测量对象的基座。在这种情况下，所述一个维度可以大致正交于所述基座的平面。一些实施方式还具有与所述配重联接的马达，其中所述马达旋转一轴以使所述配重在一个线性维度上移动。而且，其他实施方式还具有测量轨道，其中所述测量构件与所述测量轨道联接以在一个线性维度上移动。在一些实施方式中，所述马达可以通过第二带轮***旋转所述轴，所述第二带轮***可以包括至少两个带轮，这些带轮通过位于它们之间的皮带联接。
所述测量构件和配重优选地构造为以大致相等的幅度但沿相反方向移动。此外，所述配重示意性地位于所述引导轨道的外部(即，其沿着所述引导轨道的外表面移动)。为了测量特定对象，所述测量构件可以至少部分地由滑枕和探头形成。
根据本发明的一个实施方式，一种坐标测量机包括：马达；测量构件；配重；以及引导轨道，所述配重以可移动的方式固定至所述引导轨道，所述引导轨道将所述配重的移动限制至一个维度。所述坐标测量机还包括：第一带轮线缆***，该第一带轮线缆***将所述测量构件与所述配重联接；以及第二带轮***，该第二带轮***将所述马达联接至轴，所述马达和所述第二带轮***由此被构造成通过旋转所述轴来使所述配重移动。所述配重位于所述测量构件与所述马达之间，并且所述第一带轮线缆***的线缆用作高效隔离变压器，并且，所述第一带轮线缆***降低从所述配重到所述测量构件的误差。
附图说明
从参考下文即将概述的附图所讨论的“具体实施方式”，本领域技术人员将会更完全地理解本发明的不同实施方式的优势。
图1A示意地示出了根据示意性实施方式的坐标测量机。
图1B示意地示出了根据本发明示意性实施方式构造的坐标测量机的一部分。
图2A示意地示出了能够安装至坐标测量机的图1B所示部分的扫描装置部分。
图2B示意地示出了图2A的扫描装置的截面图。
图3A示意地示出了图2A和图2B中所示的配重和轨道组件。
图3B示出了图3A中所示的配重和轨道组件的近景图。
图3C示出了根据示意性实施方式的具有配重组件的坐标测量机的相关部分的左侧截面图。
图3D示出了根据示意性实施方式的具有配重组件的坐标测量机的相关部分的右侧截面图。
图3E示出了根据示意性实施方式的具有配重组件的坐标测量机的相关部分的前侧截面图。
图3F示出了根据示意性实施方式的轴承和轨道组件的截面图。
图4是根据示意性实施方式的扫描装置的图。
具体实施方式
在示意性实施方式中，坐标测量机具有被约束为仅在一个方向上移动的配重(与可移动臂联接)。因此，配重在其他方向应该具有可以忽略的移动，从而为臂(其可以是滑枕)提供了更加平滑的向上和向下运动。该运动会改善臂的可控性，因此改善整个机器的性能。下文讨论了示意性实施方式的细节。.
图1A示意地示出了可以根据本发明的示意性实施方式构造的坐标测量机(下文称为“CMM 10”)。像其他CMM一样，CMM 10具有用于支撑待被扫描的对象4的大致基座(此处称为“平台12”)，并且具有扫描装置14以收集关于被支撑对象4的形貌信息，扫描装置14具有可移动机构(例如，3轴式台架)，所述可移动机构以可移动的方式连接至平台12。平台12能够由任何各种材料形成，诸如水泥或者花岗岩，并且具有用于将对象牢固地固定至其顶面的孔阵列。
图1B示意地示出了根据本发明的示意性实施方式构造的坐标测量机10的部分11。平台12可以紧固至支撑横梁8的支撑梁6。横梁8为一组引导轨道提供了用于X方向和Y方向的支撑，以安置扫描装置14。
为了收集关于对象4的表面信息，扫描装置14具有接触或者探测对象4的可移动机构。更具体来说，图2A和2B示出了该可移动机构，其包括接触或者探测对象4的扫描探针轴16(还称为“滑枕16”)。扫描装置14和滑枕16能够在三维空间中移动，即：X方向(平行于平台12的宽度)、Y方向(平行于的平台12的长度)以及Z方向(朝向及远离平台12的顶面)。为此，CMM 10具有沿着例如引导轨道15在Y方向上移动整个扫描装置14的驱动机构(未示出)。尤其是，驱动机构可以包括伺服控制器和其他精密移动装备。
图2A中示出的滑枕16构造为通常在Z方向上(即，朝向及远离CMM 10的平台12)移动。一系列连动部件能够实现该移动。具体地，可移动装置14具有马达18，该马达使终止于第一带轮22的第一驱动轴20旋转。马达18可以是任何常规马达，诸如无刷直流马达或者交流马达。该马达可以直接联接至第一驱动轴20，或者在该马达和第一驱动轴之间可以布置齿轮箱(未示出)。
第一皮带23将第二带轮24与第一带轮22连接，所述第二带轮24与第二驱动轴26牢固地固定在一起。因此，第一带轮22的旋转引起第二带轮24旋转，因而使第二驱动轴26旋转。第二驱动轴26结合配重组件30操作以将旋转移动转换为约束到Z方向的线性运动。配重组件30可以包括安装板27和与配重29牢固地固定在一起的旋转-推动组件28。配重29可以是静态质量或者线性弹簧。安装板27还提供了用于配重组件30和线缆31的连接点。配重组件30的部件可以通过任何各种连接方式彼此牢固地固定，连接方式包括例如紧固件(诸如螺栓、螺钉)以及焊接。
旋转-推动组件28可以接合第二驱动轴26以将旋转移动转换为线性运动。在示意实施方式中，旋转-推动组件28可以是滚圈线性致动器，如在美国专利No.4,253,342中描述的(标题“用于将平滑轴的旋转运动转换为滚动螺母的推动运动的布置”)。该专利整体并入此处作为参考。在一实施方式中，旋转-推动组件28可以是Uhing线性驱动模型RG。这种滚圈线性致动器可以具有滚动螺母，该滚动螺母在对应于螺距值的斜角处接合第二驱动轴26的表面。旋转-推动组件28可以向配重组件30提供约束，包括在Y方向和X方向上的约束。
可替换地，第二驱动轴26可以具有螺接部分，该螺接部分匹配结合互补的螺母(作为旋转-推动组件28)，互补的螺母与配重组件30牢固地固定在一起。螺接部分可以与和配重组件30牢固地固定在一起的螺纹协同操作。旋转-推动组件28可以具有含内螺接表面的凹孔。该螺接表面可以具有与第二驱动轴26的螺接部分的形状互补的形状。例如，两者都可以采用双螺旋的形式。
因此，在各实施方式中，第二驱动轴26在一个方向(例如，顺时针)上的旋转可以引起配重30向上移动。以互补方式，第二驱动轴26在相反方向上(例如，逆时针)的旋转可以引起配重30向下移动。马达18因而通过其带轮22、24和驱动轴***直接控制配重组件30的移动。当然，本领域的技术人员理解的是，其他布置可以执行相同功能。
如以上指出的，可移动机构具有滑枕16，该滑枕朝向以及远离平台12移动以测量对象4。配重组件30控制此运动。为此，可移动机构具有线缆31，该线缆经由第三带轮32在配重30的顶部和可移动滑枕16的顶部之间延伸。第三带轮32可以定尺寸及定位成使线缆31大致竖直。这样，线缆31可以平行于滑枕16、第二驱动轴26以及第二轨38的纵向轴线。可替换地，线缆31可以是非竖直的。配重组件30和滑枕16可以大致彼此平衡，因而可以需要较少支撑来维持用于重复测量所必需的刚性结构。
优选地，可移动滑枕16被约束成仅在一个维度上移动。为此，可移动构件使用第一轨34，第一轨34约束滑枕16在除Z方向之外的所有方向上的移动。换句话说，滑枕16相对于其他部件仅在Z方向上移动，即***可以在X方向和Y方向上一起移动，但是滑枕16相对于其组件的其余部分仅在Z方向上移动。与滑枕16联接的至少两个托架36具有轴承或者辊(未示出)以实现该可移动连接。可以采用任何各种类型的轴承，包括滚柱轴承、球轴承、间隙轴承、推力轴承、空气轴承、磁轴承以及流体轴承。轴承可以由本领域技术人员公知的常规手段构造，以应对温度差。
根据本发明示意实施方式，配重组件30还具有用于仅将其运动约束到一个维度上的类似布置；即，仅在Z方向上移动。为此，配重组件30具有第二轨38以约束在除Z方向之外的所有方向上的移动。第二轨38可以被导圆或者可以不被导圆。以类似于滑枕16的方式(下文详细描述)，此运动相对于本地组件的其余部分，其余部分包括轴20、26，以及马达18。
与第二轨38一起操作的配重组件30可以通过旋转的方式在Z方向上约束移动，除非此处被致动。这样，致动组件可以为带轮组件提供被动偏置，甚至当其在静止时也如此。
轴承40可以与旋转-推动组件28协作地操作以约束组件30使其仅在Z方向上移动。例如，轴承40可以大致在X方向上约束配重组件30的运动。于是旋转-推动组件28可以在各种方向(包括Y方向)上约束配重30的运动。因而，允许仅在Z方向上的运动。
在示意实施方式中，一对轴承40安装在第二轨38的相反侧。这对轴承40可以安装在安装板27处和配重29处。当然，可以采用其他轴承构造。例如，轴承40可以安装在配重组件的其他部分(诸如旋转-推动组件28)处。还可以采用额外的轴承对。
在平衡滑枕16与配重组件30的质量时，可以降低为测量而操作(即，以可控制的方式移动)滑枕16的功率。这样，马达18可以仅必须提供足够功率以克服i)带轮-滑枕-配重***中惯性的不平衡以及其势能变化，以及ii)各种引导装置和带轮***之间的摩擦。
如图3A和3B更好地示出的，配重29和安装板27均具有将它们与第二轨38以可移动的方式联接的轴承40。因此，配重组件30被认为沿着第二轨38的外表面滑动或者移动。图3F示出了根据示意实施方式的轴承-轨道组件的截面图。该截面图对应于图3E的截面A-A。如示出的，轴承40可以是滚柱轴承。还可以采用其他轴承，包括球轴承、空气轴承以及磁轴承。可替换地，轴承40可以具有引导或者键控特征以进一步在各轴线中约束配重组件。这样，第二轨38可以具有与轴承40的引导或者键控特征对应的形状。
图3C、3D和3E示出了根据示意实施方式的具有配重组件30的CMM的相关部分的截面图。图3C和图3D分别示出了组件的左视图和右视图，而图3E示出了组件的正视图。组件30可以布置在壳体42中，壳体42为第二驱动轴26和第二轨38提供附接区域，第二驱动轴26和第二轨38通过位于它们的端部的保持构件44被保持就位。保持构件44可以具有轴承或者轴颈表面46以最小化与第二驱动轴26的摩擦。在一实施方式中，保持构件44可以包括任何各种类型的轴承，包括推力轴承、球轴承以及滚柱轴承。保持构件44可以通过铆钉、焊接、螺栓、螺钉以及任何各种类型的紧固机构被布置在壳体42上。第二轴驱动26可以安置在驱动轴承46上以维持在Z方向上的位置。为了示意性目的，示出了旋转-推力组件28的滚圈(见图3D和图3E)。在图3E中，示出了与第二轨38相关的两个前轴承40A。
图4是根据示意实施方式的扫描装置的图。在使用期间，马达18旋转第一驱动轴20，从而使第一带轮22和第二带轮24通过皮带23旋转第二驱动轴26。第二驱动轴26的旋转将配重30沿着第二轨38(作为充当线性引导件的平滑表面示出)大致平行于Z轴向上或者向下移动。从配重组件30延伸至滑枕16的线缆31因此将该线性运动直接传递至滑枕16，滑枕16的运动也由第一轨34约束。
作为带轮组件的第一带轮22、皮带23以及第二带轮24可以构造成作为由马达18提供的旋转位移的增益。例如，半径是第二带轮24半径的两倍的第一带轮22可以降低一半的位移(即，因子为0.5)。皮带23可以适于消除马达18和***的其余部分之间的动态和静态噪声(例如，来自因马达振动、热应力、不匹配公差等引入的应力)。这样，皮带-带轮组件可以被采用作为机械低通过滤器。
第二驱动轴26和旋转-推动组件28也可以构造成作为由马达18提供的旋转位移的增益。旋转-推动组件28的螺距值可以设定为第二驱动轴26的角度位移转换成线性位移时的因数。
线缆31可以构造为高效隔离变压器。在线缆31提供近似法向力并且依从于单个方向时，可以滤除扫描装置14中因马达18、外界激励以及其他寄生运动所引入的振动和动态噪声。因而，这种形变与滑枕16隔离，从而降低了引入CMM 10的测量中的可能误差。配重-轨***(即，第二轨28和配重组件30的轴承40)约束向Z方向的位移，并且可构造为位移的限位器。
虽然上述讨论公开了本发明的各种示例实施方式，但是明显的是，本领域技术人员能够进行能实现本发明某些优势的各种修改，这并不超出本发明的真正范围。例如，本发明的各种示例实施方式尽管示出在龙门式CMM中，但是也可以类似地实施于其他类型的CMM中，包括桥型、卧型、悬臂型以及L桥型CMM中。

Claims (19)

1.一种坐标测量机，该坐标测量机包括：
马达(18)；
测量构件(16)；
配重(29)；
带轮线缆***(32，31)，该带轮线缆***将所述测量构件与所述配重(29)联接；以及
引导轨道(26，38)，所述配重(29)以可移动的方式固定至所述引导轨道(26，38)，所述引导轨道(26，38)将所述配重的移动限制至一个维度；
其特征在于，
所述马达(18)与所述配重(29)联接，所述马达(18)旋转一轴以使所述配重(29)在一个线性维度上移动，
所述配重(29)位于所述测量构件(16)与所述马达(18)之间，并且
所述带轮线缆***(32，31)的线缆(31)通过提供近似法向力和依从单个方向来降低所述测量构件的误差。
2.根据权利要求1所述的坐标测量机，该坐标测量机还包括用于支撑待测量对象的基座(12)，所述一个维度正交于所述基座(12)的平面。
3.根据权利要求1所述的坐标测量机，该坐标测量机还包括测量轨道(34)，所述测量构件(16)与所述测量轨道(34)联接以在一个线性维度上移动。
4.根据权利要求1所述的坐标测量机，其中，所述测量构件(16)和所述配重(29)构造为以相等的幅度但沿相反方向移动。
5.根据权利要求1所述的坐标测量机，其中，所述配重(29)位于所述引导轨道(26，38)的外部。
6.根据权利要求4所述的坐标测量机，其中，所述引导轨道(26，38)具有外表面，所述配重(29)构造为沿着所述引导轨道(26，38)的所述外表面以可移动的方式滑动。
7.根据权利要求1所述的坐标测量机，其中，所述测量构件(16)包括滑枕和探头。
8.根据权利要求1所述的坐标测量机，其中，所述测量构件(16)和所述配重(29)之间的联接导致所述线缆(31)竖直。
9.根据权利要求1所述的坐标测量机，其中，所述引导轨道(26，38)包括滚圈线性致动器(28)。
10.根据权利要求9所述的坐标测量机，其中，所述引导轨道包括第一轨(26)和第二轨(38)，所述第一轨操作联接至所述滚圈线性致动器(28)，而所述第二轨操作联接至线性引导件。
11.根据权利要求1所述的坐标测量机，其中，所述引导轨道(26，38)当在静止时为所述配重(29)和所述测量构件(16)提供了被动偏置以将移动限制在所述一个维度上。
12.根据权利要求1所述的坐标测量机，其中，所述配重(29)和所述测量构件(16)的质量相同。
13.一种坐标测量机，该坐标测量机包括：
马达(18)；
测量构件(16)；
配重(29)；以及
引导轨道(38)，所述配重(29)以可移动的方式固定至所述引导轨道(38)，所述引导轨道(38)将所述配重的移动限制至一个维度；
其特征在于，所述坐标测量机还包括：
第一带轮线缆***(32，31)，该第一带轮线缆***将所述测量构件(16)与所述配重(29)联接；以及
第二带轮***(22，23，24)，该第二带轮***将所述马达联接至轴(26)，所述马达(18)和所述第二带轮***(22，23，24)由此被构造成通过旋转所述轴(26)来使所述配重(29)移动；
其中，所述配重(29)位于所述测量构件(16)与所述马达(18)之间，并且所述第一带轮线缆***(32，31)的线缆(31)通过提供近似法向力和依从单个方向来降低所述测量构件的误差。
14.根据权利要求13所述的坐标测量机，其中，所述第二带轮***包括至少两个带轮(22，24)以及布置于这些带轮之间的皮带(23)。
15.根据权利要求13所述的坐标测量机，其中，所述配重(29)和所述测量构件(16)的质量相同。
16.一种坐标测量机，该坐标测量机包括：
马达(18)；
测量构件(16)；
配重(29)；
带轮线缆***(32，31)，该带轮线缆***将所述测量构件(16)与所述配重(29)联接；以及
引导轨道(38)，所述配重(29)以可移动的方式固定至所述引导轨道(38)，所述引导轨道(38)将所述配重的移动限制至一个维度；
其特征在于，
所述测量构件(16)和所述配重(29)之间的联接导致所述带轮线缆***(32，31)的线缆(31)非竖直，
所述配重(29)位于所述测量构件(16)与所述马达(18)之间，并且
所述带轮线缆***(32，31)的所述线缆(31)通过提供近似法向力和依从单个方向来降低所述测量构件的误差。
17.根据权利要求16所述的坐标测量机，所述坐标测量机还包括第二带轮***(22，23，24)，该第二带轮***将所述马达(18)联接至轴(26)，所述轴(26)联接至所述配重(29)，所述马达(18)和所述第二带轮***(22，23，24)由此被构造成通过旋转所述轴(26)来使所述配重(29)移动。
18.根据权利要求17所述的坐标测量机，其中，所述第二带轮***包括至少两个带轮(22，24)以及布置于这些带轮之间的皮带(23)。
19.根据权利要求17所述的坐标测量机，所述坐标测量机还包括滚圈线性致动器(28)，该滚圈线性致动器(28)被构造成将所述轴(26)的旋转转化成所述配重(29)的线性移动。
CN201380008449.6A 2012-03-02 2013-03-01 具有被约束的配重的坐标测量机 Active CN104105941B (zh)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201261605829P 2012-03-02 2012-03-02
US201261605831P 2012-03-02 2012-03-02
US61/605,831 2012-03-02
US61/605,829 2012-03-02
PCT/US2013/028675 WO2013131007A1 (en) 2012-03-02 2013-03-01 Coordinate measuring machine with constrained counterweight

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104105941A CN104105941A (zh) 2014-10-15
CN104105941B true CN104105941B (zh) 2017-08-25

Family

ID=47844537

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201380008449.6A Active CN104105941B (zh) 2012-03-02 2013-03-01 具有被约束的配重的坐标测量机
CN201380008428.4A Active CN104105944B (zh) 2012-03-02 2013-03-01 具有带弹簧的支撑梁的坐标测量机

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201380008428.4A Active CN104105944B (zh) 2012-03-02 2013-03-01 具有带弹簧的支撑梁的坐标测量机

Country Status (4)

Country Link
US (2) US9222763B2 (zh)
EP (2) EP2820374B1 (zh)
CN (2) CN104105941B (zh)
WO (2) WO2013130991A1 (zh)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013017171A1 (de) * 2011-08-03 2013-02-07 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Koordinatenmessgerät zur vermessung eines werkstückes
EP2557390B1 (en) * 2011-08-12 2019-05-22 Hexagon Metrology S.p.A. Measuring machine provided with a block of concrete having the function of foundation or machine bed, and method for compensating the measuring errors due to deformations of the block
US9222763B2 (en) * 2012-03-02 2015-12-29 Hexagon Metrology, Inc. Coordinate measuring machine with constrained counterweight
DE102013001457A1 (de) * 2013-01-28 2014-07-31 Blum-Novotest Gmbh In einer Werkstückbearbeitungsmaschine aufzunehmender temperaturkompensierter Messtaster und Verfahren zur Temperaturkompensation eines Messtasters
CN203249609U (zh) * 2013-03-26 2013-10-23 鸿准精密模具（昆山）有限公司 尺寸测试装置
US9658048B2 (en) * 2014-04-04 2017-05-23 Hexagon Metrology, Inc. Coordinate measuring machine with carbon fiber air bearings
EP3128291B1 (en) * 2015-08-03 2023-10-04 Hexagon Technology Center GmbH Coordinate measuring machine with belt drive guided probe head
EP3222966B1 (en) * 2016-03-23 2018-09-12 Hexagon Technology Center GmbH Coordinate measuring machine with an improved belt drive
CN105737781B (zh) * 2016-05-12 2019-02-12 青岛麦科三维测控技术股份有限公司 细长薄壁类工件专用三维测量设备
DE102016110606B4 (de) * 2016-06-08 2019-07-04 Hiwin Mikrosystem Corp. Flexibler Mechanismus und eine den flexiblen Mechanismus aufweisende Portaleinrichtung
JP6738661B2 (ja) * 2016-06-16 2020-08-12 株式会社ミツトヨ 産業機械
EP3392610B1 (en) * 2017-04-19 2022-02-23 Renishaw PLC Bearing mount
KR102417893B1 (ko) * 2017-05-29 2022-07-07 현대자동차주식회사 체결장치 및 그의 작동방법
JP6993800B2 (ja) * 2017-07-07 2022-01-14 株式会社ミツトヨ 門型移動装置および三次元測定機
CN107328339A (zh) * 2017-08-21 2017-11-07 江苏阳明船舶装备制造技术有限公司 一种龙门式装配平台及装配方法
CN107907258A (zh) * 2017-12-27 2018-04-13 横店集团英洛华电气有限公司 电动推杆推力测试装置
CN108592843B (zh) * 2018-04-26 2019-11-08 四川大学 三维非正交跟踪扫描测头校准方法
WO2020023515A1 (en) * 2018-07-23 2020-01-30 Hexagon Metrology, Inc. Scanning jogbox
CN109556547A (zh) * 2018-11-22 2019-04-02 中国航空工业集团公司北京航空精密机械研究所 一种用于测量机的复合导轨结构及其制备方法

Family Cites Families (49)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1074271B (it) 1976-09-30 1985-04-20 Olivetti & Co Spa Macchina di misurazione di precisione a portale
DE2709006C2 (de) 1977-03-02 1983-05-11 Joachim 2300 Molfsee Uhing Wälzmutter zur Umwandlung einer Drehbewegung in eine Vorschubbewegung
DE3125681C2 (de) * 1981-06-30 1983-04-21 Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf Koordinaten-Meßmaschine
US4507868A (en) 1982-08-30 1985-04-02 The Warner & Swasey Company Coordinate measuring machine with a self aligning pneumatic counterbalance
DE3237085C1 (de) 1982-10-07 1983-11-17 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Gleitlager
US4858481A (en) 1985-05-13 1989-08-22 Brunswick Valve & Control, Inc. Position controlled linear actuator
US4835871A (en) * 1986-10-31 1989-06-06 Brown & Sharpe Manufacturing Co. Counterweight for coordinate measuring machine
US4819195A (en) 1987-01-20 1989-04-04 The Warner & Swasey Company Method for calibrating a coordinate measuring machine and the like and system therefor
US4799316A (en) 1987-12-28 1989-01-24 The Warner & Swasey Company Coordinate measuring machine with a probe shaft counter balance system
GB8808283D0 (en) * 1988-04-08 1988-05-11 Lk Tool Co Ltd Component control apparatus in measuring machines
DE3823042A1 (de) * 1988-07-07 1990-01-11 Zeiss Carl Fa Koordinatenmessgeraet
US5173613A (en) 1991-04-22 1992-12-22 Warner & Swasey Co. Sheffield Measurement Div. Coordinate measuring machine with improved table support
SE468727B (sv) 1991-07-09 1993-03-08 Johansson Ab C E Maskinstativ, saerskilt foer s k koordinatmaetmaskiner, jaemte saett att utfoera maskinstativet
US5291662A (en) * 1991-09-30 1994-03-08 Mitutoyo Corporation Simple three-dimensional measuring machine
JP2738408B2 (ja) 1992-01-30 1998-04-08 株式会社東京精密 座標測定機
DE4436507A1 (de) 1994-10-13 1996-04-18 Zeiss Carl Fa Verfahren zur Koordinatenmessung an Werkstücken
US6058618A (en) 1997-09-09 2000-05-09 Giddings & Lewis, Inc. Coordinate measuring machine
DE19809690A1 (de) * 1998-03-06 1999-09-09 Zeiss Carl Fa Koordinatenmeßgerät mit Benutzerführung
US6202316B1 (en) * 1998-04-14 2001-03-20 Timothy J. Swift Coordinate measuring machine guideway composite structure and method of manufacture
DE19821274A1 (de) 1998-05-13 1999-11-18 Zeiss Carl Fa Koordinatenmeßgerät in Brückenbauweise
IT1303170B1 (it) 1998-07-10 2000-10-30 Fidia Spa Procedimento e sistema per la realizzazione della compensazione deglierrori statici su macchine utensili a controllo numerico
JP3633788B2 (ja) 1998-07-13 2005-03-30 株式会社ミツトヨ 測定装置
DE50115041D1 (de) * 2000-05-23 2009-09-24 Zeiss Ind Messtechnik Gmbh Korrekturverfahren für Koordinatenmessgeräte
GB0016533D0 (en) 2000-07-06 2000-08-23 Renishaw Plc Method of and apparatus for correction of coordinate measurement errors due to vibrations in coordinate measuring machines (cmms)
EP1342051B1 (de) 2000-09-28 2005-10-19 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH Kalibrierung eines messenden sensors auf einem koordinatenmessgerät mit einer kugel, deren mittelpunkt bekannt ist
JP3905771B2 (ja) 2001-03-02 2007-04-18 株式会社ミツトヨ 測定機の校正方法及び装置
EP1319924B2 (fr) * 2001-12-12 2012-04-11 Tesa Sa Appareil de mesure d'altitude
GB0309662D0 (en) * 2003-04-28 2003-06-04 Crampton Stephen Robot CMM arm
JP4722400B2 (ja) * 2004-01-26 2011-07-13 株式会社ミツトヨ ガイドレールの支持装置、ガイドレール装置、駆動装置および測定機
DE202005003217U1 (de) * 2005-03-01 2005-05-12 Hexagon Metrology Gmbh Koordinatenmessgerät mit einem an einem Tastkopf angeordneten Taster oder einer an einem Tastkopf angeordneten Tastverlängerung
US7712389B2 (en) 2006-05-16 2010-05-11 T-Motion Technology Co., Ltd. Lifting device having parallel double screw rods
DE102006027898B3 (de) * 2006-06-17 2007-07-12 Hexagon Metrology Gmbh Maschinenschlitten und Koordinatenmessgerät mit einem Maschinenschlitten
US7395609B2 (en) * 2006-09-26 2008-07-08 Spaceage Control, Inc. 3-dimensional cable guide and cable based position transducer
DE102006055005A1 (de) * 2006-11-17 2008-05-29 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen von Raumkoordinaten an einer Vielzahl von Messpunkten
EP2042829B2 (en) 2007-09-26 2017-08-09 Hexagon Metrology AB Modular calibration
DE102007051054A1 (de) * 2007-10-19 2009-04-30 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren zum Korrigieren der Messwerte eines Koordinatenmessgeräts und Koordinatenmessgerät
GB0807088D0 (en) * 2008-04-18 2008-05-21 Eley Metrology Ltd Positioning apparatus
DE102008062763B3 (de) * 2008-12-18 2010-07-15 Hexagon Metrology Gmbh Koordinatenmessgerät mit einem Antrieb für ein vertikal bewegliches Bauteil des Koordinatenmessgerätes
EP2251634B1 (fr) * 2009-05-13 2018-11-28 Tesa Sa Instrument de mesure de dimension consistant en une colonne de mesure verticale
US7905027B2 (en) 2009-07-01 2011-03-15 Hexagon Metrology, Inc. Method and apparatus for probe tip diameter calibration
EP2270425A1 (en) 2009-07-03 2011-01-05 Leica Geosystems AG Coordinate measuring machine (CMM) and method of compensating errors in a CMM
DE102010017904B4 (de) * 2010-04-21 2013-10-31 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Koordinatenmessgerät mit Gegengewicht für einen Messschlitten
JP5612386B2 (ja) * 2010-07-23 2014-10-22 株式会社ミツトヨ 形状測定装置
CN101975564B (zh) * 2010-09-26 2012-09-05 天津大学 基于三截面测量的温度误差补偿方法
CN201983775U (zh) * 2011-03-22 2011-09-21 青岛麦科三维测量设备有限公司 花岗岩导轨装置及三坐标测量机
EP2505956A1 (en) * 2011-03-29 2012-10-03 Hexagon Technology Center GmbH Coordinate measuring machine
EP2795244B1 (de) * 2011-12-21 2018-02-07 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH Verfahren zum koppeln zweier systemkomponenten eines messgeräts, insbesondere eines koordinatenmessgeräts
US9222763B2 (en) * 2012-03-02 2015-12-29 Hexagon Metrology, Inc. Coordinate measuring machine with constrained counterweight
EP2762829B1 (en) * 2013-02-05 2020-05-27 Hexagon Technology Center GmbH Variable modelling of a measuring device

Also Published As

Publication number Publication date
US9222763B2 (en) 2015-12-29
CN104105944A (zh) 2014-10-15
EP2820376B1 (en) 2022-02-16
EP2820376A1 (en) 2015-01-07
CN104105944B (zh) 2016-11-09
CN104105941A (zh) 2014-10-15
US20130227850A1 (en) 2013-09-05
US8973279B2 (en) 2015-03-10
WO2013131007A1 (en) 2013-09-06
WO2013130991A1 (en) 2013-09-06
US20130227851A1 (en) 2013-09-05
EP2820374A1 (en) 2015-01-07
EP2820374B1 (en) 2020-07-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104105941B (zh) 具有被约束的配重的坐标测量机
CN109425317B (zh) 非笛卡尔六足型或类六足型坐标测量机器
US6058618A (en) Coordinate measuring machine
CN108350756B (zh) 发动机组装支架
CN103543010B (zh) 一种高速丝杠及丝杠副综合检查试验台
CN104364893B (zh) 一种平面定位***与使用该平面定位***的方法
WO2013044632A1 (zh) 用于地震计静态标定的精密倾斜平台装置
CN101813130A (zh) 不受气管扰动力影响的超长距离跟随吊点运动轨迹的气浮装置
CN107339967B (zh) 一种圆度仪
CN110987394B (zh) 一种三自由度过顶跟踪测试转台
CN201884469U (zh) 超长距离跟随吊点运动轨迹的气浮装置
US11709045B1 (en) Surface texture probe and measurement apparatus with a vibrational membrane
CA2596265A1 (en) Shape-measuring assembly for a grinding machine
CN202384941U (zh) 水轮发电机定子装配用测圆架
CN108470705A (zh) 应用于光电子封装的平面运动平台
JP6261185B2 (ja) 昇降モジュールおよび昇降モジュールを使用する昇降装置
CN208921093U (zh) 一种用于曲轴连杆颈的测量机构
JP4756446B2 (ja) ステージ装置
US7513059B2 (en) Co-ordinate measuring machine
JP2001179560A (ja) 工作機械
JP3823905B2 (ja) ねじリードの測定方法および装置
JP2007024622A (ja) 免震構造物の水平変位計測装置
JP3911432B2 (ja) 昇降部材支持機構およびこれを用いた測定機
CN201327439Y (zh) 电动冲击台台面支撑装置
CN115056885B (zh) 对接驾车及具有其的质心测量装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant