JP5349122B2 - 同期移動装置および画像測定装置 - Google Patents
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Description
従来、このような移動可能なスライダ(可動部)へケーブルの配線を行う場合、ケーブルの支持、案内を行うために、可動部の移動に追従して屈曲可能なケーブル支持帯、例えば、ケーブルベア(登録商標)が一般的に利用されている(例えば、特許文献2参照)。
この構成において、送りねじ軸を回転させると、それに螺合されたナット部材および連結装置を介して可動部が移動される。連結装置は、可動部に固定された第1の部材と、ナット部材に固定された第2の部材と、これらの間に介在して設けられ送りねじ軸の軸線に対して直交する面内での送りねじ軸の振れ運動を吸収する中間部材とを含んで構成されているから、送りねじ軸の回転に伴って発生する振れ運動(振れ)が、連結装置の中間部材で吸収される。従って、送りねじ軸の回転に伴って発生する振れ運動(振れ)が可動部に伝わらないので、高精度な送りが期待できる。
この構成によれば、ケーブル支持帯と第2の部材とをワイヤで接続する際に、ワイヤの延設方向を比較的容易に変化させることができるので、装置本体に対する可動部およびケーブル支持帯の位置関係に応じて両者を接続することができる。また、ベルトやチェーンに比べ、配置スペースを小さくすることができる。
この構成によれば、ケーブル支持帯の端部は、支持プレートおよびガイドレールによって移動方向がガイドされているから、ケーブルの捩れが生じることも少なく、また、その反力による影響も少ないから、ケーブル支持帯の端部を円滑にスライド動作させることができる。
この構成において、同期移動装置の送りねじ機構により可動部に設けられた撮像手段を移動させると、ケーブル支持帯の端部(可動端)も撮像手段に追従して移動させることができる。この際、前述の同期移動装置と同様に、連結装置によって、送りねじ軸の振れ運動およびケーブル支持帯の移動に伴う挙動が、可動部に伝わらないので、測定精度の向上を図ることができる。
本実施形態は画像測定装置に適用した例である。
本実施形態の画像測定装置1は、図1に示すように、装置本体としての架台2と、この架台2の上面にY軸方向へ移動可能に設けられ被測定物が載置される載物台3と、被測定物を撮像する撮像手段としての光学装置4と、この光学装置4を2次元方向(X軸方向、Z軸方向)へ移動させる移動機構5と、光学装置4への電力供給や光学装置4との間での信号授受(制御、画像データなど)を行うケーブルの支持案内を行うケーブル支持機構6と、光学装置4のX軸方向への移動に連動してケーブル支持機構6を同期移動させる同期機構8とを備える。
光学装置4は、CCDカメラによって構成されている。
移動機構5は、載物台3を挟んだ架台2の両側辺に立設された一対のビーム支持体51と、このビーム支持体51の上端間にX軸方向と平行に架設されたX軸ビーム52と、このX軸ビーム52に沿って移動自在に支持された可動部としてのXスライダ53と、このXスライダ53をX軸方向に送る送りねじ機構としてのボールねじ機構54とを備える。なお、Xスライダ53には図示省略のZスライダがZ軸方向へ移動自在に設けられ、このZスライダに光学装置4が取り付けられている。
Xスライダ53は、図2に示すように、X軸ビーム52の一対の側面521,522および上面523の3面を覆う略コ字状に形成され、これらの3面に対して空気軸受で支持され、X軸方向に移動可能に設けられている。
つまり、第2の部材72は中間部材73に対してストロークベアリング機構を介してZ軸方向へ変位可能に構成され、中間部材73は第1の部材71に対してストロークベアリング機構を介してY軸方向へ変位可能に構成されているため、送りねじ軸541の振れ運動が中間部材73によって吸収され、Xスライダ53にはボールねじ機構54の推力のみが伝達される構造になっている。
ケーブル支持帯65は、Xスライダ53へ配線されるケーブル(図示省略)の支持および案内を行うもので、内部にケーブルを保持し、固定端を支点として可動端が屈曲可能かつ復帰可能に構成されている。この例では、ケーブルベア(登録商標)によって構成されている。ケーブル支持帯65によって支持されるケーブル(図示省略)は、電源からケーブル支持帯65を通じて支持プレート64の内部または下面に沿って配線されたのち、光学装置4に接続されている。これにより、ケーブルを介して、光学装置4に電力が供給されるとともに、光学装置4との間で信号の授受が行われる。
第1のワイヤ85は、ワイヤ固定部材84からX−方向へ延長されたのち、ボールねじ軸541の端部で滑車85Aを介してY−方向へ方向変換され、ついで、Y軸方向後方において、滑車85Bを介してX+方向へ方向変換され、更に、X軸方向の端部において、滑車85C,85Dを介してX−方向へ方向変換されたのち、支持プレート64の右辺に連結されている。従って、Xスライダ53が図2中右方向(X+)へ移動されると、支持プレート64(ケーブル支持帯65の可動端)も図2中右方向(X+)へ移動される。
この際、送りねじ軸541を回転させると、それに螺合されたナット部材542およびフローティングユニット7を介してXスライダ53が移動される。フローティングユニット7は、Xスライダ53に固定された第1の部材71と、ナット部材542に固定された第2の部材72と、これらの間に介在して設けられ送りねじ軸541の軸線に対して直交する面内での送りねじ軸541の振れ運動を吸収する中間部材73とを含んで構成されているから、送りねじ軸541の回転に伴って発生する振れ運動(振れ)が、フローティングユニット7の中間部材73で吸収される。従って、送りねじ軸541の回転に伴って発生する振れ運動(振れ)がXスライダ53に伝わらないので、高精度な送りが期待できる。
このとき、ケーブル支持帯65の可動端の挙動が第1のワイヤ85および第2のワイヤ86を介してフローティングユニット7の第2の部材72に加わるが、送りねじ軸541の振れ運動と同様に中間部材73によって吸収される。従って、送りねじ軸541の振れ運動、および、ケーブル支持帯65自体の移動に伴う挙動によるXスライダ53への影響を同時に抑えることができる。
(1)ボールねじ機構54の送りねじ軸541の回転によりXスライダ53を移動させると、同期機構8を介してケーブル支持帯65の可動端もXスライダ53に同期して移動するから、Xスライダ53の移動に追従してケーブル支持帯65の可動端を移動させることができる。
従って、送りねじ軸541の振れ運動、および、ケーブル支持帯65自体の移動に伴う挙動によるXスライダ53への影響を同時に抑えることができるから、測定精度の悪化を防止できる。
なお、本発明は、前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。
例えば、前記実施形態では、送りねじ機構としてはボールねじ機構を例示したが、送りねじ軸およびナット部材によってXスライダを移動させる送りねじ機構であればボールねじ機構以外でもよい。
また、前記実施形態ではワイヤ85,86を第2の部材72に接続するためにワイヤ固定部材84を用いた場合を説明したが、これに限られず、他の方法によってワイヤ85,86を第2の部材72に接続してもよい。
2…架台(装置本体)、
3…載物台、
4…光学装置(撮像手段)、
5…移動機構、
6…ケーブル支持機構、
7…フローティングユニット(連結装置)、
8…同期機構、
53…Xスライダ(可動部)、
63…ガイドレール、
64…支持プレート、
65…ケーブル支持帯、
71…第1の部材、
72…第2の部材、
73…中間部材、
85…第1のワイヤ、
86…第2のワイヤ、
541…送りねじ軸、
542…ナット部材。
Claims (4)
- 装置本体と、
この装置本体に移動可能に設けられた可動部と、
前記装置本体に回転自在に支持され前記可動部を移動させる送りねじ軸と、
前記送りねじ軸に螺合されたナット部材と、
前記可動部および前記ナット部材を連結する連結装置と、
前記可動部へ配線されるケーブルの支持および案内を行うケーブル支持帯とを備えた同期移動装置において、
前記連結装置は、前記可動部に固定された第1の部材と、前記ナット部材に固定された第2の部材と、前記第1の部材および前記第2の部材に介在して設けられ、かつ、前記送りねじ軸の軸線に対して直交する面内での当該送りねじ軸の振れ運動を吸収する中間部材とを含んで構成され、
前記可動部へ前記ケーブルを配線する側の前記ケーブル支持帯の端部は、接続部材を介して前記第2の部材に接続され、前記可動部に同期して移動される、ことを特徴とする同期移動装置。 - 請求項1に記載の同期移動装置において、
前記接続部材は、ワイヤであることを特徴とする同期移動装置。 - 請求項1または請求項2に記載の同期移動装置において、
前記装置本体には、ガイドレールが前記可動部の移動方向と平行に設けられ、このガイドレールに沿って支持プレートが移動可能に設けられ、
前記ケーブル支持帯の端部は、前記支持プレートに固定されている、ことを特徴とする同期移動装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の同期移動装置と、
被測定物が載置される載物台と、
前記可動部に設けられ前記被測定物を撮像する撮像手段と、
前記被測定物と前記撮像手段とを相対移動させる移動機構とを備え、
前記撮像手段にて撮像された画像データに基づいて前記被測定物の形状あるいは寸法を測定することを特徴とする画像測定装置。
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