JP4776772B2

JP4776772B2 - 座標測定装置

Info

Publication number: JP4776772B2
Application number: JP2000363035A
Authority: JP
Inventors: ヤーコブスクラウス; ピーヴェクフォルカー; ヴァルターイェルク
Original assignee: Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH
Current assignee: Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH
Priority date: 1999-12-03
Filing date: 2000-11-29
Publication date: 2011-09-21
Anticipated expiration: 2020-11-29
Also published as: US6438857B2; DE19958306C2; DE50006236D1; EP1108974A1; JP2001183128A; US20010013177A1; EP1108974B1; DE19958306A1

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、台座フレーム、被測定物を保持するための、台座フレームによって支持される測定テーブル、被測定物の表面を検知するための検知手段、及び、測定テーブル上において検知手段を３本の空間軸に沿って動かすための位置決め機構であって、台座フレーム上に取り付けられて検知手段を保持する位置決め機構を備えた座標測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
上記に述べられるような座標測定装置が、被測定物の形状を検知し、これを正確に測定するために使用されている。こうした物体の幾何学的データを求めることの他にも、座標測定装置を使用して製造ラインの物体の寸法安定性をチェックすることが可能である。
【０００３】
座標測定装置は高精度の測定器具であり、その測定精度は被測定物を製造するために用いられる製造装置の測定精度を上回るが、製造装置と異なり、検知動作において作用する力は小さく保たれる。
【０００４】
大型の物体を検知するため、従来技術において門形の座標測定装置が開示されている。この装置では、２本の柱部材の間に配された横部材に取り付けられ、横部材に沿って変位することが可能であるとともに垂直方向にも変位が可能な軸スリーブ上に検出手段が取り付けられる。柱部材は横部材とともに測定用テーブルを跨ぐ門構造を構成する。門構造は空気軸受内で測定テーブルに沿って動くことが可能である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
測定テーブルに跨った門形の構造のため、この従来技術の構成は構造的に堅牢性が高いものの、比較的コストが嵩み、また大きな設置空間を要するという課題がある。更に門形構造では測定テーブルへの自由なアクセスが制限され、重量の嵩む加工品の場合には荷重によって精密案内の方向が影響されて測定精度が低下してしまう。
【０００６】
高い測定精度の条件を満たすため、座標測定においては従来、通常は空気軸受である精密軸受が使用されてきた。空気軸受では周辺空気の清浄度が高いこと、及び温度ができるだけ一定に保たれることが求められるため、こうした座標測定装置は特別な室内で使用しなければならず、製造装置の近くに設置することはできない。
【０００７】
このような従来技術の課題点を鑑み、本発明の目的は、高い動作性にて精密動作を行うことが可能であるとともに製造ラインの近くにおいて使用することが可能な座標測定装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題は、上記に述べられたような種類の座標測定装置であって、位置決め機構は第１の送り台を有し、該第１の送り台は、第１の方向に台座フレーム上にて案内され、測定テーブルの一方の側において該測定テーブルに対して接近または離間する運動を行い、該第１の送り台上においては第２の送り台が第１の方向に対して直交する第２の方向に動くことが可能であり、該第２の送り台には、測定テーブルから遠い方（運動方向に見た場合）の端部領域において、測定テーブルに対して側方に突出した支持部が設けられ、該支持部には、測定テーブルの主作業面に対して垂直な方向に測定テーブル上に突出するＵ字形アームすなわちあぶみアームが設けられ、該あぶみアームは測定テーブル上の自由端において検知手段を担持するとともにそれ自体剛直な要素として形成され、第１の送り台と、第１の送り台の運動方向に見た場合に支持部の前方に配される第２の送り台の前部とを位置決め機構が測定テーブルに向かって動く際に測定テーブルの下に動かすことが可能である座標測定装置によって解決される。
【０００９】
あぶみアームが剛直な構成を有することによりあぶみアームに何らの案内要素をも設ける必要がないため、検知手段が可動に配される門構造と比較して、あぶみアームに制限を設けずにこれを任意の所望の構成とすることが可能であり、位置によって（測定テーブルに対するあぶみアームの位置によって）あぶみアームが屈曲することがない。本発明に基づく座標測定装置によれば、測定テーブルの側方に配される支持部によって、検知手段が案内される測定テーブルの表面の全体にわたり良好なアクセスを得ることが可能である。
【００１０】
本発明に基づく構成において用いられるあぶみアームは、測定テーブルを囲んで延びる門構造と比較してその重量は大幅に軽減されているため、本発明に基づく座標測定装置は、一次的及び二次的プロセスのいずれにおいても、門形構造と比べてシステム全体の動作性が大きく向上している。更にセンサの設置位置に関し、幅広い設置位置が考えられる（垂直、水平など）。更に本発明に基づく装置にあっては、可動部分に対して比較的大きな支持台座が設けられることも測定精度及び構造の堅牢性に寄与している。
【００１１】
本発明の装置は、位置決め機構の一部を測定テーブルの下に動かすことが可能であるというコンパクトな構成を有する。これにより位置決め機構を幅広の安定性の高い台座を備えるように構成することが可能であり、堅牢性及び測定精度が向上する。この支持部は完全に測定テーブルの下に動かされたときに測定テーブルの側縁と接触することが好ましい。台座フレームに対する支持作用は、テーブルの下に動かすことが可能な要素に主としてよっているため、測定テーブルから遠い方の支持部の側面の支持領域は比較的狭く構成することが可能であり、特に測定テーブルに隣接する台座フレームの領域も寸法に関してコンパクトに構成することが可能であるため、本発明の座標測定装置を設置するうえで必要とされる設置面の面積を小さく保つことが可能である。
【００１２】
位置決め機構の重量が（門構造と比較して）比較的小さいことにより、検知手段を動かす際の加速及び減速に要する力も小さくて済む。このため本発明の座標測定装置では位置決めを高い速度にて行うことが可能であり、動作性が向上している。
【００１３】
更に、あぶみアームの形状に関する自由度が非常に高いために、検知動作において生ずる力やモーメントを考慮して、形状及び材質の選択に関してあぶみアームを最適化することが可能である。
【００１４】
あぶみアームが、第２の送り台の支持部の、測定テーブルとは反対側を向いた側面において案内されることにより特にコンパクトな位置決め機構の構成が与えられる。これにより更にあぶみアームの案内要素のために必要とされる設置空間がこれらのガイドレールにおいてあそびとならないため、測定テーブルに対して２つの送り台を動かすためのガイドレールを比較的短く構成することも可能である。
【００１５】
本発明の座標測定装置の有利な一構成においては、支持部によるあぶみアームの軸支部は、あぶみアームの自由端に設けられた検知手段とほぼ同じ高さに位置する。したがって検知工程においてあぶみアームの案内要素において生ずる傾きモーメントが小さく保たれるので測定精度が向上する。
【００１６】
好ましくは第２の送り台は、測定テーブルの主作業面にほぼ垂直に延びるとともにあぶみアームの取り付け側の端部を変位可能に軸支するための案内手段が設けられた支持部と、第２の送り台の前部とによって形成されるほぼＬ字形状をなす部分を形成し、該前部は支持部に連結されるとともに主作業面にほぼ平行に延び、測定テーブルの下に動かすことが可能である。この構成により第２の送り台を測定テーブルに近接させ、あぶみアームを短くすることが可能であるばかりでなく、被測定物の近傍において安定的な支持を得ることが可能である。
【００１７】
変位可能な部分は、ころ軸受を有する部分レールガイド上の往復型ボールベアリングユニットを介して設けられる。
案内の制度を向上させるため、２つの送り台及び／またはあぶみアームのための案内手段は互いに所定の間隔をおき、互いに平行に配された２本のガイドレールをそれぞれ含む。この種の案内手段は従来の精密空気軸受よりも耐久性が高い。ガイドレールには駆動手段が付随しており、この駆動手段はガイドレール間の中央に配されることにより検知手段が進められる際に均一に力が伝達し、駆動手段が測定値に与える影響を大幅に低減することが可能である。
【００１８】
本発明の別の有利な構成においては、連結要素が第１の送り台の運動方向の前方にあたる端部に設けられる。この連結要素は、測定テーブルに進められる被測定物または被測定物のための輸送機構に一時的に連結するためのものであり、これにより被測定物または輸送機構を測定テーブルの方向または測定テーブル上にまで引き寄せることが可能である。この構成は、座標測定装置が自動または半自動装填装置と組み合わせて使用される場合に、輸送機構または被測定物を供給する機能を送り台が引き継ぐことが可能となるために別個の駆動要素を備えた独立した供給機構を必要としないことにより特に有利である。
【００１９】
本発明に基づく座標測定装置の別の有利な構成においては、あぶみアームは、支持部の測定テーブルから遠い方の側面上に設けられ、測定テーブルの上方に向けて測定テーブルを回り込むようにして支持部に取り付けられる。
【００２０】
本発明の別の有利な構成においては、あぶみアームは第２の送り台に対し、特に第１の方向（Ｙ）に平行な回転軸を中心とした回転が可能であるように取り付けられるため、湾曲した線や表面を容易に検知することが可能である。
【００２１】
複雑な表面形状の検知を向上させるため、あぶみアームは測定テーブルの主作業面に対してほぼ平行に延びる片持ちアームを有し、この片持ちアームに主作業面に対してほぼ垂直に延びるアームすなわちあぶみが連結され、このアームの先端に検知手段が取り付けられる。
【００２２】
本発明の別の有利な実施形態においては、検知要素は交換可能なモジュールとして構成され、アッドオンユニットとして、異なる検知手段が取り付けられるように構成されたあぶみアームのインタフェースに対して取り付け及び取り外しが可能である。したがって座標測定装置を異なる測定用途に迅速かつ容易に適合させることが可能である。異なる検知手段をあぶみアームの自由端の動作範囲内、例として測定テーブルの隅に設けられる適当な置き場に置かれるマガジンに入れておくことが可能であり、座標測定装置の検知手段を自動交換することも可能である。
【００２３】
検知手段において発生する信号を送るための配線はあぶみアームの内部に設けられるため、損傷や電磁波の影響から保護される。
【００２４】
【発明の実施の形態】
本発明を、図１〜図６に基づき以下に詳細に説明する。
これらの図は被測定物の座標を検知するための座標測定装置を示したものである。被測定物の詳細は図に示されていないが、製造環境において設置することが可能である。
【００２５】
図１に示されるように、座標測定装置は台座フレーム１を備える。台座フレーム１は図に示された実施形態においては支持脚２に取り付けられた中実の台座プレートとして構成されている。台座フレーム１は被測定物を保持するための固定測定テーブル３を支持する。測定テーブル３は台座フレーム１及び位置決め機構４の一部に重なるように設けられる。位置決め機構４は３本の空間軸Ｘ，Ｙ，Ｚに沿って動くことが可能であり、位置決め機構４によって実際の検知手段５が台座フレーム１に対して案内される。
【００２６】
測定テーブル３は、図１から図６において上方から見た場合、ＸＹ平面においてほぼ方形である。測定テーブル３は、測定テーブル３の４隅に配された４本の柱６を介して台座フレーム１によって支持されるため、測定テーブル３と台座フレーム１との間に外部からアクセスすることが可能な空間７が形成される。柱６は、測定テーブル３から台座フレーム１への力の伝達が位置決め機構４の案内手段の外側において行われるように配される。
【００２７】
測定テーブル３は、被測定物の主作業面９を形成する上げ床部８を有する。この構成により、検知手段５の動作範囲内における検知動作のために被測定物が適正に配置されているかどうかを容易に視認することが可能である。
【００２８】
図に示されていない別の構成の例においては、複数のこうした受承部が被測定物を保持するために設けられる。別の構成例においては、測定テーブル３は２以上の置き場を有する回転テーブル（図に示されていない）として構成され、複数の被測定物を検出手段５の動作範囲の内外に回転移動させることによって被測定物を迅速に交換することが可能である。
【００２９】
位置決め機構４は、測定テーブル３上に置かれた被測定物を検知するために検知手段５とともに台座フレーム１に対して動くことが可能である。位置決め機構４は測定テーブル３の他に、上方に突出した支持部１４を有する。支持部１４は主作業面９に平行な２本の空間軸Ｘ，Ｙに沿って台座フレーム１に対して動くことが可能である。この目的のために位置決め機構４は第１の送り台１０を有する。第１の送り台１０は台座フレーム１上にて案内され、図１〜６におけるＹ方向に動くことが可能である。第１の送り台１０に対応した案内手段が、測定テーブル３と台座フレーム１との間に形成される空間７に外部から入り空間７を通じて延びる。本実施形態においては、案内手段は２本の部分ガイドレール１１として構成される。部分ガイドレール１１は台座フレーム１に取り付けられ、互いに対して並行に延びる。第１の送り台１０は部分ガイドレール１１上に置かれ、往復型ボールベアリングユニットにより変位することが可能である。
【００３０】
位置決め機構４の別の要素として、第２の送り台１２が第１の送り台１０の上に置かれる。第２の送り台１２はＹ方向に対して直交するＸ方向、すなわち横方向に変位可能である。第２の送り台１２は対応した案内手段１３（図２を参照）により第１の送り台１０に対してＸ方向に案内される。案内手段１３は、上記に述べた案内手段と同様、往復ボールサドルを備えた２本の部分ガイドレールにより構成される。
【００３１】
図４及び図６に見られるように、第２の送り台１２は、実際の検知手段５を支持する位置決め機構４の端部部材に連結されるように主作業面９に対してほぼ垂直に延びる支持部１４、及び、垂直に延びる支持部１４に連続し、第１の送り台１０の運動方向Ｙに沿って支持部１４の前方に置かれる前部１５を有する。前部１５は測定テーブル３の主作業面９にほぼ平行に延び、台座フレーム１上に変位可能に置かれる。このため第２の送り台１２の断面は、側方より見た場合（図４及び６）に全体としてほぼＬ字形となっている。
【００３２】
更に図６に見られるように、前部１５は、第１の送り台１０における第２の送り台１２の支持基部の面積を大きくする役割を果たし、これにより高い剛性が得られ、ひいては第２の送り台１２の軸支部において高い案内精度が実現される。更に、第１の送り台１０は、台座フレーム１と測定テーブル３との間に形成される空間７内に第２の送り台１２の前部１５とともに進入させることが可能であるため、測定テーブル３とフレーム１との間に、位置決め機構４の支持部の少なくともほぼ全体が置かれるまで測定テーブル３の方向に完全に押し進められた位置にまで位置決め機構４の支持部を移動させることにより、座標測定装置の設置面の面積を小さくすることが可能である。更に、被測定物の下側が位置決め機構４の基部によって支持されることもやはり測定精度に寄与する。
【００３３】
慣性質量を小さくするため、第２の送り台１２は作用する力及びモーメントについて最適化される。このため、支持部１４の厚さは高い位置ほど小さくなっている。これに対応して、第２の送り台１２の前部１５もやはりその断面において先細るように構成され、この場合では、Ｘ方向に延びるガイドレール１３の支持部１４からより遠くに置かれた方のレールに向かって厚さが小さくなる。
【００３４】
ＸＹ平面に垂直な方向、すなわちＺ方向に動くことが可能であり、検知手段５を支持するあぶみアーム１６は、測定テーブル３の主作業面９の上方に突出する第２の送り台１２の支持部１４に連結される。更に、図６に示されるように、支持部１４には測定テーブル３から遠いほうの側面において案内手段が設けられる。案内手段はこの場合やはりＺ方向に延び、互いに対して所定の間隔をおいて配される２本の平行な部分ガイドレール１７として構成され、ガイドレール上には往復型ボールベアリングユニットが配される。この構成により案内手段においてＹ方向へのあそびが防止される。測定テーブル３に対向する支持部１４の側面が滑らかに形成されていることにより、第２の送り台１２をこれに対向した測定テーブル３の側縁に近づく方向に進めてあぶみアーム１６のＹ方向の延長部分を短くすることが可能である。あぶみアーム１６はそれ自体剛性のユニットとして構成され、任意の所望の形状に形成することが可能である。あぶみアーム１６は剛直な構造を有することにより、すなわち、あぶみアームにおいてはなんらの案内手段も設けられていないことにより、検知手段５によって与えられる測定信号は検知される被測定物とは事実上無関係に保たれる。図６に見られるように、あぶみアーム１６は第２の送り台１２の前部１５を跨いで延び、検知手段が設けられたあぶみアーム１６の自由端２２を前部１５の前方かつ支持部１４から離れた位置に置くことが可能である。
【００３５】
この実施形態はあぶみアーム１６の可能な形状の１つを示したものに過ぎない。図に示されるあぶみアーム１６は箱型の基部１８（図６）を有する。箱型の基部１８は部分ガイドレール１７と協働し、Ｘ方向に互いに所定の距離を隔てた案内要素を有する。これらの案内要素はあぶみアーム１６の自由端２２に設けられた検知手段５とほぼ同じ高さに位置し、第２の送り台１２の支持部１４におけるあぶみアーム１６の支持された端部の案内は、この高さにおいて行われる。Ｚ方向、すなわち図において上方向に延びる支持アーム１９は基部１８に連結され、その断面は上方に向かうにしたがって小さくなる。片持ちアーム２０が支持アーム１９の上端から支持部１４を跨いで測定テーブル３の方向に、主作業面９に対してほぼ平行に延びる。ほぼＺ方向に延びるアーム２１が片持ちアーム２０に連結される。このアーム２１は実際の検知手段５をその自由端２２において支持する。支持アーム１９と同様、片持ちアーム２０及びアーム２１の断面は、抵抗モーメント及び断面係数について最適化されるように検知手段５の方向に向かって小さくなっている。これにより、あぶみアーム１６全体は、第１の送り台１０及び第２の送り台１２と同様、小さい加速度によって動かすことが可能であり、高い動作性にて高精度の測定を行うことが可能である。
【００３６】
側面から見た場合（図４及び６）、あぶみアーム１６は下側に開いたＵ字形状をなし、亀裂を有する表面形状であっても適正な検知を行うことが可能である。更に、第２の送り台１２が測定テーブル３の一方の側にのみ置かれるので、３つの空間方向から測定テーブルにアクセスすることが可能である。
【００３７】
検出手段５それ自体は従来の方法に基づいて構成されているため、当業者にとって更なる説明を要するものではないが、あぶみアーム１６の自由端２２を、所定の検知動作を行うように特に構成された異なる検知手段を取り付けるためのインタフェースとして構成することが可能である。必要に応じて自動的にアクセスすることが可能であるように、こうした異なる検知手段をあぶみアーム１６の動作範囲内においてマガジン（図に示されていない）に保管することが望ましい。マガジンは例として測定テーブル３上あるいはその内部に配置することが可能である。
【００３８】
検知手段５において生成された信号は、損傷を防ぐためにあぶみアーム１６の内部に配設される配線を通じて伝送され、評価装置において公知の方法によって評価される。
【００３９】
検知手段５を物体の測定面に沿って動かすため、位置決め機構４の構成要素である第１の送り台１０、第２の送り台１２、及びあぶみアーム１６を互いに対して、及び測定テーブル３に対して動かす。この目的のため、図に示されていない適当な駆動手段が各案内手段の近くに配される。測定結果に影響する力やモーメントを最小に抑えるためこれらの駆動手段は各部分ガイドレール間の中央かつ各空間軸の方向に力が作用するように配置される。
【００４０】
座標測定装置の可能な動作位置のいくつかを、特に測定テーブル３に対する検知手段５の動作位置について、例として図に示した。図１は、位置決め機構４の構成要素のすべてが、可能な変位範囲について中心位置にある状態を示したものであり、図３は位置決め機構が測定テーブル３にまで完全に進められた状態を示したものである。この図では第２の送り台１２はＸ方向における最端位置にあり、あぶみアーム１６は最下点にあって、片持ちアーム２０は支持部１４の上縁よりも若干上方に位置している。図２は図１の位置にある装置を正面図にて、図４は同じ位置にある装置を側面図にて示したものであり、図５は図３の位置にある装置を正面図にて示したものである。
【００４１】
上記に述べられた座標測定装置は、個々の、またはすべての製品が取り出されて寸法について連続的に監視される連続製造ラインの周辺の領域などの、製造ラインのすぐ近くにおいて使用するうえで特に好適である。この座標測定装置は高い動作性を有するので製造効率に影響を与えることなく製造ラインに完全に組み込むことも可能である。
【００４２】
図１及び図６（図２のＡ−Ａ線に沿った断面に対応する）のみに示された別の構成では、被測定物を保持するように構成された輸送機構に第１の送り台１０を一時的に連結するための連結要素２３が第１の送り台１０に設けられる。これにより、輸送機構（図に示されていない）及び被測定物を第１の送り台１０の駆動手段を使用して測定テーブル３にまで進め、測定テーブル３に移し変えるなどして位置決め機構４によって動かされる検知手段５により測定テーブルにおいて測定が行われる。
【００４３】
あぶみアーム１６を、第２の送り台に対してＹ軸に平行な軸を中心として回転させることにより湾曲面の検知を迅速に行うことが可能であるように構成することも可能である。適当な回転軸受を例として支持部１４の基部１８に組み込むことが可能である。
【００４４】
【発明の効果】
本発明に基づけば座標測定装置を製造ラインの近くに設置して使用することが可能となる。更に、本発明の座標測定装置では設置空間の節約が図られるとともに精度を損なうことなくして高い動作性を得ることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】あぶみアームが中央の垂直位置にある、動作可能な状態の座標測定装置の一実施形態を示す斜視図。
【図２】図１と同じ位置にある図１の実施形態を示す正面図。
【図３】あぶみアームが下方位置にある図１の実施形態を示す斜視図。
【図４】図３と同じ位置にある同実施形態を示す側面図。
【図５】図３と同じ位置にある同実施形態を示す正面図。
【図６】図１と同じ位置にあるあぶみアーム及びこれに付随する位置決め機構を通じ図２のＡ−Ａ線に沿って切った縦断面図。
【符号の説明】
１…台座フレーム、３…測定テーブル、４…位置決め機構、５…検知手段、９…主作業面、１０…第１の送り台、１２…第２の送り台、１４…支持部、１５…第２の送り台の前部、１６…あぶみアーム。

Claims

台座フレーム（１）と、被測定物を保持するための測定テーブル（３）であって、台座フレーム（１）によって支持された測定テーブル（３）と、被測定物の表面を検知するための検知手段（５）と、測定テーブル（３）上で検知手段（５）を３つの空間軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ）に沿って動かすための位置決め機構（４）であって、台座フレーム（１）上に置かれるとともに検知手段（５）を担持する位置決め機構（４）とを備えた座標測定装置において、前記位置決め機構（４）は第１の送り台（１０）、第２の送り台（１２）、およびあぶみアーム（１６）を有し、該第１の送り台（１０）は、第１の方向（Ｙ）に前記台座フレーム（１）上にて案内され、前記測定テーブル（３）の一方の側において該測定テーブル（３）に対して接近または離間する運動を行い、該第１の送り台（１０）上においては前記第２の送り台（１２）が第１の方向（Ｙ）に対して直交する第２の方向（Ｘ）に動くことが可能であり、前記第２の送り台（１２）には、前記測定テーブル（３）から遠い方（運動方向に見た場合）の端部領域において、前記測定テーブル（３）に対して垂直に延びる支持部（１４）が設けられ、該支持部（１４）には、前記測定テーブル（３）の主作業面（９）に対して垂直であり、かつ第１及び第２の方向（Ｘ、Ｙ）と直交する第３の方向（Ｚ）に沿って移動可能に前記測定テーブル（３）上に突出する前記あぶみアーム（１６）が設けられ、該あぶみアーム（１６）は前記測定テーブル（３）上の自由端（２２）において検知手段（５）を担持するとともにそれ自体剛直な要素として形成され、前記第１の送り台（１０）と、該第１の送り台（１０）の第２の方向（Ｘ）に見た場合に前記支持部（１４）の前方に配される前記第２の送り台（１２）の前部（１５）とを前記位置決め機構（４）が前記測定テーブル（３）に向かって動く際に前記測定テーブル（３）の下に動かすことが可能となるように前記台座フレーム（１）と前記測定テーブル（３）との間に空間（７）が形成されていることを特徴とする座標測定装置。
前記あぶみアーム（１６）は、前記第２の送り台（１２）の前記支持部（１４）に前記測定テーブル（３）から遠い方の側面において前記第３の方向に沿って移動可能に取り付けられる請求項１に記載の座標測定装置。
前記支持部（１４）におけるあぶみアーム（１６）の支持された端部は、あぶみアームの自由端（２２）に設けられた検知手段（５）とほぼ同じ高さに位置する請求項１または２に記載の座標測定装置。
前記位置決め機構（４）は、前記第２の送り台（１２）の前記前部（１５）が前記測定テーブル（３）の方向に完全に押し進められた位置にまで前記測定テーブル（３）の方向に動かすことが可能である請求項１乃至３のいずれか１項に記載の座標測定装置。
前記第２の送り台（１２）は、前記測定テーブル（３）の主作業面（９）にほぼ垂直に延びるとともに前記あぶみアーム（１６）の取り付け側の端部を変位可能に軸支するための部分ガイドレール（１７）が設けられた前記支持部（１４）と、前記第２の送り台（１２）の前記前部（１５）とによって形成されるほぼＬ字形状をなす部分を形成し、該前記前部（１５）は前記支持部（１４）に連結されるとともに主作業面（９）にほぼ平行に延び、該前部（１５）の一部を前記測定テーブル（３）と前記台座フレーム（１）との間に形成される前記空間（７）内に動かすことが可能である請求項１乃至４のいずれか１項に記載の座標測定装置。
前記第１の送り台（１０）は前記台座フレーム（１）に対して、かつ／または、前記第２の送り台（１２）は前記第１の送り台（１０）に対して、かつ／または、前記あぶみアーム（１６）は前記第２の送り台（１２）の前記支持部（１４）に対して、ころ軸受を有する部分ガイドレール（１１；１３；１７）によって第３の方向に沿って移動可能に取り付けられる請求項１乃至５のいずれか１項に記載の座標測定装置。
前記第１および第２の送り台（１０；１２）のそれぞれ、及び前記あぶみアーム（１６）は、互いに所定の間隔をおいた２本の部分ガイドレール（１１；１３；１７）によって案内される請求項１乃至６のいずれか１項に記載の座標測定装置。
部分ガイドレールにはそれぞれ駆動手段が付随し、該駆動手段は各部分ガイドレール（１１，１３，１７）間の中央において、各方向（Ｘ，Ｙ，Ｚ）に沿って変位可能な前記第１および第２の送り台（１０、１２）および前記あぶみアーム（１６）に作用する請求項７に記載の座標測定装置。
前記第１の送り台（１０）の、変位方向（Ｙ）に見た場合に前側となる端部には、前記第１の送り台（１０）から突出する連結要素（２３）であって、前記測定テーブル（３）に移送される物体、またはこの目的のための輸送機構に前記第１の送り台（１０）を一時的に連結するための連結要素（２３）が配される請求項６乃至８のいずれか１項の座標測定装置。
前記あぶみアーム（１６）は前記測定テーブル（３）の方向に向けて前記支持部（１４）の上方に突出する請求項２及び３乃至９のいずれか１項に記載の座標測定装置。
前記あぶみアーム（１６）は前記測定テーブル（３）の方向に向けて前記支持部（１４）の横方向に突出する請求項２及び３乃至９のいずれか１項に記載の座標測定装置。
前記あぶみアーム（１６）は、前記測定テーブル（３）の主作業面（９）にほぼ平行に延びる片持ちアーム（２０）を有し、該片持ちアーム（２０）には主作業面（９）にほぼ垂直に延びるとともに端部（２２）において検知手段（５）を有するアーム（２１）が連結されている請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の座標測定装置。
前記検知手段（５）は、アッドオンユニットとして、異なる検知手段が取り付けられるように構成された前記あぶみアーム（１６）のインタフェースに対して取り付け及び取り外しが可能な交換可能なモジュールとして構成される請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の座標測定装置。