JP5479855B2 - 切削装置及び切削方法 - Google Patents
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- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims description 139
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 36
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 76
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 39
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 31
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims description 9
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 32
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 12
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 9
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000007619 statistical method Methods 0.000 description 1
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Numerical Control (AREA)
- Dicing (AREA)
Description
このように、ワーク10の実カットを行う際に、加速度センサ25からの第2出力信号に基づいて二重積分波形データである実カットデータが生成される。より具体的には、実カットデータは、加速度センサ25からの第2出力信号に対して、ハイパスフィルタを用いた波形処理を行い、この波形処理で得られた信号を二重積分することにより生成される。
20 スピンドル
21 スピンドルモータ
22 ダイシングブレード(ブレード)
23 テーブル
24 テーブルモータ
25 加速度センサ
30 A/D変換器
40 制御部
50 記憶部
60 表示部
70 警報部
Claims (4)
- ワークを切削する切削方法であって、
前記ワークのテストカットを行う際に、スピンドルに取り付けられた加速度センサからの第1出力信号に基づいて基準データを生成する工程と、
前記ワークの実カットを行う際に、前記加速度センサからの第2出力信号に基づいて実カットデータを生成する工程と、
前記実カットデータが前記基準データの範囲から外れているか否かを判定する工程と、
前記実カットデータが前記基準データの範囲から外れている場合に警報を出力する工程と、を有し、
前記基準データ及び前記実カットデータは、前記加速度センサからの前記第1出力信号及び前記第2出力信号のそれぞれに対して、ハイパスフィルタを用いた波形処理を行い、該波形処理で得られた信号を時間で二階積分することにより生成される、ことを特徴とする切削方法。 - 前記警報を出力する工程の後、前記スピンドルの回転動作を停止させる工程を更に有することを特徴とする請求項1に記載の切削方法。
- ワークを切削する切削装置であって、
前記ワークを切削するブレードと、
前記ブレードを回転させるモータを備えたスピンドルと、
前記スピンドルの加速度を測定する加速度センサと、
前記加速度センサからの出力信号に基づいて警報を出力するように制御する制御部と、を有し、
前記制御部は、前記ワークのテストカットを行う際に前記加速度センサからの第1出力信号に基づいて基準データを生成し、
該ワークの実カットを行う際に該加速度センサからの第2出力信号に基づいて実カットデータを生成し、
前記実カットデータが前記基準データの範囲から外れているか否かを判定し、
前記実カットデータが前記基準データの範囲から外れている場合に前記警報を出力するように制御し、
前記基準データ及び前記実カットデータは、前記加速度センサからの前記第1出力信号及び前記第2出力信号のそれぞれに対して、ハイパスフィルタを用いた波形処理を行い、該波形処理で得られた信号を時間で二階積分することにより生成される、ことを特徴とする切削装置。 - 前記制御部は、前記警報を出力した後に前記スピンドルの回転動作を停止させることを特徴とする請求項3に記載の切削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009256789A JP5479855B2 (ja) | 2009-11-10 | 2009-11-10 | 切削装置及び切削方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009256789A JP5479855B2 (ja) | 2009-11-10 | 2009-11-10 | 切削装置及び切削方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011101908A JP2011101908A (ja) | 2011-05-26 |
JP5479855B2 true JP5479855B2 (ja) | 2014-04-23 |
Family
ID=44192495
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009256789A Active JP5479855B2 (ja) | 2009-11-10 | 2009-11-10 | 切削装置及び切削方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5479855B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108000334A (zh) * | 2017-12-06 | 2018-05-08 | 湖北中烟工业有限责任公司 | 切梗丝机砂轮耗尽检测及报警*** |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101383600B1 (ko) * | 2010-03-11 | 2014-04-11 | 주식회사 엘지화학 | 유리판 연마 상황을 모니터링하는 장치 및 방법 |
JP5404507B2 (ja) * | 2010-04-05 | 2014-02-05 | 三菱電機株式会社 | 補正パラメータ調整装置 |
JP2013035074A (ja) * | 2011-08-03 | 2013-02-21 | Disco Corp | 切削装置 |
US9421657B2 (en) * | 2011-09-14 | 2016-08-23 | Jtekt Corporation | Machining control apparatus and machining control method thereof |
JP5600668B2 (ja) * | 2011-12-28 | 2014-10-01 | 本田技研工業株式会社 | 鞍乗型電動車両の車体構造 |
KR101618470B1 (ko) | 2014-12-29 | 2016-05-04 | 현대위아 주식회사 | 가속도 센서를 이용한 공작기계 주축 감지 시스템 |
JP6925771B2 (ja) * | 2015-05-26 | 2021-08-25 | 株式会社ディスコ | 加工システム |
JP6695102B2 (ja) * | 2015-05-26 | 2020-05-20 | 株式会社ディスコ | 加工システム |
CN107533325B (zh) | 2016-03-16 | 2020-01-21 | 三菱电机株式会社 | 机械运动轨迹测定装置 |
JP6699930B2 (ja) * | 2016-04-07 | 2020-05-27 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP6625007B2 (ja) * | 2016-04-27 | 2019-12-25 | 株式会社ディスコ | 測定治具 |
KR102069718B1 (ko) * | 2018-02-28 | 2020-01-23 | 공주대학교 산학협력단 | 하이패스필터를 이용한 스핀들 감시 시스템 |
JP7051502B2 (ja) * | 2018-03-13 | 2022-04-11 | 株式会社ディスコ | 切削装置の振動を抑制する振動抑制方法 |
WO2019202784A1 (ja) | 2018-04-17 | 2019-10-24 | 本田技研工業株式会社 | 鞍乗型電動車両 |
JP7353798B2 (ja) * | 2018-05-29 | 2023-10-02 | Tdk株式会社 | 予備加工装置、加工装置および加工状態検出装置 |
JP2020113641A (ja) * | 2019-01-09 | 2020-07-27 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP2020179459A (ja) * | 2019-04-25 | 2020-11-05 | オムロン株式会社 | 研削砥石の状態判定方法および研削加工装置 |
JP7313214B2 (ja) * | 2019-07-09 | 2023-07-24 | サクラ精機株式会社 | 滅菌装置および洗浄装置 |
JP7377092B2 (ja) * | 2019-12-16 | 2023-11-09 | Towa株式会社 | 統計データ生成方法、切断装置及びシステム |
-
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---|---|---|---|---|
CN108000334A (zh) * | 2017-12-06 | 2018-05-08 | 湖北中烟工业有限责任公司 | 切梗丝机砂轮耗尽检测及报警*** |
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Publication number | Publication date |
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JP2011101908A (ja) | 2011-05-26 |
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