JP2018182178A - 加工装置の診断方法 - Google Patents
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Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
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- Dicing (AREA)
Abstract
Description
13 粘着テープ(ダイシングテープ)
15 フレーム
2 加工装置
4 基台
4a,4b,4c 開口
6 カセットエレベータ
8 カセット
10 X軸移動機構(加工送りユニット)
10a X軸移動テーブル
12 防塵防滴カバー
14 チャックテーブル(保持テーブル)
14a 保持面
16 クランプ
18 切削ユニット(加工ユニット)
20 支持構造
22 切削ユニット移動機構(割り出し送りユニット)
24 Y軸ガイドレール
26 Y軸移動プレート
28 Y軸ボールネジ
30 Z軸ガイドレール
32 Z軸移動プレート
34 Z軸ボールネジ
36 Z軸パルスモータ
38 スピンドルハウジング
40 スピンドル
42 切削ブレード(砥石工具)
44 ブレードカバー
46a 第1ノズル(加工液供給ユニット)
46b 第2ノズル(加工液供給ユニット)
46c 第3ノズル(加工液供給ユニット)
48a 第1供給路
48b 第2供給路
48c 第3供給路
50a 第1流量コントローラ(流量調整部)
50b 第2流量コントローラ(流量調整部)
50c 第3流量コントローラ(流量調整部)
52 加工液供給源
54 電流値検出ユニット
56 撮像ユニット
58 洗浄ユニット
60 制御ユニット
60a 閾値設定部
60b 診断部
60c 報知部
62 モニタ(報知ユニット)
Claims (2)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該被加工物を加工する砥石工具が装着されモータによって回転するスピンドルを備える加工ユニットと、流量調整部で流量が調整された加工液を該砥石工具に供給する加工液供給ユニットと、該モータの負荷電流値を検出する電流値検出ユニットと、オペレータに装置の情報を提供する報知ユニットと、各構成要素を制御する制御ユニットと、を備える加工装置の診断方法であって、
該加工ユニットで被加工物を加工する加工ステップと、
該加工ステップを実施する前、又は該加工ステップを実施した後に、正常に機能している該流量調整部で所定の流量に調整された該加工液を供給しつつ該スピンドルを所定の回転数で空転させた時の該負荷電流値に基づいて予め設定される閾値と、該所定の流量の加工液を供給するように該流量調整部を制御して該加工液を供給しつつ該スピンドルを該所定の回転数で空転させた時の該負荷電流値と、を比較した結果に応じて、該流量調整部を正常又は異常と診断する診断ステップと、
該診断ステップの診断結果を報知する報知ステップと、を備えることを特徴とする加工装置の診断方法。 - 加工ステップ及び診断ステップを実施する前に、該閾値を設定する閾値設定ステップを更に備えることを特徴とする請求項1に記載の加工装置の診断方法。
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JPH10329019A (ja) * | 1997-05-27 | 1998-12-15 | Nippei Toyama Corp | 研削装置 |
JP2009066708A (ja) * | 2007-09-13 | 2009-04-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置における加工水の確認方法及び確認装置 |
US20150183130A1 (en) * | 2013-12-27 | 2015-07-02 | Disco Corporation | Cutting apparatus |
-
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KR102513381B1 (ko) | 2021-04-15 | 2023-03-22 | 충남대학교산학협력단 | 멀티모달 센싱을 이용한 토크와 자세기반 로봇 교시법 |
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