JP5452965B2 - ポゴタワー電気チャネル自己検査式半導体試験システム - Google Patents
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Description
111 抵抗素子 112、114、116 伝送導線
113、115、117 駆動導線 12 伝送接点
13 駆動接点 14 接地端点
2 試験回路板 21 パラメータ検出ユニット
3 試験ヘッド 31 ロードボード
311 電源チャネル 312 伝送チャネル
313 駆動チャネル 32 ポゴタワー
321 電源ピン 322 伝送ピン
323 駆動ピン 4 自己検査コントローラ
5 メモリ 50 合格パラメータ
51 第1合格抵抗範囲 52 第2合格抵抗範囲
6 アラーム 7 電源供給モジュール
8 ベース 81 載置台
82 収容溝 9 試験機
a,b,c 位置 E1、E2 検査信号
V1 第1検査電圧 V2 第2検査電圧セット
V21 主電圧 V22 副電圧
R1、R2 応答信号 RE1、RE21、RE22 応答電流
R11 第1検査抵抗 R12 第2検査抵抗
Claims (3)
- ポゴタワー電気チャネル自己検査式半導体試験システムにおいて、
試験ヘッドであって、ロードボード及びポゴタワーを包含し、該ロードボードが複数の電源チャネル、複数の伝送チャネル、及び複数の駆動チャネルを具え、該ポゴタワーが該ロードボードに組み付けられ、該ポゴタワーが複数の電源ピン、複数の伝送ピン、及び複数の駆動ピンを包含し、該複数の電源ピンが該複数の電源チャネルに電気的に接続され、該複数の伝送ピンが該複数の伝送チャネルに電気的に接続され、該複数の駆動ピンが該複数の駆動チャネルに電気的に接続された、上記試験ヘッドと、
ショートボードであって、複数の電源接点、複数の伝送接点、複数の駆動接点、及び複数の接地端点が配設され、該ポゴタワーの該複数の電源ピンが該複数の電源接点に対応して電気的に接続され、該複数の電源接点が複数の抵抗素子を通して該複数の接地端点に電気的に接続され、該複数の伝送ピンが該複数の伝送接点に対応し電気的に接続され、各二つの伝送接点の間が伝送導線で電気的に接続され、該複数の駆動ピンが該複数の駆動接点に対応し電気的に接続され、各二つの駆動接点の間が駆動導線で電気的に接続されている、上記ショートボードと、
複数のパラメータ検出ユニットであって、該ロードボードの該複数の電源チャネル、該複数の伝送チャネル、及び該複数の駆動チャネルに電気的に接続された、上記複数のパラメータ検出ユニットと、
自己検査コントローラであって、該ショートボードの該複数の電源チャネル、該複数の伝送チャネル、該複数の駆動チャネル、及び該複数のパラメータ検出ユニットにそれぞれ電気的に接続され、該自己検査コントローラは異なる検査信号を各該電源チャネル、各該伝送チャネル、及び各該駆動チャネルに入力し、該複数のパラメータ検出ユニットが各該電源チャネル、各該伝送チャネル、及び各該駆動チャネルが上述の検査信号を受けて発生する応答信号を検出し並びにそれを出力する、上記自己検査コントローラと、
メモリであって、該メモリは該自己検査コントローラに電気的に接続され、該メモリ内に一組の合格パラメータが保存され、該自己検査コントローラが該応答信号をキャプチャし並びに該メモリ内の該一組の合格パラメータと対比して符合しない時、対応するアラーム信号を出力する、上記メモリと、
を包含し、該一組の合格パラメータは第1合格抵抗範囲、及び第2合格抵抗範囲を包含し、該第1合格抵抗範囲は該抵抗素子の許容範囲に対応し、該第2合格抵抗範囲は該半導体試験システムのシステム抵抗の許容範囲に対応し、
該検査信号は第1検査電圧、及び第2検査電圧セットを包含し、該第2検査電圧セットは二つの異なる検査電圧を包含し、
該自己検査コントローラは該第1検査電圧を各該電源チャネルに入力し、該複数のパラメータ検出ユニットが各該電源チャネルが該第1検査電圧を受けて発生する応答電流を検出し並びに該自己検査コントローラの演算により第1検査抵抗を求め、該自己検査コントローラが該第1検査抵抗を該メモリに保存された該第1合格抵抗範囲と対比し、
該自己検査コントローラが該第2検査電圧セットを該複数の伝送チャネル、及び該複数の駆動チャネルに入力し、該複数のパラメータ検出ユニットが各該伝送チャネル、及び各該駆動チャネルが該第2検出電圧セットを受けて発生する応答電流を検出し並びに該自己検査コントローラの演算により第2検出抵抗を求め、該自己検査コントローラが該第2検出抵抗を該メモリに保存された該第2合格抵抗範囲と対比し、
該自己検査コントローラは該二つの異なる検査電圧を該複数の伝送チャネルの二つの特定伝送チャネルに入力し、該二つの特定伝送チャネルは二つの特定伝送ピンに電気的に接続され、該二つの特定伝送ピンは該ショートボード上の該伝送導線で電気的に接続された該複数の伝送接点の二つの伝送接点に対応し、該複数のパラメータ検出ユニットは該二つの特定伝送チャネルが該二つの異なる検査電圧を受けて発生する応答電流を検出し、並びに該自己検査コントローラの演算により第2検査抵抗を求め、該自己検査コントローラは該第2検査抵抗を該メモリに保存された該第2合格抵抗範囲と対比することを特徴とする、ポゴタワー電気チャネル自己検査式半導体試験システム。 - 請求項1記載のポゴタワー電気チャネル自己検査式半導体試験システムにおいて、該第2検査電圧セットは二つの異なる検査電圧を包含し、
該自己検査コントローラは該二つの異なる検査電圧を該複数の駆動チャネルの二つの特定駆動チャネルに入力し、該二つの特定駆動チャネルは二つの特定駆動ピンに電気的に接続され、該二つの特定駆動ピンは該ショートボード上の該伝送導線で電気的に接続された該複数の駆動接点の二つの駆動接点に対応し、該複数のパラメータ検出ユニットは該二つの特定駆動チャネルが該二つの異なる検査電圧を受けて発生する応答電流を検出し、並びに該自己検査コントローラの演算により第2検査抵抗を求め、該自己検査コントローラは該第2検査抵抗を該メモリに保存された該第2合格抵抗範囲と対比することを特徴とする、ポゴタワー電気チャネル自己検査式半導体試験システム。 - 請求項1記載のポゴタワー電気チャネル自己検査式半導体試験システムにおいて、中央サーバーをさらに包含し、該中央サーバーはネットワークを通して該自己検査コントローラと電気的に接続され、該自己検査コントローラは該応答信号をキャプチャし並びに該ネットワークを通してそれを該中央サーバー内に保存することを特徴とする、ポゴタワー電気チャネル自己検査式半導体試験システム。
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