JP5447269B2 - パワー半導体モジュールの試験方法 - Google Patents

パワー半導体モジュールの試験方法

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Description

この発明は、パワー半導体モジュールに関し、特に、インバータ回路などが搭載され、この回路を構成するパワー素子の主端子間に流れる漏れ電流を正確に測定できるパワー半導体モジュールおよびその試験方法に関する。
図13は、3相のインバータ回路図である。このインバータ回路51は、図示しない直流電源と、この直流電源の高電位側に接続するP端子8と、低電位側に接続するN端子9と、P端子8とN端子9に接続するU相、V相、W相の3相の上下アーム、図示しない負荷と接続し上下アームの接続点a,b,cに接続する出力端子であるU端子10、V端子11、W端子12で構成される。各アームは、例えば、IGBT4a,4bとこれと逆並列に接続するFWD5a,5bで構成される。また、直流電源には直流電圧を検出する電圧検出回路を構成する分圧回路23は、直列接続された分圧抵抗24からなり、N端子9と接続する分圧抵抗24の電圧を検出することで、電源電圧を検出している。パワー半導体モジュール500はインバータ回路51を搭載し、分圧回路23、上下アームを構成するIGBT4a,4b,FWD5a,5b、P端子8、N端子9および出力端子であるU端子10、V端子11およびW端子12と、分圧回路23を含む図示しない電源電圧検出回路や制御回路などで構成される。
このインバータ回路51の各アームを構成するIGBT4a,4bとFWD5a,5bはインバータ回路51に組まれた後、組立作業でこれらの素子が劣化していないか否かを判定し、素子が劣化している場合には、そのパワー半導体モジュール500を出荷しないなどの措置をとっている。
図14は、パワー半導体モジュール500のIGBTとFWDの漏れ電流を測定するときの回路図である。これはインバータ回路51と分圧回路23が搭載されたパワー半導体モジュール500を示した回路図である。パワー半導体モジュール500は分圧回路23を搭載しており、図14に示すように、漏れ電流測定回路60を、例えば、U端子10とN端子9の間に挿入すると、点線で示すように、上アームのIGBT4aとFWDおよび分圧回路23を通って流れる電流I5(数100μA程度)が発生する。この電流I6は、被測定素子である下アームのIGBT4bとFWD5bの主端子間に流れる漏れ電流I1と他アームの回り込みの漏れ電流I2,I3を合せた合計の電流I4(nA程度)に比べて105倍以上大きいために、従来はこれらを合せた電流I6が規定値以上になったときにパワー半導体モジュール50が不良であると判定し、出荷を停止していた。
特許文献1には、インバータ回路を構成する各アームの素子の漏れ電流を測定できる方法が開示されている。
特許文献1において、3相のインバータ回路の入力端子であるP端子とN端子にバイアス電圧印加装置を接続し、インバータ回路の入力端子(P端子またはN端子)と出力端子(例えば、U端子)の間に測定電圧印加装置を接続する。バイアス電圧V0>測定電圧V1とすることで、被測定素子の漏れ電流に他アームに回り込む電流が合流するのを排除することができて、正確な漏れ電流を測定することができる。この特許文献1では、インバータ回路の各アームを構成する素子の主端子間に流れる漏れ電流を正確に測定できる方法を提供している。
また、特許文献2では、インバータ回路を構成するMOSFETのゲート・ソース間の漏れ電流を測定する方法が開示されている。
また、特許文献3では、ビスの締め忘れ箇所を瞬時に識別できる回路基板が開示されている。
また、特許文献4では、操作キーが設けられてたパネルの裏面側にプリント配線基板をネジ締めする構成において、ネジ部材の締め忘れを防止できる電子レンジについて開示されている。
特開2008−281405号公報 特開2007−24512号公報 特開2007−299851号公報 特開平8−233286号公報
しかし、前記の特許文献1では、漏れ電流を正確に測定するためには、測定電圧印加装置の他にバイアス電圧印加装置が必要となり、回路が複雑であり、装置コストが高くなる。
また、特許文献2では、ゲートの漏れ電流を測定する回路については記載されているが、MOSFETのドレイン・ソース間の漏れ電流を正確に測定することについては説明されていない。
また、特許文献3、4では、ビスの締め忘れ防止について開示されているが、インバータ回路のアームを構成する素子の主端子間の漏れ電流測定については記載されていない。
この発明の目的は、前記の課題を解決して、電圧検出回路を有するインバータ回路を搭載したパワー半導体モジュールにおいて、測定電圧のみを印加することで、インバータ回路の上下アームを構成する素子に流れる漏れ電流を簡便に正確に測定できるパワー半導体モジュールおよびその試験方法を提供することにある。
前記の目的を解決するために、特許請求の範囲の請求項1に記載の発明によれば、電源電圧を検出する電圧検出回路と、インバータ回路と、電源の高電位側に接続し前記インバータ回路の入力端子となるP端子と、電源の低電位側に接続し前記インバータ回路の入力端子となるN端子と、前記電圧検出回路を構成し前記P端子と前記N端子との間に接続される分圧回路と、前記インバータ回路の出力端子と、を具備し、前記分圧回路は、プリント基板に搭載され、前記分圧回路の一端を導出する前記プリント基板上の配線パターンが、導電性の接続部材を介して前記P端子に接続されることを特徴とするパワー半導体モジュールの試験方法において、前記分圧回路が搭載されたプリント基板の、前記分圧回路の一端を導出する配線パターンと前記P端子との接続を分離した状態で、前記インバータ回路の出力端子と前記インバータ回路の一方の入力端子との間に試験用の直流電圧を印加し、前記スイッチ素子がすべてオフ状態であるときに、前記インバータ回路の出力端子と前記入力端子との間に流れる漏れ電流を検出し、この漏れ電流検出値が所定値以内のパワー半導体モジュールを良品と判定し、前記配線パターンと前記P端子とを導電性の接続部材を介して接続する。
また、特許請求の範囲の請求項2に記載の発明によれば、電源電圧を検出する電圧検出回路と、インバータ回路と、電源の高電位側に接続し前記インバータ回路の入力端子となるP端子と、電源の低電位側に接続し前記インバータ回路の入力端子となるN端子と、前記電圧検出回路を構成し前記P端子と前記N端子との間に接続される分圧回路と、前記インバータ回路の出力端子と、を具備し、前記分圧回路は、プリント基板に搭載され、前記プリント基板に配置される配線パターンのうち、前記分圧回路の経路に配線パターンの切断箇所を設け、該切断箇所を金属性もしくは抵抗性の接続部材を介して接続することを特徴とするパワー半導体モジュールの試験方法において、前記分圧回路の経路の配線パターンが切断された状態で、前記インバータ回路の出力端子と前記インバータ回路の一方の入力端子との間に試験用の直流電圧を印加し、前記スイッチ素子がすべてオフ状態であるときに、前記インバータ回路の出力端子と前記入力端子との間に流れる漏れ電流を検出し、この漏れ電流検出値が所定値以内のパワー半導体モジュールを良品と判定し、前記配線パターン切断箇所を前記接続部材によって接続する。
この発明によれば、インバータ回路の直流入力端子間に電圧検出回路を有するパワー半導体モジュールにおいて、分圧回路をインバータ回路から切り離すことができる。そして、インバータ回路の上下アームを構成する素子の漏れ電流を簡便に正確に測定できる。
また、切り離しを分圧回路が搭載されたプリント基板をケースに固定するネジを外すことで行なうことで、簡単に切り離し作業とその後の結線作業を行なうことができる。
また、切り離し箇所をプリント基板に形成された分圧回路に繋がる配線に設け、切り離しをネジを用いたり、分圧抵抗の一つを用いることで、簡単に切り離し作業とその後の結線作業を行なうことができる。
前記の作業を簡便にすることで、この作業によるコストアップを抑制できる。
この切り離し作業後の漏れ電流の測定で、漏れ電流が規定値以内に入っている場合は、ネジを締め直すなどして製品を完成させて、出荷することができる。
また、製品完成後にも簡単な方法で分圧回路が切り離せ、正確な漏れ電流測定ができる。
この発明の第1実施例のパワー半導体モジュールの要部平面図である。 この発明の第1実施例のパワー半導体モジュールのプリント基板の要部平面図である。 図1をA方向から見た内部の側断面図である。 P端子とN端子の構成図であり、(a)はP端子の要部平面図、(b)は(a)の正面図、(c)はN端子の要部平面図、(d)は(c)の正面図である。 出力端子の構成図であり、(a)は要部平面図、(b)は同図(a)のX−X線で切断した要部断面図である。 図1のB部および図2のC部の詳細図であり、(a)はB部の要部平面図、(b)は(a)のX−X線で切断した要部断面図、(c)は図2のC部の拡大図である。 パワー半導体モジュールに搭載されるインバータ回路図である。 このパワー半導体モジュール100のIGBT、FWDの漏れ電流を測定する方法を説明した図である。 この発明の第2実施例のパワー半導体モジュールの要部平面図である。 この発明の第2実施例のパワー半導体モジュールのプリント基板の要部平面図である。 図10のD部の拡大図である。 この発明の第3実施例のパワー半導体モジュール300a、300bの要部平面図であり、(a)は、ネジ部を分圧抵抗で接続した場合、(b)はネジ部を導電バーで接続した場合の図である。 3相のインバータ回路図である。 パワー半導体モジュール500のIGBTとFWDの漏れ電流を測定するときの回路図である。
実施の形態を以下の実施例で説明する。
図1〜図6は、この発明の第1実施例のパワー半導体モジュールの構成図であり、図1は要部平面図、図2はプリント基板の要部平面図、図3は図1を矢印Aの方向から見た内部の側断面図である。図4はP端子とN端子の構成図であり、同図(a)はP端子の要部平面図、同図(b)は同図(a)を矢印Bの方向から見た正面図、同図(c)はN端子の要部平面図、同図(d)は同図(c)を矢印Cの方向から見た正面図である。図5は、出力端子の構成図であり、同図(a)は要部平面図、同図(b)は同図(a)のX−X線で切断した要部断面図である。図6は図1のB部および図2のC部の詳細図であり、同図(a)はB部の要部平面図、同図(b)は同図(a)のX−X線で切断した要部断面図、同図(c)C部の拡大図である。また、図7は、図1〜図3に記載のパワー半導体モジュール100の等価回路図である。
このパワー半導体モジュール100は3相のインバータ回路50とインバータ回路を構成するIGBT(絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ)を制御する制御回路22で構成されている。制御回路22は、プリント基板21に搭載されている。また、プリント基板21には電源電圧を検出するための回路として、分圧抵抗23,24からなる分圧回路と電圧検出回路25も搭載されている。尚、IGBTの代わりにMOSFETを用いる場合もある。
図1に示すように、一つのアームを構成する導電パターン3は、第1導電パターン3a〜第9導電パターン3iの9個からなる。これらの導電パターン3は、図3に示すように、放熱板1上に固着された導電パターン付絶縁基板2上に形成されている。導電パターン3は、インバータ回路の上アームを構成する4個の導電パターン3a〜3dと同じく下アームの一つを構成する4個の導電パターン3e〜3hおよび出力端子が引き出される導電パターン3iからなる。なお、ここでは説明の重複を省くためにインバータ回路の1相分について説明するが、各相においても同様に構成されている(以下においても同様)。
第1導電パターン3aには上アームのIGBT4aのコレクタとこのIGB4aと逆並列接続するFWD5a(還流ダイオード)のカソードが固着している。第2導電パターン3bには第1導電パターン3aと接続するワイヤ6aが固着し、第3導電パターン3cには、IGBT6aのゲートと接続するワイヤ6cが固着し、第4導電パターン4dにはIGBT6aのエミッタと接続するワイヤ6dが固着する。
第5導電パターン3eには下アームのIGBT4bのコレクタとこのIGB4bと逆並列接続するFWD5bのカソードが固着している。第6導電パターン3fにはIGBT4bのエミッタとこのIGB4bと逆並列接続するFWD5bのアノードが接続するワイヤ7bが固着し、第7導電パターン3gには、IGBT4bのゲートと接続するワイヤ7cが固着し、第8導電パターン3hにはIGBT4bのエミッタと接続するワイヤ7dが固着する。
また、第9導電パターン3iには、IGBT4aのエミッタとこのIGB4aと逆並列接続するFWD5aのアノードを接続するワイヤ6bが固着し、また、第5導電パターン3eと接続するワイヤ7aが固着している。
第2導電パターン3bには、インバータ回路50の図示しない電源の高電位側に接続するP端子8が接続し、第6導電パターン3fには、インバータ回路50の電源の高電位側に接続するN端子9が接続する。また、第9導電パターン3iには、出力端子(U端子10、V端子11、W端子12)が固着する。
第3、第4導電パターン3c、3dおよび第7、第8導電パターン3g、3hは、制御端子13に接続する。
図3に示すように、放熱板1にはケース14を構成する枠15が固着し、この枠15は導電パターン付絶縁基板2を取り囲んでいる。また、この枠15には端子台16が埋め込まれている。この端子台16は、後述のプリント基板21上の配線パターンに接続される第1支柱16a、P端子8に接続される第2支柱16b、第1,第2支柱を接続する支持台16cで構成される。端子台16は、第1,第2支柱を電気的に接続する導電性の部材で構成される。後述するように、第1,第2支柱にはネジ止めを行なうため、例えば銅や銅合金のような、剛性と導電性を備えた汎用的な金属材料で形成される。
第1支柱16aと第2支柱16bの少なくとも最上部(台座部)は枠15から露出している。枠15を樹脂成形によって構成する際に、第1支柱16aと第2支柱16bの最上部(台座部)を樹脂成形の型枠で覆い、支持台16cを型枠内に露出させることにより、端子台16の露出部以外の部分が樹脂内に埋め込まれた枠15を得ることができる。このように、枠15に端子台16を一体に成形することで、端子台16を枠15の所定位置に固定することができる。また、枠15の上はケース14を構成する図示しない蓋で塞がれている。
この枠15上にはプリント基板21が固定される。。図2に示すように、プリント基板21には、IGBT4の制御回路22、分圧回路23、分圧回路23の分圧抵抗24に発生する電圧により電源電圧を検出する検出回路25が搭載される。また、電圧検出回路25には分圧回路23からの電圧が入力される。また、配線パターン28には、分圧回路23をP端子8に接続するための導出部27が形成される。
図3に示すように、制御端子13はピン形状をしており、プリント基板21のスルーホールを貫通して導電パターン付き絶縁基板2とプリント基板21とを接続する。この接続によって、分圧回路23のN端子側(電源の低電位側)の接続も完了する。
配線パターン28に設けられた導出部27はその中央部分にネジ孔を有している。そして、後述の漏れ電流試験を行なった後、良品と判定された製品については、配線パターン28の導出部27のネジ孔にネジ29を挿入し、ネジ29を第1支柱16aのネジ孔30に羅合する(締め付ける)。ネジ29でプリント基板21を第1支柱16aに固定することで、プリント基板21の配線パターン28は、導出部27,ネジ29を介して第1支柱aに電気的に接続され、支持台16cを介して第2支柱16bに接続されたP端子8に接続される。このようにして、分圧回路23はP端子8とN端子との間に接続されることになる。
上記の例では、プリント基板21の導出部27とP端子8とは、それぞれ第1支柱16a,第2支柱16bに接続固定されたがこれに限らない。例えば、1つの支柱上にP端子8とプリント基板21とをスペーサを介して重ね、1つのネジで共締めし、このネジを介してプリント基板21の導出部27とP端子8とを接続する構成としてもよい。
また、プリント基板21の導出部27とP端子8との接続にネジを用いたがこれに限らない。例えば、導出部27のネジ孔にビスを挿入し、支柱にかしめてもよい。ただし、パワー半導体モジュールの故障原因の解析など、再び分圧回路を取り外す場合には、導出部27とP端子8との接続にネジを用いた方が簡便となる。
なお、図1の例では、第2支柱16bとP端子8との接続は、図4に示すように、P端子8と一体加工で形成された補助端子8aを、第2支柱16bにネジ止めすることで行なっている。
図7は、パワー半導体モジュールに搭載されるインバータ回路図である。このインバータ回路50は3相のインバータ回路である。このインバータ回路50は、図示しない電源の高電位側に接続するP端子8と、低電位側に接続するN端子9と、P端子8に接続する上アームのIGBT4aおよびFWD5aとからなる。また、N端子9に接続する下アームのIGBT4bおよびFWD5bと、上アームと下アームの接続点a,b,cに接続する出力端子(U端子10、V端子11、W端子12)からなる。また、、P端子8とN端子9の間には分圧回路23が接続され、P端子8と分圧回路23の間の配線パターン28にはネジ部27が設けられ、このネジ部27のネジ29の脱着により、P端子8と分圧回路23の切り離しと結線が行なわれる。
次に、上述したパワー半導体モジュール100のインバータ回路を構成する半導体素子(IGBT,FWD)の漏れ電流を測定する方法について説明する。
図8は、このパワー半導体モジュール100のIGBT、FWDの漏れ電流を測定する方法を説明した図である。
まず、導出部27にネジ29を締結する前の、分圧回路23がP端子8から切り離された状態で、U端子10が正電位、N端子9が負電位になるように漏れ電流測定回路31を接続する。漏れ電流測定回路31は、内部に試験用の直流電源32を備え、図示の極性でインバータ回路50の各アームに直流電圧を印加する。このときインバータ回路を構成するIGBTはすべてオフ状態である。
次に、漏れ電流測定回路31の電流メータ33で電流を測定する。このとき、プリント基板の導出部27はネジで29で第1支柱16aに接続されていないため、分圧回路23は、インバータ回路の直流入力端子であるP端子8とN端子9との間には接続されていないため、直流電源32から分圧回路23を介して電流が流れることがない。
図8の接続では、印加された各アームには、図示矢印の経路で漏れ電流36,37,38が流れる。これらの漏れ電流36,37,38の合計の漏れ電流40を電流メータ33で測定する。
この漏れ電流40の大きさが規定値以内の場合、図示の経路での漏れ電流が規定値以内と判定する。図8は、直流電源32をN端子9とインバータ回路のU相の出力端子との間に接続したが、他の経路についても漏れ電流の以上がないかを試験するため、N端子9とインバータ回路の他の出力端子(V相,W相)間、P端子8とインバータ回路の出力端子(U相,V相,W相)間について、それぞれ漏れ電流の測定を行なう。すべての経路(例えば6通りの接続)について漏れ電流の異常がないと判定されるとそのパワー半導体モジュール100は良品であると判定する。良品と判定されたパワー半導体モジュールは、導出部27のネジ29を固定して、分圧回路23をP端子8に接続し、パワー半導体モジュール100を完成させる。
一旦ネジ29を固定した後は、通常の使用では分圧回路を再度分離することはないので、ロックペイントなどを塗布するなどして振動などでネジ29が緩むのを防止するとよい。
もし、この漏れ電流40の大きさが規定値を超えた場合、パワー半導体モジュール100を不良と判定して、出荷を停止する。
前記したように、電圧検出回路25を有するインバータ回50路を搭載したパワー半導体モジュール500において、分圧回路23を切り離すことで、インバータ回路50の上下アームを構成する素子(IGBT4a,4b,FWD5a,5b)に流れる漏れ電流を簡便に正確に測定できる。
また、切り離しを分圧回路23が搭載されたプリント基板21をケース14に固定するネジ29を外すことで行なうことで、簡単に切り離し作業とその後の結線作業を行なうことができる。
前記の作業を簡便にすることで、この作業によるコストアップを抑制できる。
この切り離し作業後の漏れ電流の測定で、漏れ電流が規定値以内に入っている場合は、ネジ29を締め直すなどして製品を完成させて、出荷することができる。
また、製品完成後にも簡単な方法で分圧回路23が切り離せ、正確な漏れ電流測定ができる。
また、特許文献1の方法と比べて、バイアス電圧印加装置が不要なため、設備費用が安く漏れ電流の測定も簡便である。
図9〜図11は、この発明の第2実施例のパワー半導体モジュールの構成図であり、図9は要部平面図、図10はプリント基板の要部平面図、図11は図10のD部の拡大図である。第3配線パターン3cの隣に距離を置いて第10配線パターン3jを設ける。この第10配線パターン3jと第1配線パターン3aをワイヤ6eで接続する。第10配線パターン3jと配線パターン28は制御端子13aを経由して接続している。第1導電パターン3aは、ワイヤ6aを介して第2導電パターン3bに接続し、第2導電パターン3bはP端子8に接続する。つまり、配線パターン28はP端子8に接続している。
この例では、配線パターン28は、P端子(制御端子13a)寄りの箇所に、配線パターンの切断箇所31を設けている。そして、ネジ29はプリント基板21を指示する支柱16dのネジ穴30aに挿入して固定する。切断箇所31で切断された配線パターン28は、ネジ29により相互に接続され、分圧回路23がP端子に接続される。
このパワー半導体モジュール200のIGBT、FWDの漏れ電流を測定する方法は図8と同じである。また、第1実施例と同様の効果が得られる。
支柱16dは、絶縁性の部材で形成すればよい。導体パターン付絶縁基板の空き領域に形成してもよいし、枠15に設けてもよい。
図12は、この発明の第3実施例のパワー半導体モジュール300a、300bの要部平面図である。図11と同様に、第3配線パターン3cの隣に距離を置いて第10配線パターン3jを設ける。この第10配線パターン3jと第1配線パターン3aをワイヤ6eで接続する。第10配線パターン3jと配線パターン28は制御端子4を経由して接続している。第1導電パターン3aは、ワイヤ6aを介して第2導電パターン3bに接続し、第2導電パターン3bはP端子8に接続する。つまり、配線パターン28はP端子8に接続している。
この例では、配線パターン28は、P端子(制御端子13a)寄りの箇所に、配線パターンの切断箇所32を設けている。同図(a)は、切断箇所32を抵抗素子24で接続したものである。つまり、分圧回路を構成する抵抗素子のうちの1つを接続部材として用い切断箇所を接続している。
また同図(b)は切断箇所32を導電バーで接続している。図11との違いは、ネジ29の代わりに導電バー42で配線パターン28を接続している。
このパワー半導体モジュール300a,300bのIGBT、FWDの漏れ電流を測定する方法は図8と同じである。また、第1実施例と同様の効果が得られる。
そして、漏れ電流試験を完了した後に、抵抗素子41もしくは導電パー42をはんだ付けもしくは導電性接着剤などで接合して、切断箇所32を接続する。
なお、上記の各実施形態において、電圧検出回路の分圧回路をP端子とN端子との間に接続するにあたり、分圧回路のN端子側を先に接続し、分圧回路のP端子側を切り離した状態で漏れ電流試験を行なっている。これは、分圧抵抗23,24と電圧検出回路25に試験用の電圧が印加される状態となるのを避けるためである。
すなわち、分圧回路のP端子側を先に接続し、分圧回路のN端子側を切り離した状態で、漏れ電流試験のためにインバータの出力端子と直流入力端子(P端子)との間に試験用の電圧を印加すると、分圧抵抗23,24と電圧検出回路25に試験用の電圧が印加される状態となる。このように、分圧抵抗23,24と電圧検出回路25に試験用の電圧が印加されると、インバータ回路の下アーム側を構成するIGBTの制御回路22などの低圧側と、分圧回路のN端子側との試験用の電圧が加わるので、プリント基板上のパターンで上記の電圧に対して絶縁を保てる沿面距離を確保しなければならない。
このように、プリント基板上のパターンで沿面距離を確保し、基板を大きくすることはコスト上昇の要因となる。
分圧回路のP端子側を切り離す構成とすることにより、漏れ電流試験のためだけに基板面積を増大、コスト上昇を避けることができる。
1 放熱板
2 導電パターン付絶縁基板
3a 第1導電パターン
3b 第2導電パターン
3c 第3導電パターン
3d 第4導電パターン
3e 第5導電パターン
3f 第6導電パターン
3g 第7導電パターン
3h 第8導電パターン
3i 第9導電パターン
3j 第10導電パターン
4a,4b IGBT
5a,5b FWD
6a,6b,6c,6d,6e,7a,7b,7c,7d ワイヤ
8 P端子
8a 補助端子
9 N端子
10 U端子
11 V端子
12 W端子
13,13a 制御端子
14 ケース
15 枠
16 端子台
16a 第1支柱
16b 第2支柱
16c 支持台
21 プリント基板
22 制御回路
23、24 分圧抵抗
25 電圧検出回路
26 CPU
27 導出部
28 配線パターン
29 ネジ
30 ネジ穴
31 漏れ電流測定回路
32 電源
33 電流メータ
36,37,38、40 漏れ電流
a,b,c 接続点

Claims (2)

  1. 電源電圧を検出する電圧検出回路と、インバータ回路と、
    電源の高電位側に接続し前記インバータ回路の入力端子となるP端子と、電源の低電位側に接続し前記インバータ回路の入力端子となるN端子と、前記電圧検出回路を構成し前記P端子と前記N端子との間に接続される分圧回路と、前記インバータ回路の出力端子と、を具備し、
    前記分圧回路は、プリント基板に搭載され、前記分圧回路の一端を導出する前記プリント基板上の配線パターンが、導電性の接続部材を介して前記P端子に接続されることを特徴とするパワー半導体モジュールの試験方法において、
    前記分圧回路が搭載されたプリント基板の、前記分圧回路の一端を導出する配線パターンと前記P端子との接続を分離した状態で、前記インバータ回路の出力端子と前記インバータ回路の一方の入力端子との間に試験用の直流電圧を印加し、前記スイッチ素子がすべてオフ状態であるときに、前記インバータ回路の出力端子と前記入力端子との間に流れる漏れ電流を検出し、この漏れ電流検出値が所定値以内のパワー半導体モジュールを良品と判定し、前記配線パターンと前記P端子とを導電性の接続部材を介して接続することを特徴とするパワー半導体モジュールの試験方法。
  2. 電源電圧を検出する電圧検出回路と、インバータ回路と、
    電源の高電位側に接続し前記インバータ回路の入力端子となるP端子と、電源の低電位側に接続し前記インバータ回路の入力端子となるN端子と、前記電圧検出回路を構成し前記P端子と前記N端子との間に接続される分圧回路と、前記インバータ回路の出力端子と、を具備し、
    前記分圧回路は、プリント基板に搭載され、前記プリント基板に配置される配線パターンのうち、前記分圧回路の経路に配線パターンの切断箇所を設け、該切断箇所を金属性もしくは抵抗性の接続部材を介して接続することを特徴とするパワー半導体モジュールの試験方法において、
    前記分圧回路の経路の配線パターンが切断された状態で、前記インバータ回路の出力端子と前記インバータ回路の一方の入力端子との間に試験用の直流電圧を印加し、前記スイッチ素子がすべてオフ状態であるときに、前記インバータ回路の出力端子と前記入力端子との間に流れる漏れ電流を検出し、この漏れ電流検出値が所定値以内のパワー半導体モジュールを良品と判定し、前記配線パターン切断箇所を前記接続部材によって接続することを特徴とするパワー半導体モジュールの試験方法。
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