JP2010087072A - パワー半導体モジュールおよびこれを用いたインバータシステム - Google Patents
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Abstract
高温環境下での動作安定性と高電流負荷にも耐えうる半導体モジュールおよびこれを用いたインバータシステムを提供する。
【解決手段】
本発明のパワー半導体モジュールは、電極表面にNi層が形成された半導体素子と金属製導体パターンと前記半導体素子と前記導体パターンを接合したはんだとを備え、前記はんだの組成比がSn−3wt%Cu〜Sn−10wt%Cuであり、前記半導体素子とはんだとの界面付近に形成された金属間化合物の厚さが、6μm〜50μmであることを特徴とするパワー半導体モジュール。
【選択図】図1
Description
図1を使用して第一の実施例について詳細に説明する。50kWクラスの水冷3相インバータに適用される、3相IGBTモジュールの実施例である。
本ワイヤの線経は400μmφである。アルミワイヤ10,11,12は、全本数でなく、代表的なワイヤのみを表現している。本パワー半導体搭載窒化ケイ素基板5と銅ベース8は、融点210℃以上のSn−Cu系等のPbレスはんだで接着されている。はんだ厚は約0.18mmである。窒化ケイ素基板5と主端子13はメタルボンディングによる超音波接合がなされている。制御端子用電極12との接続も同じくアルミワイヤ9で行われる。このワイヤの線経は400μmφである。アルミワイヤ10,11は、半導体素子表面にボンディングされるため、低ダメージに配慮する必要があり、ボンディング条件の適正化が必要不可欠である。
図3(a)および図3(b)は、素子/はんだ界面の×1000倍および×3000倍で観察したものである。また、図4(a)および図4(b)は、はんだ/導体層界面の×1000倍および×3000倍で観察したものである。図3(a)および図4(a)より金属間化合物の厚さと生成量を、また、図3(b)よりNiメタライズの残存厚さを測定する。
また、Niメタライズ層の残存厚さは、0.1μm以上であることが望ましい。
2 FWD素子
3 素子下接着層
4 表面の導体層
5 絶縁体
6 裏面の導体層
7 裏面の導体層下接着層
8 銅製フィン・ベース
9,10,11 アルミワイヤ
12 制御端子用電極
13 主端子用電極
14 PPS樹脂ケース
15 Alダイカスト製冷却ジャケット
16 Oリング
17 締結用ボルトネジ
18 給水口
Claims (10)
- 電極表面にNi層が形成された半導体素子と金属製導体パターンと前記半導体素子と前記導体パターンを接合したはんだとを備えるパワー半導体モジュールにおいて、
前記はんだの組成比がSn−3wt%Cu〜Sn−10wt%Cuであり、前記半導体素子とはんだとの界面付近に形成された金属間化合物の厚さが、6μm〜50μmであることを特徴とするパワー半導体モジュール。 - 請求項1に記載のパワー半導体モジュールにおいて、
前記半導体素子とはんだとの界面に対して垂直断面での該金属間化合物の面積比が20%〜100%の範囲にあることを特徴とするパワー半導体モジュール。 - 請求項1に記載のパワー半導体モジュールにおいて、
前記Ni層のはんだ接合後の残存量が、0.1μm以上であることを特徴とするパワー半導体モジュール。 - 請求項1に記載のパワー半導体モジュールにおいて、
前記半導体素子の表面に形成したNi層の厚さが、0.1μm〜10μmであることを特徴とするパワー半導体モジュール。 - 請求項1に記載のパワー半導体モジュールにおいて、パワー半導体モジュールへの通電量が400A以上であることを特徴とするパワー半導体モジュール。
- 絶縁基板の一方の面に導体パターン、他方の面に裏面導体層が形成された配線基板と、前記導体パターンに搭載され、電流をスイッチングするパワー半導体素子と、前記裏面導体層の表面に配置された金属ベースとを備えるパワー半導体モジュールにおいて、
前記パワー半導体素子の電極表面にNi層が形成され、
前記電極と前記導体パターンとが、組成比がSn−3wt%Cu〜Sn−10wt%Cuのはんだにより接合され、
前記はんだと前記電極との界面付近に形成された金属間化合物の厚さが、6μm〜50μmであることを特徴とするパワー半導体モジュール。 - 請求項6に記載のパワー半導体モジュールにおいて、
前記半導体素子とはんだとの界面に対して垂直断面での該金属間化合物の面積比が20%〜100%の範囲にあることを特徴とするパワー半導体モジュール。 - 請求項6に記載のパワー半導体モジュールにおいて、
前記Ni層の厚さが、0.1μm〜10μmであることを特徴とするパワー半導体モジュール。 - 請求項6に記載のパワー半導体モジュールにおいて、前記金属ベース板の表面にフィンを備えたことを特徴とする半導体モジュール。
- 絶縁基板の一方の面に導体パターン、他方の面に裏面導体層が形成された配線基板と、前記導体パターンに搭載され、電流をスイッチングするパワー半導体素子と、前記裏面導体層の表面に配置された金属ベースと、前記金属ベース板の裏面に配置された冷却水流路とを備える車載用インバータ装置であって、
前記パワー半導体素子の電極表面にNi層が形成され、
前記電極と前記導体パターンとが、組成比がSn−3wt%Cu〜Sn−10wt%Cuのはんだにより接合され、
前記はんだと前記電極との界面付近に形成された金属間化合物の厚さが、6μm〜50μmであることを特徴とする車載用インバータ装置。
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