JP5446582B2

JP5446582B2 - 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置

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Publication number: JP5446582B2
Application number: JP2009190144A
Authority: JP
Inventors: 宣昭岡沢
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2008-11-19
Filing date: 2009-08-19
Publication date: 2014-03-19
Anticipated expiration: 2029-08-19
Also published as: JP2010149501A; US20100123757A1; US8162449B2

Description

本発明は、特に圧力変動によってノズル開口から液滴を吐出するインクジェット式記録ヘッド等の液体噴射ヘッド、及び、これを備える液体噴射装置に関する。

液体噴射装置は、液体を噴射可能な液体噴射ヘッドを備え、この液体噴射ヘッドから各種の液体を噴射する装置である。この液体噴射装置の代表的なものとして、例えば、液体噴射ヘッドとしてのインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）を備え、この記録ヘッドノズル開口から液体状のインクを記録紙等の記録媒体（噴射対象物）に対して噴射・着弾させてドットを形成することで画像等の記録を行うインクジェット式プリンター等の画像記録装置を挙げることができる。また、近年においては、この画像記録装置に限らず、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造装置等、各種の製造装置にも液体噴射装置が応用されている。

例えば、上記の記録ヘッドは、中空状の圧力発生室を封止する弾性板に圧力発生素子の先端を接合し、後端側を接合板の一面に接合した状態でヘッドケースに固定し、圧力発生素子を該圧力発生素子の長手方向に振動させることで、圧力発生室に圧力変動を与え、圧力発生室と連通したノズル開口から圧力発生室内の液滴を吐出するように構成されている（例えば、特許文献１参照）。

特許第３８７９２９７号公報

ところで、この液体噴射ヘッドに対しては、吐出性能を損なうことなく、より小型化することが望まれている。しかしながら、ノズル列毎に接合板を設けてヘッドケースに固定する構成を採ると、小型化するに当たって不利な点が多く、また、配線等の処理も煩雑になる不都合が生じる。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、信頼性を維持しつつ、小型化が可能な液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置を提供することにある。

本発明の液体噴射ヘッドは、上記目的を達成するために提案されたものであり、ノズル開口に連通する圧力発生室内の液体に圧力変動を与えてノズル開口から液体を吐出させる圧力発生素子と、該圧力発生素子の前記圧力発生室側の先端とは反対側の後端を接合する接合板と、前記ノズル開口を複数個列設した複数のノズル列と、を有する液体噴射ヘッドであって、
前記ノズル列のうち平行したノズル列の一方に属する圧力発生室の圧力発生素子と、他方のノズル列に属する圧力発生室の圧力発生素子とを、共通する接合板に当該接合板を両側から挟み込むように接合し、
前記接合板の前記圧力発生室とは反対側の端部領域に配線部を形成し、該配線部に、外部からの電気信号を前記圧力発生素子に送るフレキシブル基板を接続したことを特徴とする。

上記構成によれば、ノズル列のうち平行したノズル列の一方に属する圧力発生室の圧力発生素子と、他方のノズル列に属する圧力発生室の圧力発生素子とを、共通する接合板に接合板を両側から挟み込むように接合し、接合板の圧力発生室とは反対側の端部領域に配線部を形成し、配線部に、外部からの電気信号を圧力発生素子に送るフレキシブル基板を接続したので、同一の接合板に対して異なるノズル列に属する圧力発生素子を固定させることができ、従来の一つの接合板に対して一つのノズル列に属する圧力発生素子を接合する場合と比べて、接合板の数を減らすことができる。そのため、圧力発生素子を接合板に組付けする工数を減らすことができ、実装不良の発生を軽減できる。また、液体噴射ヘッドのノズル列と直交する方向の幅が小さくできる。その結果、液体噴射ヘッド全体の小型化が可能となる。

また、上記構成において、前記配線部に、外部信号を供給するコネクタを接続することが望ましい。

上記構成によれば、配線部に、外部信号を供給するコネクタを接続したので、コネクタとの接続を確実に行うことができる。

また、上記構成において、前記接合板の前記圧力発生室とは反対側の厚みを、当該圧力発生室側よりも薄くなるように形成することが望ましい。

上記構成によれば、接合板の圧力発生室とは反対側の厚みを、圧力発生室側よりも薄くなるように形成したので、配線部に接続するコネクタの小型化を図り、配置スペースの自由度を広げることができる。

また、上記構成において、前記圧力発生素子は、前記圧力発生室毎に分割した駆動部と、該駆動部同士を連結する非駆動部と、を備え、
前記接合板には、前記駆動部の前記ノズル列方向の幅に揃えて分割した領域を有することが望ましい。

上記構成によれば、圧力発生素子は、圧力発生室毎に分割した駆動部と、駆動部同士を連結する非駆動部と、を備え、接合板には、駆動部のノズル列方向の幅に揃えて分割した領域を有するので、接合板の両側に予め圧力発生素子を接合した状態で接合板及び圧力発生素子を同時に切断して、圧力発生室毎に駆動部を分割することができる。その結果、接合板のノズル列に直交する方向の両面に圧力発生素子を配置させることができる。

上記構成において、前記圧力発生素子の前記圧力発生室側の先端と、前記接合板の前記圧力発生室側の先端とを同一面上に配置することが望ましい。

上記構成によれば、前記圧力発生素子の前記圧力発生室側の先端と、前記接合板の前記圧力発生室側の先端とを同一面上に配置したので、それぞれの先端に接着剤を塗布して圧力発生素子と接合板とを同時に接合する場合に、接合位置を正確に合わせることができる。

上記構成において、前記接合板の両側に配置される前記ノズル列のノズル開口同士を、ノズル列方向に１／２ピッチずらして配置することが望ましい。

上記構成によれば、接合板の両側に配置されるノズル列のノズル開口同士を、ノズル列方向に１／２ピッチずらして配置したので、一方のノズル列に属するノズル開口の間に、他方のノズル列に属するノズル開口を配置させることができ、ノズル開口をノズル列方向に密に配置させることができる。この結果、液体噴射ヘッドの液滴の吐出性能を高めることができる。

また、本発明の液体噴射装置は、上記各構成の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする。

上記構成によれば、実装不良の発生を軽減し、且つ小型化が可能な液体噴射ヘッドを搭載しているので、信頼性の高い液体噴射装置を提供することが可能となる。

記録ヘッドの構成を説明する要部断面図である。流路ユニットの構成を説明する分解斜視図である。振動子ユニットの構成を説明する側面図である。振動子ユニットの構成を説明する正面図である。他の実施形態における流路ユニットの説明図である。さらに他の実施形態における固定板の拡大斜視図である。さらに他の実施形態における固定板の拡大断面図である。プリンターの構成を説明する斜視図である。

以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面等を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、本実施形態では、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置（以下、「プリンター」という）を、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッド（以下、「記録ヘッド」という）を例に挙げて説明する。

図８はプリンター５１の構成を説明する斜視図である。このプリンター５１は、筐体５１´の内部に、液体噴射ヘッドの一種である記録ヘッド１が取り付けられると共に、インクカートリッジ５２が着脱可能に取り付けられるキャリッジ５３と、記録ヘッド１の下方に配設されたプラテン５４と、キャリッジ５３（記録ヘッド１）を記録紙（記録媒体の一種）５５の紙幅方向、即ち、主走査方向に往復移動させるキャリッジ移動機構５６と、主走査方向に直交する方向である副走査方向に記録紙５５を搬送する紙送り機構５７とを備えて概略構成されている。なお、プリンター５１の筐体５１´側にインクカートリッジ５２を装着してインク供給チューブを介して記録ヘッド１に供給する構成を採用することもできる。

キャリッジ５３は、主走査方向に架設されたガイドロッド５８に軸支された状態で取り付けられており、キャリッジ移動機構５６の作動により、ガイドロッド５８に沿って主走査方向に移動するように構成されている。キャリッジ５３の主走査方向の位置は、リニアエンコーダー５９によって検出され、その検出信号、即ち、エンコーダーパルスがプリンターコントローラーの制御部（図示せず）に送信される。これにより、制御部はこのリニアエンコーダー５９からのエンコーダーパルスに基づいてキャリッジ５３（記録ヘッド１）の走査位置を認識しながら、記録ヘッド１による記録動作（噴射動作）等を制御することができる。

キャリッジ５３の移動範囲内における記録領域よりも外側（図８における右側）の端部領域には、走査の基点となるホームポジションが設定されている。本実施形態におけるホームポジションには、記録ヘッド１のノズル形成面（ノズルプレート１０：図１参照）を封止するキャッピング部材６０と、ノズル形成面を払拭するためのワイパー部材６１とが配置されている。そして、プリンター５１は、このホームポジションから反対側の端部へ向けてキャリッジ５３（記録ヘッド１）が移動する往動時と、反対側の端部からホームポジション側にキャリッジ５３が戻る復動時との双方向で記録紙５５上に文字や画像等を記録する所謂双方向記録が可能に構成されている。

図１は、記録ヘッド１の構成を説明する要部の断面図である。この記録ヘッド１は、ヘッドケース２、その内部に収納した振動子ユニット３、ヘッドケース２の一方の面に接合される流路ユニット４、及び、流路ユニット４とは反対側に位置するヘッドケース２の他方の面に配置される接続基板５と、を備えて概略構成されている。そして、記録ヘッド１の内部には、液体供給源の一種であるインクカートリッジから流路ユニット４のノズル開口１３に至るまでの一連のインク流路（液体流路の一種）が形成されている。

ヘッドケース２は、振動子ユニット３を収容するための収容空部７と、インクカートリッジ内のインクを導入するケース側流路８とが形成されている。そして、振動子ユニット３は、この収容空部７内に挿入され、接着等によって収容空部７の内壁に固定されている。このヘッドケース２の一方の面は、インク供給部材（図示せず）に接合され、ケース側流路８がインクカートリッジ側の流路と連通して、インクカートリッジ内に貯留されたインクを導入する。また、ヘッドケース２の他方の面には、流路ユニット４が接着剤等により固定される。

次に、上記の流路ユニット４について説明する。
図２は、流路ユニットの構成を説明する分解斜視図である。流路ユニット４は、図２に示すように、ノズルプレート１０、流路形成基板１１、及び振動板１２を順次積層した状態で接着剤等でヘッドケース２の先端面に接合されている。

流路ユニット４の底部に配置されるノズルプレート１０は、ドット形成密度に対応したピッチ（例えば、１８０ｄｐｉ）で複数のノズル開口１３を列状に開設した薄い金属板である。本実施形態のノズルプレート１０は、ステンレス鋼製の板材によって作製され、ノズル開口１３の列（ノズル列１４）が記録ヘッド１の走査方向に複数並べて設けられている。そして、１つのノズル列は、例えば、１８０個のノズル開口１３によって構成されている。

流路形成基板１１は、ノズルプレート１０と振動板１２との間に配置される部材であり、共通液体室の一種である共通インク室１５、インク供給口１６、圧力室１７（本発明における圧力発生室に相当）等のインク流路となる空部を隔壁で区画した状態で各ノズル開口１３に対応させて複数ノズル列方向（以下、矢印Ｌで示す。図３を参照）に沿って列状に形成した板状の部材である。この流路形成基板１１は、例えば、シリコンウェハーをエッチング処理することによって作製される。上記の圧力発生室１７は、ノズル列方向Ｌに対して直交する方向（ヘッド副走査方向）に細長い室として形成されている。そして、各圧力発生室１７は、矢印Ｌに沿って形成された後述する圧電素子１８毎に対応した位置に配される。なお、本発明における流路形成基板１１は、シリコンで作製するが、ステンレス鋼やニッケル等の金属の基板などをプレス加工することで作製しても良い。

振動板１２は、流路形成基板１１とヘッドケース２との間に配置される板材であり、ステンレス鋼等の金属製の支持板１９上に弾性フィルム２０をラミネート加工した二重構造の複合板である。この振動板１２の圧力室１７に対応する部分には、エッチングなどによって支持板１９を環状に除去することで、圧電振動子１８の自由端の先端面を接合するための島部２１が形成されており、この部分はダイヤフラム部として機能する。即ち、この振動板１２は、圧電振動子１８の作動に応じて島部２１の周囲の弾性フィルム２０が弾性変形するように構成されている。

次に振動子ユニット３について説明する。図３は、振動子ユニットの構成を説明する側面図であり、図４は、振動子ユニットの構成を説明する正面図である。振動子ユニット３は、櫛歯状の圧電素子群２３（本発明における圧力発生素子に相当）と、この圧電素子群２３の基端部分が接合される固定板２４（本発明における接合板に相当）と、圧電素子群２３に駆動信号を供給するためのＣＯＦ（Chip On Film）２５（本発明におけるフレキシブル基板の一種）とにより構成される。

圧電素子群２３は、ノズル列方向Ｌに沿って列状に並べて形成された複数本の圧電素子１８を備える。これらの各圧電素子１８は、列の両端に位置する一対のダミー素子と、これらのダミー素子の間に配置された複数の駆動素子とから構成されている。そして、各駆動素子は、例えば、５０μｍ〜１００μｍ程度の極めて細い幅の櫛歯状に切り分けられ、１８０本設けられる。また、ダミー素子は、駆動素子よりも十分広い幅であり、駆動素子を衝撃等から保護する保護機能と、振動子ユニット３を所定位置に位置付けるためのガイド機能とを有する。

また、圧電素子群２３は、非駆動部（固定端部）２７を固定板２４上に接合することにより、駆動部（自由端部）２８を固定板２４の先端面よりも外側（先方の圧力室側）に突出させている。即ち、圧電素子群２３は、所謂片持ち梁の状態で固定板２４上に支持されている。そして、圧電素子群２３の駆動部２８は、電界方向に直交する方向に変位する所謂縦振動モードの圧電振動子であって、圧電体と内部電極とを交互に積層して構成されており、対向する電極間に電位差を与えることで素子長手方向に伸縮するようになっている。これらの各圧電素子１８は、流路ユニット４の圧力室１７の形成ピッチと同じピッチで切り分けられており、１つの圧力室１７（図２参照）に対して１つずつ対応するように構成されている。

一方、圧電素子群２３を支持する固定板２４は、圧電素子群２からの反力を受け止め得る剛性を備えた金属製の板状部材であり、本実施形態においては、ステンレス鋼を用いている。そして、この固定板２４には、図１に示すように、並設されて隣り合うノズル列１４のうち一方のノズル列１４（図１中に１４ａで示す）に属する圧力室１７に対応した圧電素子群２３（図１中に２３ａで示す）と、他方のノズル列１４（図１中に１４ｂで示す）に属する圧力室１７に対応した圧電素子群２３（図１中に２３ｂで示す）とをノズル列方向Ｌに直交する方向の両側から挟みこむように接合されている。即ち、１つの共通した固定板２４の両面には、２つの圧電素子群２３ａ，２３ｂが接合されている。

また、固定板２４は、圧力室１７とは反対側の後端部３０の厚み（図１中に符号ｔ１で示す）が、圧力室１７側の厚み（図１中に符号ｔ２で示す）よりも薄くなるように形成されている。そして、この後端部３０には、接続基板５に取り付けられたコネクタ３２と接続可能な配線部３１が設けられている。このように、固定板２４の後端部３０の厚みを圧力室１７側の厚みよりも薄くなるように形成すると、配線部３１に接続するコネクタ３２の横幅を抑えることができ、配置スペースの自由度を広げることができる。さらに、記録ヘッド１のノズル列方向Ｌと直交する方向の幅が小さくできる。その結果、記録ヘッド１の小型化が可能となる。

本実施形態の配線部３１は、スパッタリングにより固定板２４の表面上に形成された膜（スパッタ電極３３）によって構成されている。そして、固定板２４の表面に露出したスパッタ電極３３には、ＣＯＦ２５の電気配線が半田付け等によって接続される。ＣＯＦ２５は、一端側がスパッタ電極３３に、他端側が圧電素子群２３に電気的に接続されており、フィルム２５ａの表面に形成した導通部２５ｂを介して、電気信号を圧電素子１８に送る信号ケーブルである。そして、このＣＯＦ２５の表面には、各圧電素子１８の駆動等を制御するための制御用ＩＣ３４が実装されている。

接続基板５は、記録ヘッド１に供給する各種信号用の電気配線が形成されると共に、信号ケーブルを接続可能なコネクタ３２が取り付けられた配線基板である。そして、このコネクタ３２は、配線部３１のスパッタ電極３３に接続することで、圧電素子１８に外部からの電気信号を供給する。また、コネクタ３２には、プリンター本体側に設けられた制御装置（図示せず）からの信号ケーブルが接続基板５上の導通部を介して電気的に接続されている。

また、図１に示すように、圧電素子１８の圧力発生室１７側の先端３６と、固定板２４の圧力発生室１７側の先端３７とが、同一平面になるように形成されており、図３，４に示すように、固定板２４には、圧電素子１８と同ピッチの複数の切欠き３８が、圧電素子１８の幅と等しい幅（図３中に符号Ａで示す）で形成されている。このように、圧力電素子１８の先端３６と、固定板２４の先端３７とを同一面上に配置することで、それぞれの先端３６，３７に接着剤を塗布して圧電素子１８と固定板２４とを同時に接合でき、このときに位置合わせを容易且つ正確に行うことができる。なお、固定板２４の作製方法の詳細については後述する。

前記した構成からなる記録ヘッド１は、圧電素子１８の作動により圧力室１７内に圧力変動を与えると、インクカートリッジからインク流路を介して圧力室１７内に導入したインクをノズル開口１３からインク滴として吐出することができ、このインク滴を記録媒体である記録紙等に着弾することにより画像等を記録することができる。

次に、固定板２４と圧電素子群２３ａ，２３ｂの作製方法について説明する。まず、圧電素子群２３を櫛歯状の圧電素子１８に切り分けるには、固定板２４の先端３７と一対の圧電素子群２３ａ，２３ｂそれぞれの先端３６との位置を合わせた状態で、これらの圧電素子群２３ａ，２３ｂを固定板２４の両側から挟みこむように重ねて接合する。そして、この状態で圧電素子群２３ａ，２３ｂ及び固定板２４を同じ幅Ａで等間隔に同時に切断する。これにより、固定板２４には、複数の切欠き３８が形成されて、駆動部２８のノズル列方向Ｌの幅と同一の幅Ａに揃えられて分割される。このように、一対の圧電素子群２３ａ，２３ｂを固定板２４の両側に重ねた状態でこれらを同時に切断すると、固定板２４のノズル列方向Ｌに直交する方向の両面に圧力発生素子１８を配置させることができる。また、振動板１２に対して、固定板２４の先端３７と一対の圧電素子群２３ａ，２３ｂのそれぞれ先端３６とを接合するので、固定板２４の剛性を確保できる。

このように、本実施形態の固定板２４は、同一の固定板２４に対して異なるノズル列１４ａ，１４ｂに属する圧電素子群２３ａ，２３ｂを固定させることができ、従来の一つの固定板に対して一つのノズル列に属する圧電素子群を接合する場合と比べて、固定板の数を減らすことができ、省スペース化を図ることができる。この結果、圧電素子群２３ａ，２３ｂを固定板２４に組付けする工数を減らすことができ、実装不良の発生を軽減できると共に、ヘッドの小型化に寄与することができる。

また、配線部３１を固定板２４の表面上に形成されたスパッタ電極３３により構成したので、配線部３１の形成が容易となる。さらに、配線部３１に外部信号を供給するコネクタ３２を接続したので、配線部３１とコネクタ３２との接続を確実に行うことができる。

ところで、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。図５は他の実施形態における流路ユニットの説明図である。この実施形態の流路ユニット４０は、固定板２４の両側に接合された一対の圧電素子群２３ａ，２３ｂに対応するノズル列１４ａ,１４ｂのノズル開口１３同士を、ノズル列方向Ｌに１／２ピッチ（図５中にピッチを符号Ｐで示す）ずらして配置することに特徴を有する。このように形成された流路ユニット４０は、ノズル列方向Ｌに直交する方向に沿って一方のノズル列１４ａに属するノズル開口１３の間に、他方のノズル列１４ｂに属するノズル開口１３を配置させることができ、ノズル開口１３をノズル列方向Ｌに密に配置させることができる。この結果、記録ヘッド１のインク滴の吐出性能を高めることができる。

また、図６は、さらに他の実施形態における固定板の拡大斜視図である。この実施形態では、固定板４１の圧力室１７側の端部からこの端部とは反対側の天井面４２までの高さを、接続基板５に到達する高さに設定し、固定板２４の天井面４２から露出した電極４３によって配線部３１を構成している。そして、この電極４３と接続基板５に設けられた電極（図示せず）との間に導電ゴム４４を挟持するように配置することで、電極４３及び導電ゴム４４によって間にコネクタを設けることなく、接続基板５とＣＯＦ２５とを電気的に接続することができる。このように固定板４１を形成することで、記録ヘッド１を小型化したとしても、接続基板５とＣＯＦ２５との接続の信頼性を保つことできる。

また、図７は、さらに他の実施形態における固定板の拡大断面図である。この実施形態では、固定板４５を導電材料から構成し、この固定板４５の外表面にフレキシブルテープ４６を貼付し、このフレキシブルテープ４６の外側に銅電極４７を形成することで配線部３１を構成している。このように配線部３１を形成することで、記録ヘッド１を小型化したとしても、接続基板５とＣＯＦ２５との接続を容易に行うことできる。

以上は、インクジェット式記録ヘッド、及び、これを備えたプリンターに本発明を適用した例を説明したが、これに限定されるものではない。本発明は、例えば、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等の他の液体噴射ヘッド、及び、これを備えた液体噴射装置にも適用することができる。

１…記録ヘッド、１３…ノズル開口、１４…ノズル列、１７…圧力室、２３…圧電振動子群、２４…固定板、２５…ＣＯＦ、２７…非駆動部、２８…駆動部、３１…配線部、３２…コネクタ、３６…先端、３７…先端、４１…固定板、４５…固定板、５１…プリンター、Ｌ…ノズル列方向

Claims

ノズル開口に連通する圧力発生室内の液体に圧力変動を与えてノズル開口から液体を吐出させる圧力発生素子と、該圧力発生素子の前記圧力発生室側の先端とは反対側の後端を接合する接合板と、前記ノズル開口を複数個列設した複数のノズル列と、を有する液体噴射ヘッドであって、
前記ノズル列のうち並行したノズル列の一方に属する圧力発生室の圧力発生素子と、他方のノズル列に属する圧力発生室の圧力発生素子とを、共通する接合板に当該接合板を両側から挟み込むように接合し、
前記接合板の前記圧力発生室とは反対側の端部領域に配線部を形成し、該配線部に、外部からの電気信号を前記圧力発生素子に送るフレキシブル基板を接続したことを特徴とする液体噴射ヘッド。
前記配線部に、外部信号を供給するコネクタを接続したことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
前記接合板の前記圧力発生室とは反対側の厚みを、当該圧力発生室側よりも薄くなるように形成したことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
前記圧力発生素子は、前記圧力発生室毎に分割した駆動部と、当該駆動部同士を連結する非駆動部と、を備え、
前記接合板には、前記駆動部の前記ノズル列方向の幅に揃えて分割した領域を有することを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
前記圧力発生素子の前記圧力発生室側の先端と、前記接合板の前記圧力発生室側の先端とを同一面上に配置したことを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
前記接合板の両側に配置される前記ノズル列のノズル開口同士を、ノズル列方向に１／２ピッチずらして配置したことを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
請求項１乃至請求項６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。