JP4145760B2 - 圧電アクチュエータユニット及びその製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は、上記いずれかの圧電アクチュエータユニットを備えた液体噴射ヘッドに関する。
本発明は、上記液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置に関する。
20 ヘッドケース
21 流路ユニット
22 ノズル形成面
23A、23B ノズル開口
24 ノズルプレート
25 流路形成板
26 弾性板
26a 弾性壁
27 振動板
29 圧電アクチュエータユニット
30 圧電アクチュエータユニット基板
31 駆動集積回路
32 テープキャリアパッケージ
33 圧電振動子
33a 活性部
33b 非活性部
34A,34B 圧力室
34’ 圧力室の側壁面の一部
35 共通インク室
36 インク供給口
37 隔壁
38 可動厚肉部
39 薄肉部
40、40A、40B 固定厚肉部
43 個別電極層
44 共通電極層
45 個別外部電極
46 共通外部電極
47 固定基板
48A 第1厚肉基部
48B 第2厚肉基部
49 圧電材料層
50 第1導電材料層
51 第2導電材料層
52 圧電材料層
53 第1窓部
54 第2窓部
55 積層体
56 第1外部導電材料層
57 第2外部導電材料層
60 圧電構造体
Claims (12)
- 電極層と圧電材料層とが交互に積層され両層の積層方向に振動する複数の圧電振動子を、前記積層方向に直交する振動子配列方向に沿って一列に並べて構成された圧電アクチュエータユニットを製造する方法であって、
前記複数の圧電振動子の基準電位側の共通電極層を形成するための第1導電材料層と、前記複数の圧電振動子の駆動電圧入力側の個別電極層を形成するための第2導電材料層と、を圧電材料層を間に挟んで交互に積層して積層体を形成する積層工程であって、前記第1導電材料層には、前記振動子配列方向に沿って第1窓列をなして所定のピッチで配置された複数の第1窓部が形成されており、前記第2導電材料層には、前記第1窓列に平行な第2窓列をなして前記所定のピッチで配置された複数の第2窓部が形成されており、前記第1窓部と前記第2窓部とが前記所定のピッチの半分のピッチで前記振動子配列方向に互いにずれている積層工程と、
前記積層方向に沿って前記積層体に複数の切り込みを形成して前記複数の圧電振動子を形成する切り込み工程であって、前記複数の切り込みのそれぞれが、前記振動子配列方向における前記第1窓部の端部及び前記第2窓部の端部の両方にかかる位置にて形成される切り込み工程と、を備えた圧電アクチュエータユニットの製造方法。 - 前記積層方向における前記積層体の一方の面に固定基板を接合する工程をさらに備えた請求項1記載の圧電アクチュエータユニットの製造方法。
- 前記積層方向及び前記振動子配列方向の両方に直交する振動子幅方向における前記積層体の一方の面に、前記第2導電材料層に接続される第2外部導電材料層を形成する工程と、
前記振動子幅方向における前記積層体の他方の面に前記第1導電材料層に接続される第1外部導電材料層を形成し、前記第1外部導電材料層を、前記固定基板の、前記積層体が接合された面と反対側の面を通って、前記第2外部導電材料層が形成された前記積層体の一方の面まで引き出すようにして延設する工程と、をさらに備えた請求項2記載の圧電アクチュエータユニットの製造方法。 - 前記第1導電材料層又は前記第2導電材料層が、前記複数の圧電振動子の先端に相当する前記積層体の端面にも形成される請求項1乃至3のいずれか一項に記載の圧電アクチュエータユニットの製造方法。
- 前記複数の圧電振動子を駆動するための外部駆動手段を、前記積層体の一つの面にて、前記複数の圧電振動子のすべての前記個別電極層に電気的に接続する工程をさらに備えた請求項1乃至4のいずれか一項に記載の圧電アクチュエータユニットの製造方法。
- 電極層と圧電材料層とが交互に積層され両層の積層方向に振動する複数の圧電振動子を、前記積層方向に直交する振動子配列方向に沿って一列に並べて構成された圧電アクチュエータユニットであって、
前記複数の圧電振動子の基準電位側の共通電極層を形成するための第1導電材料層と、前記複数の圧電振動子の駆動電圧入力側の個別電極層を形成するための第2導電材料層とを、圧電材料層を間に挟んで交互に積層して形成された積層体を備え、
前記第1導電材料層には、前記振動子配列方向に沿って第1窓列をなして所定のピッチで配置された複数の第1窓部が形成され、前記第2導電材料層には、前記第1窓列に平行な第2窓列をなして前記所定のピッチで配置された複数の第2窓部が形成され、前記第1窓部と前記第2窓部とが前記所定のピッチの半分のピッチで前記振動子配列方向に互いにずれており、
前記積層方向に沿って前記積層体に形成された複数の切り込みによって前記複数の圧電振動子が形成され、前記複数の切り込みのそれぞれが、前記振動子配列方向における前記第1窓部の端部及び前記第2窓部の端部の両方にかかる位置にて形成されていることを特徴とする圧電アクチュエータユニット。 - 前記積層方向における前記積層体の一方の面に接合された固定基板をさらに備えた請求項6記載の圧電アクチュエータユニット。
- 前記積層方向及び前記振動子配列方向の両方に直交する振動子幅方向における前記積層体の一方の面に形成され、前記第2導電材料層に接続された第2外部導電材料層と、
前記振動子幅方向における前記積層体の他方の面に形成され、前記第1導電材料層に接続された第1外部導電材料層であって、前記固定基板の、前記積層体が接合された面と反対側の面を通って、前記第2外部導電材料層が形成された前記積層体の一方の面まで引き出すようにして延設された第1外部導電材料層と、をさらに備えた請求項7記載の圧電アクチュエータユニット。 - 前記第1導電材料層又は前記第2導電材料層が、前記複数の圧電振動子の先端に相当する前記積層体の端面にも形成されている請求項6乃至8のいずれか一項に記載の圧電アクチュエータユニット。
- 前記積層体の一つの面にて前記複数の圧電振動子のすべての前記個別電極層に接続された、前記複数の圧電振動子を駆動するための外部駆動手段をさらに備えた請求項6乃至9のいずれか一項に記載の圧電アクチュエータユニット。
- 請求項6乃至10のいずれか一項に記載の圧電アクチュエータユニットを備えた液体噴射ヘッド。
- 請求項11に記載の液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置。
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