JP5444606B2 - 圧電アクチュエータ用積層体、その製造方法、及び圧電アクチュエータ - Google Patents
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Description
各表面個別電極からは電極用端子が延出し、前記第1の電極層は、平面視で前記複数の表面個別電極に各々対応する位置に配置された複数の内部電極を有し、これら複数の内部電極の各々には小孔が形成され、前記第2の電極層は、平面視で前記複数の内部電極の各々と少なくとも一部重なるように形成された重複電極部と、前記小孔を覆うスリットである透過部とを有し、
前記各電極用端子が平面視で前記各小孔と重なっていることを特徴とする。
この場合、二列の内部電極間のスペースを有効に利用して延長部を配置することができる。
また、上記圧電アクチュエータ用積層体の一形態として、例えば、前記第1の電極層の複数の内部電極は、一定の電位が印加される第1定電位電極であり、前記第2の電極層の電極は、前記第1定電位電極の電位と異なる電位が印加される第2定電位電極であり、前記各表面個別電極に第1電位を印加することで当該各表面個別電極と前記第1定電位電極との間に第1の活性部が形成され、前記各表面個別電極に第2電位を印加することで当該各表面個別電極と前記第2定電位電極層との間に第2の活性部が形成されるものが挙げられる。
本発明の圧電アクチュエータの製造方法は、上記圧電アクチュエータ用積層体の前記一方の外表面に、複数の表面個別電極が設けられた圧電アクチュエータの製造方法であって、前記圧電アクチュエータ用積層体に積層方向から光を当てて前記各小孔の位置を確認し、当該各小孔の位置から前記各内部電極の位置を検出し、この各内部電極の位置情報に基づき、当該各内部電極との位置を合わせるようにして前記一方の外表面に複数の表面電極を形成することを特徴とする。
前記第1の電極層は、平面視で前記複数の個別電極に各々対応する位置に配置された複数の内部電極を有し、これら複数の内部電極の各々には小孔が形成され、
前記第2の電極層は、平面視で前記複数の内部電極の各々と少なくとも一部重なるように形成された重複電極部と、前記小孔を覆うスリットである透過部とを有し、
前記複数の圧電層の一方の外表面には、配線部材の駆動側端子電極と接続するための複数の電極用端子が前記複数の個別電極からそれぞれ延出するように設けられ、
前記各電極用端子が平面視で前記各小孔と重なっていることを特徴とする。
また、表面個別電極を形成した後においても、積層方向へ光を当てることで表面個別電極と内部電極との位置ずれを確認することができる。これにより、同位置ずれのない製品のみを選択することで、製品の品質を向上させることができる。
また、当該圧電アクチュエータを、複数の圧力室を有する流路ユニットに接合されると共に、当該複数の圧力室の容積を選択的に変化させるためのインクジェットヘッド用圧電アクチュエータに適用した場合、前記複数の圧電層の一方の外表面には、配線部材の駆動側端子電極と接合するための複数の電極用端子が前記複数の個別電極からそれぞれ延出するように設けられ、前記各内部電極は平面視で前記各表面個別電極と重ならない延長部を有していると共に当該延長部に前記各小孔が形成されており、前記各電極用端子が平面視で前記各小孔と重なっていることが好ましい。
この場合、個別電極を配線と接続するために必要な電極用端子と、内部電極の位置を検出するための小孔を設けるために必要な延長部との間に、浮遊容量が存在しないようにすることができる。
3は、平面視で矩形状に形成された図示しないノズルプレート、スペーサプレート、ダンパプレート、マニホールドプレート、サプライプレート、及び図示のベースプレート5、キャビティプレート6が積層されて構成されている。詳細は省略するが、各プレートが積層されていることで、連通された開孔や溝が構成されてインクが流通する各チャンネルが構成されている。
図16(b)は、積層方向で第1、第2内部個別電極56,57が重なっている状態を示す平面図である。なお、図示しないが、当該圧電アクチュエータ55に形成されている複数の共通電極には、第1、第2小孔58,59を通る光を遮らないように形成されたスリットが設けられている。積層方向から見ると第2小孔59の内側に第1小孔58が位置するため、積層体の一方から光を当てることで第1小孔58に光が透過し、第1内部個別電極56及び第2内部個別電極57の位置を検出することができる。これにより、トップ層に形成する表面個別電極と第1、第2内部個別電極56,57の積層方向における位置を正確に合わせることができる。
2 インクジェットヘッド
3 流路ユニット
10 表面個別電極
12 共通電極
12a 重複電極部
13 圧力室
14 電極用端子
15 内部電極部
17 小孔
19 透過部
20 スリット
23 積層体
Claims (7)
- 積層された複数の圧電層と、この複数の圧電層のうち積層方向で隣接する二つの圧電層間に形成された第1の電極層と、前記二つの圧電層のうちの一つの圧電層と当該両圧電層以外の他の圧電層との間に形成された第2の電極層とを備え、
前記積層された複数の圧電層の一方の外表面が、複数の表面個別電極が設けられる面となるための圧電アクチュエータ用積層体であって、
各表面個別電極からは電極用端子が延出し、
前記第1の電極層は、平面視で前記複数の表面個別電極に各々対応する位置に配置された複数の内部電極を有し、これら複数の内部電極の各々には小孔が形成され、
前記第2の電極層は、平面視で前記複数の内部電極の各々と少なくとも一部重なるように形成された重複電極部と、前記小孔を覆うスリットである透過部とを有し、
前記各電極用端子が平面視で前記各小孔と重なっていることを特徴とする圧電アクチュエータ用積層体。 - 前記各内部電極には、平面視で前記各表面個別電極と重ならない延長部が形成されており、前記各小孔が当該各延長部に形成されている請求項1に記載の圧電アクチュエータ用積層体。
- 前記複数の内部電極は列状に形成されており、前記各延長部は隣り合う二列の内部電極間に形成されている請求項2に記載の圧電アクチュエータ用積層体。
- 前記第1の電極層の複数の内部電極は、一定の電位が印加される第1定電位電極であり、前記第2の電極層の電極部は、前記第1定電位電極の電位と異なる電位が印加される第2定電位電極であり、
前記各表面個別電極に第1電位を印加することで当該各表面個別電極と前記第1定電位電極との間に第1の活性部が形成され、前記各表面個別電極に第2電位を印加することで当該各表面個別電極と前記第2定電位電極との間に第2の活性部が形成される請求項1〜3のいずれかに記載の圧電アクチュエータ用積層体。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の圧電アクチュエータ用積層体の前記一方の外表面に、複数の表面個別電極が設けられた圧電アクチュエータの製造方法であって、
前記圧電アクチュエータ用積層体に積層方向から光を当てて前記各小孔の位置を確認し、当該各小孔の位置から前記各内部電極の位置を検出し、この各内部電極の位置情報に基づき、当該各内部電極との位置を合わせるようにして前記一方の外表面に複数の表面個別電極を形成することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。 - 積層された複数の圧電層と、この複数の圧電層のうち積層方向で隣接する二つの圧電層間に形成された第1の電極層と、前記二つの圧電層のうちの一つの圧電層と他の圧電層間に形成された第2の電極層と、前記積層された複数の圧電層の一方の外表面に設けられた複数の個別電極と、を備える圧電アクチュエータであって、
前記第1の電極層は、平面視で前記複数の個別電極に各々対応する位置に配置された複数の内部電極を有し、これら複数の内部電極の各々には小孔が形成され、
前記第2の電極層は、平面視で前記複数の内部電極の各々と少なくとも一部重なるように形成された重複電極部と、前記小孔を覆うスリットである透過部とを有し、
前記複数の圧電層の一方の外表面には、配線部材の駆動側端子電極と接続するための複数の電極用端子が前記複数の個別電極からそれぞれ延出するように設けられ、
前記各電極用端子が平面視で前記各小孔と重なっていることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 当該圧電アクチュエータは、複数の圧力室を有する流路ユニットに接合されると共に、当該複数の圧力室の容積を選択的に変化させるためのインクジェットヘッド用圧電アクチュエータであって、前記各内部電極は平面視で前記各個別電極と重ならない延長部を有していると共に当該延長部に前記各小孔が形成されている、請求項6に記載の圧電アクチュエータ。
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