JP4640367B2 - インクジェットヘッド - Google Patents

Description

本発明は、記録媒体に対してインクを吐出するインクジェットヘッドに関する。

ノズルから用紙に対してインクを吐出するインクジェットヘッドには、マニホールドから圧力室を介してその下面に形成されたノズルに至る複数の個別インク流路が形成された流路ユニットと、流路ユニットのマニホールドにインクを供給するインク供給ブロックとを備えているものがある。流路ユニットとインク供給ブロックとは、いずれも複数のプレートが積層された積層構造を有しており、その積層方向に互いに接合される。また、流路ユニットの上面には、アクチュエータユニットが配置されており、アクチュエータユニットに信号を供給する配線部材が、流路ユニットの上面とインク供給ブロックの下面との間から、インク供給ブロックの側面に沿って上方に引き出されている。そして、アクチュエータユニットにより、個別インク流路における圧力室の容積を選択的に変化させることで、圧力室内のインクに吐出エネルギーが付与される。これに伴って当該圧力室に連通するノズルからインクが吐出され、所望の画像が用紙に印字される。

特許文献１には、流路ユニット及びインク供給ブロックを構成する各プレートに、積層時に位置決めを行うための孔が形成されているインクジェットヘッドが開示されている。かかる孔によって、流路ユニット及びインク供給ブロックには、その下面から上面まで貫通する貫通孔がそれぞれ形成されることとなる。
特開２００５−２２１８３号公報（図１１）

しかしながら、特許文献１に記載のインクジェットヘッドでは、流路ユニットのノズルが形成されている下面に付着したインクが、貫通孔を介して流路ユニットの上面まで達し、さらにインク供給ブロックの下面から貫通孔を介して上面まで達することがある。これにより、インクが、インク供給ブロックの側面に配されている配線部材に付着したり、配線部材を伝ってアクチュエータユニットに付着したりする場合がある。このような場合には、電気障害を起こす可能性がある。

そこで、本発明の目的は、電気障害の発生を抑制することができるインクジェットヘッドを提供することである。

本発明のインクジェットヘッドは、複数の板状部材が積層されたものであって、圧力室を含んでおり且つインクを吐出するインク吐出口に至る複数の個別インク流路、複数の前記インク吐出口が形成されたインク吐出面、及び、インクが流入する流入口が形成されており且つ前記インク吐出面とは反対方向を向いた支持面を有する流路ユニットと、前記流入口を覆うように前記支持面に取り付けられることによって前記流入口を通過するインクを濾過するフィルタ膜と、前記支持面に取り付けられており、前記圧力室内のインクに吐出エネルギーを付与する圧電アクチュエータと、前記圧電アクチュエータと電気的に接続されて前記圧電アクチュエータに吐出信号を供給する配線が形成された配線部材と、複数の板状部材が積層されたものであって、インクが流出する流出口が形成されており且つ前記流入口と前記流出口とが前記フィルタ膜を介して接続されるように前記フィルタ膜に接着された接着面、及び、インクが注入される注入口が形成されており且つ前記接着面とは反対方向を向いたインク注入面を有するインク供給ブロックとを備えている。そして、前記流路ユニットには、前記インク吐出面と直交する方向に延びて前記インク吐出面と前記支持面とを接続する貫通孔が設けられており、前記インク供給ブロックには、前記インク吐出面と直交する方向に延びて前記接着面と前記インク注入面とを接続する貫通孔が設けられており、前記フィルタ膜は、その前記流入口と対向していない部分が、前記流路ユニットに設けられた前記貫通孔及び前記インク供給ブロックに設けられた前記貫通孔の少なくともいずれか一方を覆っており、前記流路ユニットに設けられた前記貫通孔と、前記インク供給ブロックに設けられた前記貫通孔との連通を妨げている。

この構成によると、インクが、インク吐出面から流路ユニット及びインク供給ブロックに設けられた貫通孔を通ってインク注入面に達するのを防ぐことができる。したがって、圧電アクチュエータ及び配線部材へのインクの付着を抑えることができる。その結果、電気障害の発生を抑制することができる。

また、貫通孔を塞ぐための別部材が不要となる。

本発明のインクジェットヘッドでは、前記フィルタ膜には、前記流入口に対向しており多数の孔が形成された濾過領域が形成されており、前記フィルタ膜の前記濾過領域外の部分が、前記流路ユニットに設けられた前記貫通孔及び前記インク供給ブロックに設けられた前記貫通孔の少なくともいずれか一方を覆っていることが好ましい。この構成によると、フィルタ膜によって、流路ユニットに設けられた貫通孔と、インク供給ブロックに設けられた貫通孔との連通が確実に遮断される。したがって、インクがインク吐出面から貫通孔を通ってインク注入面に達するのを一層確実に防ぐことができる。

本発明のインクジェットヘッドでは、前記流路ユニットに設けられた前記貫通孔と、前記インク供給ブロックに設けられた前記貫通孔とが、平面視において異なる位置にあることが好ましい。この構成によると、インクがインク吐出面から貫通孔を通ってインク注入面に達するのを、なお一層確実に防ぐことができる。

本発明のインクジェットヘッドでは、前記流路ユニット及び前記インク供給ブロックが平面視において細長形状を有しており、前記流路ユニットの平面視における長手方向の両端近傍に一又は複数の前記貫通孔がそれぞれ設けられており、前記インク供給ブロックの平面視における長手方向の両端部近傍に一又は複数の前記貫通孔がそれぞれ設けられており、前記圧電アクチュエータが、前記支持面上において、前記流路ユニット及び前記インク供給ブロックにおいて前記長手方向の一端近傍に設けられた一又は複数の前記貫通孔のうち、当該一端との間隔が最も大きい前記貫通孔と、他端近傍に設けられた一又は複数の前記貫通孔のうち、当該他端との間隔が最も大きい前記貫通孔との間に対応する領域に配置されてもよい。

この構成によると、比較的大きな圧電アクチュエータを配置することができる。また、圧電アクチュエータが、長手方向中央周辺に集まって配置されることになるので、インクの侵入による影響を受けにくい。

本発明のインクジェットヘッドは、複数の前記圧電アクチュエータを備えており、これら複数の前記圧電アクチュエータは、前記長手方向に隣り合う前記圧電アクチュエータの前記長手方向に関する端部付近同士が、前記支持面内において前記長手方向に関して互いに重なるように、前記長手方向に配列されていると共に、前記フィルタ膜が、前記長手方向に関する前記流路ユニットの端部と、当該端部に最も近い前記圧電アクチュエータとの間に取り付けられていてもよい。この構成によると、各圧電アクチュエータのサイズを大型化することなく、比較的長尺のラインを構成することができる。

本発明のインクジェットヘッドでは、前記流路ユニットにおける前記長手方向の両端近傍のそれぞれには、複数の前記貫通孔が設けられており、前記フィルタ膜が、前記流路ユニットにおける前記長手方向の端部近傍に設けられた複数の前記貫通孔のうち、当該端部との間隔が最も大きい前記貫通孔を覆っていてもよい。この構成によると、長手方向中央周辺に配置された圧電アクチュエータに最も近接しており、且つインク吐出面に付着したインクが最も侵入しやすい貫通孔を塞ぐことができる。したがって、流路ユニットとインク供給ブロックとの間における圧電アクチュエータが配置される領域にインクが侵入するのを防ぐことができる。

本発明のインクジェットヘッドでは、前記インク供給ブロックに形成された前記貫通孔が、平面視において、前記流路ユニットにおける前記長手方向の端部近傍に設けられていると共に前記フィルタ膜によって覆われている前記貫通孔に関して、当該端部とは反対側に位置していることが好ましい。この構成によると、仮に、インク吐出面に付着したインクが、流路ユニットに設けられた複数の貫通孔のうちフィルタ膜によって覆われていない貫通孔を介して、支持面まで到達した場合であっても、さらにインク供給ブロックに形成された貫通孔に侵入して、インク注入面に達することが難しくなる。

本発明のインクジェットヘッドでは、前記フィルタ膜が、前記流路ユニットの平面視における幅方向の両端部近傍まで延びていることが好ましい。この構成によると、仮に、インク吐出面に付着したインクが、流路ユニットに設けられた複数の貫通孔のうちフィルタ膜によって覆われていない貫通孔を介して、支持面まで到達した場合であっても、圧電アクチュエータが配置される領域にインクが侵入するのを確実に防ぐことができる。

本発明のインクジェットヘッドは、前記インク供給ブロックが、前記インク吐出面と直交する方向に関して前記圧電アクチュエータと対向するように、前記接着面と同じ方向を向きつつ前記支持面から離隔した対向面をさらに有していてもよい。この構成によると、圧電アクチュエータと対向する領域にもインク供給ブロックを配置することができるので、インク供給ブロック内のインク貯留量を多くできる。よって、流路ユニットへのインク供給不足が起こりにくくなる。

以下、本発明の好適な一実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。

図１は、本実施の形態に係るインクジェットヘッドの外観斜視図である。図１に示すように、インクジェットヘッド１は、主走査方向に長尺な形状であって、紙面下方から順に、用紙に対向するヘッド本体２と、インクを一時的に貯溜すると共に、ヘッド本体２に含まれる後述する流路ユニット９（図６参照）にインクを供給するリザーバユニット３と、コネクタ５ａ及びコンデンサ５ｂなどの電子部品が実装された基板４とを有している。なお、本説明においては、インクジェットヘッド１のヘッド本体２が設けられている側を「下」、基板４が設けられている側を「上」として上下方向を定める。

ヘッド本体２の上面には、後で詳述するように、４つのアクチュエータユニット２１（図６参照）が固定されている。このアクチュエータユニット２１上に配線部材であるＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）６がそれぞれ貼り付けられており、ヘッド本体２とリザーバユニット３との間からリザーバユニット３の側面に沿って上方に引き出されている。このように、ＦＰＣ６は、一端においてアクチュエータユニット２１と接続され、他端において基板４のコネクタ５ａと接続されている。また、ＦＰＣ６には、アクチュエータユニット２１から基板４に至る途中で、ドライバＩＣ７が実装されている。つまり、ＦＰＣ６は、基板４とドライバＩＣ７とに電気的に接続されており、基板４から出力された画像信号をドライバＩＣ７に伝達し、ドライバＩＣ７から出力された駆動信号をアクチュエータユニット２１に供給する。

図２は、図１に示すリザーバユニット３の断面図である。図２では説明の都合上、鉛直方向の縮尺を拡大している。図３は、図１に示すリザーバユニット３の分解平面図である。ここで、図３（ａ）、（ｂ）はいずれもリザーバユニット３の一部を構成するインク導入ブロック１１であって、（ａ）は上方から見た図であり、（ｂ）は下方から見た図である。また、図（ｃ）、（ｄ）は、リザーバユニット３の一部を構成するプレート１２、１３をそれぞれ上方から見た図であり、図３（ｅ）は、リザーバユニット３の一部を構成するプレート１４を下方から見た図である。図４は、図２に示すインク導入ブロック１１を斜め下方から見たときの斜視図である。図５は、図２に示すインク導入ブロック１１を斜め上方から見たときの斜視図である。なお、図３〜図５においては、インク導入ブロック１１の構造を分かり易くするために、後述するフィルム４１、４２及びフィルタ３７を省略して描いている。

リザーバユニット３は、図３に示すように、主走査方向に長尺なインク導入ブロック１１と、主走査方向に長尺な矩形状の平面を有する３枚のプレート１２〜１４とが積層された積層構造を有する。なお、図２に示すように、互いに積層されたプレート１２〜１４は、インク供給ブロック１５を構成する。ここで、プレート１２〜１４は、例えば、ステンレス鋼等の金属プレートである。

最上層のインク導入ブロック１１は、例えば、ポリアセタール樹脂やポリプロピレン樹脂のような合成樹脂から形成されている。そして、インク導入ブロック１１の内部には、図２に示すように、上面１１ａにおける長手方向一端部（図中左側端部）近傍に形成された入口３１と、下面１１ｂにおける長手方向中央に形成された出口３３とを連通する上部リザーバ流路３４が形成されている。すなわち、上部リザーバ流路３４は、インク導入ブロック１１の長手方向に関して中央から一方の端部までの間にのみ形成されている。インク導入ブロック１１の上面１１ａには、入口３１を取り囲みつつ上方に向かって突出した筒状のジョイント部３０が形成されている。ジョイント部３０には、インクタンク（不図示）に接続されたインク供給チューブ（不図示）の端部に繋がれた接続部材が接続される。こうして、ジョイント部３０を介して上部リザーバ流路３４にインクタンクからのインクが供給される。

また、図３（ａ）及び図５に示すうように、インク導入ブロック１１の上面１１ａには、その長手方向に沿って長尺な楕円形状の開口３２が形成されている。開口３２は、上面１１ａにおける上部リザーバ流路３４が形成された部分と対向する領域内に形成されており、その長手方向一端（図２、３（ａ）中右側端）が、下面１１ｂに形成された出口３３と対向している。そして、開口３２は、図２に示すように、フィルム４２によって封止されている。さらに、インク導入ブロック１１の下面１１ｂには、図３（ｂ）及び図４に示すように、上面１１ａに形成された入口３１と対向する箇所と、上面１１ａに形成された開口３２の出口３３と対向する一端部とは反対側の他端部近傍と対向する箇所とに跨る領域に、主走査方向に延在する開口３５が形成されている。開口３５は、図２に示すように、フィルム４１によって封止されている。

このようにインク導入ブロック１１には、開口３５を封止するフィルム４１及び開口３２を封止するフィルム４２によって、インク導入ブロック１１の長手方向一端部近傍の入口３１から、長手方向中央の出口３３に至る上部リザーバ流路３４が形成されている。なお、図２に示すように、上部リザーバ流路３４における、その延在方向略中央から、開口３５の端部と開口３２の端部とが対向している箇所までは、その深さ（図中上下方向に沿う長さ）が上方に拡張されている。かかる深所部分には、フィルタ３７が設けられている。こうして、インクタンクからのインクが、入口３１から上部リザーバ流路３４内に流通し、フィルタ３７を通過した後、出口３３から流出する。

ここで、開口３５、３２をそれぞれ封止するフィルム４１、４２は、可撓性を有しつつ優れたガスバリア性を有する材質（例えば、シリカ膜（ＳｉＯｘ膜）又はアルミ膜が蒸着されたＰＥＴ（ポリエチレン・テレフタレート）フィルム）から構成されている。したがって、インクジェットヘッド１の外側の気体が、フィルム４１、４２を介して、インク導入ブロック１１の上部リザーバ流路３４内にほとんど侵入することができないようになっている。

さらに、インク導入ブロック１１の下面１１ｂにおける出口３３の周囲には、環状溝４３が形成されている。環状溝４３には、Ｏリング４４が嵌め込まれており、出口３３と後述するようにプレート１２に形成された注入口５３とが水密に連通されている。また、インク導入ブロック１１には、図３（ａ）、（ｂ）に示すように、上面１１ａから下面１１ｂまで貫通した４つの貫通孔４５〜４８が形成されている。これらの貫通孔４５〜４８は、インク導入ブロック１１をプレート１２にネジ止めするための貫通孔である。

また、インク導入ブロック１１の副走査方向の両端であって外周側面には、図３（ａ）及び図５に示すように、上方に突出した引っ掛け爪２６がそれぞれ２つずつ形成されている。これら引っ掛け爪２６は、インク導入ブロック１１上に基板４が配置されたときに、基板４の上面を押さえて保持するものである。

インク供給ブロック１５の最上層のプレート１２には、図２及び図３（ｃ）に示すように、主走査方向の両端部にそれぞれ貫通孔５１が形成されている。これら貫通孔５１は、ネジによってプリンタ本体にインクジェットヘッド１を固定するときに使用されるものである。また、プレート１２の中央には、その上面に位置する注入口５３に繋がった貫通孔が形成されている。さらに、各貫通孔５１からやや中央よりには、組み立て時の位置合わせ用の基準孔５４が形成されている。加えて、プレート１２には、４つのネジ穴５６〜５９が形成されている。４つのネジ穴５６〜５９は、上述したインク導入ブロック１１の４つの貫通孔４５〜４８に対応して形成されている。インク導入ブロック１１とプレート１２とをネジ止めすると、インク導入ブロック１１の出口３３とプレート１２の注入口５３とが対向し、プレート１２に形成された注入口５３に繋がった貫通孔と上部リザーバ流路３４とが連通する。

インク供給ブロック１５の中間層のプレート１３には、図２及び図３（ｄ）に示すように、下部リザーバ流路８６となる貫通孔が形成されている。下部リザーバ流路８６は、主流路８２及び主流路８２に連通する１０個の支流路８３を含んでいる。主流路８２は、プレート１３の長手方向に長尺な略楕円形状であり、その中央がプレート１２の注入口５３と対向している。支流路８３は、主流路８２よりも流路幅が狭くなっており、いずれも主流路８２の長手方向端部から、プレート１３の短手方向端部近傍まで延びている。さらに、プレート１３には、プレート１２に形成された各基準孔５４に対応した基準孔６４と、各基準孔６４とプレート１３の長手方向端部との間に位置する逃がし孔６１とが形成されている。逃がし孔６１は、リザーバユニット３とインク供給ブロック１５との組み付け時に用いられる。かかる組み付け工程時には、後述するように、組み付け固定盤に立てた挿通ピン９９（図１３（ｃ）参照）で位置決めされるが、このとき挿通ピン９９の先端部は、逃がし孔６１内に位置する。

インク供給ブロック１５の最下層のプレート１４には、図３（ｅ）に示すように、その下面における各支流路８３の端部と対向する位置に形成された平面形状が略楕円状の流出口８８に、それぞれ繋がる貫通孔が形成されている。つまり、流出口８８は、いずれもプレート１４の短手方向端部近傍に形成されている。プレート１４の下面における流出口８８の周縁部分は、突出した突出部８９ａ、８９ｂ、８９ｃ、８９ｄとなっている。本実施形態においてプレート１４の突出部８９ａ〜８９ｄは、流出口８８に繋がる貫通孔とともにエッチングによって形成されている。これら突出部８９ａ〜８９ｄの接着面（プレート１４の下面）９０ａ〜９０ｄが、後述するように、流路ユニット９の上面である支持面９ａに配置されたフィルタ膜９５ａ、９５ｂと固定される。そのため、プレート１４の下面における接着面９０ａ〜９０ｄ以外の部分は、流路ユニット９の支持面９ａから離隔した対向面１５ｂとなっている。つまり、対向面１５ｂと支持面９ａとの間には、所定の間隔の空間が形成される。そして、当該空間から上述のＦＰＣ６が引き出されている。また、プレート１４には、プレート１３に形成された各逃し孔６１及び各基準孔６４にそれぞれ対応した、位置決め孔７１及び基準孔７４が形成されている。

これら３枚のプレート１２〜１４は、各プレート１２〜１４に２つずつ形成された基準孔５４、６４、７４に、挿通ピン９７（図１３（ａ）参照）が挿入されることで、位置合わせが行われる。このとき、図２に示すように、プレート１３に形成された逃がし孔６１と、プレート１４に形成された位置決め孔７１とが連通する。ここで、各プレート１２〜１４に形成された基準孔５４、６４、７４はいずれも同径である。また、逃がし孔６１は、これに対応する位置決め孔７１よりも大きな径を有している。そして、プレート１２〜１４が互いに接着剤で固定されることによって、インク供給ブロック１５が構成される。なお、図２に示すように、インク供給ブロック１５には、プレート１２〜１４にそれぞれ形成された基準孔５４、６４、７４によって、プレート１２〜１４の積層方向に延びて、インク供給ブロック１５の下面である接着面９０ａ、９０ｄから、上面であるインク注入面１５ａまで貫通する貫通孔８４が形成される。さらに、インク導入ブロック１１及びインク供給ブロック１５をネジ止めすることによって、リザーバユニット３が構成される。

次に、インクが供給されたときにおけるリザーバユニット３内でのインクの流れについて説明する。なお、図２中黒塗り矢印がリザーバユニット３内でのインクの流れを示している。

上述のように図示しないインクタンクからジョイント部３０に流入したインクは、インク導入ブロック１１に形成された入口３１、上部リザーバ流路３４、及び出口３３を通過した後、プレート１２の注入口５３を介してプレート１３の下部リザーバ流路８６に流れ込む。すなわち、インクは、上部リザーバ流路３４内のフィルタ３７で濾過された後、下部リザーバ流路８６に流れ込む。下部リザーバ流路８６の主流路８２では、インクがリザーバユニット３の長手方向両端部に向かう流れを形成する。さらに、インクは、主流路８２の両端部から各支流路８３に分岐して流れ、プレート１４の流出口８８にそれぞれ至る。流出口８８には、後述の流路ユニット９に形成された流入口１０１が連通しており、インクが流路ユニット９内に供給されることになる。

このように、リザーバユニット３内には、上部リザーバ流路３４、及び下部リザーバ流路８６というような一連のインク流路が形成されており、このインク流路がインクを一時的に貯留するインクリザーバとなる。

次に、図６〜図１２を参照しつつ、ヘッド本体２について説明する。図６は、ヘッド本体２の平面図である。図７は、図６に示すヘッド本体２の分解斜視図である。図８は、図６に示すVIII−VIII線に沿った部分断面図である。図９は、図６の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。なお、図９では説明の都合上、アクチュエータユニット２１の下方にあって破線で描くべき圧力室１１０、アパーチャ１１２及びノズル１０８を実線で描いている。図１０は、図９に示すX−X線に沿った部分断面図である。図１１は、図６に示すフィルタ膜の部分拡大図である。図１２（ａ）はアクチュエータユニット２１の拡大断面図であり、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）においてアクチュエータユニット２１の表面に配置された個別電極を示す平面図である。

ヘッド本体２は、図６に示すように、流路ユニット９と、流路ユニット９の支持面９ａに固定された４つのアクチュエータユニット２１、及びフィルタ膜９５ａ、９５ｂとを含む。

流路ユニット９は、リザーバユニット３のプレート１４とほぼ同じ平面形状を有する直方体形状となっている。流路ユニット９の支持面９ａには、上述のように、インク供給ブロック１５の流出口８８と連通する計１０個の流入口１０１が形成されている。図６に示すように、流入口１０１は、流路ユニット９の幅方向両端部近傍に５個ずつ形成されている。より詳細には、幅方向端部近傍には、互いに近接して形成された２つの流入口１０１の２つの組と、孤立した流入口１０１とが、長手方向に沿ってほぼ等間隔で位置している。幅方向両端部近傍にそれぞれ位置する流入口１０１の組または孤立した流入口１０１は、幅方向に関して対向しないように形成されている。なお、幅方向一端部（図６中下方端部）近傍に形成された孤立した流入口１０１は、長手方向一端部（図６中右側端部）近傍に位置しており、幅方向他端部（図６中上方端部）近傍に形成された孤立した流入口１０１は、長手方向他端部（図６中左側端部）近傍に位置している。

流路ユニット９の下面であるインク吐出面９ｂにおけるアクチュエータユニット２１の接着領域に対向する領域は、図９に示すように、多数のノズル１０８がマトリクス状に配置されたインク吐出領域となっている。なお、インク吐出面９ｂは、リザーバユニット３及び流路ユニット９の積層方向に直交する。また、流路ユニット９の内部には、図６及び図９に示すように、共通インク室であり、流入口１０１に連通するマニホールド流路１１４、及びその分岐流路である副マニホールド流路１１４ａが形成されている。さらに、副マニホールド流路１１４ａには、圧力室１１０をそれぞれ含んでおり、各ノズル１０８に連通する複数の個別インク流路１３２（図１０参照）が繋がっている。なお、個別インク流路１３２は、アクチュエータユニット２１の接着領域と対向する領域に形成されている。そして、流入口１０１からマニホールド流路１１４、副マニホールド流路１１４ａ、及び個別インク流路１３２にインクが流入するようになっている。

圧力室１１０は、アクチュエータユニット２１の接着領域に対向する領域において、マトリクス状に多数配列されている。本実施の形態では、図９に示すように、等間隔に流路ユニット９の長手方向（図中左右方向）に並ぶ圧力室１１０の列が、幅方向（図中上下方向）に互いに平行に１６列配列されている。各圧力室列に含まれる圧力室１１０の数は、後述のアクチュエータユニット２１の外形形状（台形形状）に対応して、その長辺側から短辺側に向かって次第に少なくなるように配置されている。ノズル１０８も、これと同様の配置がされている。

流路ユニット９は、図７、１０に示すように、上から順に、キャビティプレート１２２、ベースプレート１２３、アパーチャプレート１２４、サプライプレート１２５、マニホールドプレート１２６、１２７、１２８、カバープレート１２９、及び、ノズルプレート１３０、という９枚のプレートから構成されている。各プレート１２２〜１３０は、リザーバユニット３のプレート１２〜１４と同様に、ステンレス鋼等の金属プレートである。本実施の形態では、各プレート１２２〜１３０は、ＳＵＳ製である。これらプレート１２２〜１３０は、主走査方向に長尺な矩形状の平面を有する。

キャビティプレート１２２には、圧力室１１０となる略菱形の貫通孔が多数形成されている。アパーチャプレート１２４には、ベースプレート１２３に形成された連絡孔を介して、各圧力室１１０に連通し、絞りとして機能するアパーチャ１１２となる貫通孔が形成されている。マニホールドプレート１２６、１２７、１２８には、積層時に互いに連結してマニホールド流路１１４及び副マニホールド流路１１４ａとなる貫通孔が形成されている。マニホールド流路１１４は、プレート１２２〜１２５に形成された連絡孔を介して、支持面９ａに形成された流入口１０１に連通している。副マニホールド流路１１４ａは、サプライプレート１２５に形成された連絡孔を介して、アパーチャ１１２と連通している。ノズルプレート１３０には、プレート１２３〜１２９にそれぞれ形成された連絡孔を介して、各圧力室１１０と連通するノズル１０８となる孔が形成されている。

これら９枚のプレート１２２〜１３０は、図１０に示すような、副マニホールド流路１１４ａの出口から、アパーチャ１１２及び圧力室１１０を介して、ノズル１０８に至る個別インク流路１３２が流路ユニット９内に形成されるように位置合わせしつつ積層され、且つ互いに固定されている。なお、各プレート１２２〜１３０の位置合わせは、後で詳述するように、積層確認孔１２２ａ〜１３０ａ、及び基準孔１２２ｂ〜１３０ｂ（図７参照）を用いて行われる。

ここで、図７に示すように、各プレート１２２〜１３０の長手方向両端部近傍には、積層確認孔１２２ａ〜１３０ａ、基準孔１２２ｂ〜１３０ｂ、及び位置決め孔１２２ｃ〜１３０ｃの３つの孔がそれぞれ形成されている。これら３つの孔１２２ａ〜１３０ａ、１２２ｂ〜１３０ｂ、及び１２２ｃ〜１３０ｃは、各プレート１２２〜１３０の長手方向に沿って配置されている。そして、各プレート１２２〜１３０が積層された際には、これら３つの孔１２２ａ〜１３０ａ、１２２ｂ〜１３０ｂ、及び１２２ｃ〜１３０ｃによって、流路ユニット９の長手方向両端部近傍に、３つの貫通孔１０２、１０４、１０６が、それぞれ形成されることとなる（図６参照）。これら３つの貫通孔１０２、１０４、１０６は、流路ユニット９の長手方向に沿って並んでいる。

図８に示すように、３つの貫通孔１０２、１０４、１０６は、いずれも流路ユニット９を上面の支持面９ａから下面のインク吐出面９ｂまで貫通している。このうち、中央の貫通孔１０４は、各プレート１２２〜１３０に形成された基準孔１２２ｂ〜１３０ｂによって構成される。基準孔１２２ｂ〜１３０ｂは、流路ユニット９を組み立てるときの各プレート１２２〜１３０同士の位置合わせに用いられる。すなわち、基準孔１２２ｂ〜１３０ｂは、いずれも同径であり、組み立て時に挿通ピン９８（図１３（ｂ）参照）が挿入される。そして、各プレート１２２〜１３０が互いに接着剤で固定されることによって、流路ユニット９が構成される。また、これらの各基準孔１２２ｂ〜１３０ｂによって各プレート１２２〜１３０を位置合わせしつつ積層することで、他の２つの貫通孔１０２、１０６が形成されている。

３つの貫通孔１０２、１０４、１０６のうち、流路ユニット９の長手方向中央寄りの貫通孔１０６は、各プレート１２２〜１３０に形成された積層確認孔１２２ａ〜１３０ａによって構成される。図８に示すように、積層確認孔１２２ａ〜１３０ａの径は、流路ユニット９の最上層のキャビティプレート１２２に形成されたものが最も小さく、下層のプレートに形成されたものほど大きくなり、最下層のノズルプレート１３０に形成されたものが最も大きい。積層確認孔１２２ａ〜１３０ａは、各プレート１２２〜１３０を積層する際に、上述の基準孔１２２ｂ〜１３０ｂで大まかな位置合わせが行われた後の微調整に用いられる。なお、この微調整によって、貫通孔１０６を構成する各積層確認孔１２２ａ〜１３０ａは、ほぼ同軸状に配置されることになる。

３つの貫通孔１０２、１０４、１０６のうち、中央の貫通孔１０４に関して貫通孔１０６とは反対側の貫通孔１０２は、各プレート１２２〜１３０に形成された位置決め孔１２２ｃ〜１３０ｃによって構成され、流路ユニット９とインク供給ブロック１５との位置決めに用いられる。位置決め孔１２２ｃ〜１３０ｃは、いずれも同径である。貫通孔１０２は、インク供給ブロック１５におけるプレート１３の逃がし孔６１及びプレート１４の位置決め孔７１と対応した位置に形成されていると共に、位置決め孔７１と同径である。これら逃がし孔６１と、位置決め孔７１と、貫通孔１０２とに挿通ピン９９（図１３（ｃ）参照）を通すことで、流路ユニット９とインク供給ブロック１５との位置決めが行われる。

なお、上述のように、流路ユニット９には、３つの貫通孔１０２、１０４、１０６が長手方向両端部近傍にそれぞれ形成されている。そのため、流路ユニット９を構成する各プレート１２２〜１３０の積層時には、挿通ピン９８が、２つの貫通孔１０４にそれぞれ挿通され、流路ユニット９とインク供給ブロック１５との組み付け時には、挿通ピン９９が、２の貫通孔１０２及びそれに対応する２つの位置決め孔７１にそれぞれ挿通されることになる。

また、流路ユニット９の支持面９ａには、流入口１０１を覆う複数のフィルタ膜９５ａ、９５ｂが配置されている。フィルタ膜９５ａ、９５ｂには、図１１に示すように、流入口１０１に対向した領域には、多数の濾過孔９６ａが形成されており、流入口１０１から流路ユニット９内に供給されるインクを濾過することが可能な濾過領域９６となっている。なお、流入口１０１に対向していない領域には、濾過孔９６ａは形成されていない。

図６に示すように、フィルタ膜９５ａは、流路ユニット９の長手方向端近傍に位置する孤立した流入口１０１を覆っている。フィルタ膜９５ａは、流路ユニット９の長手方向端部と、支持面９ａに固定された４つのアクチュエータユニット２１のうち、最も当該端部に近いものとの間において、流路ユニット９の幅方向に対して斜めに傾いて延在しており、流路ユニット９の幅方向両端部近傍まで延びている。さらに、フィルタ膜９５ａは、濾過領域９６以外の領域によって、流路ユニット９の長手方向中央寄りに配置された貫通孔１０６を覆っている。フィルタ膜９５ｂは、流路ユニット９の長手方向に沿って延在しており、互いに近接して２つ配置された流入口１０１の４つの組をそれぞれ覆っている。

つまり、フィルタ膜９５ａ、９５ｂは合計６つ設けられている。これらフィルタ膜９５ａ、９５ｂは、図６中２点鎖線で示すように、リザーバユニット３のプレート１４に形成された突出部８９ａ〜８９ｄのそれぞれと対向する領域内に配置されている。フィルタ膜９５ａ、９５ｂは、突出部８９ａ〜８９ｄの接着面９０ａ〜９０ｄと接着剤によって接着されている。なお、フィルタ膜９５ａは、接着面９０ａ、９０ｄと接着された際に、インク供給ブロック１５に形成された貫通孔８４の下方開口を覆う（図１３（ｃ）参照）。

各アクチュエータユニット２１は、上述のように、複数の圧力室１１０及び複数のノズル１０８が形成された領域と対向して配置されている。そして、アクチュエータユニット２１は、各圧力室１１０に対向して設けられた複数のアクチュエータを含み、圧力室１１０内のインクに吐出エネルギーを付与する機能を有する。

４つのアクチュエータユニット２１は、図６に示すように、それぞれ台形の平面形状を有しており、支持面９ａにおける長手方向両端部近傍にそれぞれ配置されたフィルタ膜９５ａの間の領域において、流入口１０１を避けるよう千鳥状に配置されている。より詳細には、各アクチュエータユニット２１は、その平行対向辺が流路ユニット９の長手方向に沿うように、長手方向に配列される。そして、隣接するアクチュエータユニット２１の斜辺同士が、流路ユニット９の長手方向に重なり合っている。

ここで、アクチュエータユニット２１は、上述のように、それぞれ台形の外形形状を有しているので、主走査方向の最も外側の両端部には、インクの吐出を行わない領域が存在する。この領域は、被記録媒体に対する印字領域の外に位置する非印字領域で、図６の領域Ａがこれに相当する。図６に示すように、各アクチュエータが配置された印字領域を中央にして、これに続く非印字領域が貫通孔１０６等の配設領域を離隔している形態となっている。そのため、アクチュエータユニット２１は、インクの侵入による影響を受けにくい。

上述したように、インク供給ブロック１５は、突出部８９ａ〜８９ｄによって、流路ユニット９上のフィルタ膜９５ａ、９５ｂに固定されているので、突出部８９ａ〜８９ｄの突出高さとフィルタ膜９５ａ、９５ｂの厚さ分だけ、インク供給ブロック１５の対向面１５ｂと流路ユニット９の支持面９ａとの間には隙間が生じている。アクチュエータユニット２１は、この隙間内に配置されている。さらに、アクチュエータユニット２１上にはＦＰＣ６が固定されているが、このＦＰＣ６は、対向して配置されるインク供給ブロック１５の対向面１５ｂには接触していない。

アクチュエータユニット２１は、ユニモルフ型のアクチュエータであって、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなる厚み略１５μｍの３枚の圧電シート１４１、１４２、１４３から構成されている（図１２（ａ）参照）。圧電シート１４１〜１４３は、１つのインク吐出領域に対応して形成された多数の圧力室１１０に跨って配置されている。

最上層の圧電シート１４１上における圧力室１１０に対向する位置には、厚さ略１μｍの個別電極１３５が形成されている。最上層の圧電シート１４１とその下側の圧電シート１４２との間には、シート全面に形成された略２μｍの厚みの共通電極１３４が介在している。個別電極１３５及び共通電極１３４は、共に例えばＡｇ−Ｐｄ系等の金属材料からなる。圧電シート１４２、１４３の間には電極が配置されていない。

個別電極１３５は、図１２（ｂ）に示すように、圧力室１１０とほぼ相似な略菱形の平面形状を有する。略菱形の個別電極１３５における鋭角部の一方は、図１２に示すように、圧力室１１０と対向しない位置まで延出され、その先端には、個別電極１３５と電気的に接続された、略１６０μｍの径を有する円形のランド１３６が設けられている。ランド１３６は、例えばガラスフリットを含む金からなる。各ランド１３６は、ＦＰＣ６（図１参照）に設けられた接点（リード線）と電気的にそれぞれ接合されている。

共通電極１３４は、図示しない領域において接地されている。これにより、共通電極１３４は、すべての圧力室１１０に対応する領域において、等しくグランド電位に保たれている。

ここで、アクチュエータユニット２１の駆動方法について述べる。圧電シート１４１は、その厚み方向に分極されている。したがって、個別電極１３５を共通電極１３４と異なる電位にして、圧電シート１４１に対してその分極方向に電界を印加すると、圧電シート１４１における電界印加部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。即ち、圧電シート１４１は、その厚み方向に伸長又は収縮し、圧電横効果により平面方向に収縮又は伸長しようとする。一方、残り２枚の圧電シート１４２、１４３は、個別電極１３５と共通電極１３４とに挟まれた領域をもたない非活性層であって、自発的に変形することができない。

圧電シート１４１における電界印加部分とその下方の圧電シート１４２、１４３との間で平面方向への歪みに差が生じると、圧電シート１４１〜１４３全体が圧力室１１０側へ凸になるように変形（ユニモルフ変形）する。これにより圧力室１１０の容積が低下し、ノズル１０８からインクが吐出される。その後、個別電極１３５を共通電極１３４と同じ電位に戻すと、圧電シート１４１〜１４３は元の平坦な形状になって、圧力室１１０の容積が元の容積に戻る。これに伴い、再び圧力室１１０内にインクが貯溜される。こうして、用紙に所望の画像が印字される。

次に、図１３を参照しつつ、インクジェットヘッド１の製造工程について説明する。

まず、インク供給ブロック１５を製造するには、３枚の金属プレートに対して、パターニングされたフォトレジストをマスクとしたエッチングを施して、図３（ｃ）〜（ｅ）に示すような、３枚のプレート１２〜１４を作製する。そして、図１３（ａ）に示すように、３枚のプレート１２〜１４を、各プレート１２〜１４にそれぞれ形成された基準孔５４、６４、７４に挿通ピン９７を挿通させた状態で積層し、位置合わせを行う。なお、基準孔５４、６４、７４は互いに同径であるので、これら基準孔５４、６４、７４に嵌合するような挿通ピン９７を嵌め込むことによって、正確な位置合わせを行うことができる。このとき、各プレート１２〜１４の間には、エポキシ系の熱硬化性接着剤を介在させる。さらに、３枚のプレート１２〜１４を熱硬化性接着剤の硬化温度以上の温度に加圧しつつ加熱する。これによって、熱硬化性接着剤が硬化して３枚のプレート１２〜１４が互いに固着され、インク供給ブロック１５が構成される。

一方、ヘッド本体２を製造するには、まず、９枚の金属プレートに対してパターニングされたフォトレジストをマスクとしたエッチングを施して、図７に示すような、９枚のプレート１２２〜１３０を作製する。そして、図１３（ｂ）に示すように、９枚のプレート１２２〜１３０を、各プレート１２２〜１３０にそれぞれ形成された基準孔１２２ｂ〜１３０ｂに挿通ピン９８を挿通させた状態で積層し、位置合わせを行う。なお、各プレート１２２〜１３０にそれぞれ形成された基準孔１２２ｂ〜１３０ｂは互いに同径であるので、これら基準孔１２２ｂ〜１３０ｂに嵌合するような挿通ピン９８を嵌め込むことによって、ほぼ正確な位置合わせを行うことができる。

さらに、積層確認孔１２２ａ〜１３０ａにより、プレート１２２〜１３０の高精度な位置合わせを行う。具体的には、例えば、最下層のノズルプレート１３０にカバープレート１２９を積層する際には、カバープレート１２９に形成された積層確認孔１２９ａと、ノズルプレート１３０に形成された積層確認孔１３０ａとの軸合わせを行い、プレート１２９、１３０の高精度な位置合わせを行う。このとき、各プレート１２２〜１３０の間には、エポキシ系の熱硬化性接着剤が介在されており、積層が完了した後、熱硬化性接着剤の硬化温度以上の温度に加圧しつつ加熱する。これによって、９枚のプレート１２２〜１３０が互いに固着され、流路ユニット９が構成される。その後、流路ユニット９の支持面９ａに、別途作製されたアクチュエータユニット２１とフィルタ膜９５ａ、９５ｂとが接着剤によって固定され、ヘッド本体２が作製される。

なお、インク供給ブロック１５の作製工程と、ヘッド本体２の作製工程とは、独立に行われるものであるため、いずれを先に行ってもよいし、並行して行ってもよい。

その後、ＦＰＣ６とアクチュエータユニット２１とをそれぞれ電気的に接続してから、図１３（ｃ）に示すように、流路ユニット９に形成された貫通孔１０２とインク供給ブロック１５のプレート１４に形成された位置決め孔７１とに、挿通ピン９９を挿通させる。なお、挿通ピン９９の先端は、インク供給ブロック１５のプレート１３に形成された逃がし孔６１内に位置する。このとき、流路ユニット９の流入口１０１とインク供給ブロック１５の流出口８８とが、フィルタ膜９５ａ、９５ｂを介して接続されるように、流路ユニット９とインク供給ブロック１５とが位置決めされる。ここで、貫通孔１０２と位置決め孔７１とは互いに同径であるので、これら貫通孔１０２及び位置決め孔７１に嵌合するような挿通ピン９９を嵌め込むことによって、正確な位置合わせを行うことができる。

このとき、流路ユニット９の支持面９ａに配置されているフィルタ膜９５ａ、９５ｂにおける濾過領域９６以外の領域と、インク供給ブロック１５の突出部８９ａ〜８９ｄにおける接着面９０ａ〜９０ｄとの間には、エポキシ系の熱硬化性接着剤を介在させておく。続いて、流路ユニット９及びインク供給ブロック１５を熱硬化性接着剤の硬化温度以上の温度に加圧しつつ加熱する。これによって、熱硬化性接着剤が硬化して、流路ユニット９及びインク供給ブロック１５が、フィルタ膜９５ａ、９５ｂを介して固着される。

本実施の形態では、図１３（ｃ）に示すように、流路ユニット９とインク供給ブロック１５とが位置決めされたとき、インク供給ブロック１５に形成された貫通孔８４は、流路ユニット９に形成された貫通孔１０２、１０４、１０６と平面視において異なる位置にある。より詳細には、流路ユニット９及びインク供給ブロック１５の長手方向端部から長手方向中央に向かって（図１３（ｃ）中左側から右側に向かって）順番に、流路ユニット９の貫通孔１０２、貫通孔１０４、貫通孔１０６、そして、インク供給ブロック１５の貫通孔８４の順に位置している。また、上述のように、流路ユニット９の貫通孔１０２、１０４、１０６のうち、流路ユニット９の長手方向端部から最も離れている貫通孔１０６の上端は、フィルタ膜９５ａの濾過領域９６以外の領域で覆われている。さらに、図１３（ｃ）に示すように、インク供給ブロック１５の貫通孔８４の下端についても、フィルタ膜９５ａの濾過領域９６以外の領域によって覆われる。

さらに、別途射出形成等によって作製され、フィルム４１、４２及びフィルタ３７が取り付けられたインク導入ブロック１１を、インク供給ブロック１５にネジで固定することによって、リザーバユニット３を構成する。加えて、基板４をインク導入ブロック１１の引っ掛け爪２６に係合させて、リザーバユニット３に固定する。最後に、ＦＰＣ６のアクチュエータユニット２１と接続されていない方の端部を、基板４のコネクタ５ａに接続させる。こうして、リザーバユニット３とヘッド本体２と基板４とで構成されたインクジェットヘッド１が製造される。

以上のように、本実施の形態のインクジェットヘッド１では、その上面である支持面９ａにインクが流入する流入口１０１が形成された流路ユニット９と、流路ユニット９の流入口１０１を覆うように支持面９ａに取り付けられたフィルタ膜９５ａと、インクが注入される注入口５３及びインクが流出する流出口８８が形成されており、流出口８８が流路ユニット９の流入口１０１とフィルタ膜９５ａを介して接続されるインク供給ブロック１５とを備えている。流路ユニット９には、その下面であるインク吐出面９ｂから支持面９ａまで貫通する貫通孔１０２、１０４、１０６が設けられている。また、インク供給ブロック１５には、その下面であり、フィルタ膜９５ａに接続される接着面９０ａ〜９０ｄから、その上面であるインク注入面１５ａまで貫通する貫通孔８４が設けられている。そして、フィルタ膜９５ａによって、インク供給ブロック１５に形成された貫通孔８４と、流路ユニット９に形成された貫通孔１０２、１０４、１０６との連通が妨げられている。したがって、インクがインク吐出面９ｂから貫通孔１０２、１０４、１０６、及び貫通孔８４を通ってインク注入面１５ａに達するのを防ぐことができる。よって、インク注入面１５ａに達したインクが、インク供給ブロック１５の側面に沿って上方に引き出されているＦＰＣ６に付着したり、ＦＰＣ６を伝ってアクチュエータユニット２１に付着したりするのと防ぐことができる。その結果、電気障害の発生を抑制することができる。

また、本実施の形態のインクジェットヘッド１では、インク供給ブロック１５に形成された貫通孔８４の下方開口は、流路ユニット９の支持面９ａに配置されているフィルタ膜９５ａにおける流入口１０１に対向する濾過領域９６以外の領域によって覆われる。したがって、フィルタ膜９５ａによって、流路ユニット９に設けられた貫通孔１０２、１０４、１０６と、インク供給ブロック１５に設けられた貫通孔８４との連通が遮断される。よって、インクがインク吐出面９ｂから貫通孔１０２、１０４、１０６、及び貫通孔８４を通ってインク注入面１５ａに達するのを確実に防ぐことができる。

また、本実施の形態のインクジェットヘッド１では、フィルタ膜９５ａにおける流入口１０１に対向する濾過領域９６のみに、多数の濾過孔９６ａが形成されている。つまり、フィルタ膜９５ａの貫通孔８４を覆っている部分には、濾過孔９６ａは形成されていない。したがって、フィルタ膜９５ａによって、流路ユニット９に設けられた貫通孔１０２、１０４、１０６と、インク供給ブロック１５に設けられた貫通孔８４との連通が確実に遮断される。よって、インクがインク吐出面９ｂから貫通孔１０２、１０４、１０６、及び貫通孔８４を通ってインク注入面１５ａに達するのを、一層確実に防ぐことができる。

さらに、本実施の形態のインクジェットヘッド１では、インク供給ブロック１５に形成された貫通孔８４は、流路ユニット９に形成された貫通孔１０２、１０４、１０６と平面視において異なる位置にある。したがって、インクがインク吐出面９ｂから貫通孔１０２、１０４、１０６、及び貫通孔８４を通ってインク注入面１５ａに達するのを、なお一層確実に防ぐことができる。

加えて、本実施の形態のインクジェットヘッド１では、流路ユニット９及びインク供給ブロック１５が平面視において細長形状を有しており、貫通孔１０２、１０４、１０６及び貫通孔８４が、流路ユニット９及びインク供給ブロック１５の平面視における長手方向両端部近傍に設けられている。したがって、流路ユニット９及びインク供給ブロック１５の長手方向両端部近傍に設けられた貫通孔１０２、１０４、１０６、及び貫通孔８４の間の領域に、比較的大きなアクチュエータユニット２１を配置することができる。また、台形のアクチュエータユニット２１が、長手方向中央周辺に集まって配置され、貫通孔１０２、１０４、１０６との間に非印字領域が介在するので、インク吐出面９ｂから貫通孔１０２、１０４、１０６へインクが浸入し難くなる。

さらに、本実施の形態のインクジェットヘッド１では、流路ユニット９の支持面９ａに配置される４つのアクチュエータユニット２１は、長手方向に隣り合うアクチュエータユニット２１の長手方向に関する端部付近同士が、支持面９ａ内において長手方向に関して互いに重なるように、長手方向に配列される。そして、フィルタ膜９５ａは、長手方向に関する流路ユニット９の端部と、当該端部に最も近いアクチュエータユニット２１との間に取り付けられる。したがって、各アクチュエータユニット２１のサイズを大型化することなく、比較的長尺のラインを構成することができる。

また、本実施の形態のインクジェットヘッド１では、フィルタ膜９５ａが、流路ユニット９に設けられた貫通孔１０２、１０４、１０６のうち、流路ユニット９の平面視における長手方向の端部との間隔が最も大きい貫通孔１０６を覆っている。すなわち、アクチュエータユニット２１に最も近接しており、インク吐出面９ｂに付着したインクが浸入し易い貫通孔１０６を塞ぐことができる。これにより、流路ユニット９とインク供給ブロック１５との間におけるアクチュエータユニット２１が配置される領域にインクが侵入するのを防ぐことができる。

また、本実施の形態のインクジェットヘッド１では、フィルタ膜９５ａは、流路ユニット９の幅方向両端部近傍まで延びている。したがって、仮に、インク吐出面９ｂに付着したインクが貫通孔１０２、１０４を介して、支持面９ａに到達したとしても、支持面９ａにおいて幅方向両端部近傍まで伸延するフィルタ膜９５ａにより、インクがアクチュエータユニット２１の配置領域にまで達することを防ぐことができる。

さらに、本実施の形態のインクジェットヘッド１では、インク供給ブロック１５が、インク吐出面９ｂと直交する方向に関してアクチュエータユニット２１と対向するように、接着面９０ａ〜９０ｄと同じ方向を向きつつ支持面９ａから離隔した対向面１５ｂを有している。したがって、アクチュエータユニット２１と対向する領域にもインク供給ブロック１５を配置することができる。よって、インク供給ブロック１５内のインク貯留量を多くできるので、流路ユニット９へのインク供給不足が起こりにくくなる。

以上、本発明の好適な一実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて、様々な設計変更を行うことが可能なものである。例えば、上述の実施の形態では、インク供給ブロック１５に形成された貫通孔８４の下方開口、及び流路ユニット９に形成された貫通孔１０６の上方開口が、フィルタ膜９５ａの濾過領域９６以外の領域によって覆われる場合について説明したが、これには限られない。すなわち、貫通孔８４と貫通孔１０６とのいずれか一方のみがフィルタ膜９５ａによって覆われていてもよい。なお、貫通孔１０６のみがフィルタ膜９５ａで覆われ、貫通孔８４はフィルタ膜９５ａで覆われない場合には、貫通孔８４は、貫通孔１０６に対して貫通孔１０２、１０４とは反対側に設けられることが好ましい。これにより、仮に、インク吐出面９ｂに付着したインクが貫通孔１０２、１０４を介して支持面９ａに到達した場合であっても、さらに貫通孔８４に浸入し、インク注入面１５ａに到達することが難しくなる。

また、上述の実施の形態では、フィルタ膜９５ａにおける流入口１０１に対向する濾過領域９６のみに、多数の濾過孔９６ａが形成されている場合について説明したが、フィルタ膜９５ａ全体に濾過孔９６ａが形成されていてもよい。フィルタ膜９５ａ全体に濾過孔９６ａが形成されている場合でも、フィルタ膜９５ａを流路ユニット９の支持面９ａに固定する際、及びフィルタ膜９５ａをインク供給ブロック１５の接着面９０ａ〜９０ｄに固定する際に接着剤を用いると、流入口１０１に対向する領域以外に形成された濾過孔９６ａは接着剤によって埋められるこことなる。したがって、フィルタ膜９５ａによって、貫通孔１０２、１０４、１０６と貫通孔８４との連通を妨げることができる。

また、上述の実施の形態では、インク供給ブロック１５に形成された貫通孔８４が、流路ユニット９に形成された貫通孔１０４、１０６と平面視において異なる位置にある場合について説明したが、両者の間にフィルタ膜９５ａが配置されるのであれば、貫通孔８４と貫通孔１０４又は貫通孔１０６とが、平面視において同一位置にあってもよい。

さらに、上述の実施の形態では、流路ユニット９及びインク供給ブロック１５が、平面視において細長形状を有しており、貫通孔１０２、１０４、１０６、及び貫通孔８４が、流路ユニット９及びインク供給ブロック１５の平面視における長手方向両端部近傍に設けられている場合について説明したが、これには限られない。流路ユニット９及びインク供給ブロック１５の形状は長細形状に限定されない。また、貫通孔１０２、１０４、１０６、及び貫通孔８４の位置も、長手方向端部近傍でなくてもよい。

加えて、上述の実施の形態では、フィルタ膜９５ａが、流路ユニット９の幅方向両端部近傍まで延びている場合について説明したが、これには限定されない。

本発明の一実施形態にかかるインクジェットヘッドの外観斜視図である。 図１に示すリザーバユニットの断面図である。 図１に示すリザーバユニットの分解平面図である。 図２に示すインク導入ブロックを斜め下方から見たときの斜視図である。 図２に示すインク導入ブロックを斜め上方から見たときの斜視図である。 図１に示すヘッド本体の平面図である。 図６に示すヘッド本体の分解斜視図である。 図６に示すVIII−VIII線に沿った部分断面図である。 図６に示す一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。 図９に示すX−X線に沿った部分断面図である。 図６に示すフィルタ膜の部分拡大図である。 （ａ）は図６に示すアクチュエータユニットの拡大断面図であり、（ｂ）は図１２（ａ）においてアクチュエータユニットの表面に配置された個別電極を示す平面図である。 図１に示すインクジェットヘッドの製造工程における積層工程を説明するための図である。

符号の説明

１ インクジェットヘッド
６ ＦＰＣ（配線部材）
９ 流路ユニット
９ａ 支持面
９ｂ インク吐出面
１５ インク供給ブロック
１５ａ インク注入面
１５ｂ 対向面
２１ アクチュエータユニット（圧電アクチュエータ）
５３ 注入口
８４ 貫通孔
８８ 流出口
９０ａ〜９０ｄ 接着面
９５ａ、９５ｂ フィルタ膜
９６ 濾過領域
１０１ 流入口
１０２、１０４、１０６ 貫通孔
１０８ ノズル（インク吐出孔）
１１０ 圧力室
１３２ 個別インク流路

Claims (9)

1. 複数の板状部材が積層されたものであって、圧力室を含んでおり且つインクを吐出するインク吐出口に至る複数の個別インク流路、複数の前記インク吐出口が形成されたインク吐出面、及び、インクが流入する流入口が形成されており且つ前記インク吐出面とは反対方向を向いた支持面を有する流路ユニットと、
   前記流入口を覆うように前記支持面に取り付けられることによって前記流入口を通過するインクを濾過するフィルタ膜と、
   前記支持面に取り付けられており、前記圧力室内のインクに吐出エネルギーを付与する圧電アクチュエータと、
   前記圧電アクチュエータと電気的に接続されて前記圧電アクチュエータに吐出信号を供給する配線が形成された配線部材と、
   複数の板状部材が積層されたものであって、インクが流出する流出口が形成されており且つ前記流入口と前記流出口とが前記フィルタ膜を介して接続されるように前記フィルタ膜に接着された接着面、及び、インクが注入される注入口が形成されており且つ前記接着面とは反対方向を向いたインク注入面を有するインク供給ブロックとを備えており、
   前記流路ユニットには、前記インク吐出面と直交する方向に延びて前記インク吐出面と前記支持面とを接続する貫通孔が設けられており、
   前記インク供給ブロックには、前記インク吐出面と直交する方向に延びて前記接着面と前記インク注入面とを接続する貫通孔が設けられており、
   前記フィルタ膜は、その前記流入口と対向していない部分が、前記流路ユニットに設けられた前記貫通孔及び前記インク供給ブロックに設けられた前記貫通孔の少なくともいずれか一方を覆っており、前記流路ユニットに設けられた前記貫通孔と、前記インク供給ブロックに設けられた前記貫通孔との連通を妨げていることを特徴とするインクジェットヘッド。
2. 前記フィルタ膜には、前記流入口に対向しており多数の孔が形成された濾過領域が形成されており、
   前記フィルタ膜の前記濾過領域外の部分が、前記流路ユニットに設けられた前記貫通孔及び前記インク供給ブロックに設けられた前記貫通孔の少なくともいずれか一方を覆っていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
3. 前記流路ユニットに設けられた前記貫通孔と、前記インク供給ブロックに設けられた前記貫通孔とが、平面視において異なる位置にあることを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェットヘッド。
4. 前記流路ユニット及び前記インク供給ブロックが平面視において細長形状を有しており、
   前記流路ユニットの平面視における長手方向の両端近傍に一又は複数の前記貫通孔がそれぞれ設けられており、
   前記インク供給ブロックの平面視における長手方向の両端部近傍に一又は複数の前記貫通孔がそれぞれ設けられており、
   前記圧電アクチュエータが、前記支持面上において、前記流路ユニット及び前記インク供給ブロックにおいて前記長手方向の一端近傍に設けられた一又は複数の前記貫通孔のうち、当該一端との間隔が最も大きい前記貫通孔と、他端近傍に設けられた一又は複数の前記貫通孔のうち、当該他端との間隔が最も大きい前記貫通孔との間に対応する領域に配置されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
5. 複数の前記圧電アクチュエータを備えており、
   これら複数の前記圧電アクチュエータは、前記長手方向に隣り合う前記圧電アクチュエータの前記長手方向に関する端部付近同士が、前記支持面内において前記長手方向に関して互いに重なるように、前記長手方向に配列されていると共に、
   前記フィルタ膜が、前記長手方向に関する前記流路ユニットの端部と、当該端部に最も近い前記圧電アクチュエータとの間に取り付けられていることを特徴とする請求項４に記載のインクジェットヘッド。
6. 前記流路ユニットにおける前記長手方向の両端近傍のそれぞれには、複数の前記貫通孔が設けられており、
   前記フィルタ膜が、前記流路ユニットにおける前記長手方向の端部近傍に設けられた複数の前記貫通孔のうち、当該端部との間隔が最も大きい前記貫通孔を覆っていることを特徴とする請求項５に記載のインクジェットヘッド。
7. 前記インク供給ブロックに形成された前記貫通孔が、平面視において、前記流路ユニットにおける前記長手方向の端部近傍に設けられていると共に前記フィルタ膜によって覆われている前記貫通孔に関して、当該端部とは反対側に位置していることを特徴とする請求項６に記載のインクジェットヘッド。
8. 前記フィルタ膜が、前記流路ユニットの平面視における幅方向の両端部近傍まで延びていることを特徴とする請求項６または７に記載のインクジェットヘッド。
9. 前記インク供給ブロックが、前記インク吐出面と直交する方向に関して前記圧電アクチュエータと対向するように、前記接着面と同じ方向を向きつつ前記支持面から離隔した対向面をさらに有していることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。

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