JP5391857B2 - 基板搬送ロボット - Google Patents
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Description
A2 :第2アーム
B:ボルト
F:昇降フレーム
H1 :第1ハンド
H2 :第2ハンド
L:密着線
M1 :第1駆動モータ(基端アームの駆動モータ)
M2 :第2駆動モータ(第2アームの駆動モータ)
M3 :第1ハンドの駆動モータ
M4 :第2ハンドの駆動モータ
1:アームベース部
23:ボルト挿通孔
24:ネジ孔
Claims (2)
- ベースに昇降可能に支持された昇降フレームと、当該昇降フレーム内に配置された第1駆動モータにより旋回される基端アームを含む複数のアームと、先端アーム内に配置された第3駆動モータにより旋回されるハンドとを備え、
複数のアームのうち前記基端アームを除く残りのアームは、当該アームが旋回軸を介して支持されている手前側のアーム内に配置された第2駆動モータにより旋回され、
前記複数のアームが連結されたアームユニットは、前記昇降フレームに対して着脱可能な構成の基板搬送ロボットであって、
前記昇降フレームの上端部は水平に切断された形態となって、切断された部分がアームベース部となっていて、
前記アームユニットは、当該アームベース部の上方に、前記基端アームの基端部が配置されて、当該アームベース部に対して回動可能に支持されていると共に、当該アームベース部の下方に、歯付ベルトを介して当該基端アームを駆動させる前記第1駆動モータが配置されて、当該アームベース部に一体に取付けられた構成であり、
前記アームユニットは、そのアームベース部の部分において、前記昇降フレームの切断された形態の上端面に対して着脱されて、装着時には、前記第1駆動モータは昇降フレーム内に収納される構成であることを特徴とする基板搬送ロボット。 - 前記アームベース部は、前記昇降フレームの切断された形態の上端面に対して複数本のボルトを介して着脱可能であることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送ロボット。
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