JP5359044B2 - 合成石英ガラス及び合成石英ガラスの製造方法 - Google Patents
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Description
(1)光軸方向の歪量(nm/cm)の分布を、光軸と垂直の合成石英ガラス断面の中心から周縁に向けて測定した場合に(中心から周縁までの長さ:L)、中心から0.8Lまでの歪量が±3nm/cm以内(好ましくは、±2nm/cm以内、さらには±1nm/cm以内)となるようにし、0.8Lを超えLまでの間は歪量(nm/cm)の絶対値が3(好ましくは5、さらには10)を超えるようにする。
(2)光軸と垂直方向の歪量(nm/cm)の分布を測定した場合に、歪量が±3nm/cm以内(好ましくは、±2nm/cm以内、さらには±1nm/cm以内)となるようにする。
[実施例1]
(アニール処理)
直径250mm、厚さ65mmの合成石英ガラスブロックを、下記の条件を設定した炉内で、アニール処理した。まず、140℃/時間で1100℃まで昇温し、1100℃で10時間保持し、次いで10℃/時間で500℃まで降温して放冷した。なお、雰囲気は大気とした。
アニール処理後の合成石英ガラスブロックに対して、図1に示すような加熱炉内で、熱処理をした。アニール処理後の合成石英ガラスブロックは、図1のように、上下面、すなわち、y軸方向の両端面を耐熱煉瓦で挟んだ状態にした。耐熱煉瓦は、断熱材として用いており、合成石英ガラスブロックと接触する面の面積は、200mm×200mmであり、厚さが70mmであった。熱処理としては、まず、昇温速度1200℃/時間で1200℃まで昇温し、20分保持する加熱工程を実施し、その後、800℃/時間で降温する冷却工程を実施した。
直径250mm、厚さ60mmの合成石英ガラスブロックを用いて、その上下面を耐熱煉瓦で挟んだ状態にしなかったこと以外は実施例1と同様にして、熱処理後の合成石英ガラスブロックを得た。熱処理後の合成石英ガラスブロックの歪量の分布を図4、5に示した。
Claims (5)
- 合成石英ガラスブロックを、500℃以上1300℃以下の温度範囲まで300℃/時間以上で昇温する加熱工程と、前記温度範囲内に保持された合成石英ガラスブロックを50℃/時間以上で冷却する冷却工程と、を備える合成石英ガラスの製造方法であって、
前記加熱工程及び冷却工程のうち少なくとも加熱工程において、
光学材料として用いられたときに光軸となるべき方向の、前記合成石英ガラスブロックの温度変化を、当該方向と垂直方向の前記合成石英ガラスブロックの温度変化よりも小さくする温度制御を、光学材料として用いられたときに光軸となるべき方向の、前記合成石英ガラスブロックの両端面を断熱材で覆うことにより実施する、合成石英ガラスの製造方法。 - 前記光軸は、前記合成石英ガラスブロックが採取される合成石英ガラスインゴットの、製造時の回転軸である、請求項1記載の合成石英ガラスの製造方法。
- 前記合成石英ガラスブロックは円筒形状を成しており、前記光軸は当該円筒形状の一方の端面の中心と接する面と垂直な軸である、請求項1又は2記載の合成石英ガラスの製造方法。
- 前記加熱工程の前に、
前記加熱工程で用いる合成石英ガラスブロック、又は当該ガラスブロックが採取される合成石英ガラスインゴットを、900℃以上の加熱温度まで加熱し、当該加熱温度で保持した後、500℃以下の温度まで10℃/時間以下で冷却する、アニール工程を実施する、請求項1〜3のいずれか一項に記載の合成石英ガラスの製造方法。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の合成石英ガラスの製造方法により得ることのできる、合成石英ガラス。
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