JP5352438B2 - シート貼付装置及び貼付方法 - Google Patents
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Description
本発明の目的は、分割許容切込が形成された接着シートの貼付において、染み出した接着剤が押圧手段に付着することを抑制して貼付不良や被着体の損傷を防止することができるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
前記接着シートは、基材シートと、この基材シートの一方の面に設けられた接着剤層とからなり、前記基材シート又は基材シート及び接着剤層に分割許容切込が形成され、
前記接着シートを供給する供給手段と、この供給手段により供給された接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記押圧手段は、前記接着シートの押圧時に前記分割許容切込及びその周辺領域が当該押圧手段に接触することを防止する非接触部を有する、という構成を採っている。
前記接着シートは、基材シートと、この基材シートの一方の面に設けられた接着剤層とからなり、前記基材シート又は基材シート及び接着剤層に分割許容切込が形成され、
前記接着シートを供給する供給手段と、前記供給手段により供給された接着シートを基材シート側から支持可能な支持手段と、前記支持手段に支持された接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記支持手段は、前記接着シートを支持した際に前記分割許容切込及びその周辺領域が当該支持手段に接触することを防止する非接触部を有する、という構成を採っている。
前記接着シートは、基材シートと、この基材シートの一方の面に設けられた接着剤層とからなり、前記基材シート又は基材シート及び接着剤層に分割許容切込が形成され、
前記接着シートを供給する工程と、
前記分割許容切込及びその周辺領域に接触することなく前記接着シートを押圧して貼付する工程とを備える、という方法を採っている。
図1〜図3において、シート貼付装置10は、被着体としてのウエハWを載置して保持する保持手段11と、帯状の剥離シートRLに所定間隔を隔てて接着シートSが仮着された帯状の原反Rを繰り出す途中で剥離シートRLから接着シートSを剥離して当該接着シートSを供給する供給手段13と、剥離シートRLから剥離された接着シートSをウエハWに押圧して貼付する押圧手段16とを備えて構成されている。
次に、本発明の第2実施形態に係るシート貼付装置について、図4〜図6を参照しながら説明する。なお、以下の説明において、前記第1実施形態と同一若しくは同等の構成部分については同一符号を用いるものとし、説明を省略若しくは簡略する。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
更に、接着シートSは、上記実施形態のように、予め所定形状に切断されたもの以外に、予め所定形状に切断されることのない接着シートや、剥離シートRLを有さない接着シートであってもよい。この場合、供給手段の構成を適宜変更し、ウエハWに貼付される直前やウエハWに貼付された後に切断手段等で所定形状に切断すればよい。
また、第2実施形態における減圧手段50は必須要件ではなく、減圧手段50を除外して、直動モータ43によって押圧手段を構成するようにしてもよい。このような構成とした場合、吸着ヘッド41Bによって大きな押圧力を加えた場合、ウエハWの回路を破損させてしまう場合があるので、外周押圧手段42によってウエハWの外周領域だけでも強く押圧するとよい。これにより、ウエハWの研削時や表面処理時等における洗浄水や薬液等が接着シートSの外縁から浸入し、ウエハWに形成された回路に付着することで当該回路が機能しなくなることを防止することができる。
また、非接触部としては、上記実施形態で示した溝31、44に限定されることはなく、例えば、断面形状がU字やV字形状の溝で構成されてもよいし、複数のプレスローラや複数の支持手段を所定の間隔を隔てて配置することで、非接触部としてもよい。
13 供給手段
15 ピールプレート(剥離手段)
16 押圧手段
31、44 溝(非接触部)
41 支持手段
42 外周押圧手段
50 減圧手段
AD 接着剤層
BS 基材シート
C 分割許容切込
R 原反
RL 剥離シート
S 保護シート
W 被着体(半導体ウエハ)
Claims (5)
- 被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置において、
前記接着シートは、基材シートと、この基材シートの一方の面に設けられた接着剤層とからなり、前記基材シート又は基材シート及び接着剤層に分割許容切込が形成され、
前記接着シートを供給する供給手段と、この供給手段により供給された接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記押圧手段は、前記接着シートの押圧時に前記分割許容切込及びその周辺領域が当該押圧手段に接触することを防止する非接触部を有することを特徴とするシート貼付装置。 - 被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置において、
前記接着シートは、基材シートと、この基材シートの一方の面に設けられた接着剤層とからなり、前記基材シート又は基材シート及び接着剤層に分割許容切込が形成され、
前記接着シートを供給する供給手段と、前記供給手段により供給された接着シートを基材シート側から支持可能な支持手段と、前記支持手段に支持された接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記支持手段は、前記接着シートを支持した際に前記分割許容切込及びその周辺領域が当該支持手段に接触することを防止する非接触部を有することを特徴とするシート貼付装置。 - 前記支持手段は、接着シートの外周領域に接触して当該外周領域を押圧可能な外周押圧手段を備えていることを特徴とする請求項2記載のシート貼付装置。
- 前記被着体及び接着シート周りに減圧雰囲気を形成する減圧手段を備えていることを特徴とすることを特徴とする請求項1、2又は3記載のシート貼付装置。
- 被着体に接着シートを貼付するシート貼付方法において、
前記接着シートは、基材シートと、この基材シートの一方の面に設けられた接着剤層とからなり、前記基材シート又は基材シート及び接着剤層に分割許容切込が形成され、
前記接着シートを供給する工程と、
前記分割許容切込及びその周辺領域に接触することなく前記接着シートを押圧して貼付する工程とを備えていることを特徴とするシート貼付方法。
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