JP4550510B2 - シート剥離装置及び剥離方法 - Google Patents
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Description
また、回路面に電気的な導通を確保するための半田バンプ(以下、「バンプ」という)が形成されたウエハに保護シートが貼付されたものを剥離対象物とした場合において、特許文献1のシート剥離装置及び剥離方法では、剥離用テープをウエハ面に沿うように折り返して剥離する構造、方法であるため、バンプ間に保護シートの接着剤を残し易い、という不都合もある。
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、シートを剥離するにあたり、ウエハ等の剥離対象物への負荷を最小限に抑制して剥離対象物上のシートを剥離できるようにしたシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
前記剥離ヘッドと前記剥離用テーブルとの相対距離を調整する距離調整装置を含み、
前記距離調整装置は、前記剥離ヘッドがシートを剥離対象物の端部から内方に向かう初期剥離を行うときに、前記剥離用テープをシートに貼付するときと略同一の相対距離に保ち、前記剥離対象物の端部位置で剥離用テープを反転する方向に折り曲げて剥離方向を剥離対象物の面に沿わせ、前記シートが剥離された剥離対象物の面と前記剥離対象物から剥離されたシートとの間に鈍角の初期剥離角度を形成する一方、初期剥離終了後、完全剥離を行うまでの間に、前記相対距離を拡大して前記剥離ヘッドを剥離対象物から離れる方向に保ち、前記折り曲げた剥離用テープの巻き取りで、初期剥離角度よりも小さい鋭角の次期剥離角度を形成して前記シートを剥離対象物から剥離するように構成されている。
前記剥離対象物の端部位置で前記第1のロールと第2のロールとの間の剥離用テープを部分的に弛ませて第2のロールとシートとの間で剥離用テープを反転する方向に折り曲げた初期剥離角度でシートを剥離対象物から剥離する一方、
前記初期剥離角度でシートを剥離した後に、第1のロールが剥離対象物に対する前記押圧力を解除した位置に移動して前記初期剥離角度よりも小さい次期剥離角度でシートを剥離対象物から剥離可能とすることができる。
前記剥離ヘッドが剥離用テープをシートに貼付する際に剥離対象物に押圧力を付与する相対距離を保った状態で前記剥離対象物の端部位置で剥離用テープを反転する方向に折り曲げて剥離方向を剥離対象物の面に沿わせ、
前記シートが剥離された剥離対象物の面と前記剥離対象物から剥離されたシートとの間に鈍角の初期剥離角度を形成した状態で前記剥離用テープを巻き取って前記シートの初期剥離を行い、
次いで、前記相対距離を拡大して前記剥離ヘッドを剥離対象物から離れる方向に保ち、前記折り曲げた剥離用テープの巻き取りで、初期剥離角度よりも小さい鋭角の次期剥離角度を形成した状態で、前記シートを剥離対象物から完全に剥離する、という方法を採っている。
図1には、本実施形態に係るシート剥離装置の概略正面図が示されている。この図において、シート剥離装置10は、剥離対象物としてのウエハWを支持する剥離用テーブル11と、この剥離用テーブル11の上部に相対配置されたシート剥離ユニット12とを備えて構成されている。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
11 剥離用テーブル
12 シート剥離ユニット
22 剥離ヘッド
24 シリンダ(距離調整装置)
W 半導体ウエハ(剥離対象物)
S 保護シート
PT 剥離用テープ
α1 初期剥離角度
α2 次期剥離角度
Claims (3)
- シートが貼付された剥離対象物を支持する剥離用テーブルと、この剥離用テーブルに相対配置された剥離ヘッドを用いて剥離用テープを所定の押圧力でシートに接着した後に、当該剥離用テープを巻き取ることで前記シートを剥離対象物から剥離可能としたシート剥離装置において、
前記剥離ヘッドと前記剥離用テーブルとの相対距離を調整する距離調整装置を含み、
前記距離調整装置は、前記剥離ヘッドがシートを剥離対象物の端部から内方に向かう初期剥離を行うときに、前記剥離用テープをシートに貼付するときと略同一の相対距離に保ち、前記剥離対象物の端部位置で剥離用テープを反転する方向に折り曲げて剥離方向を剥離対象物の面に沿わせ、前記シートが剥離された剥離対象物の面と前記剥離対象物から剥離されたシートとの間に鈍角の初期剥離角度を形成する一方、初期剥離終了後、完全剥離を行うまでの間に、前記相対距離を拡大して前記剥離ヘッドを剥離対象物から離れる方向に保ち、前記折り曲げた剥離用テープの巻き取りで、初期剥離角度よりも小さい鋭角の次期剥離角度を形成して前記シートを剥離対象物から剥離することを特徴とするシート剥離装置。 - 前記剥離ヘッドは、前記剥離用テープを前記シートの面に所定の押圧力で接着させる第1のロールと、当該第1のロールがシートに接着する位置で当該シートとの間に隙間を形成する位置に設けられた第2のロールとを含み、
前記剥離対象物の端部位置で前記第1のロールと第2のロールとの間の剥離用テープを部分的に弛ませて第2のロールとシートとの間で剥離用テープを反転する方向に折り曲げた初期剥離角度でシートを剥離対象物から剥離する一方、
前記初期剥離角度でシートを剥離した後に、第1のロールが剥離対象物に対する前記押圧力を解除した位置に移動して前記初期剥離角度よりも小さい次期剥離角度でシートを剥離対象物から剥離可能としたことを特徴とする請求項1記載のシート剥離装置。 - シートが貼付された剥離対象物を支持する剥離用テーブルに相対配置された剥離ヘッドを用い、当該剥離ヘッドを介して剥離用テープを所定の押圧力でシートに接着した後に、剥離用テープを巻き取ることで前記シートを剥離対象物から剥離するシート剥離方法において、
前記剥離ヘッドが剥離用テープをシートに貼付する際に剥離対象物に押圧力を付与する相対距離を保った状態で前記剥離対象物の端部位置で剥離用テープを反転する方向に折り曲げて剥離方向を剥離対象物の面に沿わせ、
前記シートが剥離された剥離対象物の面と前記剥離対象物から剥離されたシートとの間に鈍角の初期剥離角度を形成した状態で前記剥離用テープを巻き取って前記シートの初期剥離を行い、
次いで、前記相対距離を拡大して前記剥離ヘッドを剥離対象物から離れる方向に保ち、前記折り曲げた剥離用テープの巻き取りで、初期剥離角度よりも小さい鋭角の次期剥離角度を形成した状態で、前記シートを剥離対象物から完全に剥離することを特徴とするシート剥離方法。
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