JP5347652B2 - 基板昇降移送装置及び基板処理移送システム - Google Patents
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Description
UF 上階フロア
W 基板
1 基板処理移送システム
3 第1基板搬送処理装置
5 第2基板搬送処理装置
7 基板昇降移送装置
11 第1浮上ユニット
15 第1搬送ローラ
17 第1搬送用モータ
21 第2浮上ユニット
25 第2搬送ローラ
27 第2搬送用モータ
29 第1姿勢切替部材
33 第1揺動シャフト
35 第1揺動アーム
37 第1姿勢切替用吸着パッド
39 第1姿勢切替用モータ
41 第2姿勢切替部材
45 第2揺動シャフト
47 第2揺動アーム
49 第2姿勢切替用吸着パッド
51 第2姿勢切替用モータ
53 支持フレーム
55 上部回転車
59 下部回転車
63 無端状部材
65 走行用モータ
67 連結バー
69 昇降用クランパ
71 クランパ本体
73 固定クランプ爪
77 可動クランプ爪
79 作動レバー
81 スプリング
83 第1アンクランプ用エアシリンダ
87 第2アンクランプ用エアシリンダ
Claims (3)
- 下階フロアに配設されかつ基板に対して処理を行う第1基板処理装置と、上階フロアにおける前記第1基板処理装置の真上に配設されかつ基板に対して処理を行う第2基板処理装置との間で、基板の昇降移送を行う基板昇降移送装置において、
前記下階フロアにおける前記第1基板処理装置の一側に水平な軸心周りに揺動可能に設けられ、揺動することによって倒伏姿勢と起立姿勢とに切り替わるように構成され、基板を保持する第1姿勢切替用保持具を備え、基板の姿勢を倒伏姿勢と起立姿勢とに切り替える第1姿勢切替部材と、
前記第1姿勢切替部材を揺動させる第1姿勢切替用アクチュエータと、
前記上階フロアにおける前記第2基板処理装置の一側に水平な軸心周りに揺動可能に設けられ、基板を保持する第2姿勢切替用保持具を備え、揺動することによって倒伏姿勢と起立姿勢とに切り替わるように構成され、基板の姿勢を倒伏姿勢と起立姿勢とに切り替える第2姿勢切替部材と、
前記第2姿勢切替部材を揺動させる第2姿勢切替用アクチュエータと、
前記下階フロアにおける前記第1姿勢切替部材の一側に立設した支持フレームに循環走行可能に設けられ、上下方向へ延びた無端状部材と、
前記無端状部材を循環走行させる走行用アクチュエータと、
前記無端状部材に周方向に間隔を置いて設けられ、起立姿勢の基板を保持する複数の昇降用保持具と、を具備し、
前記第1姿勢切替部材は、基板を前記第1基板処理装置側から送り出すときに倒伏姿勢から起立姿勢に切り替わり又は基板を前記第1基板処理装置側へ送り出すときに起立姿勢から倒伏姿勢に切り替わるように構成され、倒伏姿勢の前記第1姿勢切替部材は、平面視において前記第1基板処理装置と重なるように構成され、
前記第2姿勢切替部材は、基板を前記第2基板処理装置側へ送り出すときに起立姿勢から倒伏姿勢に切り替わり又は基板を前記第2基板処理装置側から送り出すときに倒伏姿勢から起立姿勢に切り替わるように構成され、倒伏姿勢の前記第2姿勢切替部材は、平面視において前記第2基板処理装置と重なるように構成されていることを特徴とする基板昇降移送装置。 - 各昇降用保持具は、一対のクランプ爪を備えかつ基板の端部を把持する昇降用クランパであって、
更に、前記第1基板処理装置に対応する高さ位置に位置した前記昇降用クランパにおける少なくとも一方の前記クランプ爪をアンクランプ方向へ移動させる第1アンクランプ用アクチュエータと、
前記第2基板処理装置に対応する高さ位置に位置した前記昇降用クランパにおける少なくとも一方の前記クランプ爪をアンクランプ方向へ移動させる第2アンクランプ用アクチュエータと、を具備したことを特徴とする請求項1に記載の基板昇降移送装置。 - 基板に対して処理及び昇降移送を行う基板処理移送システムにおいて、
下段フロアに配設され、基板に対して処理を行う第1基板処理装置と、
上段フロアに配設され、基板に対して処理を行う第2基板処理装置と、
前記第1基板処理装置と前記第2基板処理装置の間で基板の昇降移送を行う請求項1又は請求項2に記載の基板昇降移送装置と、を備えたことを特徴とする基板処理移送システム。
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