JP5329732B2 - センサ及びセンサの動作方法 - Google Patents
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Description
大きな表面を有するX線検出器は、特に医療分野において一般にX線検査の用途に使用されている。かかる検出器は、複数のセンサ素子から構成されている。概してセンサ素子(ピクセル)は、センサマトリクスにおいて行及び列に配置されている。好ましくは、利用は、いわゆるフラットダイナミックX線検出器(FDXD)で行われている。かかる検出器は、広いバラエティのX線装置において使用することができる広く知られた検出器のコンポーネントとして見られる。
上記目的は、増幅するための手段が、そのゲートが変換素子に接続され、そのソースが能動負荷及び他方の側が読出しスイッチング素子を介して読出しラインに接続されるサンプリングキャパシタの一方の側に接続されるソースフォロワトランジスタを含み、それぞれのリセット素子が変換素子を初期状態にリセットするために変換素子に接続される、ことを特徴とするセンサにより達成される。
放射性感度の高い変換素子をリセットし、それぞれのピクセルのサンプリングキャパシタを既知の電圧に充電し、
センサを放射線に露出し、放射性感度の高い変換素子によりサンプリングキャパシタの一方の側の電圧を変化させ、読出しスイッチング素子は露出の間にオフし、サンプリングキャパシタの他方の側に開路を設けてサンプリングキャパシタ上に一定の電荷を保持し、
読出しスイッチング素子をオンし、行におけるそれぞれのピクセルについてのサンプリングキヤパシタをサンプリングキャパシタの一方の側に関する電圧に充電し、必要とされる電荷量を測定する、を備えるものである。
読出しスイッチング素子をオンにしてセンサを放射線に露出し、放射性感度の高い変換素子により、サンプリングキャパシタの一方の側に関する電圧を変化させ、読出しラインがサンプリングキャパシタの他方の側を一定の電圧に保持し、
リセット素子をオンし、読出しスイッチング素子をオフし、これにより照射放射線に関係なく変換素子を一定の状態に保持し、
それぞれの行のリセット素子を順次オンし、それぞれの行についてのサンプリングキャパシタ上に記憶される電荷を順次測定する、ことを備えている。
本発明のさらなる詳細及び利点は、従属的な請求項、及び図面において示される本発明の実施の形態が詳細に説明される以下の記載において開示される。
これは、サンプリングキャパシタが定常状態の値に充電される2msecのリセットフェーズである。リセットステージの開始では、全てのリセットトランジスタ27は、オンしている。フォトダイオードの電荷がリセットされ、ソースフォロワトランジスタ21のゲートはVG0DC電圧で固定されている。ソースフォロワトランジスタ21のソースは、定常状態の電圧VG0−Vrefに到達する。次に、リセットトランジスタ27がオフし、読出しスイッチングトランジスタ30がオンする。サンプリングキャパシタ26の一方の極板(上の極板)の電圧は、ソース電圧に固定され、他方の極板の電圧は、読出しライン8上の列電圧にセットされる。したがって、サンプリングキャパシタ26上の電荷は、リセットフェーズの終了において一定である。列電圧を0Vと仮定すると、キャパシタ26上の電荷は、次のように表すことができる。
QO=CS×VSO
ここで、CSはサンプリングキャパシタの静電容量であり、VSOはソースフォロワトランジスタ21のソース電圧(VG0−Vthr)の初期(静止)値である。
信号露出窓は、リセットステージに従う。この時間の間、フォトダイオードに対する光子照射は、フォトダイオードキャパシタンスを放電するために光電流を発生する。これにより、ゲート電圧において線形増加する。上述したように、能動負荷は、一定のゲート−ソース電圧を維持するために、ソース電圧がゲード電圧に従うことを保証する。露出の間にゲート電圧における変化がΔVpdである場合、ソース電圧の最終値は、次のようになる。
VS1=VS0+ΔVpd
露出時間の間、キャパシタ26上の変化は、読出しスイッチングトランジスタ30がオフであるために、一定のままである。
読出しシーケンスにおける最後のステージは、ライン毎の読出しである。読出しの間、行における全てのピクセルの読出しスイッチングトランジスタ30は、オンしており、サンプリングキャパシタ26は、ソース電圧の新たな値に充電される。パルスは18μsec続く。読出しの最後でのサンプリングキャパシタ上の電荷は、次のようになる。
Q1=CS×VS1=CS×(VS0+ΔVpd)
読出し期間の間、増幅器は、以下に与えるように、キャパシタ26間の電荷における変化をサンプルする。
ΔQC=Q1−Q0=CS×ΔVpd
これは、次のように書き直すことができる。
ΔQC=CS/CP ×ΔQpd
ここで、ΔQpdは、露出の間のフォトダイオード電荷における変化であり、項CS/CPは、ピクセルのゲインである。
VG1=VG0+ΔVpd
ソース電圧を次のように仮定する。
VS1=Vbias+ΔVpd
ここで、ΔVpdは露出の間のソースフォロワゲート電圧における変化であり、VG0は露出の開始でのソースフォロワゲートのDC電圧であり、Vbiasはソースノードでの休止電圧である。したがって、サンプリングキャパシタに記憶される電荷は、次のように示される。
QC=CS×VS1=CS×(Vbias+ΔVpd)
露出期間の後、全ての読出しスイッチングトランジスタ30はオフし、リセットトランジスタはオンする。ソースフォロワゲート及びソースノードは、VG1及びVbiasにリセットされる。リセットトランジスタ27は、読出し期間の間に変わらないので、フォトダイオードの電荷は一定のままである。したがって、露出時間後の検出器へのX線照射は、サンプリングキャパシタを介して読出される信号を変えない。これにより、フレーム伝達動作が可能となる。読出し期間の間、それぞれの読出しスイッチングキャパシタは連続的に指定される。この時間の間、指定されたピクセルにおけるサンプリングキャパシタは、休止しているソース電圧(Vbias)に充電される。したがって、読出しの間の電荷における変化は、次のようになる。
ΔQC=C×ΔVpd ⇒ ΔQC=CS/CP ×ΔQpd
この電荷は、増幅器により検出される。
Claims (12)
- それぞれのセンサ素子が入射放射線に依存する電気信号を発生する変換素子を含む複数のセンサ素子と、それぞれの前記センサ素子における前記電気信号を増幅する手段と、前記電気信号を読み出すために読出しラインに接続されるそれぞれの前記センサ素子における読出しスイッチング素子とを有するセンサであって、
前記増幅する手段は、ゲートが前記変換素子に接続され、ソースが能動負荷及びサンプリングキャパシタの一方の側に接続されるそれぞれのソースフォロワトランジスタを含み、前記サンプリングキャパシタの他方の側は前記読出しスイッチング素子を介して前記読出しラインに接続され、
それぞれのリセット素子は、前記変換素子を初期状態にリセットするように前記変換素子に接続され、
前記ソースフォロワトランジスタは、1である電圧増幅率を与え、
前記サンプリングキャパシタは、電圧の増幅から電荷の増幅への変換を与え、
前記読出しラインの終了部で、前記サンプリングキャパシタの読み出し側での電荷の変動を増幅する増幅器が設けられ、
放電スイッチング素子は、前記サンプリングキャパシタと並列に接続され、前記それぞれのリセット素子がアクティ状態にあるときにアクティブ状態にある、
ことを特徴とするセンサ。
- 前記能動負荷及び/又は前記読出しスイッチング素子及び/又は前記放電スイッチング素子はトランジスタを含む、
請求項1記載のセンサ。
- 前記リセット素子及び前記放電スイッチング素子は、関連する素子をオンするための共通のスイッチングライン又は個別のスイッチングラインを有する、
請求項1又は2記載のセンサ。
- 前記複数のセンサ素子は、それらの読出しスイッチング素子をオンするための共通のスイッチングラインを有し、これらのセンサ素子は、それらのリセット素子及び/又はそれらの放電スイッチング素子をオンするための共通のスイッチングライン又は個別のスイッチングラインを有する、
請求項1乃至3のいずれか記載のセンサ。
- それぞれのセンサ素子が入射放射線に依存する電気信号を発生する変換素子を含む複数のセンサ素子と、前記変換素子を初期状態にリセットするリセット素子と、ソースが能動負荷、及び他方の側が前記電気信号を読出すために読出しスイッチング素子を介して読出しラインに接続されるサンプリングキャパシタの一方の側に接続されるソースフォロワトラジスタと有するセンサの動作方法であって、
前記ソースフォロワトランジスタは、1である電圧増幅率を与え、前記サンプリングキャパシタは、電圧の増幅から電荷の増幅への変換を与え、前記読出しラインの終了部で、前記サンプリングキャパシタの読み出し側での電荷の変動を増幅する増幅器が設けられ、
当該方法は、
それぞれのセンサ素子における測定及び読出しサイクルの間に、第1フェーズの間に前記変換素子及び前記サンプリングキャパシタを初期状態にリセットするステップと、
第2フェーズの間に、前記初期状態における前記変換素子の代表値である電位差を前記サンプリングキャパシタ間の電圧に調節するステップと、
第3フェーズの間に、前記サンプリングキャパシタ間の電圧を維持し、前記変換素子を放射源により放射し、第4フェーズの間に、前記サンプリングキャパシタ間の電位差を前記照射後の前記変換素子の代表値である電圧に調節し、前記変換素子に関する放射線照射の測度として、前記読出しラインに接続される前記サンプリングキャパシタ側での電位の変化を増幅器の出力により測定するステップと、
を含む方法。
- 前記第2フェーズ内の第1サブフェーズにおいて、前記変換素子上に第1暗流を記録し、
続く第2サブフェーズにおいて、前記暗流の記録の後に前記変換素子の基準状態に対応する電位差を前記サンプリングキャパシタ間の電圧に調節し、
続く第3サブフェーズにおいて、前記変換素子をその初期状態にリセットし、前記サンプリングキャパシタ間の電位差を維持する、
請求項5記載の方法。
- 前記第2及び第4フェーズにおいて、前記サンプリングキャパシタ間の前記電位差の調整を前記読出しスイッチング素子のオンにより行い、前記電位差を維持するために前記読出しスイッチング素子をオフする、
請求項5又は6記載の方法。
- 前記サンプリングキャパシタは、前記サンプリングキャパシタに並列に接続される放電スイッチング素子のオンによりリセットされる、
請求項5乃至7のいずれか記載の方法。
- 測定及び読出しサイクルは、共通のスイッチングラインを介して共通の複数のセンサ素子について制御される、
請求項5乃至8のいずれか記載の方法。
- X線画像を形成するように物体を照射するためにX線ビームを放出するためのX線源と、前記X線画像から電気画像信号を生成するためのX線検出器とを含み、前記X線検出器は、請求項1乃至4のいずれか記載のセンサを含む、
ことを特徴とするX線検査装置。
- それぞれのセンサ素子が入射放射線に依存する電気信号を発生する変換素子を含み、行及び列に配列される複数のセンサ素子と、前記変換素子を初期状態にリセットするリセット素子と、ソースが能動負荷、及び前記電気信号を読出すために読出しスイッチング素子を介して他方の側が読出し線に接続されるサンプリングキャパシタの一方の側に接続されるソースフォロワトランジスタとを有するセンサの動作方法であって、
前記ソースフォロワトランジスタは、1である電圧増幅率を与え、前記サンプリングキャパシタは、電圧の増幅から電荷の増幅への変換を与え、前記読出しラインの終了部で、前記サンプリングキャパシタの読み出し側での電荷の変動を増幅する増幅器が設けられ、
当該方法は、
前記変換素子をリセットし、それぞれのピクセルの前記サンプリングキャパシタを既知の電圧に充電するステップと、
前記センサ素子を放射線に露出して、前記変換素子により前記サンプリングキャパシタの一方の側の電圧を変化させ、前記露出の間に前記読出しスイッチング素子をオフにし、前記サンプリングキャパシタの他方の側に開路を設けて、前記サンプリングキャパシタで一定の電荷を保持するステップと、
前記読出しスイッチング素子をオンし、行におけるそれぞれのピクセルについて前記サンプリングキャパシタを前記サンプリングキャパシタの一方の側の電圧に充電し、必要とされる電荷量を測定するステップと、
を含む方法。
- それぞれのセンサ素子が入射放射線に依存する電気信号を発生する変換素子を含み、行及び列に配列される複数のセンサ素子と、前記変換素子を初期状態にリセットするリセット素子と、ソースが能動負荷、及び前記電気信号を読出すために読出しスイッチング素子を介して他方の側が読出しラインに接続されるサンプリングキャパシタの一方の側に接続されるソースフォロワトランジスタとを有するセンサの動作方法であって、
前記ソースフォロワトランジスタは、1である電圧増幅率を与え、前記サンプリングキャパシタは、電圧の増幅から電荷の増幅への変換を与え、前記読出しラインの終了部で、前記サンプリングキャパシタの読み出し側での電荷の変動を増幅する増幅器が設けられ、
当該方法は、
前記読出しスイッチング素子をオンして放射線に前記センサ素子を露出し、前記変換素子により、前記サンプリングキャパシタの一方の側の電圧を変化させ、読出しラインが前記サンプリングキャパシタの他方の側を一定の電圧に保持するステップと、
前記リセット素子をオンし、前記読出しスイッチング素子をオフし、前記照射放射線に関係なく前記変換素子を一定の状態に保持するステップと、
それぞれの行の前記読出しスイッチング素子を順次オンし、それぞれの行についての前記サンプリングキャパシタ上に記憶される電荷を測定するステップと、
を備える方法。
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