JP2005175418A - 光電変換装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明に係る光電変換装置は、光電変換素子と、前記光電変換素子にソースが接続され、ドレインにリセット用電源が接続されるリセット用トランジスタと、前記光電変換素子にゲートが接続され、ドレインに読み出し用電源が接続される読み出し用トランジスタと、前記読み出し用トランジスタのソースに接続された信号線と、前記読み出し用電源又は前記信号線と前記読み出し用トランジスタとの間に接続された選択用トランジスタと、前記信号線に接続された定電流源と、を有することを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
先ず、本発明の第1の実施形態について説明する。図1は、本発明の第1の実施形態に係る光電変換装置、特にX線撮像装置の回路構成を示す回路図である。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。図3は、本発明の第2の実施形態に係る光電変換装置、特にX線撮像装置の回路構成を示す回路図である。第2の実施形態では、第1の実施形態で用いられている定電流源Iの替わりに、アモルファスシリコンを用いて形成された薄膜トランジスタ(TFT)CTが設けられている。薄膜トランジスタCTのゲートには、定電流源用電源7から電圧が供給されている。このような構成では、定電流源を他のトランジスタ(リセット用、選択用、ソースフォロア用)等と同時に成膜して形成することができるため、簡易な製造プロセスで構成することができる。ここで、リセット用、選択用、ソースフォロア用、定電流源用の各薄膜トランジスタは積層する膜厚等を共通にしても良いし、又は個別の膜厚等にしても良い。また、不純物ドープの条件(n型又はp型)を共通にしても良いし、又は個別のドープ条件としても良い。更に、レーザーアニール等を用いて、一部をアモルファスシリコンで構成し、他の一部をポリシリコン化しても良い。
次に、本発明の第3の実施形態について説明する。図5は、本発明の第3の実施形態に係る光電変換装置、特にX線撮像装置の回路構成を示す回路図である。第2の実施形態では、定電流源を形成する薄膜トランジスタCTが画素と読み出し回路3との間に位置しているのに対し、第3の実施形態では、薄膜トランジスタCTが共通信号線上において、画素よりも読み出し回路3から離間して位置している。つまり、薄膜トランジスタCTと読み出し回路3との間に画素が位置している。
次に、本発明の第4の実施形態について説明する。図6は、本発明の第4の実施形態に係る光電変換装置、特にX線撮像装置の回路構成を示す回路図である。第4の実施形態においては、第3の実施形態に対し、共通信号線Sig1及びSig2に、読み出し走査用薄膜トランジスタ(TFT)RDTが設けられている。読み出し走査用薄膜トランジスタRDTは、ガラス基板2上の画素と読み出し回路3との間に形成されている。また、読み出し回路3には、アナログマルチプレクサMUXが設けられておらず、各信号線からの出力信号は単一の増幅器Ampに入力されるようになっている。更に、読み出し回路3には、読み出し走査用薄膜トランジスタRDTのゲート電圧を走査する読み出し走査回路8が設けられている。
次に、本発明の第5の実施形態について説明する。図8は、本発明の第5の実施形態に係る光電変換装置、特にX線撮像装置の回路構成を示す回路図である。第4の実施形態では、選択用MOSトランジスタSTがソースフォロアMOSトランジスタFTのドレインに接続されているのに対し、第5の実施形態では、選択用MOSトランジスタSTがソースフォロアMOSトランジスタFTのソースと信号線Sig1又はSig2との間に接続されている。ソースフォロアMOSトランジスタFTのドレインは、ソースフォロア用電源6に直接接続されている。
次に、本発明の第6の実施形態について説明する。第6の実施形態は、本発明の光電変換装置を用いたX線撮影システムの例である。図18は、本発明の第6の実施形態に係るX線撮影システムを示す図である。
(1)前述の光電変換装置が図中6040のイメージセンサ内部に設けられており、A/D変換されたデジタル出力はイメージプロセッサ6070で目的に応じた画像処理などが施される。
(2)イメージプロセッサ6070には図示しない制御手段が設けられており、制御手段はイメージセンサ6040、X線発生装置6050、ディスプレイ6080・6081、フィルムプロセッサ6100などを制御している。
2:ガラス基板
3:読み出し回路
4:走査回路
5:リセット用電源
6:ソースフォロア用電源
7:定電流源用電源
8:読み出し走査回路
PE11、PE12、PE21、PE22:画素
PD:光電変換素子
Cs:蓄積容量
RT:リセット用MOSトランジスタ
ST:選択用MOSトランジスタ
FT:ソースフォロアMOSトランジスタ
CT:薄膜トランジスタ
RDT:読み出し走査用薄膜トランジスタ
Amp、Amp1、Amp2:増幅器
MUX:アナログマルチプレクサ
I:定電流源
R1、R2:共通リセット線
S1、S2:共通選択線
Sig1、Sig2:共通信号線
Claims (16)
- 光電変換素子と、
前記光電変換素子にソースが接続され、ドレインにリセット用電源が接続されるリセット用トランジスタと、
前記光電変換素子にゲートが接続され、ドレインに読み出し用電源が接続される読み出し用トランジスタと、
前記読み出し用トランジスタのソースに接続された信号線と、
前記読み出し用電源又は前記信号線と前記読み出し用トランジスタとの間に接続された選択用トランジスタと、
前記信号線に接続された定電流源と、
を有することを特徴とする光電変換装置。 - 前記光電変換素子、前記読み出し用トランジスタ、前記信号線及び前記定電流源は、単一の絶縁性支持体上に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
- 前記信号線に接続された読み出し手段を有し、
前記定電流源は、前記読み出し用トランジスタよりも前記読み出し手段から離間した前記信号線上の位置に設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の光電変換装置。 - 前記読み出し手段は、前記信号線が接続されたアナログマルチプレクサを有することを特徴とする請求項3に記載の光電変換装置。
- 前記アナログマルチプレクサは前記読み出し用トランジスタと同一の絶縁性支持体上に、アモルファスシリコン又はポリシリコンの薄膜トランジスタを用いて形成されていることを特徴とする請求項4に記載の光電変換装置。
- 前記定電流源は、ゲートに定電流源用電源が接続された定電流源用トランジスタを有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の光電変換装置。
- 前記定電流源用電源は、前記定電流源用トランジスタのゲートに、ドレイン−ソース間電圧をVds、ゲート−ソース間電圧をVgs、しきい値電圧をVthとしたときに、Vds>Vgs−Vthの関係が成り立つような電圧を供給することを特徴とする請求項6に記載の光電変換装置。
- 前記定電流源は、ゲートとソースとが相互に接続された定電流源用トランジスタを有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の光電変換装置。
- 前記定電流源は、ゲートとソースとが抵抗を介して接続された定電流源用トランジスタを有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の光電変換装置。
- 前記リセット用トランジスタ、前記読み出し用トランジスタ、前記選択用トランジスタ及び前記定電流源からなる群から選択された少なくとも1個は、アモルファスシリコン層又はポリシリコン層を用いて形成されていることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の光電変換装置。
- 放射線を吸収し、前記光電変換素子が検知可能な波長帯域の光を放出する蛍光体層を有することを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の光電変換装置。
- 前記光電変換素子は、PIN型フォトダイオード又はMIS型センサであることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の光電変換装置。
- 前記光電変換素子は放射線を直接電荷に変換する直接型光電変換素子であることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の光電変換装置。
- 前記直接型光電変換素子は、アモルファスセレン、ガリウム砒素、ガリウムリン、ヨウ化鉛、ヨウ化水銀、CdTe及びCdZnTeからなる群から選択された1種を材料とすることを特徴とする請求項13に記載の光電変換装置。
- 光電変換素子と、
前記光電変換素子にソースが接続され、ドレインにリセット用電源が接続されるリセット用トランジスタと、
前記光電変換素子にゲートが接続され、ドレインに読み出し用電源が接続される読み出し用トランジスタと、
前記読み出し用電源又は前記信号線と前記読み出し用トランジスタとの間に接続された選択用トランジスタと、
を備えた画素が2次元状に複数配列され、
前記複数の画素に接続された複数の共通信号線と、
前記共通信号線に接続された定電流源と、
を有することを特徴とする光電変換装置。 - 請求項1乃至15のいずれか1項に記載の光電変換装置と、X線発生装置と、制御手段とを有し、
前記制御手段は、X線発生装置および光電変換装置の動作を制御することにより、
被写体を透過したX線画像を読み取ることを特徴とするX線撮影システム。
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