KR20110089300A - 개스킷형 오리피스 및 이것을 이용한 압력식 유량 제어 장치 - Google Patents

개스킷형 오리피스 및 이것을 이용한 압력식 유량 제어 장치 Download PDF

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츠토무 시노하라
토시히데 요시다
코헤이 시교우
미치오 야마지
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가부시키가이샤 후지킨
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Abstract

시일성이 우수함과 아울러 공간 절약화를 도모할 수 있는 개스킷형 오리피스 및 이것을 이용한 압력식 유량 제어 장치를 제공한다.
본 발명은 중심부에 관통상의 통로(2a)를 하는 오리피스 베이스(2)와, 중심부에 상기 오리피스 베이스(2)의 통로(2a)로 연통하는 관통상의 통로(3a)를 갖는 오리피스 베이스(3)와, 양 오리피스 베이스(2, 3) 사이에 기밀상으로 삽입 부착되는 중심부에 오리피스 구멍이 형성된 오리피스 플레이트(4)로 이루어지고, 유체 통로에 배치되어 양 오리피스 베이스(2, 3)의 외측 단면을 각각 시일면(2c, 3c)으로 한 개스킷형 오리피스(1)에 있어서, 상기 양 오리피스 베이스(2, 3) 중 하류측에 위치하는 오리피스 베이스(3)의 외경을 상류측에 위치하는 오리피스 베이스(2)의 외경보다도 대경으로 형성하고, 하류측에 위치하는 오리피스 베이스(3)의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분을 시일면(3d)으로 한다.

Description

개스킷형 오리피스 및 이것을 이용한 압력식 유량 제어 장치{GASKET-TYPE ORIFICE AND PRESSURE-TYPE FLOW RATE CONTROL DEVICE USING SAME}
본 발명은 반도체 제조 설비나 화학 산업 설비, 약품 산업 설비, 식품 산업 설비 등의 유체 공급 라인에 끼워 설치되어 유체의 유량 제어를 행하는 압력식 유량 제어 장치에 이용되는 개스킷형 오리피스 및 이것을 이용한 압력식 유량 제어 장치에 관한 것이고, 특히 시일성이 우수함과 아울러 공간 절약화를 도모할 수 있도록 한 개스킷형 오리피스 및 이것을 이용한 압력식 유량 제어 장치에 관한 것이다.
종래, 이 종류의 개스킷형 오리피스 및 이것을 이용한 압력식 유량 제어 장치로서는, 예컨대 일본 특허 공개 제 2007-057474 호 공보(특허 문헌 1 참조)에 개시된 구조의 것이 알려져 있다.
즉, 상기 개스킷형 오리피스(20)는, 도 19에 나타낸 바와 같이, 감합용 돌출부(21a)를 구비한 오리피스 베이스(21)와 감합용 오목부(22a)를 구비한 오리피스 베이스(22)를 조합시키고, 양 오리피스 베이스(21, 22)의 단면간에 오리피스 구멍(도시 생략)이 형성된 오리피스 플레이트(23)를 기밀상(氣密狀)으로 삽입 부착함과 아울러 양 오리피스 베이스(21, 22)의 외측 단면을 각각 시일면(21b, 22b)으로 한 것이다.
이 개스킷형 오리피스(20)는 외측 단면을 시일면(21b, 22b)으로 한 양 오리피스 베이스(21, 22) 사이에 오리피스 플레이트(23)를 삽입 부착하도록 하고 있기 때문에 변형이 발생함이 없이 오리피스 플레이트(23)를 양 오리피스 베이스(21, 22) 사이에 협지할 수 있다. 그 결과, 고정밀도의 오리피스 구멍을 갖는 아주 얇은 금속 플레이트제의 오리피스 플레이트(23)의 사용이 가능하게 됨과 아울러 오리피스 플레이트(23)를 변형시키지 않고 압력식 유량 제어 장치에 조립할 수 있다는 이점이 있다.
또한, 상기 개스킷형 오리피스(20)를 이용한 압력식 유량 제어 장치는 도시되지 않았지만 컨트롤 밸브와, 컨트롤 밸브 하류측의 유체 통로에 배치된 개스킷형 오리피스(20)와, 개스킷형 오리피스(20)의 상류측에 배치되어 개스킷형 오리피스(20)의 상류측 압력을 검출하는 압력 센서와, 컨트롤 밸브를 제어하는 제어 회로를 구비하고 있고, 개스킷형 오리피스(20)의 상류측 압력에 의해 오리피스 통과 유량을 연산하면서 컨트롤 밸브의 개폐에 의해 오리피스 통과 유량을 제어하도록 한 것이다.
이 압력식 유량 제어 장치는 상술한 개스킷형 오리피스(20)를 사용하고 있기 때문에 오리피스(20)의 설치시에 있어서의 변형을 방지할 수 있다는 이점이 있다.
그런데, 종래의 개스킷형 오리피스(20)는 양 오리피스 베이스(21, 22)의 외측 단면을 각각 시일면(21b, 22b)으로 하고 있기 때문에 압력식 유량 제어 장치의 유체 통로에 조립했을 때에는 개스킷형 오리피스(20)의 양단면의 시일성은 충분히 확보될 수 있다.
그러나, 이 개스킷형 오리피스(20)는 오리피스 베이스(22)의 감합용 오목부(22a) 내에 오리피스 플레이트(23)를 수용하고, 오리피스 베이스(21)의 감합용 돌출부(21a)를 오리피스 베이스(22)의 감합용 오목부(22a) 내로 압입함으로써 양 오리피스 베이스(21, 22) 사이에 오리피스 플레이트(23)를 기밀상으로 삽입 부착하도록 하고 있기 때문에, 오리피스 플레이트(23)의 시일부로부터의 외부 리크(leak)를 완전히 방지하기 위해서는 오리피스 플레이트(23)의 압입 공정에 있어서 세심한 주의가 필요하게 된다는 문제가 있다.
한편, 오리피스를 사용한 압력식 유량 제어 장치에 있어서는 컨트롤 밸브 하류측에 2개의 병렬 형상의 유체 통로를 형성하고, 한쪽의 유체 통로에 소유량용의 오리피스를 설치함과 아울러 다른쪽의 유체 통로에 스위칭 밸브와 대유량용의 오리피스를 설치하고, 스위칭 밸브의 작동에 의해 유체 유량의 제어 범위를 소유량 영역과 대유량 영역으로 스위칭하고, 광범위한 유량 영역에 걸쳐서 고정밀도의 유량 제어를 행하도록 한 압력식 유량 제어 장치가 개발되어 있다(예컨대, 특허 문헌 2 참조).
도 20은 2개의 오리피스를 이용한 압력식 유량 제어 장치의 종단면도를 나타낸 것이며, 도 20에 있어서 24는 컨트롤 밸브, 25는 스위칭 밸브, 26은 컨트롤 밸브(24) 및 스위칭 밸브(25)의 겸용의 바디, 26a는 바디(26)에 형성된 상류측의 유체 통로, 26b는 바디(26)에 병렬 형상으로 형성된 하류측의 2개의 유체 통로, 27은 바디(26)의 상류측에 고정된 입구측 블럭, 27a는 입구측 블럭(27)에 형성된 입구측 유체 통로, 28은 바디(26)의 하류측에 고정된 출구측 블럭, 28a는 출구측 블럭(28)에 형성된 출구측 유체 통로, 29는 하류측의 한쪽의 유체 통로(26b)에 배치된 소유량용의 개스킷형 오리피스[도 19에 나타낸 개스킷형 오리피스(20)와 동등한 것], 30은 하류측의 다른쪽의 유체 통로(26b)에 배치된 대유량용의 개스킷형 오리피스(도 19에 나타낸 것과 다른 구조의 개스킷형 오리피스), 31은 바디(26)에 배치된 압력 센서, 32는 바디(26)와 입구측 블럭(27) 사이에 끼워 설치된 개스킷형 필터이다.
또한, 소유량용의 개스킷형 오리피스(29) 및 대유량용의 개스킷형 오리피스(30)는 동일 구조의 것을 사용하고, 오리피스의 구경만을 변경할 경우도 있다.
그런데, 상기 압력식 유량 제어 장치에 개스킷형 오리피스를 이용한 경우 병렬로 형성된 2개의 유체 통로(26b, 26b)에 유량 특성이 다른 2개의 개스킷형 오리피스(29, 30)를 각각 설치하지 않으면 안되기 때문에 공간 절약화를 도모할 수 없다는 문제가 있다.
또한, 오리피스로 도 19에 나타낸 구조의 개스킷형 오리피스(20)를 이용한 경우 오리피스 플레이트(23)의 시일부로부터의 외부 리크를 완전히 방지하기 위해서 오리피스 플레이트(23)의 압입 공정에 있어서 세심한 주의가 필요로 된다는 문제가 있다.
일본 특허 공개 제 2007-057474 호 공보 일본 특허 공개 제 2007-004644 호 공보
본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것이며, 그 목적은 시일성이 우수함과 아울러 공간 절약화를 도모할 수 있도록 한 개스킷형 오리피스 및 이것을 이용한 압력식 유량 제어 장치를 제공하는 것에 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 개스킷형 오리피스는 중심부에 관통상의 통로를 갖는 오리피스 베이스와, 중심부에 상기 오리피스 베이스의 통로로 연통하는 관통상의 통로를 갖는 오리피스 베이스와, 양 오리피스 베이스 사이에 기밀상으로 삽입 부착되는 중심부에 오리피스 구멍이 형성된 오리피스 플레이트로 이루어지고, 유체 통로에 배치되어 양 오리피스 베이스의 외측 단면을 각각 시일면으로 한 개스킷형 오리피스에 있어서, 상기 양 오리피스 베이스 중 하류측에 위치하는 오리피스 베이스의 외경을 상류측에 위치하는 오리피스 베이스의 외경보다도 대경으로 형성하고, 하류측에 위치하는 오리피스 베이스의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분을 시일면으로 한 것에 특징이 있다.
또한, 본 발명의 개스킷형 오리피스는 한쪽의 오리피스 베이스를 내측 단면에 감합용 돌출부를 구비한 볼록형의 오리피스 베이스로 하고, 또한 다른쪽의 오리피스 베이스를 내측 단면에 상기 볼록형의 오리피스 베이스의 감합용 돌출부가 기밀상으로 감합되는 감합용 오목부를 구비한 오목형의 오리피스 베이스로 한 것에 특징이 있다.
또한, 본 발명의 개스킷형 오리피스는 오리피스 플레이트가 중심부에 볼록형의 오리피스 베이스의 통로 및 오목형의 오리피스 베이스의 통로로 연통하는 오리피스 구멍을 형성하고, 볼록형의 오리피스 베이스의 감합용 돌출부와 오목형의 오리피스 베이스의 감합용 오목부 사이에 기밀상으로 삽입 부착되는 것에 특징이 있다.
또한, 본 발명의 개스킷형 오리피스는 중심부에 통로를 갖는 상류측의 오리피스 베이스와, 상류측의 오리피스 베이스에 연설(連設)되어 상기 오리피스 베이스보다도 대경으로 형성된 중심부에 통로를 갖는 하류측의 오리피스 베이스와, 양 오리피스 베이스의 통로간에 형성되어 중심부에 상기 양 통로를 연통시키는 오리피스 구멍이 형성된 격벽 형상의 오리피스부로 이루어지고, 유체 통로에 배치되어 양 오리피스 베이스의 외측 단면과 하류측의 오리피스 베이스의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분을 각각 시일면으로 한 것에 특징이 있다.
또한, 본 발명의 개스킷형 오리피스는 중심부에 관통상의 통로를 갖는 오리피스 베이스와, 중심부에 관통상의 통로를 갖는 오리피스 베이스와, 중심부에 상기 양 오리피스 베이스의 통로로 연통하는 관통상의 통로를 갖고, 일단면이 한쪽의 오리피스 베이스에 대향함과 아울러 타단면이 다른쪽의 오리피스 베이스에 대향하는 중간 오리피스 베이스와, 한쪽의 오리피스 베이스와 중간 오리피스 베이스 사이에 기밀상으로 삽입 부착되는 중심부에 오리피스 구멍이 형성된 오리피스 플레이트와, 중간 오리피스 베이스와 다른쪽의 오리피스 베이스 사이에 기밀상으로 삽입 부착되는 중심부에 오리피스 구멍이 형성된 오리피스 플레이트로 이루어지고, 유체 통로에 배치되어 양 오리피스 베이스의 외측 단면을 각각 시일면으로 한 개스킷형 오리피스로서, 상기 양 오리피스 베이스 중 하류측에 위치하는 오리피스 베이스의 외경을 상류측에 위치하는 오리피스 베이스 및 중간 오리피스 베이스의 외경보다도 대경으로 형성하고, 하류측에 위치하는 오리피스 베이스의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분을 시일면으로 하고, 또한 상기 중간 오리피스 베이스에 상기 중간 오리피스 베이스의 통로로 분기 형상으로 연통하는 분류 통로를 형성한 것에 특징이 있다.
또한, 본 발명의 개스킷형 오리피스는 한쪽의 오리피스 베이스를 내측 단면에 감합용 돌출부를 구비한 볼록형의 오리피스 베이스로 하고, 또한 다른쪽의 오리피스 베이스를 내측 단면에 감합용 오목부를 구비한 오목형의 오리피스 베이스로 하고, 또한 중간 오리피스 베이스를 일단면에 볼록형의 오리피스 베이스의 감합용 돌출부가 기밀상으로 감합되는 감합용 오목부를 구비함과 아울러 타단면에 오목형의 오리피스 베이스의 감합용 오목부에 기밀상으로 감합되는 감합용 돌출부를 구비한 중간 오리피스 베이스로 한 것에 특징이 있다.
또한, 본 발명의 개스킷형 오리피스는 한쪽의 오리피스 플레이트가 중심부에 볼록형의 오리피스 베이스의 통로 및 중간 오리피스 베이스의 통로로 연통하는 오리피스 구멍이 형성되고, 볼록형의 오리피스 베이스의 감합용 돌출부와 중간 오리피스 베이스의 감합용 오목부 사이에 기밀상으로 삽입 부착되는 것에 특징이 있다.
또한, 본 발명의 개스킷형 오리피스는 다른쪽의 오리피스 플레이트가 중심부에 중간 오리피스 베이스의 통로 및 오목형의 오리피스 베이스의 통로로 연통하는 오리피스 구멍이 형성되고, 중간 오리피스 베이스의 감합용 돌출부와 오목형의 오리피스 베이스의 감합용 오목부 사이에 기밀상으로 삽입 부착되는 것에 특징이 있다.
또한, 본 발명의 개스킷형 오리피스는 양 오리피스 플레이트 중 상류측에 위치하는 오리피스 플레이트를 소유량용의 오리피스 플레이트로 함과 아울러 하류측에 위치하는 오리피스 플레이트를 대유량용의 오리피스 플레이트로 한 것에 특징이 있다.
또한, 본 발명의 개스킷형 오리피스는 중심부에 통로를 갖는 상류측의 오리피스 베이스와, 상류측의 오리피스 베이스에 연설되어 중심부에 통로를 갖는 중간 오리피스 베이스와, 중심부에 중간 오리피스 베이스의 통로로 연통하는 관통상의 통로를 갖고, 중간 오리피스 베이스에 대향하는 하류측의 오리피스 베이스와, 상류측의 오리피스 베이스의 통로와 중간 오리피스 베이스의 통로 사이에 형성되어 중심부에 상기 양 통로를 연통시키는 오리피스 구멍이 형성된 격벽 형상의 오리피스부와, 중간 오리피스 베이스와 하류측의 오리피스 베이스 사이에 기밀상으로 삽입 부착되는 중심부에 오리피스 구멍이 형성된 오리피스 플레이트로 이루어지고, 유체 통로에 배치되어 상류측의 오리피스 베이스의 외측 단면 및 하류측의 오리피스 베이스의 외측 단면을 각각 시일면으로 한 개스킷형 오리피스로서, 상기 하류측의 오리피스 베이스의 외경을 상류측의 오리피스 베이스 및 중간 오리피스 베이스의 외경보다도 대경으로 형성하고, 하류측의 오리피스 베이스의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분을 시일면으로 하고, 또한 상기 중간 오리피스 베이스에 상기 중간 오리피스 베이스의 통로로 분기 형상으로 연통하는 분류 통로를 형성한 것에 특징이 있다.
또한, 본 발명의 개스킷형 오리피스는 상류측에 위치하는 오리피스부를 소유량용의 오리피스부로 함과 아울러 하류측에 위치하는 오리피스 플레이트를 대유량용의 오리피스 플레이트로 한 것에 특징이 있다.
또한, 본 발명의 개스킷형 오리피스는 중심부에 관통상의 통로를 갖는 상류측의 오리피스 베이스와, 중심부에 통로를 갖고 상류측의 오리피스 베이스에 대향하는 중간 오리피스 베이스와, 중간 오리피스 베이스에 연설되어 중심부에 통로를 갖는 하류측의 오리피스 베이스와, 상류측의 오리피스 베이스와 중간 오리피스 베이스 사이에 기밀상으로 삽입 부착되는 중심부에 오리피스 구멍이 형성된 오리피스 플레이트와, 중간 오리피스 베이스의 통로와 하류측의 오리피스 베이스의 통로 사이에 형성되어 중심부에 상기 양 통로를 연통시키는 오리피스 구멍이 형성된 격벽 형상의 오리피스부로 이루어지고, 유체 통로에 배치되어 상류측의 오리피스 베이스의 외측 단면 및 하류측의 오리피스 베이스의 외측 단면을 각각 시일면으로 한 개스킷형 오리피스로서, 상기 하류측의 오리피스 베이스의 외경을 상류측의 오리피스 베이스 및 중간 오리피스 베이스의 외경보다도 대경으로 형성하고, 하류측의 오리피스 베이스의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분을 시일면으로 하고, 또한 상기 중간 오리피스 베이스에 상기 중간 오리피스 베이스의 통로로 분기 형상으로 연통하는 분류 통로를 형성한 것에 특징이 있다.
또한, 본 발명의 개스킷형 오리피스는 상류측에 위치하는 오리피스 플레이트를 소유량용의 오리피스 플레이트로 함과 아울러 하류측에 위치하는 오리피스부를 대유량용의 오리피스부로 한 것에 특징이 있다.
또한, 본 발명의 개스킷형 오리피스는 중심부에 통로를 갖는 상류측의 오리피스 베이스와, 상류측의 오리피스 베이스에 연설되어 중심부에 통로를 갖는 중간 오리피스 베이스와, 중간 오리피스 베이스에 연설되어 중심부에 통로를 갖는 하류측의 오리피스 베이스와, 상류측의 오리피스 베이스의 통로와 중간 오리피스 베이스의 통로 사이에 형성되어 중심부에 상기 양 통로를 연통시키는 오리피스 구멍이 형성된 격벽 형상의 오리피스부와, 중간 오리피스 베이스의 통로와 하류측의 오리피스 베이스의 통로 사이에 형성되어 중심부에 상기 양 통로를 연통시키는 오리피스 구멍이 형성된 격벽 형상의 오리피스부로 이루어지고, 유체 통로에 배치되어 상류측의 오리피스 베이스의 외측 단면 및 하류측의 오리피스 베이스의 외측 단면을 각각 시일면으로 한 개스킷형 오리피스로서, 상기 하류측의 오리피스 베이스의 외경을 상류측의 오리피스 베이스 및 중간 오리피스 베이스의 외경보다도 대경으로 형성하고, 하류측의 오리피스 베이스의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분을 시일면으로 하고, 또한 상기 중간 오리피스 베이스에 상기 오리피스 베이스의 통로로 분기 형상으로 연통하는 분류 통로를 형성한 것에 특징이 있다.
또한, 본 발명의 개스킷형 오리피스는 상류측에 위치하는 오리피스부를 소유량용의 오리피스부로 함과 아울러 하류측에 위치하는 오리피스부를 대유량용의 오리피스부로 한 것에 특징이 있다.
또한, 본 발명의 개스킷형 오리피스는 하류측의 오리피스 베이스의 외측 단면에 형성된 시일면을 오리피스 베이스의 외측 단면에 형성된 오목 개소의 저면으로 한 것에 특징이 있다.
본 발명의 압력식 유량 제어 장치는 컨트롤 밸브와, 컨트롤 밸브 하류측의 유체 통로에 배치된 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나에 기재된 개스킷형 오리피스와, 개스킷형 오리피스의 상류측에 배치되어 개스킷형 오리피스의 상류측 압력을 검출하는 압력 센서와, 컨트롤 밸브를 제어하는 제어 회로를 구비하고, 개스킷형 오리피스의 상류측 압력에 의해 오리피스 통과 유량을 연산하면서 컨트롤 밸브의 개폐에 의해 오리피스 통과 유량을 제어하도록 한 것에 특징이 있다.
또한, 본 발명의 압력식 유량 제어 장치는 컨트롤 밸브와, 컨트롤 밸브 하류측의 유체 통로로부터 분기되어 다시 유체 통로로 합류하는 분류 통로에 배치된 스위칭 밸브와, 유체 통로와 분기 통로의 합류 개소에 배치되어 유체 통로 및 분류 통로로 각각 연통하는 청구항 5 내지 청구항 15 중 어느 하나에 기재된 개스킷형 오리피스와, 개스킷형 오리피스의 상류측에 배치되어 개스킷형 오리피스의 상류측 압력을 검출하는 압력 센서와, 컨트롤 밸브를 제어하는 제어 회로를 구비하고, 개스킷형 오리피스의 상류측 압력에 의해 오리피스 통과 유량을 연산하면서 컨트롤 밸브의 개폐에 의해 오리피스 통과 유량을 제어함과 아울러 스위칭 밸브의 작동에 의해 유체의 유로가 스위칭되는 구성으로 한 것에 특징이 있다.
또한, 본 발명의 압력식 유량 제어 장치는 개스킷형 오리피스의 양 오리피스 플레이트 또는 오리피스부와 오리피스 플레이트 또는 양 오리피스부 중 상류측에 위치하는 오리피스 플레이트 또는 오리피스부를 소유량용의 오리피스 플레이트 또는 오리피스부로 함과 아울러 하류측에 위치하는 오리피스 플레이트 또는 오리피스부를 대유량용의 오리피스 플레이트 또는 오리피스부로 하고, 스위칭 밸브의 작동에 의해 유체 유량의 제어 범위가 소유량 영역과 대유량 영역으로 스위칭되는 구성으로 한 것에 특징이 있다.
또한, 본 발명의 압력식 유량 제어 장치는 유통하는 유체를 동일 통로에 2종류 공급하고, 한쪽의 유체를 흘려보낼 때는 스위칭 밸브를 폐쇄하여 컨트롤 밸브로 제어하고, 다른쪽의 유체를 흘려보낼 때는 스위칭 밸브를 개방하여 제어하도록 한 것에 특징이 있다.
또한, 본 발명의 압력식 유량 제어 장치는 컨트롤 밸브 하류측의 유체 통로로부터 분기되는 분류 통로 대신에 다른 유체 공급 라인으로부터의 유로를 상기 유체 통로에 접속하고, 그 접속 개소에 유체 통로 및 다른 유로로 각각 연통하는 청구항 5 내지 청구항 15 중 어느 하나에 기재된 개스킷형 오리피스를 배치함과 아울러 다른 유로에 스위칭 밸브를 배치하고, 유통하는 유체를 다른 유로로부터 스위칭 밸브에 의해 유통시키도록 한 것에 특징이 있다.
<발명의 효과>
본 발명의 개스킷형 오리피스는 양 오리피스 베이스간에 오리피스 플레이트를 기밀상으로 삽입 부착하고, 양 오리피스 베이스 중 하류측에 위치하는 오리피스 베이스의 외경을 상류측에 위치하는 오리피스 베이스의 외경보다도 대경으로 형성하고, 하류측에 위치하는 오리피스 베이스의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분을 시일면으로 하고 있기 때문에, 오리피스 플레이트의 시일부가 하류측에 위치 하는 오리피스 베이스의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분에 형성된 시일면의 안쪽에 위치하게 되고, 오리피스 플레이트의 시일부로부터의 외부 리크를 완전히 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 개스킷형 오리피스는 하류측에 위치하는 오리피스 베이스의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분에 시일면을 형성하고 있기 때문에, 만일 상류측에 위치하는 오리피스 베이스의 외측 단면에 형성된 시일면이나 오리피스 플레이트의 시일부에서 누설이 있었더라도 하류측에 위치하는 오리피스 베이스의 시일면에 의해 유체의 외부로의 누설을 방지할 수 있으므로, 오리피스 플레이트의 시일부의 리크량을 유량 제어에 영향을 주지 않을 정도로 완화하는 것도 가능하다.
또한, 본 발명의 개스킷형 오리피스는 양 오리피스 베이스의 외측 단면을 각각 시일면으로 하고 있기 때문에, 개스킷형 오리피스를 긴밀하게 유체 통로나 관로에 클램핑(clamping) 고정할 수 있는 데다가, 시일 개소도 3개소가 되어 시일성이 매우 우수한 것이 된다.
또한, 본 발명의 개스킷형 오리피스는 한쪽의 오리피스 베이스를 내측 단면에 감합용 돌출부를 구비한 볼록형의 오리피스 베이스로 하고, 또한 다른쪽의 오리피스 베이스를 내측 단면에 상기 볼록형의 오리피스 베이스의 감합용 돌출부가 기밀상으로 감합되는 감합용 오목부를 구비한 오목형의 오리피스 베이스로 하고, 볼록형의 오리피스 베이스의 감합용 돌출부와 오목형의 오리피스 베이스의 감합용 오목부 사이에 오리피스 플레이트를 기밀상으로 삽입 부착하도록 하고 있기 때문에 오리피스 플레이트의 시일부로부터의 외부 리크를 보다 완전하게 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 개스킷형 오리피스는 상류측의 오리피스 베이스와 하류측의 오리피스 베이스를 일체적으로 형성하고, 상류측의 오리피스 베이스의 통로와 하류측의 오리피스 베이스의 통로 사이에 양 통로를 연통시키는 오리피스 구멍이 형성된 오리피스부가 설치되어 있기 때문에 오리피스부로부터의 외부 리크가 전혀 없게 된다.
또한, 본 발명의 개스킷형 오리피스는 한쪽의 오리피스 베이스와 중간 오리피스 베이스 사이 및 다른쪽의 오리피스 베이스와 중간 오리피스 베이스 사이에 오리피스 플레이트를 각각 기밀상으로 삽입 부착하고, 양 오리피스 베이스 중 하류측에 위치하는 오리피스 베이스의 외경을 상류측에 위치하는 오리피스 베이스 및 중간 오리피스 베이스의 외경보다도 대경으로 형성하고, 하류측에 위치하는 오리피스 베이스의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분을 시일면으로 하고 있기 때문에, 오리피스 플레이트의 시일부가 하류측에 위치하는 오리피스 베이스의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분에 형성된 시일면의 안쪽에 위치하게 되고, 오리피스 플레이트의 시일부로부터의 외부 리크를 완전하게 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 개스킷형 오리피스는 하류측에 위치하는 오리피스 베이스의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분에 시일면을 형성하고 있기 때문에, 만일 상류측에 위치하는 오리피스 베이스의 외측 단면에 형성된 시일면이나 오리피스 플레이트의 시일부에서 누설이 있었더라도 하류측에 위치하는 오리피스 베이스의 시일면에 의해 유체의 외부로의 누설을 방지할 수 있으므로, 오리피스 플레이트의 시일부의 리크량을 유량 제어에 영향을 주지 않을 정도로 완화하는 것도 가능하다.
또한, 본 발명의 개스킷형 오리피스는 양 오리피스 베이스의 외측 단면을 각각 시일면으로 하고 있기 때문에, 개스킷형 오리피스를 긴밀하게 유체 통로나 관로에 클램핑 고정할 수 있는 데다가 시일 개소도 3개소가 되어서 시일성이 매우 우수한 것이 된다.
또한, 본 발명의 개스킷형 오리피스는 한쪽의 오리피스 베이스를 내측 단면에 감합용 돌출부를 구비한 볼록형의 오리피스 베이스로 하고, 또한 다른쪽의 오리피스 베이스를 내측 단면에 감합용 오목부를 구비한 오목형의 오리피스 베이스로 하고, 또한 중간 오리피스 베이스를 일단면에 볼록형의 오리피스 베이스의 감합용 돌출부가 기밀상으로 감합되는 감합용 오목부를 구비함과 아울러 타단면에 오목형의 오리피스 베이스의 감합용 오목부에 기밀상으로 감합되는 감합용 돌출부를 구비한 중간 오리피스 베이스로 하고, 볼록형의 오리피스 베이스의 감합용 돌출부와 중간 오리피스 베이스의 감합용 오목부 사이 및 중간 오리피스 베이스의 감합용 돌출부와 오목형의 오리피스 베이스의 감합용 오목부 사이에 오리피스 플레이트를 각각 기밀상으로 삽입 부착하도록 하고 있기 때문에, 오리피스 플레이트의 시일부로부터의 외부 리크를 보다 완전하게 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 개스킷형 오리피스는 상류측의 오리피스 베이스와 중간 오리피스 베이스, 중간 오리피스 베이스와 하류측의 오리피스 베이스, 상류측의 오리피스 베이스와 중간 오리피스 베이스와 하류측의 오리피스 베이스를 각각 일체적으로 형성하고, 상류측의 오리피스 베이스의 통로와 중간 오리피스 베이스의 통로 사이, 중간 오리피스 베이스의 통로와 하류측의 오리피스 베이스의 통로 사이, 상류측의 오리피스 베이스의 통로와 중간 오리피스 베이스의 통로 사이 및 중간 오리피스 베이스의 통로와 하류측의 오리피스 베이스의 통로 사이에 각각 오리피스 구멍이 형성된 오리피스부를 설치하고 있기 때문에, 오리피스부로터의 외부 리크가 전혀 없게 된다.
또한, 본 발명의 개스킷형 오리피스는 상류측의 오리피스 플레이트 또는 오리피스부를 소유량용의 오리피스 플레이트 또는 소유량용의 오리피스부로 함과 아울러 하류측의 오리피스 플레이트 또는 오리피스부를 대유량용의 오리피스 플레이트 또는 대유량용의 오리피스부로 하고 있기 때문에, 1개의 개스킷형 오리피스로 2개의 다른 유량 특성을 얻을 수 있다.
그 결과, 본 발명의 개스킷형 오리피스를 이용하면 종래와 같이 2개의 개스킷형 오리피스를 이용한 압력식 유량 제어 장치에 비교하여 공간 절약화를 도모할 수 있다.
또한, 본 발명의 개스킷형 오리피스는 하류측의 오리피스 베이스의 외측 단면에 오목 개소를 형성하고, 상기 오목 개소의 저면을 시일면으로 하고 있기 때문에 시일면을 오목 개소에 의해 보호할 수 있고, 또한 오목 개소에 다른 부재를 끼워서 시일하면 오목 개소가 위치 결정 기능을 발휘하여 개스킷형 오리피스의 위치 맞춤(축심 맞춤)을 용이하게 행할 수 있다.
본 발명의 압력식 유량 제어 장치는 본 발명에 의한 개스킷형 오리피스를 사용하고 있기 때문에, 오리피스 그 자체의 고정밀도화를 도모할 수 있음과 아울러 오리피스의 설치시에 있어서의 기밀성의 확보나 변형을 확실하게 방지할 수 있어 고정밀도의 유량 제어를 행할 수 있다.
또한, 본 발명의 압력식 유량 제어 장치는 소유량용의 오리피스 플레이트 또는 오리피스부 및 대유량용의 오리피스 플레이트 또는 오리피스부를 구비한 개스킷형 오리피스와 유체의 흐름을 스위칭하는 스위칭 밸브를 설치하고 있기 때문에, 소유량용의 오리피스 플레이트 또는 오리피스부에 의한 유량 제어와 대유량용의 오리피스 플레이트 또는 오리피스부에 의한 유량 제어를 적절히 조합시킨 유량 제어를 행할 수 있어 1대의 압력식 유량 제어 장치의 사용으로 광범위한 유량 영역에 걸쳐서 고정밀도의 유량 제어를 행할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시형태에 의한 개스킷형 오리피스를 조립한 상태의 확대 종단면도이다.
도 2는 도 1에 나타낸 개스킷형 오리피스를 분해한 상태의 확대 종단면도이다.
도 3은 도 1에 나타낸 개스킷형 오리피스를 이용한 압력식 유량 제어 장치의 종단면도이다.
도 4는 도 3의 요부의 확대 종단면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시형태에 의한 개스킷형 오리피스를 조립한 상태의 확대 종단면도이다.
도 6은 도 5에 나타낸 개스킷형 오리피스를 분해한 상태의 확대 종단면도이다.
도 7은 도 5에 나타낸 개스킷형 오리피스를 이용한 압력식 유량 제어 장치의 종단면도이다.
도 8은 도 7의 요부의 확대 종단면도이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 개스킷형 오리피스를 조립한 상태의 확대 종단면도이다.
도 10은 도 9에 나타낸 개스킷형 오리피스를 분해한 상태의 확대 종단면도이다.
도 11은 도 9에 나타낸 개스킷형 오리피스를 이용한 압력식 유량 제어 장치의 종단면도이다.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 개스킷형 오리피스를 조립한 상태의 확대 종단면도이다.
도 13은 도 12에 나타낸 개스킷형 오리피스를 분해한 상태의 확대 종단면도이다.
도 14는 도 12에 나타낸 개스킷형 오리피스를 이용한 압력식 유량 제어 장치의 종단면도이다.
도 15는 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 개스킷형 오리피스를 나타내고, 상류측의 오리피스 베이스와 하류측의 오리피스 베이스를 일체화한 개스킷형 오리피스의 확대 종단면도이다.
도 16은 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 개스킷형 오리피스를 나타내고, 상류측의 오리피스 베이스와 중간 오리피스 베이스를 일체화한 개스킷형 오리피스의 확대 종단면도이다.
도 17은 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 개스킷형 오리피스를 나타내고, 중간 오리피스 베이스와 하류측의 오리피스 베이스를 일체화한 개스킷형 오리피스의 확대 종단면도이다.
도 18은 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 개스킷형 오리피스를 나타내고, 상류측의 오리피스 베이스와 중간 오리피스 베이스와 하류측의 오리피스 베이스를 일체화한 개스킷형 오리피스의 확대 종단면도이다.
도 19는 종래의 개스킷형 오리피스의 확대 종단면도이다.
도 20은 종래의 개스킷형 오리피스를 이용한 압력식 유량 제어 장치의 종단면도이다.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 의거하여 상세히 설명한다.
도 1 내지 도 4는 본 발명의 실시형태에 의한 개스킷형 오리피스(1) 및 이것을 이용한 압력식 유량 제어 장치를 나타내는 것이다.
상기 개스킷형 오리피스(1)는, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 중심부에 관통상의 통로(2a)를 갖고 내측 단면에 감합용 돌출부(2b)를 구비한 볼록형의 오리피스 베이스(2)와, 중심부에 관통상의 통로(3a)를 갖고 내측 단면에 감합용 오목부(3b)를 구비한 오목형의 오리피스 베이스(3)와, 중심부에 오리피스 구멍(도시 생략)이 형성된 오리피스 플레이트(4)로 이루어지고, 볼록형의 오리피스 베이스(2)와 오목형의 오리피스 베이스(3)를 조합시켜 양 오리피스 베이스(2, 3) 사이에 오리피스 플레이트(4)를 기밀상으로 삽입 부착함과 아울러 양 오리피스 베이스(2, 3)의 양 외측 단면 및 한 쪽의 오리피스 베이스(3)의 내측 단면을 개스킷형 오리피스(1)의 시일면(2c, 3c, 3d)으로 하여 오리피스 플레이트(4)의 시일부로부터의 외부로의 리크를 방지할 수 있게 한 것이다.
구체적으로는, 상기 볼록형의 오리피스 베이스(2)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 스테인리스재[SUS316L-P(W멜트)]에 의해 종단면 형상이 볼록형의 짧은 원기둥 형상으로 형성되어 있고, 그 중심부에는 내주면이 단차로 형성된 관통상의 통로(2a)가 형성되어 있다.
또한, 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 내측 단면[오목형의 오리피스 베이스(3)에 대향하는 단면]에는 외주면이 단차로 형성된 통 형상의 감합용 돌출부(2b)가 통로(2a)와 동심상으로 돌출 형성되어 있다. 이 감합용 돌출부(2b)의 대경측의 외주면 및 감합용 돌출부(2b)의 단면에는 오목형의 오리피스 베이스(3)와의 조합시에 시일 기능을 발휘하는 환상 돌기(2d, 2d')가 각각 형성되어 있다.
또한, 볼록형의 오리피스 베이스(2)는 환상으로 형성된 외측 단면이 개스킷형 오리피스(1)의 시일면(2c)으로서의 기능을 발휘하도록 되어 있다.
상기 오목형의 오리피스 베이스(3)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 스테인리스재[SUS316L-P(W멜트)]에 의해 종단면 형상이 오목형의 두꺼운 원반 형상으로 형성되어 있고, 그 중심부에는 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 통로(2a)로 연통하는 관통상의 통로(3a)가 형성되어 있다.
또한, 오목형의 오리피스 베이스(3)의 내측 단면[볼록형의 오리피스 베이스(2)에 대향하는 단면]에는 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 감합용 돌출부(2b)가 기밀상으로 감합되는 감합용 오목부(3b)가 통로(3a)와 동심상으로 형성되어 있다. 이 감합용 오목부(3b)의 내주면은 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 감합용 돌출부(2b)가 기밀상으로 감합되도록 단차의 내주면으로 형성되어 있다.
또한, 오목형의 오리피스 베이스(3)의 외측 단면에는 원형의 오목 개소(3e)가 통로(3a)와 동심상으로 형성되어 있고, 오목형의 오리피스 베이스(3)의 외측 단면에 형성된 오목 개소(3e)의 저면이 개스킷형 오리피스(1)의 시일면(3c)으로서의 기능을 발휘하도록 되어 있다. 상기 오목 개소(3e)는 개스킷형 오리피스(1)의 위치 맞춤(축심 맞춤)을 용이하게 함과 아울러 시일면(3c)을 보호하기 위한 것이다.
그리고, 상기 양 오리피스 베이스(2, 3) 중 하류측에 위치하는 오리피스 베이스(3)는 그 외경이 상류측에 위치하는 오리피스 베이스(2)의 외경보다도 대경으로 형성되어 있고, 하류측에 위치하는 오리피스 베이스(3)의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분이 개스킷형 오리피스(1)의 시일면(3d)으로서의 기능을 발휘하도록 되어 있다.
이 실시형태에 있어서는 하류측에 위치하는 오목형의 오리피스 베이스(3)의 외경이 상류측에 위치하는 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 외경보다도 대경으로 형성되어 있고, 오목형의 오리피스 베이스(3)의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분이 개스킷형 오리피스(1)의 시일면(3d)으로 되어 있다.
상기 오리피스 플레이트(4)는 양 오리피스 베이스(2, 3)와 동질의 스테인리스재 또는 불순물이 매우 적은 스테인리스재(NK클린Z)에 의해 매우 얇은 판 형상으로 형성되어 있고, 그 중심부에는 양 오리피스 베이스(2, 3)의 통로(2a, 3a)로 연통하는 소망의 내경의 오리피스 구멍(도시 생략)이 형성되어 있다. 이 오리피스 플레이트(4)의 크기는 오목형의 오리피스 베이스(3)의 감합용 오목부(3b)의 소경 부분에 수용가능할 정도로 설정되어 있다.
또한, 오리피스 플레이트(4)의 외관 형상은 원형이어도 좋고, 또는 다른 형상이어도 좋다.
상술한 개스킷형 오리피스(1)는 오목형의 오리피스 베이스(3)의 감합용 오목부(3b) 내에 오리피스 플레이트(4)를 수용하고, 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 감합용 돌출부(2b)를 오목형의 오리피스 베이스(3)의 감합용 오목부(3b) 내로 추진력 약 90N의 프레스기(도시 생략)에 의해 압입하여 양 오리피스 베이스(2, 3)를 기밀상으로 일체화함으로써 형성되어 있다.
이 때, 감합용 돌출부(2b)의 외주면이 감합용 오목부(3b)의 내주면에 기밀상으로 밀접함과 아울러 오리피스 플레이트(4)의 양면이 감합용 돌출부(2b)의 단면 및 감합용 오목부(3b)의 저면에 밀접하기 때문에, 양 오리피스 베이스(2, 3)의 내측 단면간에 오리피스 플레이트(4)가 기밀상으로 삽입 부착 유지되게 된다. 또한, 감합용 돌출부(2b)의 외주면 및 단면에 환상 돌기(2d, 2d')를 형성하고 있기 때문에 시일성이 보다 확보되게 된다.
상기 개스킷형 오리피스(1)를 이용한 압력식 유량 제어 장치는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 압전 소자 구동식의 컨트롤 밸브(6)와, 컨트롤 밸브(6)의 바디(7)의 상류측에 볼트(도시 생략)에 의해 클램핑 고정되어 바디(7)의 상류측 유체 통로(7a)로 연통하는 입구측 유체 통로(8a)가 형성된 입구측 블럭(8)과, 바디(7)와 입구측 블럭(8) 사이에 끼워 설치되어 양자간을 시일하는 개스킷형 필터(9)와, 컨트롤 밸브(6)의 바디(7)의 하류측에 볼트(도시 생략)에 의해 클램핑 고정되어 바디(7)의 하류측의 유체 통로(7b)로 연통하는 출구측 유체 통로(10a)가 형성된 출구측 블럭(10)과, 바디(7)와 출구측 블럭(10) 사이에 끼워 설치되어 양자간을 시일하는 유량 제어용의 개스킷형 오리피스(1)와, 컨트롤 밸브(6)의 바디(7)에 배치되어 개스킷형 오리피스(1)의 상류측의 압력을 검출하는 압력 센서(11)와, 컨트롤 밸브(6)를 제어하는 제어 회로(12) 등으로 구성되어 있어, 개스킷형 오리피스(1)의 상류측 압력에 의해 오리피스 통과 유량을 연산하면서 컨트롤 밸브(6)의 개폐에 의해 오리피스 통과 유량을 제어하도록 한 것이다.
또한, 컨트롤 밸브(6)의 바디(7)의 하류측 단면과 출구측 블럭(10)의 상류측 단면에는 개스킷형 오리피스(1)가 수용되는 오리피스 수납용 오목 개소(7c, 10b)가 각각 형성되어 있다.
즉, 바디(7)의 하류측 단면에 형성된 오리피스 수납용 오목 개소(7c)는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 내경이 도중에 변하는 단차의 오목 개소로 형성되어 있어, 오리피스 수납용 오목 개소(7c)의 내경이 작은 부분의 저면에는 개스킷형 오리피스(1)의 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 외측 단면에 형성된 시일면(2c)에 밀접 상태로 파고 들어가서 시일하는 환상 돌기(7d)가 형성되어 있음과 아울러, 오리피스 수납용 오목 개소(7c)의 내경이 큰 부분의 저면에는 개스킷형 오리피스(1)의 오목형의 오리피스 베이스(3)의 내측 단면에 형성된 시일면(3d)에 밀접 상태로 파고 들어가서 시일하는 환상 돌기(7e)가 형성되어 있다.
한편, 출구측 블럭(10)의 상류측 단면에 형성된 오리피스 수납용 오목 개소(10b)는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 출구측 블럭(10)의 출구측 유체 통로(10a)의 입구측을 둘러싸는 환상의 오목 개소로 형성되어 있고, 오리피스 수납용 오목 개소(10b)의 저면에는 오목형의 오리피스 베이스(3)에 형성된 원형의 오목 개소(3e)에 삽입되는 환상의 개스킷 프레싱용 돌출부(10c)가 형성되어 있다. 이 개스킷 프레싱용 돌출부(10c)의 단면에는 개스킷형 오리피스(1)의 오목형의 오리피스 베이스(3)의 외측 단면에 형성된 시일면(3c)에 밀접 상태로 파고 들어가서 시일하는 환상 돌기(10d)가 형성되어 있다. 또한, 이 개스킷 프레싱용 돌출부(10c)를 오목형의 오리피스 베이스(3)의 오목 개소(3e)에 삽입함으로써 개스킷형 오리피스(1)의 위치 맞춤을 용이하게 행할 수 있다.
또한, 이 실시형태에 있어서는 개스킷형 오리피스(1)의 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 외측 단면에 형성된 시일면(2c)과 오목형의 오리피스 베이스(3)의 외측 단면에 형성된 시일면(3c)의 거리, 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 외측 단면에 형성된 시일면(2c)과 오목형의 오리피스 베이스(3)의 내측 단면에 형성된 시일면(3d)의 거리, 오목형의 오리피스 베이스(3)의 외측 단면에 형성된 시일면(3c)과 내측 단면에 형성된 시일면(3d)의 거리, 바디(7)의 하류측 단면에 형성된 오리피스 수납용 오목 개소(7c)의 내경이 작은 쪽의 저면의 깊이 및 내경이 큰 쪽의 저면의 깊이, 출구측 블럭(10)의 오리피스 수납용 오목 개소(10b)의 저면에 형성된 개스킷 프레싱용 돌출부(10c)의 높이 등은 개스킷형 오리피스(1)를 바디(7) 및 출구측 블럭(10)의 오리피스 수납용 오목 개소(7c, 10b) 내에 수납하고, 바디(7)와 출구측 블럭(10)을 볼트에 의해 클램핑 고정했을 때에, 도 4에 나타낸 바와 같이, A면이 먼저 접하여 시일된 후, B면이 접하여 시일되도록 되어 있음과 아울러 A면과 오리피스 플레이트(4)의 시일부의 리크량이 1×10-4Pa·m3/sec 이하로, 또한 외부 리크로 이어지는 B면과 C면의 리크량이 1×10-10Pa·m3/sec 이하로 되도록 각각 설정되어 있다. 단, A면, 오리피스 플레이트(4)의 시일부, B면 및 C면의 리크량은 이들의 값에 한정되는 것은 아니고, 시일면에 따라서는 리크에 대하여 엄격하게 보지 않는 부분이 있어 리크를 완전히 방지하지 않아도 허용될 경우도 있다.
상술한 개스킷형 오리피스(1)는 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 외측 단면 및 오목형의 오리피스 베이스(3)의 외측 단면과 오목형의 오리피스 베이스(3)의 내측 단면을 각각 시일면(2c, 3c, 3d)으로 하고 있기 때문에 개스킷형 오리피스(1)를 긴밀하게 유체 통로에 클램핑 고정할 수 있는데다가, 시일 개소도 3개소가 되어서 시일성이 매우 우수하다.
또한, 개스킷형 오리피스(1)는 오목형의 오리피스 베이스(3)의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분을 시일면(3d)로 하고 있기 때문에 오리피스 플레이트(4)의 시일부가 오목형의 오리피스 베이스(3)의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분에 형성된 시일면(3d)의 안쪽에 위치하게 되어 오리피스 플레이트(4)의 시일부로부터의 외부 리크를 완전히 방지할 수 있다. 그 결과, 이 개스킷형 오리피스(1)에 있어서는 오리피스 플레이트(4)의 시일부를 다소 느슨한 설정으로 할 수도 있다. 단, 이 경우 오리피스 플레이트(4)의 시일부의 리크량은 유량 제어에 영향을 주지 않을 정도로 할 필요가 있다.
또한, 상술한 압력식 유량 제어 장치는 상기 개스킷형 오리피스(1)를 사용하고 있기 때문에, 오리피스(1) 그 자체의 고정밀도화를 도모할 수 있음과 아울러 오리피스(1)의 설치시에 있어서의 기밀성의 확보나 변형을 확실하게 방지할 수 있어 고정밀도의 유량 제어를 행할 수 있다.
도 5 내지 도 8은 본 발명의 다른 실시형태에 의한 개스킷형 오리피스(1) 및 이것을 이용한 압력식 유량 제어 장치를 나타내는 것이다.
상기 개스킷형 오리피스(1)는, 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 중심부에 관통상의 통로(2a)를 갖고 내측 단면에 감합용 돌출부(2b)를 구비한 볼록형의 오리피스 베이스(2)와, 중심부에 관통상의 통로(3a)를 갖고 내측 단면에 감합용 오목부(3b)를 구비한 오목형의 오리피스 베이스(3)와, 중심부에 관통상의 통로(5a)를 갖고 일단면에 감합용 오목부(5b)를 구비함과 아울러 타단면에 감합용 돌출부(5c)를 구비한 중간 오리피스 베이스(5)와, 중심부에 오리피스 구멍(도시 생략)이 형성된 소유량용 및 대유량용의 2매의 오리피스 플레이트(4', 4")로 이루어지고, 볼록형의 오리피스 베이스(2)와 중간 오리피스 베이스(5)와 오목형의 오리피스 베이스(3)를 조합시켜 볼록형의 오리피스 베이스(2)와 중간 오리피스 베이스(5) 사이 및 오목형의 오리피스 베이스(3)와 중간 오리피스 베이스(5) 사이에 오리피스 플레이트(4', 4")를 각각 기밀상으로 삽입 부착함과 아울러 볼록형 및 오목형의 양 오리피스 베이스(2, 3)의 외측 단면 및 오목형의 오리피스 베이스(3)의 내측 단면을 각각 시일면(2c, 3c, 3d)으로 하여 양 오리피스 플레이트(4', 4")의 시일부로부터의 외부로의 리크를 방지할 수 있도록 한 것이다.
또한, 이 개스킷형 오리피스(1)는 중간 오리피스 베이스(5)에 상기 중간 오리피스 베이스(5)의 통로(5a)로 분기 형상으로 연통하는 분류 통로(5d)를 형성하고, 볼록형의 오리피스 베이스(2)와 중간 오리피스 베이스(5) 사이에 소유량용의 오리피스 플레이트(4')를 기밀상으로 삽입 부착함과 아울러 오목형의 오리피스 베이스(3)와 중간 오리피스 베이스(5) 사이에 대유량용의 오리피스 플레이트(4")를 삽입 부착함으로써 공간 절약화를 도모할 수 있도록 한 것이다.
구체적으로는, 상기 볼록형의 오리피스 베이스(2)는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 스테인리스재[SUS316L-P(W멜트)]에 의해 종단면 형상이 볼록형의 짧은 원기둥 형상으로 형성되어 있고, 그 중심부에는 내주면이 단차로 형성된 관통상의 통로(2a)가 형성되어 있다.
또한, 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 내측 단면[중간 오리피스 베이스(5)에 대향하는 단면]에는 외주면이 단차로 형성된 통 형상의 감합용 돌출부(2b)가 통로(2a)와 동심상으로 돌출 형성되어 있다. 이 감합용 돌출부(2b)의 대경측의 외주면 및 감합용 돌출부(2b)의 단면에는 중간 오리피스 베이스(5)와의 조합시에 시일 기능을 발휘하는 환상 돌기(2d, 2d')가 각각 형성되어 있다.
또한, 볼록형의 오리피스 베이스(2)는 환상으로 형성된 외측 단면이 개스킷형 오리피스(1)의 시일면(2c)으로서의 기능을 발휘하도록 되어 있다.
상기 오목형의 오리피스 베이스(3)는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 스테인리스재[SUS316L-P(W멜트)]에 의해 종단면 형상이 오목형의 두꺼운 원반 형상으로 형성되어 있고, 그 중심부에는 관통상의 통로(3a)가 형성되어 있다.
또한, 오목형의 오리피스 베이스(3)의 내측 단면[중간 오리피스 베이스(5)에 대향하는 단면]에는 중간 오리피스 베이스(5)의 감합용 돌출부(5c)가 기밀상으로 감합되는 감합용 오목부(3b)가 통로(3a)와 동심상으로 형성되어 있다. 이 감합용 오목부(3b)의 내주면은 중간 오리피스 베이스(5)의 감합용 돌출부(5c)가 기밀상으로 감합되도록 단차의 내주면에 형성되어 있다.
또한, 오목형의 오리피스 베이스(3)의 외측 단면에는 원형의 오목 개소(3e)가 통로(3a)와 동심상으로 형성되어 있고, 오목형의 오리피스 베이스(3)의 외측 단면에 형성된 오목 개소(3e)의 저면이 개스킷형 오리피스(1)의 시일면(3c)으로서의 기능을 발휘하도록 되어 있다. 상기 오목 개소(3e)는 개스킷형 오리피스(1)의 위치 맞춤(축심 맞춤)을 용이하게 함과 아울러 시일면(3c)을 보호하기 위한 것이다.
상기 중간 오리피스 베이스(5)는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 스테인리스재[SUS316L-P(W멜트)]에 의해 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 외경과 동일한 직경의 원기둥 형상으로 형성되어 있고, 그 중심부에는 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 통로(2a) 및 오목형의 오리피스 베이스(3)의 통로(3a)로 연통하는 관통상의 통로(5a)가 형성되어 있다.
또한, 중간 오리피스 베이스(5)의 일단면[볼록형의 오리피스 베이스(2)에 대향하는 단면]에는 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 감합용 돌출부(2b)가 기밀상으로 감합되는 감합용 오목부(5b)가 통로(5a)와 동심상으로 형성되어 있다. 이 감합용 오목부(5b)의 내주면은 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 감합용 돌출부(2b)가 기밀상으로 감합되도록 단차의 내주면으로 형성되어 있다.
또한, 중간 오리피스 베이스(5)의 타단면[오목형의 오리피스 베이스(3)에 대향하는 단면]에는 오목형의 오리피스 베이스(3)의 감합용 오목부(3b)에 기밀상으로 감합되는 외주면이 단차로 형성된 통 형상의 감합용 돌출부(5c)가 통로(5a)와 동심상으로 돌출 형성되어 있다. 이 감합용 돌출부(5c)의 대경측의 외주면 및 감합용 돌출부(5c)의 단면에는 오목형의 오리피스 베이스(3)와의 조합시에 시일 기능을 발휘하는 환상 돌기(5e, 5e')가 각각 형성되어 있다.
중간 오리피스 베이스(5)의 둘레벽 부분에는 중간 오리피스 베이스(5)의 통로(5a)로 분기 형상으로 연통하는 분류 통로(5d)가 추가로 형성되어 있다.
그리고, 상기 볼록형의 오리피스 베이스(2) 및 오목형의 오리피스 베이스(3) 중 하류측에 위치하는 오리피스 베이스(3)는 그 외경이 상류측에 위치하는 오리피스 베이스(2)의 외경보다도 대경으로 형성되어 있고, 하류측에 위치하는 오리피스 베이스(3)의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분이 개스킷형 오리피스(1)의 시일면(3d)으로서의 기능을 발휘하도록 되어 있다.
이 실시형태에 있어서는 하류측에 위치하는 오목형의 오리피스 베이스(3)의 외경이 상류측에 위치하는 볼록형의 오리피스 베이스(2) 및 중간 오리피스 베이스(5)의 외경보다도 대경으로 형성되어 있고, 오목형의 오리피스 베이스(3)의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분이 개스킷형 오리피스(1)의 시일면(3d)으로 되어 있다.
상기 소유량용 및 대유량용의 오리피스 플레이트(4', 4")는 각 오리피스 베이스(2, 3, 5)와 동질의 스테인리스재 또는 불순물이 매우 적은 스테인리스재(NK클린Z)에 의해 매우 얇은 판 형상으로 각각 형성되어 있고, 그 중심부에는 각 오리피스 베이스(2, 3, 5)의 통로(2a, 3a, 5a)로 연통하는 소망의 내경의 오리피스 구멍(도시 생략)이 각각 형성되어 있다. 소유량용의 오리피스 플레이트(4')의 크기는 중간 오리피스 베이스(5)의 감합용 오목부(5b)의 소경 부분에 수용가능할 정도로 설정되어 있다. 또한, 대유량용의 오리피스 플레이트(4")의 크기는 오목형의 오리피스 베이스(3)의 감합용 오목부(3b)의 소경 부분에 수용가능할 정도로 설정되어 있다.
또한, 양 오리피스 플레이트(4', 4")의 외관 형상은 원형이어도 좋고, 또는 다른 형상이어도 좋다.
상술한 개스킷형 오리피스(1)는 오목형의 오리피스 베이스(3)의 감합용 오목부(3b) 내에 대유량용의 오리피스 플레이트(4")를, 또한 중간 오리피스 베이스(5)의 감합용 오목부(5b) 내에 소유량용의 오리피스 플레이트(4')를 각각 수용하고, 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 감합용 돌출부(2b)를 중간 오리피스 베이스(5)의 감합용 오목부(5b) 내로, 또한 중간 오리피스 베이스(5)의 감합용 돌출부(5c)를 오목형의 오리피스 베이스(3)의 감합용 오목부(3b) 내로 추진력 약 90N의 프레스기(도시 생략)에 의해 각각 압입하여 각 오리피스 베이스(2, 3, 5)를 기밀상으로 일체화함으로써 형성되어 있다.
이 때, 볼록형의 오리피스 베이스(2) 및 중간 오리피스 베이스(5)의 감합용 돌출부(2b, 5c)의 외주면이 중간 오리피스 베이스(5) 및 오목형의 오리피스 베이스(3)의 감합용 오목부(5b, 3b)의 내주면에 각각 기밀상으로 밀접함과 아울러 각 오리피스 플레이트(4', 4")의 양면이 각 감합용 돌출부(2b, 5c)의 단면 및 각 감합용 오목부(3b, 5b)의 저면에 밀접하기 때문에, 각 오리피스 베이스(2, 3, 5) 사이에 2매의 오리피스 플레이트(4', 4")가 기밀상으로 삽입 부착 유지되게 된다. 또한, 각 감합용 돌출부(2b, 5c)의 외주면 및 단면에 환상 돌기(2d, 2d', 5e, 5e')를 각각 형성하고 있기 때문에 시일성이 보다 확보되게 된다.
또한, 도 5 및 도 6에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)의 볼록형의 오리피스 베이스(2) 및 오목형의 오리피스 베이스(3)는 도 1 및 도 2에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)의 볼록형의 오리피스 베이스(2) 및 오목형의 오리피스 베이스(3)와 동일한 형상 및 동일한 치수로 형성되어 있어 공통화를 도모하고 있다.
상기 개스킷형 오리피스(1)를 이용한 압력식 유량 제어 장치는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 압전 소자 구동식의 컨트롤 밸브(6)와, 컨트롤 밸브(6)의 바디(7)[이 바디(7)는 컨트롤 밸브(6)의 바디와 스위칭 밸브(13)의 바디를 겸용]에 배치되고, 상기 바디(7)에 형성된 하류측의 유체 통로(7b)로부터 분기되어 다시 유체 통로(7b)로 합류하는 분류 통로(7f)에 끼워 설치된 에어 구동식의 스위칭 밸브(13)와, 컨트롤 밸브(6)의 바디(7)의 상류측에 볼트(도시 생략)에 의해 클램핑 고정되어 바디(7)의 상류측의 유체 통로(7a)로 연통하는 입구측 유체 통로(8a)가 형성된 입구측 블럭(8)과, 바디(7)와 입구측 블럭(8) 사이에 끼워 설치되어 양자간을 시일하는 개스킷형 필터(9)와, 컨트롤 밸브(6)의 바디(7)의 하류측에 볼트(도시 생략)에 의해 클램핑 고정되어 바디(7)에 형성된 하류측의 유체 통로(7b)와 분류 통로(7f)의 합류 개소로 연통하는 출구측 유체 통로(10a)가 형성된 출구측 블럭(10)과, 바디(7)에 형성된 하류측의 유체 통로(7b)와 분류 통로(7f)의 합류 개소에 위치하여 바디(7)와 출구측 블럭(10) 사이에 끼워 설치되어 양자간을 시일하는 유량 제어용의 개스킷형 오리피스(1)와, 컨트롤 밸브(6)의 바디(7)에 배치되어 개스킷형 오리피스(1)의 상류측의 압력을 검출하는 압력 센서(11)와, 컨트롤 밸브(6) 및 스위칭 밸브(13)를 제어하는 제어 회로(12) 등으로 구성되어 있고, 개스킷형 오리피스(1)의 상류측 압력에 의해 오리피스 통과 유량을 연산하면서 컨트롤 밸브(6)의 개폐에 의해 오리피스 통과 유량을 제어함과 아울러 스위칭 밸브(13)의 작동에 의해 유체 유량의 제어 범위를 소유량 영역과 대유량 영역으로 스위칭하여 소유량 유체의 유량 제어와 대유량 유체의 유량 제어를 행할 수 있도록 한 것이다.
즉, 소유량 유체의 유량 제어를 행할 경우에는 스위칭 밸브(13)를 폐쇄 상태로 하고, 유체를 바디(7)의 하류측의 유체 통로(7b), 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 통로(2a), 소유량용의 오리피스 플레이트(4'), 중간 오리피스 베이스(5)의 통로(5a), 대유량용의 오리피스 플레이트(4"), 오목형의 오리피스 베이스(3)의 통로(3a)를 통하여 출구측 블럭(10)의 유출 통로(10a)에 유통시키고, 소유량용의 오리피스 플레이트(4')에 의해 유량 Q가 Q=K1P1[단, K1은 소유량용의 오리피스에 고유한 정수, P1은 개스킷형 오리피스(1)의 상류측 압력]로서 유량 제어된다.
또한, 대유량 유체의 유량 제어를 행할 경우에는 스위칭 밸브(13)를 폐쇄 상태로부터 개방 상태로 스위칭하고, 유체를 바디(7)의 하류측의 유체 통로(7b), 바디(7)의 분류 통로(7f), 중간 오리피스 베이스(5)의 분류 통로(5d), 중간 오리피스 베이스(5)의 통로(5a) 및 바디(7)의 하류측의 유체 통로(7b), 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 통로(2a), 소유량용의 오리피스 플레이트(4'), 중간 오리피스 베이스(5)의 통로(5a)를 통하여 대유량용의 오리피스 플레이트(4")로 유통시키고, 대유량용의 오리피스 플레이트(4")에 의해 유량 Q가 Q=K2P1[단, K2는 대유량용의 오리피스에 고유한 정수, P1은 개스킷형 오리피스(1)의 상류측 압력]로서 유량 제어된다.
상기 컨트롤 밸브(6)의 바디(7)의 하류측의 유체 통로(7b)와 분류 통로(7f)의 합류 개소이고 또한 바디(7)의 하류측 단면과 출구측 블럭(10)의 상류측 단면에는 개스킷형 오리피스(1)가 수용되는 오리피스 수납용 오목 개소(7c, 10b)가 각각 형성되어 있다.
즉, 바디(7)의 유체 통로(7b)와 분류 통로(7f)의 합류 개소이고 또한 바디(7)의 하류측 단면에 형성된 오리피스 수납용 오목 개소(7c)는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 내경이 도중에 변하는 단차의 오목 개소로 형성되어 있어, 오리피스 수납용 오목 개소(7c)의 내경이 작은 부분의 저면에는 개스킷형 오리피스(1)의 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 외측 단면에 형성된 시일면(2c)에 밀접 상태로 파고 들어가서 시일하는 환상 돌기(7d)가 형성되어 있음과 아울러 오리피스 수납용 오목 개소(7c)의 내경이 큰 부분의 저면에는 개스킷형 오리피스(1)의 오목형의 오리피스 베이스(3)의 내측 단면에 형성된 시일면(3d)에 밀접 상태로 파고 들어가서 시일하는 환상 돌기(7e)가 형성되어 있다.
또한, 오리피스 수납용 오목 개소(7c)는 작은쪽의 내경이 개스킷형 오리피스(1)의 볼록형의 오리피스 베이스(2) 및 중간 오리피스 베이스(5)의 외경보다도 크게 형성되어 있고, 오리피스 수납용 오목 개소(7c) 내에 개스킷형 오리피스(1)를 삽입 부착하였을 때에 오리피스 수납용 오목 개소(7c)의 내주면과 볼록형의 오리피스 베이스(2) 및 중간 오리피스 베이스(5) 사이에 환상의 간극이 형성되도록 되어 있다. 이에 따라, 바디(7)의 분류 통로(7f)와 중간 오리피스 베이스(5)의 분류 통로(5d)는 환상의 간극을 통하여 연통하게 된다.
한편, 출구측 블럭(10)의 상류측 단면에 형성된 오리피스 수납용 오목 개소(10b)는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 출구측 블럭(10)의 출구측 유체 통로(10a)의 입구측을 둘러싸는 환상의 오목 개소로 형성되어 있고, 오리피스 수납용 오목 개소(10b)의 저면에는 오목형의 오리피스 베이스(3)에 형성된 원형의 오목 개소(3e)에 삽입되는 환상의 개스킷 프레싱용 돌출부(10c)가 형성되어 있다. 이 개스킷 프레싱용 돌출부(10c)의 단면에는 개스킷형 오리피스(1)의 오목형의 오리피스 베이스(3)의 외측 단면에 형성된 시일면(3c)에 밀접 상태로 파고 들어가서 시일하는 환상 돌기(10d)가 형성되어 있다.
또한, 이 실시형태에 있어서는 개스킷형 오리피스(1)의 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 외측 단면에 형성된 시일면(2c)과 오목형의 오리피스 베이스(3)의 외측 단면에 형성된 시일면(3c)의 거리, 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 외측 단면에 형성된 시일면(2c)과 오목형의 오리피스 베이스(3)의 내측 단면에 형성된 시일면(3d)의 거리, 오목형의 오리피스 베이스(3)의 외측 단면에 형성된 시일면(3c)과 내측 단면에 형성된 시일면(3d)의 거리, 바디(7)의 하류측 단면에 형성된 오리피스 수납용 오목 개소(7c)의 내경이 작은 쪽의 저면의 깊이 및 내경이 큰 쪽의 저면의 깊이, 출구측 블럭(10)의 오리피스 수납용 오목 개소(10b)의 저면에 형성된 개스킷 프레싱용 돌출부(10c)의 높이 등은 개스킷형 오리피스(1)를 바디(7) 및 출구측 블럭(10)의 오리피스 수납용 오목 개소(7c, 10b) 내에 수납하고, 바디(7)와 출구측 블럭(10)을 볼트에 의해 클램핑 고정하였을 때에, 도 8에 나타낸 바와 같이, A면이 먼저 접하여 시일된 후 B면이 접하여 시일되도록 되어 있음과 아울러 A면과 각 오리피스 플레이트(4', 4")의 시일부의 리크량이 1×10-4Pa·㎥/sec 이하로, 또한 외부 리크로 이어지는 B면과 C면의 리크량이 1×10-10Pa·㎥/sec 이하로 되도록 각각 설정되어 있다. 단, A면, 오리피스 플레이트(4', 4")의 시일부, B면 및 C면의 리크량은 이들 값에 한정되는 것은 아니고, 시일면에 따라서는 리크에 대하여 엄격하게 보지 않는 부분이 있어 리크를 완전히 방지하지 않아도 허용될 경우도 있다.
상술한 개스킷형 오리피스(1)는 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 외측 단면 및 오목형의 오리피스 베이스(3)의 외측 단면과 오목형의 오리피스 베이스(3)의 내측 단면을 각각 시일면(2c, 3c, 3d)으로 하고 있기 때문에, 개스킷형 오리피스(1)를 긴밀하게 유체 통로에 클램핑 고정할 수 있는 데다가, 시일 개소도 3개소가 되어서 시일성이 매우 우수하다.
또한, 개스킷형 오리피스(1)는 오목형의 오리피스 베이스(3)의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분을 시일면(3d)으로 하고 있기 때문에, 오리피스 플레이트(4', 4")의 시일부가 오목형의 오리피스 베이스(3)의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분에 형성된 시일면(3d)의 안쪽에 위치하게 되고, 오리피스 플레이트(4', 4")의 시일부로부터의 외부 리크를 완전히 방지할 수 있다. 그 결과, 개스킷형 오리피스(1)에 있어서는 오리피스 플레이트(4', 4")의 시일부를 다소 느슨한 설정으로 할 수도 있다. 단, 이 경우 오리피스 플레이트(4', 4")의 시일부의 리크량은 유량 제어에 영향을 주지 않을 정도로 할 필요가 있다.
또한, 개스킷형 오리피스(1)는 볼록형의 오리피스 베이스(2)와 오목형의 오리피스 베이스(3) 사이에 중간 오리피스 베이스(5)를 끼워 설치하고, 볼록형의 오리피스 베이스(2)와 중간 오리피스 베이스(5) 사이 및 오목형의 오리피스 베이스(3)와 중간 오리피스 베이스(5) 사이에 각각 소유량용 및 대유량용의 오리피스 플레이트(4', 4")를 각각 기밀상으로 삽입 부착하고, 또한 중간 오리피스 베이스(5)에 분기 형상의 분류 통로(5d)를 형성하고 있기 때문에, 1개의 개스킷형 오리피스(1)로 2개의 다른 유량 특성을 얻을 수 있다. 그 결과, 2개의 개스킷형 오리피스(1)를 이용하는 경우에 비하여 공간 절약화를 도모할 수 있다.
더욱이, 상술한 압력식 유량 제어 장치는 소유량용의 오리피스 플레이트(4') 및 대유량용의 오리피스 플레이트(4")를 구비한 개스킷형 오리피스(1)와 유체의 흐름을 스위칭하는 스위칭 밸브(13)가 설치되어 있기 때문에 소유량용의 오리피스 플레이트(4')에 의한 유량 제어와 대유량용의 오리피스 플레이트(4")에 의한 유량 제어를 적절히 조합시킨 유량 제어를 행할 수 있고, 1대의 압력식 유량 제어 장치의 사용으로 광범위한 유량 영역에 걸쳐서 고정밀도의 유량 제어를 행할 수 있다.
도 9 내지 도 11은 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 개스킷형 오리피스(1) 및 이것을 이용한 압력식 유량 제어 장치를 나타내는 것이다.
즉, 상기 개스킷형 오리피스(1)는, 도 9에 나타낸 바와 같이, 중심부에 관통상의 통로(2a)를 갖고 내측 단면을 평면 형상으로 형성한 상류측의 오리피스 베이스(2)와, 중심부에 관통상의 통로(3a)를 갖고 내측 단면을 평면 형상으로 형성함과 아울러 상기 오리피스 베이스(2)보다도 대경으로 형성한 하류측의 오리피스 베이스(3)와, 중심부에 오리피스 구멍(도시 생략)을 형성한 오리피스 플레이트(4)로 이루어지고, 오리피스 플레이트(4)를 양 오리피스 베이스(2, 3)의 평면 형상의 내측 단면 사이에서 기밀상으로 협지함과 아울러 양 오리피스 베이스(2, 3)의 양 외측 단면 및 하류측의 오리피스 베이스(3)의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분을 개스킷형 오리피스(1)의 시일면(2c, 3c, 3d)로 하여 오리피스 플레이트(4)의 시일부로부터의 외부로의 리크를 방지할 수 있도록 한 것이다.
또한, 상류측의 오리피스 베이스(2)의 내측 단면 및 하류측의 오리피스 베이스(3)의 내측 단면에는, 도 10에 나타낸 바와 같이, 오리피스 플레이트(4)를 양 오리피스 베이스(2, 3)의 내측 단면 사이에서 협지할 때에 시일 기능을 발휘하는 환상 돌기(2e, 3f)가 각각 형성되어 있다.
또한, 도 9 및 도 10에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)는 양 오리피스 베이스(2, 3)의 감합용 돌출부(2b) 및 감합용 오목부(3b)를 생략하여 양 오리피스 베이스(2, 3)의 내측 단면을 각각 평면 형상으로 형성하고, 양 오리피스 베이스(2, 3)의 평면 형상의 내측 단면에 환상 돌기(2e, 3f)를 형성한 것 이외에는 도 1 및 도 2에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)와 동일한 구조로 형성되어 있고, 도 1 및 도 2에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)와 동일한 부재·부위에는 동일한 참조 번호를 붙이고 그 상세한 설명은 생략한다.
상기 개스킷형 오리피스(1)를 이용한 압력식 유량 제어 장치는, 도 11에 나타낸 바와 같이, 압전 소자 구동식의 컨트롤 밸브(6), 입구측 블럭(8), 개스킷형 필터(9), 출구측 블럭(10), 유량 제어용의 개스킷형 오리피스(1)[도 9에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)], 압력 센서(11) 및 제어 회로(12) 등으로 구성되어 있고, 개스킷형 오리피스(1)의 상류측 압력에 의해 오리피스 통과 유량을 연산하면서 컨트롤 밸브(6)의 개폐에 의해 오리피스 통과 유량을 제어하도록 한 것이다.
이 압력식 유량 제어 장치는 개스킷형 오리피스(1)를 도 9에 나타낸 것으로 대신한 것 이외는 도 3에 나타낸 압력식 유량 제어 장치와 동일한 구조로 구성되어 있고, 도 3에 나타낸 압력식 유량 제어 장치와 동일한 부위·부재에는 동일한 참조 번호를 붙이고 그 상세한 설명은 생략한다.
도 9에 나타낸 개스킷형 오리피스(1) 및 도 11에 나타낸 압력식 유량 제어 장치도, 도 1에 나타낸 개스킷형 오리피스(1) 및 도 3에 나타낸 압력식 유량 제어 장치와 같은 작용 효과를 발휘할 수 있다.
도 12 내지 도 14는 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 개스킷형 오리피스(1) 및 이것을 이용한 압력식 유량 제어 장치를 나타내는 것이다.
상기 개스킷형 오리피스(1)는, 도 12에 나타낸 바와 같이, 중심부에 관통상의 통로(2a)를 갖고 내측 단면을 평면 형상으로 형성한 상류측의 오리피스 베이스(2)와, 중심부에 관통상의 통로(3a)를 갖고 내측 단면을 평면 형상으로 형성함과 아울러 상기 오리피스 베이스(2)보다도 대경으로 형성한 하류측의 오리피스 베이스(3)와, 중심부에 관통상의 통로(5a)를 갖고 양단면을 평면 형상으로 형성함과 아울러 상류측의 오리피스 베이스(2)와 동일한 외경의 중간 오리피스 베이스(5)와, 중심부에 오리피스 구멍(도시 생략)이 형성된 소유량용 및 대유량용의 2매의 오리피스 플레이트(4', 4")로 이루어지고, 상류측에 위치하는 소유량용의 오리피스 플레이트(4')를 상류측의 오리피스 베이스(2)의 내측 단면과 중간 오리피스 베이스(5)의 일단면 사이에서 기밀상으로 협지함과 아울러 하류측에 위치하는 대유량용의 오리피스 플레이트(4")를 하류측의 오리피스 베이스(3)의 내측 단면과 중간 오리피스 베이스(5)의 타단면 사이에서 기밀상으로 협지하고, 양 오리피스 베이스(2, 3)의 외측 단면 및 하류측의 오리피스 베이스(3)의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분을 각각 시일면(2c, 3c, 3d)으로 하여 양 오리피스 플레이트(4', 4")의 시일부로부터의 외부로의 리크를 방지할 수 있도록 한 것이다.
또한, 이 개스킷형 오리피스(1)는 중간 오리피스 베이스(5)에 상기 중간 오리피스 베이스(5)의 통로(5a)로 분기 형상으로 연통하는 분류 통로(5d)를 형성한 것이다.
또한, 상류측의 오리피스 베이스(2)의 내측 단면, 하류측의 오리피스 베이스(3)의 내측 단면 및 중간 오리피스 베이스(5)의 양단면에는, 도 13에 나타낸 바와 같이, 각 오리피스 베이스(4', 4")를 각 오리피스 베이스(2, 3, 5) 사이에서 협지할 때에 시일 기능을 발휘하는 환상 돌기(2e, 3f, 5f)가 각각 형성되어 있다.
또한, 도 12 및 도 13에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)는 각 오리피스 베이스(2, 3, 5)의 감합용 돌출부(2b, 5c) 및 감합용 오목부(3b, 5b)를 생략하여 양 오리피스 베이스(2, 3)의 내측 단면 및 중간 오리피스 베이스(5)의 양단면을 각각 평면 형상으로 형성하고, 양 오리피스 베이스(2, 3)의 평면 형상의 내측 단면 및 중간 오리피스 베이스(5)의 평면 형상의 양단면에 환상 돌기(2e, 3f, 5f)를 형성한 것 이외는 도 5 및 도 6에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)와 동일한 구조로 형성되어 있고, 도 5 및 도 6에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)와 동일한 부재·부위에는 동일한 참조 번호를 붙이고, 그 상세한 설명은 생략한다.
상기 개스킷형 오리피스(1)를 이용한 압력식 유량 제어 장치는, 도 14에 나타낸 바와 같이, 압전 소자 구동식의 컨트롤 밸브(6), 에어 구동식의 스위칭 밸브(13), 입구측 블럭(8), 개스킷형 필터(9), 출구측 블럭(10), 유량 제어용의 개스킷형 오리피스(1)[도 12에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)], 압력 센서(11) 및 제어 회로(12) 등으로 구성되어 있고, 개스킷형 오리피스(1)의 상류측 압력에 의해 오리피스 통과 유량을 연산하면서 컨트롤 밸브(6)의 개폐에 의해 오리피스 통과 유량을 제어함과 아울러 스위칭 밸브(13)의 작동에 의해 유체 유량의 제어 범위를 소유량 영역과 대유량 영역으로 스위칭하여 소유량 유체의 유량 제어와 대유량 유체의 유량 제어를 행할 수 있도록 한 것이다.
이 압력식 유량 제어 장치는 개스킷형 오리피스(1)를 도 12에 나타낸 것으로 대신한 것 이외는 도 7에 나타낸 압력식 유량 제어 장치와 동일한 구조로 구성되어 있고, 도 7에 나타낸 압력식 유량 제어 장치와 동일한 부위·부재에는 동일한 참조 번호를 붙이고, 그 상세한 설명은 생략한다.
도 12에 나타낸 개스킷형 오리피스(1) 및 도 14에 나타낸 압력식 유량 제어 장치도 도 5에 나타낸 개스킷형 오리피스(1) 및 도 7에 나타낸 압력식 유량 제어 장치와 같은 작용 효과를 발휘할 수 있다.
도 15는 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 개스킷형 오리피스(1)를 나타내고, 상기 개스킷형 오리피스(1)는 상류측의 오리피스 베이스(1b)와 하류측의 오리피스 베이스(1d)를 절삭 가공 등에 의해 1개의 부재로 일체적으로 형성하고, 상류측의 오리피스 베이스(1b)와 하류측의 오리피스 베이스(1d) 사이에 형성된 오리피스부(1e)는 드릴 등을 이용한 절삭 가공에 의해 구멍을 뚫어 형성하도록 한 것이다.
즉, 도 15에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)는 중심부에 통로(1a)를 갖는 상류측의 오리피스 베이스(1b)와, 상류측의 오리피스 베이스(1b)에 연설되어 상기 오리피스 베이스(1b)보다도 대경으로 형성된 중심부에 통로(1c)를 갖는 하류측의 오리피스 베이스(1d)와, 양 오리피스 베이스(1b, 1d)의 통로(1a, 1c) 사이에 형성되어 중심부에 상기 양 통로(1a, 1c)를 연통시키는 오리피스 구멍(1e')이 형성된 격벽 형상의 오리피스부(1e)로 이루어지고, 양 오리피스 베이스(1b, 1d)의 외측 단면과 하류측의 오리피스 베이스(1d)의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분을 각각 시일면(1f, 1g, 1h)으로 한 것이다.
또한, 하류측의 오리피스 베이스(1d)의 외측 단면에는 원형의 오목 개소(1i)가 통로(1c)와 동심상으로 형성되어 있고, 오리피스 베이스(1d)의 외측 단면에 형성된 오목 개소(1i)의 저면이 개스킷형 오리피스(1)의 시일면(1g)으로서의 기능을 발휘하도록 되어 있다.
도 15에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)도 도 1에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)와 같은 작용 효과를 발휘할 수 있다. 게다가, 이 개스킷형 오리피스(1)는 상류측의 오리피스 베이스(1b)와 하류측의 오리피스 베이스(1d)와 오리피스부(1e)를 일체화하고 있기 때문에 오리피스부(1e)로부터의 외부 리크가 전혀 없게 된다.
도 16은 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 개스킷형 오리피스(1)를 나타내고, 상기 개스킷형 오리피스(1)는 상류측의 오리피스 베이스(1b)와 중간 오리피스 베이스(1k)를 각각 절삭 가공 등에 의해 1개의 부재로 일체적으로 형성하고, 상류측의 오리피스 베이스(1b)와 중간 오리피스 베이스(1k) 사이에 형성된 오리피스부(1l)는 드릴 등을 이용한 절삭 가공에 의해 구멍을 뚫어 형성하도록 한 것이다.
즉, 도 16에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)는 중심부에 통로(1a)를 갖는 상류측의 오리피스 베이스(1b)와, 상류측의 오리피스 베이스(1b)에 연설되어 중심부에 통로(1j)를 갖는 중간 오리피스 베이스(1k)와, 중심부에 중간 오리피스 베이스(1k)의 통로(1j)로 연통하는 관통상의 통로(3a)를 갖고 중간 오리피스 베이스(1k)에 대향하는 하류측의 오리피스 베이스(3)와, 오리피스 베이스(1b)의 통로(1a)와 중간 오리피스 베이스(1k)의 통로(1j) 사이에 형성되어 중심부에 상기 양 통로(1a, 1j)를 연통시키는 오리피스 구멍(1l')이 형성된 격벽 형상의 오리피스부(1l)와, 중간 오리피스 베이스(1k)와 하류측의 오리피스 베이스(3) 사이에 기밀상으로 삽입 부착되는 중심부에 오리피스 구멍이 형성된 오리피스 플레이트(4")로 이루어지고, 상류측의 오리피스 베이스(1b)의 외측 단면 및 하류측의 오리피스 베이스(3)의 외측 단면을 각각 시일면(1f, 3c)으로 함과 아울러 하류측의 오리피스 베이스(3)의 외경을 상류측의 오리피스 베이스(1b) 및 중간 오리피스 베이스(1k)의 외경보다도 대경으로 형성하여 하류측의 오리피스 베이스(3)의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분을 시일면(3d)으로 하고, 또한 중간 오리피스 베이스(1k)에 상기 중간 오리피스 베이스(1k)의 통로(1j)로 분기 형상으로 연통하는 분류 통로(1m)를 형성한 것이다.
또한, 중간 오리피스 베이스(1k)의 하류측 단면에는 하류측의 오리피스 베이스(3)의 감합용 오목부(3b)에 기밀상으로 감합되는 외주면이 단차로 형성된 통 형상의 감합용 돌출부(1n)가 통로(1j)와 동심상으로 돌출 형성되어 있다. 이 감합용 돌출부(1n)의 대경측의 외주면 및 감합용 돌출부(1n)의 단면에는 하류측의 오리피스 베이스(3)와의 조합시에 시일 기능을 발휘하는 환상 돌기(부호는 생략)가 각각 형성되어 있다.
도 16에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)도 도 5에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)와 같은 작용 효과를 발휘할 수 있다. 게다가, 이 개스킷형 오리피스(1)는 상류측의 오리피스 베이스(1b)와 중간 오리피스 베이스(1k)와 상류측의 오리피스부(1l)를 일체화하고 있기 때문에 상류측의 오리피스부(1l)로부터의 외부 리크가 전혀 없게 된다.
도 17은 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 개스킷형 오리피스(1)를 나타내고, 상기 개스킷형 오리피스(1)는 중간 오리피스 베이스(1k)와 하류측의 오리피스 베이스(1d)를 각각 절삭 가공 등에 의해 1개의 부재로 일체적으로 형성하고, 중간 오리피스 베이스(1k)와 하류측의 오리피스 베이스(1d) 사이에 형성된 오리피스부(1o)는 드릴 등을 이용한 절삭 가공에 의해 구멍을 뚫어 형성하도록 한 것이다.
즉, 도 17에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)는 중심부에 관통상의 통로(2a)를 갖는 상류측의 오리피스 베이스(2)와, 중심부에 통로(1j)를 갖고 상류측의 오리피스 베이스(2)에 대향하는 중간 오리피스 베이스(1k)와, 중간 오리피스 베이스(1k)에 연설되어 중심부에 통로(1c)을 갖는 하류측의 오리피스 베이스(1d)와, 상류측의 오리피스 베이스(2)와 중간 오리피스 베이스(1k) 사이에 기밀상으로 삽입 부착되는 중심부에 오리피스 구멍이 형성된 오리피스 플레이트(4')와, 중간 오리피스 베이스(1k)의 통로(1j)와 하류측의 오리피스 베이스(1d)의 통로(1c) 사이에 형성되어 중심부에 상기 양 통로(1j, 1c)를 연통시키는 오리피스 구멍(1o')이 형성된 격벽 형상의 오리피스부(1o)로 이루어지고, 상류측의 오리피스 베이스(2)의 외측 단면 및 하류측의 오리피스 베이스(1d)의 외측 단면을 각각 시일면(2c, 1g)으로 함과 아울러 하류측의 오리피스 베이스(1d)의 외경을 상류측의 오리피스 베이스(2) 및 중간 오리피스 베이스(1k)의 외경보다도 대경으로 형성하여 하류측의 오리피스 베이스(1d)의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분을 시일면(1h)으로 하고, 또한 중간 오리피스 베이스(1k)에 상기 중간 오리피스 베이스(1k)의 통로(1j)로 분기 형상으로 연통하는 분류 통로(1m)를 형성한 것이다.
또한, 중간 오리피스 베이스(1k)의 상류측 단면에는 상류측의 오리피스 베이스(2)의 감합용 볼록부(2b)와 기밀상으로 감합되는 감합용 오목부(1p)가 통로(1j)와 동심상으로 형성되어 있다. 이 감합용 오목부(1p)의 내주면은 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 감합용 돌출부(2b)가 기밀상으로 감합되도록 단차의 내주면으로 형성되어 있다.
또한, 하류측의 오리피스 베이스(1d)의 외측 단면에는 원형의 오목 개소(1i)가 통로(1c)와 동심상으로 형성되어 있고, 오리피스 베이스(1d)의 외측 단면에 형성된 오목 개소(1i)의 저면이 개스킷형 오리피스(1)의 시일면(1g)으로서의 기능을 발휘하도록 되어 있다.
도 17에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)도 도 5에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)와 같은 작용 효과를 발휘할 수 있다. 게다가, 이 개스킷형 오리피스(1)는 중간 오리피스 베이스(1k)와 하류측의 오리피스 베이스(1d)와 하류측의 오리피스부(1o)를 일체화하고 있기 때문에, 하류측의 오리피스부(1o)로부터의 외부 리크가 전혀 없게 된다.
도 18은 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 개스킷형 오리피스(1)를 나타내고, 상기 개스킷형 오리피스(1)는 상류측의 오리피스 베이스(1b)와 중간 오리피스 베이스(1k)와 하류측의 오리피스 베이스(1d)를 각각 절삭 가공 등에 의해 1개의 부재로 일체적으로 형성하고, 상류측의 오리피스 베이스(1b)와 중간 오리피스 베이스(1k) 사이에 형성된 오리피스부(1l) 및 중간 오리피스 베이스(1k)와 하류측의 오리피스 베이스(1d) 사이에 형성된 오리피스부(1o)는 드릴 등을 이용한 절삭 가공에 의해 구멍을 뚫어 형성하도록 한 것이다.
즉, 도 18에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)는 중심부에 통로(1a)를 갖는 상류측의 오리피스 베이스(1b)와, 상류측의 오리피스 베이스(1b)에 연설되어 중심부에 통로(1j)를 갖는 중간 오리피스 베이스(1k)와, 중간 오리피스 베이스(1k)에 연설되어 중심부에 통로(1c)을 갖는 하류측의 오리피스 베이스(1d)와, 상류측의 오리피스 베이스(1b)의 통로(1a)와 중간 오리피스 베이스(1k)의 통로(1j) 사이에 형성되어 중심부에 상기 양 통로(1a, 1j)를 연통시키는 오리피스 구멍(1l')이 형성된 격벽 형상의 오리피스부(1l)와, 중간 오리피스 베이스(1k)의 통로(1j)와 하류측의 오리피스 베이스(1d)의 통로(1c) 사이에 형성되어 중심부에 상기 양 통로(1j, 1c)를 연통시키는 오리피스 구멍(1o')이 형성된 격벽 형상의 오리피스부(1o)로 이루어지고, 상류측의 오리피스 베이스(1b)의 외측 단면 및 하류측의 오리피스 베이스(1d)의 외측 단면을 각각 시일면(1f, 1g)으로 함과 아울러 하류측의 오리피스 베이스(1d)의 외경을 상류측의 오리피스 베이스(1b) 및 중간 오리피스 베이스(1k)의 외경보다도 대경으로 형성하여 하류측의 오리피스 베이스(1d)의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분을 시일면(1h)으로 하고, 또한 중간 오리피스 베이스(1k)에 상기 중간 오리피스 베이스(1k)의 통로(1j)로 분기 형상으로 연통하는 분류 통로(1m)를 형성한 것이다.
또한, 하류측의 오리피스 베이스(1d)의 외측 단면에는 원형의 오목 개소(1i)가 통로(1c)와 동심상으로 형성되어 있고, 오리피스 베이스(1d)의 외측 단면에 형성된 오목 개소(1i)의 저면이 개스킷형 오리피스(1)의 시일면(1g)으로서의 기능을 발휘하도록 되어 있다.
도 18에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)도 도 5에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)와 같은 작용 효과를 발휘할 수 있다. 게다가, 이 개스킷형 오리피스(1)는 상류측의 오리피스 베이스(1b)와 중간 오리피스 베이스(1k)와 하류측의 오리피스 베이스(1d)와 상류측의 오리피스부(1l)와 하류측의 오리피스부(1o)를 일체화하고 있기 때문에 양 오리피스부(1l, 1o)로부터의 외부 리크가 전혀 없게 된다.
또한, 도 1 및 도 5에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)에 있어서는 볼록형의 오리피스 베이스(2)를 상류측에, 또한 오목형의 오리피스 베이스(3)를 하류측에 각각 배치하고, 하류측에 위치하는 오목형의 오리피스 베이스(3)의 외경을 상류측에 위치하는 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 외경보다도 대경으로 형성하고, 오목형의 오리피스 베이스(3)의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분을 시일면(3d)으로 하도록 하였지만, 다른 실시형태에 있어서는 도시되지 않았지만 오목형의 오리피스 베이스(3)를 상류측에, 또한 볼록형의 오리피스 베이스(2)를 하류측에 각각 배치하고, 하류측에 위치하는 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 외경을 상류측에 위치하는 오목형의 오리피스 베이스(3)의 외경보다도 대경으로 형성하고, 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분을 시일면으로 하도록 해도 좋다.
도 1 및 도 5에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)에 있어서는 볼록형의 오리피스 베이스(2), 오목형의 오리피스 베이스(3) 및 중간 오리피스 베이스(5)를 스테인리스재[SUS316L-P(W멜트)]에 의해 형성하고, 각 오리피스 플레이트(4, 4', 4")를 각 오리피스 베이스(2, 3, 5)와 동질인 스테인리스재 또는 불순물이 매우 적은 스테인리스재(NK클린Z)에 의해 형성하였지만, 취급하는 유체의 종류에 따라서는 각 오리피스 베이스(2, 3, 5) 및 각 오리피스 플레이트(4, 4', 4")의 재질을 변경해도 좋다. 또한, 도 9, 도 12, 도 15 내지 도 18에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)의 각 부재의 재질은 도 1 및 도 5에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)와 같이 스테인리스재이어도 좋고, 또는 취급하는 유체의 종류에 의해 재질의 종류를 변경해도 좋다.
도 1, 도 5, 도 9, 도 12, 도 15 내지 도 18에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)에 있어서는 하류측의 오리피스 베이스(3, 1d)의 외측 단면에 원형의 오목 개소(3e, 1i)를 통로(3a, 1c)와 동심상으로 형성하고, 하류측의 오리피스 베이스(3, 1d)의 외측 단면에 형성된 오목 개소(3e, 1i)의 저면이 개스킷형 오리피스(1)의 시일면(3c, 1g)으로서의 기능을 발휘하도록 하였지만, 다른 실시형태에 있어서는 도시되지 않았지만 하류측의 오리피스 베이스(3, 1d)의 외측 단면을 평면 형상으로 형성하고, 이 평면 부분을 시일면으로 해도 좋다.
도 18에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)에 있어서는 중간 오리피스 베이스(1k)에 형성된 통로(1j)의 구경(내경)과 분류 통로(1m)의 구경(내경)을 대략 동일한 구경으로 하였지만, 다른 실시형태에 있어서는 도시되지 않았지만 분류 통로(1m)의 구경을 흐름 방향(도 18의 좌우 방향)으로 확대하도록 해도 좋다.
즉, 중간 오리피스 베이스(1k)에 상기 중간 오리피스 베이스(1k)의 통로(1j)로 연통하며 통로(1j)의 길이와 동등 정도의 슬릿상의 분류 통로(1m)를 형성해도 좋다. 분류 통로(1m)의 구경은 크다고 하더라도 유량 제어 등에 영향을 미치지 않으므로 특별히 문제가 되는 일은 없다.
이렇게, 분류 통로(1m)의 구경을 크게 하면 중간 오리피스 베이스(1k)의 통로(1j)의 절삭 가공 등을 행함과 아울러 내부로부터도 오리피스부(1l, 1o)의 가공 등을 행할 수 있다.
도 18에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)에 있어서는 상류측의 오리피스 베이스(1b)와 중간 오리피스 베이스(1k)와 하류측의 오리피스 베이스(1d)를 절삭 가공 등에 의해 1개의 부재로 일체적으로 형성하고, 상류측의 오리피스 베이스(1b)와 중간 오리피스 베이스(1k) 사이에 형성된 오리피스부(1l) 및 중간 오리피스 베이스(1k)와 하류측의 오리피스 베이스(1d) 사이에 형성된 오리피스부(1o)는 드릴 등을 이용한 절삭 가공에 의해 구멍을 뚫어 형성하도록 하였지만, 다른 실시형태에 있어서는 도시되지 않았지만 상류측의 오리피스 베이스(1b)와 중간 오리피스 베이스(1k)와 하류측의 오리피스 베이스(1d)를 절삭 가공 등에 의해 1개의 부재로 일체적으로 형성하고, 일체적으로 형성된 오리피스 베이스(1b, 1k, 1d) 내에, 예컨대 일본 특허 공개 제 2000-213667 호 공보의 도 6 및 도 8에 나타낸 오리피스체(4)와 같은 구조의 오리피스부를 감입하여 고정하도록 해도 좋다.
즉, 일체적으로 형성된 오리피스 베이스(1b, 1k, 1d)의 상류측의 오리피스 배치 장소 부근 및 하류측의 오리피스 배치 장소 부근에 카운팅 구멍(counterbored holes)[일본 특허 공개 제 2000-213667 호 공보의 도 6 및 도 8에 나타낸 오목 개소(14)에 상당]을 각각 형성하고, 각 카운팅 구멍 내에 오리피스 플레이트 및 오리피스 프레스로 이루어지는 오리피스부[일본 특허 공개 제 2000-213667 호 공보의 도 6 및 도 8에 나타낸 오리피스체(4)에 상당]를 감입하여 고정하도록 해도 좋다.
각 카운팅 구멍 내에 감입하여 고정하는 오리피스부는 카운팅 구멍에 수용되어 중심부에 중간 오리피스 베이스(1k)의 통로(1j)로 연통하는 통공이 형성된 환상의 오리피스 프레스[일본 특허 공개 제 2000-213667 호 공보의 도 6 및 도 8에 나타낸 홀더(30)에 상당]와, 중심부에 오리피스 프레스의 통공과 중간 오리피스 베이스(1k)의 통로(1j)를 연통시키는 오리피스 구멍이 형성된 오리피스 플레이트[일본 특허 공개 제 2000-213667 호 공보의 도 6 및 도 8에 나타낸 플레이트(31)에 상당]로 이루어진다. 또한, 오리피스 플레이트는 오리피스 프레스의 단면에 레이저 용접 등에 의해 고정되거나, 또는 카운팅 구멍의 저면과 카운팅 구멍 내에 수용된 오리피스 프레스 사이에서 협지된다.
그리고, 상기 오리피스부는 일체적으로 형성된 오리피스 베이스(1b, 1k, 1d)의 각 카운팅 구멍에 용접, 압입 또는 나사 삽입 등에 의해 감입하여 고정되어 있다.
이렇게, 일체적으로 형성된 오리피스 베이스(1b, 1k, 1d)에 카운팅 구멍이 형성되고, 상기 카운팅 구멍에 오리피스 플레이트 및 오리피스 프레스로 이루어지는 오리피스부를 감입하여 고정하면, 상류측의 오리피스 베이스(1b)와 중간 오리피스 베이스(1k)와 하류측의 오리피스 베이스(1d)를 절삭 가공 등에 의해 1개의 부재로 일체적으로 형성한 경우에서도, 중간 오리피스 베이스(1k)의 통로(1j) 등의 내부 가공이 가능한 구성이 된다.
도 7 및 도 14에 나타낸 압력식 유량 제어 장치에 있어서는 상류측에 위치하는 오리피스 플레이트(4')를 소유량용의 오리피스 플레이트(4')로 함과 아울러 하류측에 위치하는 오리피스 플레이트(4")를 대유량용의 오리피스 플레이트(4")로 하고, 스위칭 밸브(13)의 작동에 의해 유체 유량의 제어 범위를 소유량 영역과 대유량 영역으로 스위칭하여 소유량 유체의 유량 제어와 대유량 유체의 유량 제어가 행해지도록 하였지만, 다른 실시형태에 있어서는 유통하는 유체를 동일 통로[컨트롤 밸브(6)의 상류측 유체 통로(7a) 및 하류측의 유체 통로(7b), 분류 통로(7f) 등]에 2종류 공급하고, 한쪽의 유체를 흘려보낼 때는 스위칭 밸브(13)를 폐쇄하여 컨트롤 밸브(6)로 제어하고, 다른쪽의 유체를 흘려보낼 때는 스위칭 밸브(13)를 개방하여 제어하도록 해도 좋다.
도 7 및 도 14에 나타낸 압력식 유량 제어 장치에 있어서는 컨트롤 밸브(6)의 하류측 유체 통로(7b)로부터 분기되어 다시 유체 통로(7b)로 합류하는 분기 통로(7f)에 스위칭 밸브(13)를 배치하고, 유체 통로(7b)와 분기 통로(7f)의 합류 개소에 개스킷형 오리피스(1)를 배치하도록 하였지만, 다른 실시형태에 있어서는 도시되지 않았지만 컨트롤 밸브(6)의 하류측 유체 통로(7b)로부터 분기되는 분류 통로(7f) 대신에 다른 유체 공급 라인으로부터의 유로(도시 생략)를 상기 유체 통로(7b)에 접속하고, 그 접속 개소에 유체 통로(7b) 및 다른 유로로 각각 연통하는 개스킷형 오리피스(1)[도 5, 도 12, 도 16 내지 도 18에 나타낸 개스킷형 오리피스(1)]를 배치함과 아울러 다른 유로에 스위칭 밸브(13)를 배치하고, 유통하는 유체를 다른 유로로부터 스위칭 밸브(13)에 의해 유통시키도록 해도 좋다.
<산업상의 이용 가능성>
본 발명은 오리피스를 이용하는 유체 설비나 오리피스를 이용하여 유체의 유량 제어를 행하는 구성의 유체 유량 제어 장치 모두에 적용가능한 것이며, 반도체 제조나 화학 산업, 약품 산업, 식품 산업 등의 분야에 있어서 주로 이용되는 것이다.
<부호의 설명>
1 : 개스킷형 오리피스 1a : 상류측의 오리피스 베이스의 통로
1b : 상류측의 오리피스 베이스 1c : 하류측의 오리피스 베이스의 통로
1d : 하류측의 오리피스 베이스 1e : 오리피스부
1e' : 오리피스 구멍 1f : 상류측의 오리피스 베이스의 시일면
1g : 하류측의 오리피스 베이스의 시일면
1h : 하류측의 오리피스 베이스의 시일면
1j : 중간 오리피스 베이스의 통로
1k : 중간 오리피스 베이스 1l : 오리피스부
1l' : 오리피스 구멍 1m : 분류 통로
1o : 오리피스부 1o' : 오리피스 구멍
2 : 볼록형의 오리피스 베이스 2a : 볼록형의 오리피스 베이스의 통로
2b : 볼록형의 오리피스 베이스의 감합용 돌출부
2c : 볼록형의 오리피스 베이스의 시일면
3 : 오목형의 오리피스 베이스 3a : 오목형의 오리피스 베이스의 통로
3b : 오목형의 오리피스 베이스의 감합용 오목부
3c : 오목형의 오리피스 베이스의 시일면
3d : 오목형의 오리피스 베이스의 시일면
4 : 오리피스 플레이트 4' : 소유량용의 오리피스 플레이트,
4" : 대유량용의 오리피스 플레이트 5 : 중간 오리피스 베이스
5a : 중간 오리피스 베이스의 통로
5b : 중간 오리피스 베이스의 감합용 오목부
5c : 중간 오리피스 베이스의 감합용 돌출부
5d : 중간 오리피스 베이스의 분류 통로
6 : 컨트롤 밸브 7b : 컨트롤 밸브 하류측의 유체 통로
7f : 분류 통로 11 : 압력 센서
12 : 제어 회로 13 : 스위칭 밸브

Claims (21)

  1. 중심부에 관통상의 통로(2a)를 갖는 오리피스 베이스(2)와, 중심부에 상기 오리피스 베이스(2)의 통로(2a)로 연통하는 관통상의 통로(3a)를 갖는 오리피스 베이스(3)와, 양 오리피스 베이스(2, 3) 사이에 기밀상으로 삽입 부착되는 중심부에 오리피스 구멍이 형성된 오리피스 플레이트(4)로 이루어지고, 유체 통로에 배치되어 양 오리피스 베이스(2, 3)의 외측 단면을 각각 시일면(2c, 3c)으로 한 개스킷형 오리피스(1)에 있어서:
    상기 양 오리피스 베이스(2, 3) 중 하류측에 위치하는 오리피스 베이스(3)의 외경을 상류측에 위치하는 오리피스 베이스(2)의 외경보다도 대경으로 형성하고, 하류측에 위치하는 오리피스 베이스(3)의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분을 시일면(3d)으로 한 것을 특징으로 하는 개스킷형 오리피스.
  2. 제 1 항에 있어서,
    한쪽의 오리피스 베이스(2)를 내측 단면에 감합용 돌출부(2b)를 구비한 볼록형의 오리피스 베이스(2)로 하고, 또한 다른쪽의 오리피스 베이스(3)를 내측 단면에 상기 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 감합용 돌출부(2b)가 기밀상으로 감합되는 감합용 오목부(3b)를 구비한 오목형의 오리피스 베이스(3)로 한 것을 특징으로 하는 개스킷형 오리피스.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 오리피스 플레이트(4)는 중심부에 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 통로(2a) 및 오목형의 오리피스 베이스(3)의 통로(3a)로 연통하는 오리피스 구멍을 형성하고, 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 감합용 돌출부(2b)와 오목형의 오리피스 베이스(3)의 감합용 오목부(3b) 사이에 기밀상으로 삽입 부착되는 것을 특징으로 하는 개스킷형 오리피스.
  4. 중심부에 통로(1a)를 갖는 상류측의 오리피스 베이스(1b)와, 상기 상류측의 오리피스 베이스(1b)에 연설되어 상기 오리피스 베이스(1b)보다도 대경으로 형성된 중심부에 통로(1c)를 갖는 하류측의 오리피스 베이스(1d)와, 양 오리피스 베이스(1b, 1d)의 통로(1a, 1c) 사이에 형성되어 중심부에 상기 양 통로(1a, 1c)를 연통시키는 오리피스 구멍(1e')이 형성된 격벽 형상의 오리피스부(1e)로 이루어지고, 유체 통로에 배치되어 양 오리피스 베이스(1b, 1d)의 외측 단면과 하류측의 오리피스 베이스(1d)의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분을 각각 시일면(1f, 1g, 1h)으로 한 것을 특징으로 하는 개스킷형 오리피스.
  5. 중심부에 관통상의 통로(2a)를 갖는 오리피스 베이스(2)와, 중심부에 관통상의 통로(3a)를 갖는 오리피스 베이스(3)와, 중심부에 상기 양 오리피스 베이스(2, 3)의 통로(2a, 3a)로 연통하는 관통상의 통로(5a)를 갖고, 일단면이 한쪽의 오리피스 베이스(2)에 대향함과 아울러 타단면이 다른쪽의 오리피스 베이스(3)에 대향하는 중간 오리피스 베이스(5)와, 한쪽의 오리피스 베이스(2)와 중간 오리피스 베이스(5) 사이에 기밀상으로 삽입 부착되는 중심부에 오리피스 구멍이 형성된 오리피스 플레이트(4')와, 중간 오리피스 베이스(5)와 다른쪽의 오리피스 베이스(3) 사이에 기밀상으로 삽입 부착되는 중심부에 오리피스 구멍이 형성된 오리피스 플레이트(4")로 이루어지고, 유체 통로에 배치되어 양 오리피스 베이스(2, 3)의 외측 단면을 각각 시일면(2c, 3c)으로 한 개스킷형 오리피스(1)로서:
    상기 양 오리피스 베이스(2, 3) 중 하류측에 위치하는 오리피스 베이스(3)의 외경을 상류측에 위치하는 오리피스 베이스(2) 및 중간 오리피스 베이스(5)의 외경보다도 대경으로 형성하고, 하류측에 위치하는 오리피스 베이스(3)의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분을 시일면(3d)으로 하고, 또한 상기 중간 오리피스 베이스(5)에 상기 중간 오리피스 베이스(5)의 통로(5a)로 분기 형상으로 연통하는 분류 통로(5d)가 형성된 것을 특징으로 하는 개스킷형 오리피스.
  6. 제 5 항에 있어서,
    한쪽의 오리피스 베이스(2)를 내측 단면에 감합용 돌출부(2b)를 구비한 볼록형의 오리피스 베이스(2)로 하고, 또한 다른쪽의 오리피스 베이스(3)를 내측 단면에 감합용 오목부(3b)를 구비한 오목형의 오리피스 베이스(3)로 하고, 또한 중간 오리피스 베이스(5)를 일단면에 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 감합용 돌출부(2b)가 기밀상으로 감합되는 감합용 오목부(5b)를 구비하고 있음과 아울러 타단면에 오목형의 오리피스 베이스(3)의 감합용 오목부(3b)에 기밀상으로 감합되는 감합용 돌출부(5c)를 구비한 중간 오리피스 베이스(5)로 한 것을 특징으로 하는 개스킷형 오리피스.
  7. 제 6 항에 있어서,
    한쪽의 오리피스 플레이트(4')는 중심부에 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 통로(2a) 및 중간 오리피스 베이스(5)의 통로(5a)로 연통하는 오리피스 구멍을 형성하고, 볼록형의 오리피스 베이스(2)의 감합용 돌출부(2b)와 중간 오리피스 베이스(5)의 감합용 오목부(5b) 사이에 기밀상으로 삽입 부착되는 것을 특징으로 하는 개스킷형 오리피스.
  8. 제 6 항에 있어서,
    다른쪽의 오리피스 플레이트(4")는 중심부에 중간 오리피스 베이스(5)의 통로(5a) 및 오목형의 오리피스 베이스(3)의 통로(3a)로 연통하는 오리피스 구멍을 형성하고, 중간 오리피스 베이스(5)의 감합용 돌출부(5c)와 오목형의 오리피스 베이스(3)의 감합용 오목부(3b) 사이에 기밀상으로 삽입 부착되는 것을 특징으로 하는 개스킷형 오리피스.
  9. 제 5 항에 있어서,
    양 오리피스 플레이트(4', 4") 중, 상류측에 위치하는 오리피스 플레이트(4')를 소유량용의 오리피스 플레이트(4')로 함과 아울러 하류측에 위치하는 오리피스 플레이트(4")를 대유량용의 오리피스 플레이트(4")로 한 것을 특징으로 하는 개스킷형 오리피스.
  10. 중심부에 통로(1a)를 갖는 상류측의 오리피스 베이스(1b)와, 상류측의 오리피스 베이스(1b)에 연설되어 중심부에 통로(1j)를 갖는 중간 오리피스 베이스(1k)와, 중심부에 중간 오리피스 베이스(1k)의 통로(1j)로 연통하는 관통상의 통로(3a)를 갖고, 중간 오리피스 베이스(1k)에 대향하는 하류측의 오리피스 베이스(3)와, 상류측의 오리피스 베이스(1b)의 통로(1a)와 중간 오리피스 베이스(1k)의 통로(1j) 사이에 형성되어 중심부에 상기 양 통로(1a, 1j)를 연통시키는 오리피스 구멍(1l')이 형성된 격벽 형상의 오리피스부(1l)와, 중간 오리피스 베이스(1k)와 하류측의 오리피스 베이스(3) 사이에 기밀상으로 삽입 부착되는 중심부에 오리피스 구멍이 형성된 오리피스 플레이트(4")로 이루어지고, 유체 통로에 배치되어 상류측의 오리피스 베이스(1b)의 외측 단면 및 하류측의 오리피스 베이스(3)의 외측 단면을 각각 시일면(1f, 3c)으로 한 개스킷형 오리피스(1)로서:
    상기 하류측의 오리피스 베이스(3)의 외경을 상류측의 오리피스 베이스(1b) 및 중간 오리피스 베이스(1k)의 외경보다도 대경으로 형성하고, 하류측의 오리피스 베이스(3)의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분을 시일면(3d)으로 하고, 또한 상기 중간 오리피스 베이스(1k)에 상기 중간 오리피스 베이스(1k)의 통로(1j)로 분기 형상으로 연통하는 분류 통로(1m)가 형성된 것을 특징으로 하는 개스킷형 오리피스.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상류측에 위치하는 오리피스부(1l)를 소유량용의 오리피스부(1l)로 함과 아울러 하류측에 위치하는 오리피스 플레이트(4")를 대유량용의 오리피스 플레이트(4")로 한 것을 특징으로 하는 개스킷형 오리피스.
  12. 중심부에 관통상의 통로(2a)를 갖는 상류측의 오리피스 베이스(2)와, 중심부에 통로(1j)를 갖고 상류측의 오리피스 베이스(2)에 대향하는 중간 오리피스 베이스(1k)와, 중간 오리피스 베이스(1k)에 연설되어 중심부에 통로(1c)를 갖는 하류측의 오리피스 베이스(1d)와, 상류측의 오리피스 베이스(2)와 중간 오리피스 베이스(1k) 사이에 기밀상으로 삽입 부착되는 중심부에 오리피스 구멍이 형성된 오리피스 플레이트(4')와, 중간 오리피스 베이스(1k)의 통로(1j)와 하류측의 오리피스 베이스(1d)의 통로(1c) 사이에 형성되어 중심부에 상기 양 통로(1j, 1c)를 연통시키는 오리피스 구멍(1o')이 형성된 격벽 형상의 오리피스부(1o)로 이루어지고, 유체 통로에 배치되어 상류측의 오리피스 베이스(2)의 외측 단면 및 하류측의 오리피스 베이스(1d)의 외측 단면을 각각 시일면(2c, 1g)으로 한 개스킷형 오리피스(1)로서:
    상기 하류측의 오리피스 베이스(1d)의 외경을 상류측의 오리피스 베이스(2) 및 중간 오리피스 베이스(1k)의 외경보다도 대경으로 형성하고, 하류측의 오리피스 베이스(1d)의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분을 시일면(1h)으로 하고, 또한 상기 중간 오리피스 베이스(1k)에 상기 중간 오리피스 베이스(1k)의 통로(1j)로 분기 형상으로 연통하는 분류 통로(1m)가 형성된 것을 특징으로 하는 개스킷형 오리피스.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상류측에 위치하는 오리피스 플레이트(4')를 소유량용의 오리피스 플레이트(4')로 함과 아울러 하류측에 위치하는 오리피스부(1o)를 대유량용의 오리피스부(1o)로 한 것을 특징으로 하는 개스킷형 오리피스.
  14. 중심부에 통로(1a)를 갖는 상류측의 오리피스 베이스(1b)와, 상류측의 오리피스 베이스(1b)에 연설되어 중심부에 통로(1j)를 갖는 중간 오리피스 베이스(1k)와, 중간 오리피스 베이스(1k)에 연설되어 중심부에 통로(1c)를 갖는 하류측의 오리피스 베이스(1d)와, 상류측의 오리피스 베이스(1b)의 통로(1a)와 중간 오리피스 베이스(1k)의 통로(1j) 사이에 형성되어 중심부에 상기 양 통로(1a, 1j)를 연통시키는 오리피스 구멍(1l')이 형성된 격벽 형상의 오리피스부(1l)와, 중간 오리피스 베이스(1k)의 통로(1j)와 하류측의 오리피스 베이스(1d)의 통로(1c) 사이에 형성되어 중심부에 상기 양 통로(1j, 1c)를 연통시키는 오리피스 구멍(1o')이 형성된 격벽 형상의 오리피스부(1o)로 이루어지고, 유체 통로에 배치되어 상류측의 오리피스 베이스(1b)의 외측 단면 및 하류측의 오리피스 베이스(1d)의 외측 단면을 각각 시일면(1f, 1g)으로 한 개스킷형 오리피스(1)로서:
    상기 하류측의 오리피스 베이스(1d)의 외경을 상류측의 오리피스 베이스(1b) 및 중간 오리피스 베이스(1k)의 외경보다도 대경으로 형성하고, 하류측의 오리피스 베이스(1d)의 내측 단면의 외측 둘레 가장자리 부분을 시일면(1h)으로 하고, 또한 상기 중간 오리피스 베이스(1k)에 상기 중간 오리피스 베이스(1k)의 통로(1j)로 분기 형상으로 연통하는 분류 통로(1m)가 형성된 것을 특징으로 하는 개스킷형 오리피스.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상류측에 위치하는 오리피스부(1l)를 소유량용의 오리피스부(1l)로 함과 아울러 하류측에 위치하는 오리피스부(1o)를 대유량용의 오리피스부(1o)로 한 것을 특징으로 하는 개스킷형 오리피스.
  16. 제 1 항, 제 4 항, 제 5 항, 제 10 항, 제 12 항 또는 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,
    하류측의 오리피스 베이스(3, 1d)의 외측 단면에 형성된 시일면(3c, 1g)은 오리피스 베이스(3, 1d)의 외측 단면에 형성된 오목 개소(3e, 1i)의 저면으로 한 것을 특징으로 하는 개스킷형 오리피스.
  17. 컨트롤 밸브(6)와, 상기 컨트롤 밸브(6)의 하류측의 유체 통로(7b)에 배치된 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 기재된 개스킷형 오리피스(1)와, 상기 개스킷형 오리피스(1)의 상류측에 배치되어 상기 개스킷형 오리피스(1)의 상류측 압력을 검출하는 압력 센서(11)와, 상기 컨트롤 밸브(6)를 제어하는 제어 회로(12)를 구비하고, 상기 개스킷형 오리피스(1)의 상류측 압력에 의해 오리피스 통과 유량을 연산하면서 상기 컨트롤 밸브(6)의 개폐에 의해 오리피스 통과 유량을 제어하도록 한 것을 특징으로 하는 압력식 유량 제어 장치.
  18. 컨트롤 밸브(6)와, 상기 컨트롤 밸브(6)의 하류측 유체 통로(7b)로부터 분기되어 다시 상기 유체 통로(7b)로 합류하는 분류 통로(7f)에 배치된 스위칭 밸브(13)와, 상기 유체 통로(7b)와 상기 분기 통로(7f)의 합류 개소에 배치되어 상기 유체 통로(7b) 및 분류 통로(7f)로 각각 연통하는 제 5 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 기재된 개스킷형 오리피스(1)와, 상기 개스킷형 오리피스(1)의 상류측에 배치되어 상기 개스킷형 오리피스(1)의 상류측 압력을 검출하는 압력 센서(11)와, 상기 컨트롤 밸브(6)를 제어하는 제어 회로(12)를 구비하고, 상기 개스킷형 오리피스(1)의 상류측 압력에 의해 오리피스 통과 유량을 연산하면서 상기 컨트롤 밸브(6)의 개폐에 의해 오리피스 통과 유량을 제어함과 아울러 상기 스위칭 밸브(13)의 작동에 의해 유체의 유로를 스위칭할 수 있는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 압력식 유량 제어 장치.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 개스킷형 오리피스(1)의 양 오리피스 플레이트(4', 4") 또는 오리피스부(1l, 1o)와 오리피스 플레이트(4", 4') 또는 양 오리피스부(1l, 1o) 중 상류측에 위치하는 오리피스 플레이트(4') 또는 오리피스부(1l)를 소유량용의 오리피스 플레이트(4') 또는 오리피스부(1l)로 함과 아울러 하류측에 위치하는 오리피스 플레이트(4") 또는 오리피스부(1l)를 대유량용의 오리피스 플레이트(4") 또는 오리피스부(1o)로 하고, 상기 스위칭 밸브(13)의 작동에 의해 유체 유량의 제어 범위를 소유량 영역과 대유량 영역으로 스위칭할 수 있는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 압력식 유량 제어 장치.
  20. 제 18 항에 있어서,
    유통하는 유체를 동일 통로에 2종류 공급하고, 한쪽의 유체를 흘려보낼 때는 상기 스위칭 밸브(13)를 폐쇄하여 상기 컨트롤 밸브(6)로 제어하고, 다른쪽의 유체를 흘려보낼 때는 상기 스위칭 밸브(13)를 개방하여 제어하도록 한 것을 특징으로 하는 압력식 유량 제어 장치.
  21. 제 18 항에 있어서,
    상기 컨트롤 밸브(6)의 하류측 유체 통로(7b)로부터 분기되는 상기 분류 통로(7f) 대신에, 다른 유체 공급 라인으로부터의 유로를 상기 유체 통로(7b)에 접속하고, 그 접속 개소에 상기 유체 통로(7b) 및 다른 유로로 각각 연통하는 제 5 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 기재된 개스킷형 오리피스(1)를 배치함과 아울러 다른 유로에 상기 스위칭 밸브(13)를 배치하고, 유통하는 유체를 다른 유로로부터 상기 스위칭 밸브(13)에 의해 유통시키도록 한 것을 특징으로 하는 압력식 유량 제어 장치.
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