KR20180115837A - 배관 연결용 가스켓 및 이를 포함하는 배관 조립체 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 배관 연결용 가스켓 및 이를 포함하는 배관 조립체에 관한 것으로, 테프론(Tefron) 재질의 제1 밀봉부와 고무 재질의 제2 밀봉부를 통해, 제1 밀봉부에 의해 1차 기밀이 외부 충격에 의해 약해지는 경우에도, 제2 밀봉부를 통해 기밀을 2차적으로 유지할 수 있다.
Description
본 발명은 배관 연결용 가스켓 및 이를 포함하는 배관 조립체에 관한 것으로, 특히, 반도체 및 디스플레이 산업의 배기 배관에 사용되는 배관 연결용 가스켓 및 이를 포함하는 배관 조립체에 관한 것이다.
일반적으로 디스플레이 및 반도체 제조공정은 각종 챔버에서 반응가스나 공정가스를 사용하는 형태로 진행되고, 특정 공정이 완료되면 잔류하는 가스나 반응 부산물, 예를 들어 파우더 등은 배기 라인(Exhaust Line)을 통해서 배출된다.
특히, 각종 화학 약품과 열에 의해, 배기 라인을 형성하는 배관 연결 부위의 부식으로 누설(Leak)이 발생할 수 있다.
종래 배관 연결 부위의 밀봉에 사용되는 가스켓은 화학적 반응성에 취약하고, 높은 온도에 견디기 어려운 문제를 갖는다.
본 발명은 화학적으로 안정하고, 고온에도 밀봉 상태를 유지할 수 있는 배관 연결용 가스켓 및 이를 포함하는 배관 조립체를 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.
상기한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 측면에 따르면, 인접하는 2개의 배관을 연결하기 위한 가스켓으로서, 배관 연결용 가스켓은, 디스크, 배관 지지 트랙, 제1 밀봉부 및 제2 밀봉부를 포함한다.
상기 디스크는 제1 면, 제1 면과 반대방향의 제2 면 및 유체를 통과시키도록 제1 면과 제2 면을 관통하는 유동홀을 가지며, 링 형상을 갖는다.
또한, 배관 지지 트랙은 유동홀의 가장자리에 디스크의 원주방향을 따라 마련된다. 또한, 배관 지지 트랙은 디스크의 제1 면 및 제2 면으로부터 마주하는 배관 측으로 각각 돌출된다.
또한, 제1 밀봉부는 복수 개의 밀봉 트랙를 포함하며, 각각의 밀봉트랙는 배관 지지 트랙의 외곽에 디스크의 반경방향을 따라 서로 다른 내경을 갖도록 각각 디스크의 원주방향을 따라 마련된다. 또한, 각각의 밀봉 트랙는 디스크의 제1 면 및 제2 면으로부터 마주하는 배관 측으로 돌출된다.
또한, 제2 밀봉부는 디스크의 외곽에 디스크의 원주방향을 따라 마련되며, 압축 가능한 재질로 형성된다.
또한, 복수 개의 밀봉 트랙은 배관 지지 트랙과 연속하여 위치한 제1 밀봉 트랙을 포함한다. 여기서, 배관에 접촉하는 배관 지지 트랙의 외주면 및 제1 밀봉 트랙의 외주면의 적어도 일부 영역은 소정 각도로 연결된다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르며, 제1 배관과 제1 배관과 인접하여 배치되는 제2 배관 및 제1 배관과 제2 배관의 연결 영역에 배치된 가스켓을 포함하는 배관 조립체가 제공된다.
상기 가스켓은, 제1 배관과 마주하는 제1 면, 제2 배관과 마주하며 제1 면과 반대방향의 제2 면 및 유체를 통과시키도록 제1 면과 제2 면을 관통하는 유동홀을 갖는 링 형상의 디스크; 유동홀의 가장자리에 디스크의 원주방향을 따라 마련되며, 디스크의 제1 면 및 제2 면으로부터 마주하는 배관 측으로 각각 돌출되고, 배관의 내주면에 접촉하는 배관 지지 트랙; 배관 지지 트랙의 외곽에 디스크의 반경방향을 따라 서로 다른 내경을 갖도록 각각 디스크의 원주방향을 따라 마련되며, 디스크의 제1 면 및 제2 면으로부터 마주하는 배관의 종단면과 접촉하도록 돌출된 복수 개의 밀봉 트랙을 포함하는 제1 밀봉부; 및 디스크의 외곽에 디스크의 원주방향을 따라 마련되며, 압축 가능한 재질로 형성되며, 제1 배관과 제2 배관의 종단면 사이에 위치하는 제2 밀봉부를 포함한다.
또한, 복수 개의 밀봉 트랙은 배관 지지 트랙과 연속하여 위치한 제1 밀봉 트랙을 포함하고, 마주하는 배관의 내주면에 접촉하는 배관 지지 트랙의 외주면 및 배관의 종단면에 접촉하는 제1 밀봉 트랙의 외주면의 적어도 일부 영역은 소정 각도로 연결된다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명의 일 실시예와 관련된 배관 연결용 가스켓 및 이를 포함하는 배관 조립체는 다음과 같은 효과를 갖는다.
테프론(Tefron) 재질의 제1 밀봉부와 고무 재질(예를 들어, Viton)의 제2 밀봉부를 통해, 제1 밀봉부에 의해 1차 기밀이 외부 충격(예를 들어, 진동, 파장 등)에 의해 약해지는 경우에도, 제2 밀봉부를 통해 기밀을 2차적으로 유지할 수 있다.
도 1은 일반적인 배관 조립체를 설명하기 위한 개념도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예와 관련된 배관 연결용 가스켓의 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 배관 연결용 가스켓의 단면도이다.
도 4는 배관 조립체를 구성하는 각 구성요소가 분리된 상태의 단면도이다.
도 5는 도 4에 도시된 각 구성요소가 결합된 상태의 단면도이다.
도 6은 도 5에 도시된 단면도의 일부 영역의 확대도이다.
도 7은 본 발명의 배관 조립체를 구성하는 하이브리드 밀봉 장치를 나타내는 사시도이다.
도 8은 도 7에 도시된 하이브리드 밀봉 장치의 평면도이다.
도 9는 도 7에 도시된 하이브리드 밀봉 장치의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예와 관련된 배관 연결용 가스켓의 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 배관 연결용 가스켓의 단면도이다.
도 4는 배관 조립체를 구성하는 각 구성요소가 분리된 상태의 단면도이다.
도 5는 도 4에 도시된 각 구성요소가 결합된 상태의 단면도이다.
도 6은 도 5에 도시된 단면도의 일부 영역의 확대도이다.
도 7은 본 발명의 배관 조립체를 구성하는 하이브리드 밀봉 장치를 나타내는 사시도이다.
도 8은 도 7에 도시된 하이브리드 밀봉 장치의 평면도이다.
도 9는 도 7에 도시된 하이브리드 밀봉 장치의 단면도이다.
이하, 본 발명의 일 실시예와 관련된 배관 연결용 가스켓 및 이를 포함하는 배관 조립체를 첨부된 도면을 참고하여 상세히 설명한다.
또한, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응되는 구성요소는 동일 또는 유사한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복 설명은 생략하기로 하며, 설명의 편의를 위하여 도시된 각 구성 부재의 크기 및 형상은 과장되거나 축소될 수 있다.
도 1은 일반적인 배관 조립체를 설명하기 위한 개념도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예와 관련된 배관 연결용 가스켓의 사시도이며, 도 3은 도 2에 도시된 배관 연결용 가스켓의 단면도이다.
또한, 도 4는 배관 조립체를 구성하는 각 구성요소가 분리된 상태의 단면도이고, 도 5는 도 4에 도시된 각 구성요소가 결합된 상태의 단면도이며, 도 6은 도 5에 도시된 단면도의 일부 영역의 확대도이다.
본 발명에 일 실시예와 관련된 배관 연결용 가스켓(이하, '가스켓'이라고도 함) 및 이를 포함하는 배관 조립체는, 반도체 및 디스플레이 산업의 배기 배관에 사용될 수 있고, 내부로 배기 가스가 통과할 수 있다.
도 1을 참조하면, 배관 조립체(1)는 제1 배관(2), 제2 배관(3) 및 제1 배관(2)과 제2 배관(3)의 연결 영역에 배치된 가스켓(10)을 포함한다. 상기 제2 배관(3)은 제1 배관(2)에 인접하여 배치된다.
각각의 배관(2, 3)은 연결 영역에 종단면(2a, 3a)을 갖는다. 제1 배관(2)의 종단면(2a)과 제2 배관(3a)의 종단면은 가스켓(10)을 매개로 연결된다. 각각의 배관(2, 3)은 연결 영역이 각각 플랜지(flange)로 구성될 수 있고, 이러한 경우, 상기 종단면(2a, 3a)은 플랜지의 일면(결합면)으로 구성될 수 있다.
또한, 상기 가스켓(10)은 제1 배관(2)과 제2 배관(3)의 연결 영역의 누설을 방지하도록 배치된다. 상기 가스켓(10)은 제1 배관(2)과 마주하는 제1 면(11), 제2 배관(3)과 마주하는 제2 면(12), 및 제1 면(11)과 제2 면(12)을 관통하는 유동홀(13)을 갖는 링 형상의 디스크를 포함한다.
또한, 상기 가스켓(10)은, 제1 배관과 제2 배관의 연결 영역에서, 제1 면(11)이 제1 배관(2)의 종단면(2a)에 밀착되고, 제2 면(12)이 제2 배관(3)의 종단면(3a)에 밀착된다.
이하, 본 발명의 일 실시예와 관련된 가스켓의 구체 구성 및 연결 영역의 누설 방지 구성을 도 2 내지 도 6을 참조하여 구체적으로 설명한다.
도 2 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예와 관련된 가스켓(100)은 디스크(110), 배관 지지 트랙(120), 제1 밀봉부(130) 및 제2 밀봉부(140)를 포함한다.
구체적으로, 디스크(110)는 제1 면(111), 제1 면(111)과 반대방향의 제2 면(112) 및 유체(예를 들어, 배기가스)를 통과시키도록 제1 면(111)과 제2 면(112)을 관통하는 유동홀(113)을 갖는 링 형상을 갖는다. 상기 디스크(110)는 제1 두께(t1)(제1 면과 제2 면 사이의 간격)를 갖는다. 또한, 제1 배관(2)과 제2 배관(3)의 연결 영역에 디스크(110)가 배치될 때, 제1 면(111)은 제1 배관(2)을 마주하고, 제2 면(112)은 제2 배관(3)을 마주하게 된다.
또한, 상기 배관 지지 트랙(120)은 상기 유동홀(113)의 가장자리에 디스크(110)의 원주방향을 따라 마련된다. 또한, 배관 지지 트랙(120)은 디스크의 제1 면(111) 및 제2 면(112)으로부터 마주하는 배관 측으로 각각 돌출된다. 예를 들어, 배관 지지 트랙(120)은 디스크의 제1 면 및 제2 면에서 바라볼 때, 각각 원형 트랙 형상을 갖는다. 상기 배관 지지 트랙(120)은, 즉, 제1 면(111)으로부터 마주하는 제1 배관(2) 측으로 돌출된 길이, 및 제2 면(112)으로부터 마주하는 제2 배관(3) 측으로 돌출된 길이는, 모두 제2 두께(t2+t3)로 동일할 수 있다. 상기 배관 지지 트랙(120)은 제1 배관(2)과 제2 배관(3)을 연결 시, 제1 및 제2 배관(2, 3)의 내주면(2b, 3b)에 접촉된다.
또한, 제1 밀봉부는 복수 개의 밀봉 트랙(131, 132)를 포함하며, 각각의 밀봉트랙(131, 132)은 배관 지지 트랙(120)의 외곽에 디스크의 반경방향을 따라 서로 다른 내경을 갖도록 각각 디스크의 원주방향을 따라 마련된다. 각각의 밀봉 트랙(131, 132)은 제1 면 및 제2 면에서 바라볼 때, 각각 원형 트랙 형상을 갖는다. 복수 개의 밀봉 트랙(131, 132)은 유동홀을 기준으로, 서로 다른 반경을 갖고, 디스크(110)의 반경 방향을 따라 소정 간격 이격된 동심원 형상을 가질 수 있다. 따라서, 인접하는 2개의 밀봉 트랙 사이에는, 홈부(134)가 마련되며, 밀봉 트랙(131, 132)이 배관에 접촉된 경우, 상기 홈부(134)는 배관에 접촉하지 않고, 배관과 소정의 공간부(133)를 형성한다.
또한, 각각의 밀봉 트랙(131, 132)은 디스크의 제1 면(111) 및 제2 면(112)으로부터 마주하는 배관 측으로 돌출된다. 각각의 밀봉 트랙(131, 132)은, 제1 면(111)으로부터 마주하는 제1 배관(2) 측으로 돌출된 길이, 및 제2 면(112)으로부터 마주하는 제2 배관(3) 측으로 돌출된 길이가, 모두 제3 두께(t3)로 동일할 수 있다. 이때, 제3 두께(t3)는 제2 두께(t2+t3) 보다 작게 형성된다. 즉, 제1 면 및 제2 면을 기준으로, 배관 지지 트랙(120)이 밀봉 트랙(131, 132) 보다 각각의 배관(2, 3) 측으로 더 돌출된다.
또한, 제2 밀봉부(140)는 디스크(110)의 외곽에 디스크(110)의 원주방향을 따라 마련되며, 압축 가능한 재질로 형성된다. 일 실시예로, 제2 밀봉부(140)는 고무 재질로 형성될 수 있다. 또한, 상기 제2 밀봉부(140)는 오링(O-ring)이며, 제2 밀봉부(140)는 밀봉 트랙(131, 132) 보다 배관 측으로 더 돌출될 수 있다. 즉, 상기 오링의 직경은, 제3 두께(t3)의 2배(제1 면 측 두께 및 제2 면 측 두께) 및 제1 두께(t1)의 합보다 크다. 따라서, 밀봉 트랙(131, 132)이 각각의 배관의 종단면(2a, 3a)에 접촉될 경우, 제2 밀봉부(140)는 제1 배관(2)과 제2 배관(3)의 종단면(2a, 3a) 사이 공간에서 압축된다.
또한, 도 3을 참조하면, 복수 개의 밀봉 트랙(131, 132)은 배관 지지 트랙(120)과 연속하여 위치한 제1 밀봉 트랙(131)을 포함한다. 도 6을 참조하면, 배관에 접촉하는 배관 지지 트랙(120)의 외주면(121b) 및 제1 밀봉 트랙(131)의 외주면(131a)의 적어도 일부 영역은 소정 각도로 연결된다. 예를 들어, 배관 지지 트랙(120)과 제1 밀봉 트랙(131)의 경계 영역은 각각의 외주면(121b, 131a)이 직교할 수 있다.
따라서, 제1 배관(2)과 제2 배관(3)의 연결 영역에서 외부로 누설되는 가스는, 예를 들어, 상기 제1 배관(2)에 접촉하는 배관 지지 트랙(120)의 외주면(121b)에 의해 누설이 차단되고, 제1 배관(2)에 상기 외주면(121b)에 연속하여 접촉하는 제1 밀봉 트랙(131)의 외주면(131a)에 의해 누설이 차단된다.
각각의 배관(2, 3)에는 배관 지지 트랙(120)이 삽입되는 장착 홈(4, 5)이 마련된다. 상기 장착 홈(4, 5)은 각각의 배관(2, 3)의 내주면(2b, 3b)과 종단면(2a, 3a)의 경계 영역('플랜지 영역'이라고도 함)에 각각 마련될 수 있다. 설명의 편의를 위하여, 제1 배관(2)에 마련된 장착 홈을 제1 장착 홈(4)으로 지칭하고, 제2 배관(3)에 마련된 장착 홈을 제2 장착 홈(5)으로 지칭할 수 있다.
배관 조립체에서, 각각의 장착홈(4, 5)의 바닥면(4b 5b)에 배관 지지 트랙(120)이 접촉되고, 바닥면(4b 5b)과 연결된 배관(2, 3)의 종단면(2a, 3a)에 제1 밀봉 트랙(131)이 접촉한다.
전술한 바와 같이, 배관(2, 3)의 내주면(장착 홈의 바닥면)에 접촉하는 배관 지지 트랙(120)의 외주면(121b) 및 배관(2, 3)의 종단면(2a, 3a)에 접촉하는 제1 밀봉 트랙(131)의 외주면(131a)은 직교할 수 있다.
또한, 장착 홈(4, 5)의 내측면(4a, 5a)에 배관 지지 트랙(120)의 외주면 중 일부 영역(121a)이 접촉할 수 있다. 즉, 배관 지지 트랙(120)의 외주면 중 일부 영역(121a)은 장착 홈(4, 5)의 내측면(4a, 5a)에 접촉하고, 또 다른 일부 영역(121b)은 장착 홈(4, 5)의 바닥면(4b, 5b)에 접촉한다.
한편, 제1 밀봉부(130)는 테프론(Tefron) 재질로 형성될 수 있다. 구체적으로, 디스크(110), 배관 지지 트랙(120) 및 제1 밀봉부(130)는 테프론으로 일체로 형성될 수 있다. 전술한 바와 같이, 제1 밀봉부(130)와 제2 밀봉부(140)는 서로 다른 재질로 형성된다.
제1 배관(2)과 제2 배관(3)의 연결 영역의 누설을 1차적으로 테프론 재질의 제1 밀봉부(130)로 밀봉함에 따라, 내부식성을 향상시킬 수 있다. 또한, 복수 개의 밀봉 트랙(131, 132) 및 인접하는 밀봉 트랙(131, 132) 사이의 홈부(134)를 통해 밀폐성을 향상시킬 수 있고, 배관 지지 트랙(120) 및 제1 밀봉 트랙(131)의 연속 접촉 구조를 통해, 외부 충격(진동, 파장 등) 또는 변형에 의한 누적 피로에도 밀폐성을 확실히 유지할 수 있다.
또한, 압축 가능한 재질의 제2 밀봉부(140)를 통해, 보다 완벽한 기밀을 유지할 수 있다.
도 7은 본 발명의 배관 조립체를 구성하는 하이브리드 밀봉 장치를 나타내는 사시도이고, 도 8은 도 7에 도시된 하이브리드 밀봉 장치의 평면도이며, 도 9는 도 7에 도시된 하이브리드 밀봉 장치의 단면도이다.
상기 배관 조립체(1)는 플랜지, 클램프(200) 및 하이브리드 밀봉 장치(400)를 포함한다. 구체적으로, 상기 배관 조립체(1)는 제1 배관(2)과 제2 배관(3)의 연결 단부의 둘레에 각각 마련된 플랜지(미부호), 제1 배관(2)과 제2 배관(3)의 플랜지를 압착 고정하여 2개의 배관을 연결하는 클램프(200) 및 클램프(200)를 내부에 수용하는 몸체(410, 420) 및 몸체(410, 420) 내부로, 배관(2, 3) 내부의 압력보다 고압의 가스를 공급하도록 마련된 유입 포트(440)를 포함하는 하이브리드 밀봉 장치(400)를 포함한다.
또한, 하이브리드 밀봉 장치(400)의 유입 포트(440)는 3 내지 5bar의 고압 가스 공급원(도시되지 않음)과 연결된다.
즉, 제1 배관(2)과 제2 배관(3)이 연결 영역에, 가스켓 및 클램프가 각각 배치되고, 그 주변을 하이브리드 밀봉 장치(400)가 둘러싸게 된다. 하이브리드 밀봉 장치(400) 내부는, 배관(2, 3) 내부의 압력보다 고압 분위기로 유지됨에 따라, 배관의 연결영역의 누설을 방지할 수 있다.
또한, 상기 하이브리드 밀봉 장치(400)는 누설 확인 포트(450)를 포함할 수 있고, 누설 확인 포트(450)는 몸체(410, 420)에 마련될 수 있으며, 누설 확인 포트(450)에는 하나 이상의 감지 센서가 마련될 수 있다. 상기 감지 센서는 누설 가스의 특성에 따라 공지의 센서로 선택될 수 있다.
상기 몸체(410, 420)는 제1 부재(410), 제1 부재(410)와 결합되는 제2 부재(420)를 포함한다. 상기 하이브리드 밀봉 장치(400)는 제1 부재(410)와 제2 부재(420)를 결합시키기 위한 하나 이상의 체결부재(430)를 포함한다. 제1 부재(410)와 제2 부재(420)는 예를 들어 원통을 원주방향을 따라 2개로 분할한 형상을 가질 수 있다. 제1 부재(410) 및 제2 부재(420)는 각각 소정 공간부를 가지며, 내부에 클램프(200)의 일부 영역이 각각 수용된다. 또한, 제1 부재(410)와 제2 부재(420)에는 배관(2, 3)이 통과하는 개구부가 각각 마련된다.
한편, 제1 부재(410)와 제2 부재(420)의 결합면 각각의 적어도 일부 영역에는 제1 밀봉 부재(510) 및 제2 밀봉 부재(520)가 마련될 수 있다. 제1 부재(410)와 제2 부재(420)를 체결 시, 제1 밀봉 부재(510)와 제2 밀봉 부재(520)는 접촉된다. 제1 밀봉 부재(510)와 제2 밀봉 부재(520)는 배관(2, 3)에 각각 접촉될 수 있다. 즉, 제1 밀봉 부재(510)는 배관(2, 3) 및 제1 부재(410) 사이 영역, 및 제1 부재(410)와 제2 부재(420)의 결합 영역을 각각 밀봉하도록 마련된다. 마찬가지로, 제2 밀봉 부재(520)는 배관(2, 3) 및 제2 부재(420) 사이 영역, 및 제1 부재(420)와 제2 부재(420)의 결합 영역을 각각 밀봉하도록 마련된다.
제1 밀봉 부재(510)와 제2 밀봉 부재(520)는 압축 가능한 재질로 형성될 수 있으며, 예를 들어, 실리콘 재질로 형성될 수 있다.
위에서 설명된 본 발명의 바람직한 실시예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이고, 본 발명에 대한 통상의 지식을 가지는 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 및 부가는 하기의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.
1: 배관 조립체
2: 제1 배관
3: 제2 배관
100: 가스켓
110: 디스크
120: 배관 지지 트랙
130: 제1 밀봉부
140: 제2 밀봉부
2: 제1 배관
3: 제2 배관
100: 가스켓
110: 디스크
120: 배관 지지 트랙
130: 제1 밀봉부
140: 제2 밀봉부
Claims (12)
- 인접하는 2개의 배관을 연결하기 위한 가스켓으로서,
제1 면, 제1 면과 반대방향의 제2 면 및 유체를 통과시키도록 제1 면과 제2 면을 관통하는 유동홀을 갖는 링 형상의 디스크;
유동홀의 가장자리에 디스크의 원주방향을 따라 마련되며, 디스크의 제1 면 및 제2 면으로부터 마주하는 배관 측으로 각각 돌출된 배관 지지 트랙;
배관 지지 트랙의 외곽에 디스크의 반경방향을 따라 서로 다른 내경을 갖도록 각각 디스크의 원주방향을 따라 마련되며, 디스크의 제1 면 및 제2 면으로부터 마주하는 배관 측으로 돌출된 복수 개의 밀봉 트랙을 포함하는 제1 밀봉부; 및
디스크의 외곽에 디스크의 원주방향을 따라 마련되며, 압축 가능한 재질로 형성된 제2 밀봉부를 포함하며,
복수 개의 밀봉 트랙은 배관 지지 트랙과 연속하여 위치한 제1 밀봉 트랙을 포함하고, 배관에 접촉하는 배관 지지 트랙의 외주면 및 제1 밀봉 트랙의 외주면의 적어도 일부 영역은 소정 각도로 연결된 배관 연결용 가스켓. - 제 1 항에 있어서,
제1 밀봉부는 테프론(Tefron) 재질로 형성되고,
제2 밀봉부는 고무 재질로 형성된 배관 연결용 가스켓. - 제 2 항에 있어서,
제2 밀봉부는 오링(O-ring)이며,
제2 밀봉부는 밀봉 트랙보다 배관 측으로 더 돌출된 배관 연결용 가스켓. - 제 1 항에 있어서,
배관 지지 트랙과 제1 밀봉 트랙의 경계 영역은 각각의 외주면이 직교하는 배관 연결용 가스켓. - 제 1 항에 있어서,
제1 밀봉 트랙과 연속하여 인접한 밀봉 트랙은 소정 간격으로 떨어져 위치한 배관 연결용 가스켓. - 제 1 항에 있어서,
디스크, 배관 지지 트랙 및 제1 밀봉부는 테프론으로 일체로 형성된 배관 연결용 가스켓. - 제1 배관;
제1 배관과 인접하여 배치되는 제2 배관; 및
제1 배관과 제2 배관의 연결 영역에 배치된 가스켓을 포함하며,
상기 가스켓은, 제1 배관과 마주하는 제1 면, 제2 배관과 마주하며 제1 면과 반대방향의 제2 면 및 유체를 통과시키도록 제1 면과 제2 면을 관통하는 유동홀을 갖는 링 형상의 디스크;
유동홀의 가장자리에 디스크의 원주방향을 따라 마련되며, 디스크의 제1 면 및 제2 면으로부터 마주하는 배관 측으로 각각 돌출되고, 배관의 내주면에 접촉하는 배관 지지 트랙;
배관 지지 트랙의 외곽에 디스크의 반경방향을 따라 서로 다른 내경을 갖도록 각각 디스크의 원주방향을 따라 마련되며, 디스크의 제1 면 및 제2 면으로부터 마주하는 배관의 종단면과 접촉하도록 돌출된 복수 개의 밀봉 트랙을 포함하는 제1 밀봉부; 및
디스크의 외곽에 디스크의 원주방향을 따라 마련되며, 압축 가능한 재질로 형성되며, 제1 배관과 제2 배관의 종단면 사이에 위치하는 제2 밀봉부를 포함하며,
복수 개의 밀봉 트랙은 배관 지지 트랙과 연속하여 위치한 제1 밀봉 트랙을 포함하고, 마주하는 배관의 내주면에 접촉하는 배관 지지 트랙의 외주면 및 배관의 종단면에 접촉하는 제1 밀봉 트랙의 외주면의 적어도 일부 영역은 소정 각도로 연결된 배관 조립체. - 제 7 항에 있어서,
각각의 배관에는 배관 지지 트랙이 삽입되는 장착 홈이 마련되며,
장착홈의 바닥면에 배관 지지 트랙이 접촉되고, 바닥면과 연결된 배관의 종단면에 제1 밀봉 트랙가 접촉하는 배관 조립체. - 제 8 항에 있어서,
배관의 내주면에 접촉하는 배관 지지 트랙의 외주면 및 배관의 종단면에 접촉하는 제1 밀봉 트랙의 외주면은 직교하는 배관 조립체. - 제 7 항에 있어서,
제1 밀봉부는 테프론(Tefron) 재질로 형성되고,
제2 밀봉부는 고무 재질로 형성된 오링인 배관 조립체. - 제 7 항에 있어서,
제1 배관과 제2 배관의 연결 단부의 둘레에 마련된 플랜지;
플랜지를 압착 고정하여 2개의 배관을 연결하는 클램프; 및
클램프를 내부에 수용하는 몸체 및 몸체 내부로, 배관 내부의 압력보다 고압의 가스를 공급하도록 마련된 유입 포트를 포함하는 하이브리드 밀봉 장치를 포함하는 배관 조립체. - 제 11 항에 있어서,
하이브리드 밀봉 장치의 유입 포트는 3 내지 5bar의 고압 가스 공급원과 연결된 배관 조립체.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020170047974A KR101952809B1 (ko) | 2017-04-13 | 2017-04-13 | 배관 연결용 가스켓 및 이를 포함하는 배관 조립체 |
Applications Claiming Priority (1)
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KR1020170047974A KR101952809B1 (ko) | 2017-04-13 | 2017-04-13 | 배관 연결용 가스켓 및 이를 포함하는 배관 조립체 |
Publications (2)
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KR101952809B1 KR101952809B1 (ko) | 2019-02-27 |
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ID=64132342
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KR1020170047974A KR101952809B1 (ko) | 2017-04-13 | 2017-04-13 | 배관 연결용 가스켓 및 이를 포함하는 배관 조립체 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR200496274Y1 (ko) * | 2022-04-13 | 2022-12-16 | 유니셈(주) | 반도체 공정설비의 배관 연결 구조 및 이를 위한 배관 연결용 가스켓 |
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KR19980063099U (ko) * | 1997-04-11 | 1998-11-16 | 이영길 | 배관용 인슐레이션 스페이서 |
KR20140015935A (ko) * | 2012-07-27 | 2014-02-07 | 현대중공업 주식회사 | 배관 연결부 누설검사장치 |
JP2016089936A (ja) * | 2014-11-04 | 2016-05-23 | ニチアス株式会社 | ガスケット |
-
2017
- 2017-04-13 KR KR1020170047974A patent/KR101952809B1/ko active IP Right Grant
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KR101952809B1 (ko) | 2019-02-27 |
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